JPS59178981A

JPS59178981A - 振動波モ−タの制御方法

Info

Publication number: JPS59178981A
Application number: JP58051344A
Authority: JP
Inventors: Masaharu Kawamura; 正春川村
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1983-03-25
Filing date: 1983-03-25
Publication date: 1984-10-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は電歪素子を駆動媒体として進行性振動波によっ
て駆動する振動波モータの駆動効率の向上を図るために
、進行性振動波の周波数を制御する方法に関する。

振動波モータは例えば特開昭５２−２９１９２号公報に
も開示されているように、電歪素子に交流、脈流等の周
波電圧を印加したときに生する振動運動を回転運動又は
−次元運動に変換するものである。従来の電磁モータに
比べて巻線を必要としないため、構造が簡単で小型にな
り、低速回転時にも高トルクが得られると共に慣性モー
メントが少ないという利点かあるため、最近注目されて
いる。

ところが、従来知られている振動波モータは振動運動を
回転運動等に変換するにあたり、振動体に生じた定在振
動波で、振動体と接触するロータ等の移動体を一方向に
摩擦駆動するもので、振動の往運動時には振動体と移動
体が摩擦接触し、復運動時には離れるようになっている
。そのため振動体と移動体は微小範囲で接触する構造、
即ち点もしくは線接触に近い構造でなければならず、い
きおい摩擦駆動効率の悪いものとなってしまう。

また駆動力は一定方向に働くものであるから移動体の移
動方向は一方向のみである。逆方向に移動させるために
は、別な振動体で振動方向を機械的に切り換える必要が
ある。従って、正逆回転か可能な振動波モータを得るに
は装置が複雑になり、振動波モータの特徴である構造の
簡単さ、小型さが半減されてしまう。

に記のような振動波モータの持つ欠点を解消する振動波
モータの構造が、本出願人の出願に係る特願昭５７−２
０６３００．同２１９５３２等の明細書に開示されてい
る。

その概略は以下のようなものである。

第１図は振動波モータを各要素別に分解したものを示し
ている。

ヘースとなる固定体５の中心円筒部５ａに振動吸収体４
、吸収体４側に電歪素子３を接着した金属の環状振動体
２、移動体１の順に嵌め込まれており、固定体５・吸収
体４・振動体２は各々相互に回転しないように取付けら
れている。振動体２に対し移動体１は自重又は図示しな
い付勢手段で圧接されモータの一体性を保っている。複
数の電歪素子３は一群の電歪素子３Ａ、〜３Ａ７が振動
波の波長入の２分の１のピンチで配列され、電歪素子３
Ａ、　　・３Ａ３・３Ａ、・３　Ａ　７の分極方向は同
一で、その間に位置する電歪素子３Ａ２　・３Ａ、・３
Ａ６の分極方向は逆である。従って電歪素子３Ａ、〜３
Ａ、は隣り合う位置のものどうしの分極方向は逆向きに
しである。別な群の電歪素子３Ｂ、〜３Ｂ７も同じく入
／２ピツチで配列されていて、隣り合う位置のものどう
しの分極方向は逆向きにしである。

電歪素子３Ａ、〜３Ａ７と３Ｂ、〜３　Ｂ　７の相互ピ
ッチは（ｎ０＋１７４）入（イ旦しｎ□＝Ｏ１ｌ、２．
３・・・）ずれた位相差的配列がなされる。

なお電歪素子３は複数並べず、第２図に示すように環状
の単体の素子３にし、それを前記ピッチに分極処理し分
極処理部３ａｌ〜３ａ５と３ｂ。

〜３ｂ５にしても良い。

電歪素子３Ａ、〜３Ａ７の各々には吸収体４側にリード
線１１ａが接続され電歪素子３Ｂ、〜３Ｂ７の各々には
リード線１１ｂが接続され、その各々は電源６ａと９０
０位相器６ｂに接続される（第３図参照）。また金属の
振動体２にはリード線ｌｉｅが接続され交流電源６ａと
接続される。

このように構成された振動波モータの動作は次のような
ものである。

第３図は上記モータの振動波の発生状態を示している。

金属の振動体２に接着された電歪素子３Ａ１〜３Ａ４及
び３Ｂ、〜３Ｂ４は、説明の便宜上、隣接して現わされ
ているが、上記の入／４の位相ずれの条件を満足してい
るため、第１図に示すモータの電歪素子３Ａ、〜３Ａ４
及び３Ｂ、〜３Ｂ４の配列と実質的に等価なものである
。各電歪素子３Ａ、〜３Ａ４及び３Ｂ、〜３Ｂ４中の０
１±交流電圧が正側の周期であるとき伸び、Ｑは同じく
正側の周期で縮む状態になることを示している。

