JPS59178982A - 振動波モ−タの制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電歪素子を駆動媒体として進行性振動、１ 波によって駆動する振動波モータの駆動枠率の向−１−
を図るために、進行性振動波の周波数纂制御する方法に
関する。

振動波モータは例えば特開昭５２−２９１９２号公報に
も開示されているように、電歪素子に交流、脈流等の周
波電圧を印加したときに生ずる振動運動を回転運動又は
−次元運動に変換するものである。従来の電磁子−タに
比べて巻線を必要としないため、構造が簡単で小型にな
り、低速回転時にも高トルクが得られると共に慣性モー
メントが少ないと、いう利点があるため、最近注目ｙれ
ている。

ところが、従来知られている振動波モータは振動運動を
回転運動等に変換するにあたり、振動体に生じた定在振
動波で、振動体と接触するロータ等の移動体を一方向に
摩擦駆動するもので、振動の往運動時には振動体と移動
体が歴擦接触し、復運動時には離れるようになっている
。そのため振動体と移動体は微小範囲で接触する構造、
即ち点もしくは線接触に近い構造でなければならず、い
きおい摩擦駆動効率の惑いものとなってしまう。

また駆動力は一定方向に働くものであるから移動体の移
動方向は一方向のみである。逆方向に移動させるために
は、別な振動体で振動方向を機械的に切り換える必要か
ある。従って、正逆回転か可能な振動波モータを得るに
は装置６が複雑になり、振動波モータの特徴である構造
の簡単さ、小型さか半減されてしまう。

−１−記のような振動波モータの持つ欠点を解消する振
動波モータの構造が、本出願人の出願に係る特願昭５７
−２０８３００、同２１９５３２等の明細書に開示され
ている。

その概略は以下のようなものである。

第１図は振動波モータを各要素別に分解したものを示し
ている。

ヘースとなる固定体５の中心円筒部５ａに振動吸収体４
、吸収体４側に電歪素子３を接着した金属の環状振動体
２、移動体１の順に嵌め込まれており、固定体５・吸収
体４・振動体２は各々相互に回転しないように取付けら
れている。振動体２に対し移動体１は自重又は図示しな
い伺勢手段で圧接されモータの一体性を保っている。複
数の電歪素子３は−・群の゛電歪素子３Ａ、〜３Ａ７か
振動波の波長入の２分の１のピッチで配列され、電歪素
子３Ａｌ　・３Ａ３・３ＡＳ・３Ａ、の分極方向は同一
で、その間に位置する電歪素子３Ａ２　・３Ａ４・３Ａ
６の分極方向は逆である。従って電歪素子３Ａ、〜３Ａ
７は隣り合う位置のものどうしの分極方向は逆向きにし
である。別な群の電歪素子３Ｂ、〜３Ｂ７も同しく入／
２ピツチで配列されていて、隣り合う位置のものどうし
の分極方向は逆向きにしである。

電歪素子３Ａ、〜３Ａ７と３Ｂ、〜３Ｂ７の相互ピッチ
は（ｎｏ＋ｌ／４）入（但しｎｏ＝Ｏ１１，２，３・・
拳）ずれた位相差的配列がなされる。

なお電歪素子３は複数並べず、第２図に示すように環状
の単体の素子３にし、それを前記ピッチに分極処理し分
極処理部３ａｌ〜３ａ５と３ｂ。

〜３ｂ５にしても良い。

電歪素子３Ａ、〜３Ａ７の各々には吸収体４側にリート
線１１ａが接続され電歪素子３Ｂ、〜３Ｂ７の各々には
リード線ｔｉｂが接続され、その各々は電源６ａと９０
０位相器６ｂに接続される（第３図参照）。また金属の
振動体２にはリード線ｌｉｅが接続され交流型＠６ａと
接続される。

このように構成された振動波モータの動作は次のような
ものである。

第３図は上記モータの振動波の発生状態を示している。

金属の振動体２に接着された電歪素子３Ａ１〜３Ａ４及
び３Ｂ、〜３Ｂ４は、説明の便宜」二、隣接して現わさ
れているが、上記の入／４の位相ずれの条件を満足して
いるため、第１図に示すモータの電歪素子３Ａ、〜３Ａ
、及び３Ｂ、〜３Ｂ４の配列と実質的に等価なものであ
る。各電歪素子３Ａ、〜３Ａ、及び３Ｂ、〜３Ｂ４中の
Ｏは交流電圧が正側の周期であるとき伸び、Ｏは同じく
正側の周期で縮む状態になることを示している。

金属振動体２を電歪素子３Ａ、〜３Ａ４及び３Ｂ１〜Ｂ
４の一方の電極にし、電歪素子３Ａ、〜３Ａ４には交流
電源６ａがらｖ＝ＶＯ５ｌｎωｔの交１イシ電圧を印加
し、電歪素子３Ｂ、〜３Ｂ４には交流電源６ａから９０
０位相器６ｂを通して、入／４位相のずれた、Ｖ＝ＶＯ
ｓｉｎ　（ωｔ±π／２）の交流電圧を印加する。式中
の十又−は移動体１（本図に於て省略）を動かす方向に
よって位相器６ｂで切り換えられるもので、＋側に切り
換えると＋９０°位相がずれ正方向に動き、−側に切り
換えると一９０°位相がずれ逆方向に動く。いま−側に
切り換えてあり電歪素子３Ｂ、〜３Ｂ４にはＶ＝ＶＯｓ
ｉｎ（ωｔ−π／２）の電圧が印加されるとする。電歪
素子３Ａ、〜３Ａ４だけが電圧Ｖ＝ＶＯｓｉｎωｔによ
り振動した場合は同図（ａ）に示すような定在波による
振動が起り、電歪素子３Ｂ、〜３Ｂ４だけが電圧Ｖ＝Ｖ
（，５ｉｎ（ωｔ−π／２）により振動した場合は（ｂ
）に示すような定在波による振動が起る。１−記位相の
ずれた二つの交流を同時に各々の電歪素子３Ａ、〜３Ａ
４と３Ｂ、〜３Ｂ４に印加すると振動波は進行性になる
。（イ）は時間ｔ＝２ｎπ／ω、（ロ）はｔ−π／２ω
＋２ｎπ／ω、（ハ）はｔ＝π／ω＋２ｎπ／ω、（ニ
）はｔ＝３π／２ω＋２ｎπ／ωのときのもので、振動
波の波面はＸ方向に進行する。