金属振動体２を電歪素子３Ａ、〜３Ａ４及び３Ｂ１〜Ｂ
４の一方の電極にし、電歪素子３Ａ、〜３Ａ４には交流
電源６ａからＶ＝Ｖｏｓ　ｉ　ｎωｔの交流電圧を印加
し、電歪素子３Ｂ、〜３Ｂ、Ｉには交流型＠６ａから９
００位相位相ｂを通して、入／４位相のずれた、Ｖ＝Ｖ
ｏｓ　ｉ　ｎ　（ωｔ±π／２）の文論電圧を印加する
。式中の十又−は移動体１（本図に於て省略）を動かす
方向によって位相器６ｂで切り換えられるもので、＋側
に切り換えると＋９０°位相がずれ正方向に動き、−側
に切り換えると一９０°位相がずれ逆方向に動く。いま
−側に切り換えてあり電歪素子３Ｂ、〜３Ｂ、にはＶ＝
Ｖｏｓｉｎ（：ωを一π／２）の電圧が印加されるとす
る。電歪素子３Ａ工〜３　Ａ　４だけが電圧Ｖ＝Ｖｏｓ
ｉｎωｔにより振動した場合は同図（ａ）に示すような
定在波による振動が起り、電歪素子３Ｂ、〜３　Ｂ　４
だけが電圧ｖ−ｖ。ｓｉｎ　（ωむ一π／２）により振
動した場合は（ｂ）に示すような定在波による振動か起
る。北記位相のずれた二つの交流を同時に各々の電歪素
子３Ａ、〜３Ａ４と３Ｂ、〜３Ｂ４に印加すると振動波
は進行性になる。（イ）は時間ｔ＝２ｎπ／ω、（ロ）
はｔ−π／２ω＋２ｎπ／ω、（ハ）はｔ＝π／ω＋２
ｎπ／ω、（ニ）はｔ＝３π／２ω＋２ｎπ／ωのとき
のもので、振動波の波面はＸ方向に進行する。

このような進行性の振動波は縦波と横波を伴なっており
、第４図に示すように振動体２の質点Ａについて着目す
ると、縦振幅Ｕと横振幅Ｗで反面み１方向の回転楕円運
動をしている。振動体２の表面には移動体ｌが加圧接触
しており振動面の頂点にだけ接触することになるから、
頂点に於ける質点Ａ−Ａ・・・の楕円運動の縦振幅Ｕの
成分に駆動され、移動体１は矢示Ｎ方向に移動する。

移動体ｌの摩擦駆動は振動体２の進行性振動波の波面の
頂点でなされるものであるから、頂点方向（第４図Ｚ軸
方向）の波面が共振していることが駆動効率を向上させ
るために必要である。入力電圧の周波数ｆ（＝２πω）
とし振動体２のヤング十Ｅ−密度ｐＩ＋厚さｈとしてこ
れによってつくられる波の波長λとすると、ｆ町［７丁
７Φπｈ／λ２なる関係がありこの関係を満足する板厚
りまた振動体２は環状であるため、進行性振動波は環に
沿って進行し、新たに起る波と周長πＤか波長入のｎ倍
（ｎは自然数）即ちｎ入＝πＤのとき共振する。

このような振動波モータの駆動効率を良くするためには
振動体の板厚や環径等諸々の条件を加味して印加周波電
圧の周波数を制御する必要かある。

しかしながら、・一度調整してもモータ自体の温度変化
や発振回路の温度変化により、共振周波数がずれてきた
り、モータの経時的な疲労例えば振動体の摩耗等で共振
周波数が異なって来る場合がある。

また製造工程では、周波数の調整工程が加わることによ
りコスト的にも問題がある。

−・方、周波数の調整は振動波モータの回転速度が最も
速くなるとき、最適な共振周波数として制御することが
好ましい。

本発明は、上記のような事実に鑑みなされたもので、振
動体２を接触させた電歪素子３に周波電圧を印加して該
振動体２に生ずる進行性振動波によって、該振動体２と
接触させた移動体ｌを駆動させる振動波モータの印加周
波電圧を、ステップ（イ）から（チ）を経て出力される
周波数に、制ｊ卸することを要旨とするものである。

各ステップの相互関連は第７図のフローチャートに示し
である。

同フローチャートのステップ（イ）では先ず振動波モー
タの電歪素子に印加する周波電圧を初期、役定する。ス
テップ（ロ）では回転している振動波モータの移動体１
の回転速度が非常に低速であったり停止している状態で
あったりしているか否かを判別する。低速乃至停止状態
のときはステップ（へ）に進む。ある程度以上の速度で
回転しているときはステップ（ハ）に進み速度を算出す
る。

吹いでステップ（ニ）では算出された速度の遅速を比較
する。初期設定した周波数での算出速度はやめ定めた基
準速度と比較し、順次変動させて設定した周波数での算
出速度は変動前の周波数での算出速度と比較し、小さい
場合はステ・ンプ（へ）に進み大きい場合はステ・ンプ
（ホ）に進む。ステップ（ホ）では算出速度での周波数
値をストアする。

従って次々と更新され、ストアされてゆく周波数値は速
度がより大きくなる場合だけである。

ステップ（へ）は（ロ）、（ニ）、（ホ）のいずれかの
ステップから進行してきて周波数変動可能な範囲の変動
を終ったか否かを判別する。終っていなければステップ
（ト）でさらに周波数を変動させてステップ（ロ）以下
を繰り返す。終っていればストアされている周波数をス
テップ（チ）で出力する。このときの周波数での速度は
最高速度のものとなる。

この制御方法を実施する装箔の回路例か第５図に示しで
ある。

同図で、ＣＰＵはマイクロコンピュータ、ＤＦｌ−Ｄ　
Ｆ　３はＤタイプのフリップフロップ回路、ＤＦ４はＤ
タイプのフリップフロップ４個からなり出力制御可能な
回路、ＤＦ５はＤタイプのフリップフロップ３個からな
る回路、ＢＦはＩ・ライステートバッファ、Ｃ１はカウ
ンタ、ＣＧ１はクロ、クセネレータ、Ｇ１・６２はナン
ドケ−１・、Ｇ３−０４はエクスクル−シブオアゲート
、Ｇ５はオアゲート、■１〜Ｉ８はインバータ、Ｄｌ・
Ｄ２は分周器、ＡＳはアナログマルチプレクサ、ＲＯ−
Ｒ１４は抵抗、ＣＡＰ　ｌ　−ＣＡＰ　２はコンデンサ
、Ｔｒｉ〜Ｔｒ８はトランジスタである。３Ａ・３Ｂは
電歪素子で、振動波モータに夫々複数設置、されたもの
のうぢ（第１図の３Ａ、〜３Ａ７・３Ｂ、〜３Ｂ、、）
、一つづつを示しである。１１は回転クシ歯スイッチで
ロータ（移動体）１に設けられたクシ歯電極１２にブン
シ電極１３が接触しロータ１の回転に従い開閉する構造
である。

インバータＩ３・１４、コンデンサＣＡＰ　ｌ、その値
が順次大きくなる抵抗ＲＯ−Ｒ４はクロックゼネレータ
ＣＧ２を形成する。アナログマルチプレクサＡｓはＡＯ
−Ａ２のデジタル人力によりＸｏ−Ｘ４のいずれかを選
択しＸ端子との導通を行う。従ってデジタル信号により
抵抗ＲＯ−Ｒ４か選択され、クロックゼネレータＣＧ２
の出力ＣＬＫは、異った周波数での発振出力となる。分
周器Ｄｉ−Ｄ２はクッロク出力ＣＬＫの立上がりにより
夫々１段の分周を行う。分周器Ｄ２がインノ＼−タ■５
を介しているため、分周器Ｄ１とＤ２の出力は夫々第６
図で示す位相のずれたＡＣＬＫとＢＣＬＫの波形出力に
なる。

この波形の出力が夫々ドライ八回路ＤＲＩ・ＤＲ２に入
力する。ドライ／へ回路ＤＲＩは出力波形ＡＣＬＫによ
って動作するプッシュプル回路からなり、電歪素子３Ａ
に周波電圧を印加する。ドライバ回路ＤＲ２は出力波形
ＢＣＬＫによって、同□様に電歪素子３Ｂに１／４波長
位相のずれた周波電圧を印加する。

フリップフロップＤＦ１・ＤＦ２−ＤＦ３はシフトレジ
スタとして作用し、それらのクロンク人力ＣＰはクロッ
クゼネレータＣＧＩと接続ξれブラシ１３からの信号を
クロックの立りかりで順次ソフトさせる。カウンタＣ１
はクロックゼネレータＣＧＩからのクロンクをカウント
する。

フリップフロップＤＦ４の出力はトライステートとなっ
ていて、端子ＯＥ’のＬ入力で端子ＱＯ〜Ｑ３に出力信
号が発生する。

フリツプフロツプＤＦ２の入力と出力に接続されている
イクスクルーシブオアゲートＧ４の出力の立上がりでフ
リップフロ、プＤＦ４の人力り。

〜Ｄ３はラッチされ、フリップフロップＤＦ３の入力と
出力に接続されているイクスクルーシソオアゲートＧ３
の出力がＨになると、オアゲートＧ５を介してカウンタ
Ｃ１はリセットごれる。

つまりこの動作は、ブラシ１３からの開閉信号が変化す
ると、その直後にカウンタＣ１の内容のうちＱ３〜Ｑ６
の出力がフリツプフロツプＤＦ４にラッチされ、その直
後にカウンタＣ１がリセントされ、次にリセントが解除
され、カウンタＣ１は丙びカウントを開始する。この動
作は、ブラシ１３からの信号が変化する毎に行われる。

−フリップフロップＤＦ３の出力Ｑ及び゛カウンタＣ１
の最−１−位ピント出力Ｑ７はトライステートバッファ
ＢＦの入力Ｘｉ、ＸＯに加えられ、／＜・ンファＢＦは
ＯＥのＬ入力でＹｌ、ＹＯに出力する。フリップフロラ
７’ＤＦ４、／ヘッファＢＦの出力はマイクロコンピュ
ータ−ＣＰ、Ｕのデータ／へスラインＤＢＯ−１）Ｒ３
に接続される。ＣＰＵが外部入力からデータを読む際に
出力されるリード信号ＲＤがＬになり、アドレス信号Ａ
ＯかＬの場合はナンドゲー）Ｇ２の出力がＬになり、バ
ッファＢＦのＯＥにＬ信号が入力する。アドレス信号Ａ
ＯかＨの場合は、ナンドケーｌ−Ｇ　１の出力がＬにな
りフリップフロップＤＦ４の端子ＯＥに入力し、出力Ｑ
Ｏ−Ｑ３の信号がＣＰＵに読み込まれる。

ＣＰＵか、外部に出力をすると−５は、ライト信号ＷＲ
がＬになるので、フリップフロップＤＦ５は、ＣＰＵの
データバス信号をランチする。フリップフロップＤＦ５
の出力はアナログマルチプレクサＡＳに入力し、抵抗Ｒ
Ｏ−Ｒ４のうち一つを選択する。

なお、ＷＲ倍信号インパータエ６、オアゲートＧ５を介
して、カウンタＣ１をリセットする。またＲｅ端子には
コンデンサＣＡＰ２と抵抗Ｒ６からなる積分回路が接続
され電源投入時にＣＰＵをリセットする。

以上の回路動作手順の実施例を、第８図のプログラムフ
ａ−チャートを参照して、説明する。

電源を投入するとマイクロコンピユー乞ＣＰＵのリセッ
トがかかりプログラムカウンタはＯになるため、プログ
ラムはフローチャートの上からスタートする。

まず、変数Ｋを０に初期設定し、レジスタＲＧ１の内容
を４ビツトでの最大値１５に設定する（Ｋ＝０、ＲＧ１
＝１５）。なおこのレジスタＲＧｌの値は大きいほど速
度が遅いことになる。

このＫの値をデータバスに出力する（ＯＵＴＫ）。今に
＝Ｏであるからフリ、プフロップＤＦ５の値はＯとなり
、アナログマルチプレクサＡＳによって抵抗ＲＯが選択
される。抵抗ＲＯの値は抵抗ＲＯ−Ｒ４のうち最も小さ
いため、出力波ＣＬＫは最大周波数となる。

このとき、ＣＰＵのライト信号ＷＲはイン／＜−タＩ６
とオアゲートＧ５を通ってカウンタＣ１をリセットする
。

次に、アドレスＯのポート入力をする（ＩＮＦＵＴ　　
ＡＤＯ）。このときＣＰＵの出力ＡＯはＬとなっている
ので、八ツファＢＦの出力がデータバスを介してＣＰＵ
に入力される。次にそのデータのｂｉｔｌが−０か１か
の判別をする。つまりフリップフロップＤＦ３のＱ出力
の判別であり、ｂｉｔｌが０のとき、即ちブラシ１３が
電極１２と接しているときはプログラムはＶＡＴに進行
する。次に前にＩＮＰＵＴ　　ＡＤＯで入力した値のｂ
ｉｔｏを判別する。ｂｉｔｏは、カウンタＣ１のＱ７出
力で、最初のリセット直後はいまだＯであるからＩＮＩ
にプログラムはもどる。

プログラムは、このループをくり返している間、振動波
モータが回転し、ブラシ１３と電極１２の接触がしない
位置になると、即ちスイッチ１１が開の状態になると、
フリップフロップＤＦＩ〜ＤＦ３の遅延時間後／ヘツフ
ァＢＦのＹ１出力はＨになるので、プロゲラ１、はルー
プから抜は出し、ＩＮ２に進む。

ＩＮ２では、再びアドレスＯのポート入力を行い（Ｉ　
ＮＰＵＴ　　ＡＤＯ）、ｂｉｔＯの判別を行う。この分
岐命令及びＶＡＴの分岐命令は振動波モータが停止ある
いは非常に低速度になっている状態を検出するものであ
り、カウンタＣ１が最上位ビットＱ７までカウントする
と、Ｑ７端子がＨになる為、ｂｉｔｏが１と検出されプ
ログラムはＮＸ”ｌｌこジャンプする。すなわちこの命
令は低速を検出して、モータを最高速度に制御するまで
の時間の無駄を省くことにある。

次にＩＮ２で入力したデータのｂｉｔ　ｌを検出する。

すなわち、ブラシ１３は電極１２の次の接点と接触する
まで再びＩＮ２までのループを繰り返す、ｂｉｔｌはＯ
になると、ＩＮ３にプログラムは進行し、アドレス１の
ポート入力を行う。

（Ｉ　ＮＰＵＴ　　ＡＤ　１）。ここでは、フリップフ
ロップＤＦ４の出力を読み込む。

前述した様にフリップフロップＤＦ４は、カウンタＣ１
の出力をＱ３〜Ｑ６をブラシ１３の信号が変化した直後
にラッチするので、スイッチ１１が開状態の時間に対応
する値をＣＰＵに入力させることができる。

ＩＮ３で入力した値（ＤＡＴＡ）とレジスタＲＧ１の値
を比較する。当初ＲＧ１＝１５であるから、ＤＡＴＡが
１５より小さいはずであり、プログラムはＭＮに進行す
る。ここではＤＡＴＡをレジスタＲＧＩストアしくＤＡ
ＴＡ−ＲＧ　１）、に値をレジスタＲＧ２にストアする
（Ｋ→ＲＧ２）。

プログラムはＮＸＴに進み、Ｋ値をインクリメントする
（Ｋ＋Ｉ−Ｋ）。もし、ＤＡＴＡがレジスタＲＧＩの内
容より大きいか等しくなったときは、レジスタＲＧ　ｌ
　＠ＲＧ２の内容はそのままでプログラムはＮＸＴに進
む。

次にに値が５であるかどうかを判別する。今には１にな
っているので、再びプログラムはＦＳＴに戻る。Ｋを１
、即ち抵抗Ｒ１を新に選択して、同様のプログラムを進
行させる。

このようにして、振動波モータを回転させつつ抵抗ＲＯ
〜Ｒ４を逐次選択し、印加電圧の周波数ヲ少シツつ減少
させてゆく。

変数Ｋか５になると、レジスタＲＧＩには振動波モータ
が、最高速度になったときの速度に対応したカウント（
ａが、レジスタＲＧ２にはそのときのに値が夫々記憶さ
れている。

従ってに＝５の分岐命令でＦＮＳへプログラムは進行し
、レジスタＲＧ２の値を出力することによって、抵抗Ｒ
Ｏ−Ｐ４のうちから、振動波モータが最高速度になるよ
うな抵抗を選択して、クロックゼネレータＣＧ２の出力
ＣＬＫを制御してプログラムは終了する。

制御された出力ＣＬＫによって、分周器ＤＩ・Ｄ２が動
作する。分周器Ｄｉの出力ＡＣＬＫ、分周器Ｄ２の出力
ＢＣＬＫに従った周波゛電圧が夫々ドライ／久回路ＤＲ
Ｉ＠ＤＲ２に、よって電歪素子３Ａ・３Ｂに印加される
。

このときの周波電圧の周波数は振動体の形状・大きさに
対し最適の共振状態となるように制御され、モータの速
度は最高となり駆動効率は極めて高いものとなる。

この制御はモータの駆動開始時に行われるため、駆動の
都度使用条件が変わる場合であっても常に最適の状態で
制御されることになる。また、製造時に周波数の微調整
をする必要がなくなり製造工程の短縮が図れることにな
る。また、駆動速度が低速又は停止状態のときは、すみ
やかに周波数を変動させるため、最高速度を出力するま
でに短面間で済むという利点がある。

上記実施例ではモータの速度信号の出力手段として、回
転クシ歯スイッチのものを例示したが光学パターンと受
光素子を用いた光電変模式のもの、磁性・体パターンと
ホール素子とを用いた磁電変換式のものによって速度信
号を出すこともできる。

速度測定はカウンタを使用して行ったが、ブラシからの
信号をそのままマイクロコンピュータに入力し、プログ
ラムにおいてソフト的に時間演算を行うことも可能で、
速度測定はハード的なカウンタに限定されるものではな
い。

また、」二記の分周器の出力波形は第６図に示すような
方形波ＡＣＬＫ−ＢＣＬＫに限らず、正弦波を加えても
振動波モータは作動する。

第８図は振動波モータをカメラのオートフォーカスレン
ズの駆動に使用した場合の応用例を示すものでありオー
トフォーカス回路１０１は特開昭５５−１５５３３７号
公報に記載された公知のものであるから説明を省略する
。

この回路は第５図に示した回路にオートフォーカス回路
１０１と選択ゲートＧ１ｏとＧｌｌを付加したものであ
る。

合焦時にはコンパレータ５９．６ｏのいずれの出力もＬ
レベルであり、非合焦時には、どちらかのコンパレータ
の出力がＨレベルになるので、その出力が、アンドケー
）Ｇ１２−Ｇ１３とオアゲ−ｌ−Ｇ　１４からなる選択
ゲートＧ１ｏ、又はアンドゲートＧ１５争Ｇ１６とオア
ゲートＧ１７からなる選択ゲー）Ｇｌｌに入力されて、
振動波モータＭは、正転あるいは逆転する。オアゲー）
Ｇ１８の出力ＳＴはモータ駆動時にＨになり、この信号
はマイクロコンピュータＣＰＵの５ＴＯＰ端子に入力さ
れる。５ＴＯＰ端子がＬレベルであると、ＣＰＵはプロ
グラム進行をせずにホールト状態となるため、プログラ
ムが進行するのは電源投入後最初のモータ駆動時となる
。

尚振動波モータを使用する応用例はこのようなオートフ
ォーカスに限られるものではなく、例えばカメラにおい
ては、絞り制御やフィルム駆動等に応用されるものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は振動波モータの分解斜視図、第２図は電歪素子
の実施例の平面図、第３図・・第４図は振動波モータの
駆動原理説明図、第５図は振動波モータの駆動制御回路
図、第６図は分周器の出力波形を説明する図、第７図は
本発明の各ステップ′を説明するフローチャート図、第
８図は実施例の制御回路の動作手順を示すフローチャー
ト図、第９図は振動波モータをカメラのオートフォーカ
ス機構に応用した場合の制御回路図である。 ■は移動体、２は振動体、３は電歪素子、１１はクシ歯
スイッチ、ＣＧＩ・ＣＧ２はクロックゼネレータ、ＣＰ
Ｕは“マイクロコンピュータ、（イ）〜（チ）は本発明
の方法の各ステップである。第８図第９図０７Ｑ；ｌ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）振動体を接触させた電歪素子に周波電圧を印加し
て、該振動体に生ずる進行性振動波によって、該振動体
と接触させた移動体を駆動させる振動波モータの印加周
波電圧を、初期設定した又は変動させて設定した各周波数での移動
体の速度が低速乃至停止状態を検出した場合はただちに
設定周波数を変動させ、検出しなかった場合は速度を算
出し、各９出速度を比較し、より高速になる周波数値だ
けを記憶してから、周波数を変動させ、周波数変動Ｏｆ
能な範囲について変動させた後、記憶されている周波数
に、制御することを特徴とする振動波モータのｆｌｊ制
御力法。