このような進行性の振動波は縦波と横波を伴なっており
、第４図に示すように振動体２の質点Ａについて着目す
ると、縦振幅Ｕと横振幅Ｗで反時計方向の回転楕円運動
をしている。振動体２の表面には移動体ｌが加圧接触し
ており振動面の頂点にだけ接触することになるから、頂
点に於ける質点Ａ　−Ａ’・・・の楕円運動の縦振幅Ｕ
の成分に駆動され、移動体１は矢示Ｎ方向に移動する。

移動体１の摩擦駆動は振動体２の進行性振動波の波面の
頂点でなされるものであるから、頂点方向（第４図Ｚ軸
方向）の波面が共振していることが駆動効率を向」−さ
せるために必要である。入力’ｉｌｊ圧の周波数ｆ（＝
２πω）とし振動体２のヤング率Ｅ−畜度ｐ・厚さｈと
してこれによってつくられる波の波長入とすると、ｆ−
Ｅ７”ｚア・πｈ／入２なる関係がありこの関係を満足
する板厚りでノ（振する二とになる。

また振動体２は環状であるため、進行性振動波は環に沿
って進行し、新たに起る波と周長πＤが波長入の０倍（
ｎは自然数）即ちｎ入−πＤのとき共振する。

このような振動波モータの駆動効率を良くするためには
振動体の板厚や環径等諸々の条件を加味して印加周波電
圧の周波数を制御する必要がある。

しかしながら、−・度調整してもモータＩＥ１体の温度
変化や発振回路の温度変化により、共振周波数がすれて
きたり、モータの経時的な疲労例えば振動体の芹耗等で
共振周波数が異なって来る場合がある。

また製造工程では、周波数の調整工程が加わることによ
りコスト的にも問題がある。

一方、周波数の調整は振動波モータの回転速度が最も速
くなるとき、最適な共振周波数として制御することが女
子ましい。

最適な共振状５ｕ、を選択するまでにある程度の時間が
かかるため、電源の投入をしてから振動波モータが最初
に回転駆動したときただちに共振状ｙｌ：の選択動作に
入る必要がある。１回の電源投入で、断続的に何回もモ
ータが回転する際、その都度共振状の選択動作をする必
要はない。

本発明は、−に記のような事実に鑑みなされたもので、
振動体２を接触させた電歪素子３に周波電圧を印加して
該振動体２に生ずる進行性振動波によって、該振動体２
と接触させた移動体ｌを駆動させる振動波モータの回路
電源投入後（イ）、最初のモータ駆動開始時に（ロ）、
印加周波電圧を、順次周波数変動させ（ハ）、その変動
させた各周波数での該移動体の駆動速度を計測しく二）
、その計測値を順次比較演算しくホ）、該Ａ１測値が最
大となる周波数を記憶しくへ）、その記憶された周波数
に制御することを特徴とする振動波モータの制御方法で
ある。

第７図は本発明の方法の各ステップ（イ）〜（へ）ラフ
ローチャートにして示したものである。

先ず（イ）で振動波モータの回路電源が投入される。（
ロ）はモータの最初の駆動開始で、（ハ）は周波数を変
動させるステップである。駆動開始当初は予め設定され
た周波数で駆動させる。（ニ）でその周波数に於ける速
度を計測する。（ホ）では計測した速度と周波数を変動
させる前の速度を順次比較する。計′Ａ１１ｌ　Ｌだ速
度が速ければ（へ）でその周波数を記憶してからステッ
プ（ｉ・）に進み、旧測した速度が遅ければそのままで
次のステップ（ト）に進む。（ト）では周波数の変動範
囲の変動を終了したかを判断する。終ｒしていなければ
（ハ）で周波数を変動させてゆく。このループを繰り返
してゆくうちに（へ）で記憶される周波数は、速度が早
くなったときだけ更新されることになる。（ト）で変動
範囲が終了したと判断されるとステップ（チ）に進み、
（チ）で出力される周波数は常に高速の周波数が出力さ
れる。

この制御方法を実施する装置の回路例が第５図に示しで
ある。

・　同図で、ＣＰＵはマイクロコンピュータ、ＤＦｌ−
ＤＦ３はＤタイプのフリップフロップ回路、ＤＦ４はＤ
タイプのフリンジフロップ４個からなり出力制御可能な
回路、ＤＦ５はＤタイプのフリップフロップ３個からな
る回路、ＢＦはトライステートバッファ、Ｃ１はカウン
タ、ＣＧＩはクロックゼネレータ、Ｇ１−Ｇ２はナンド
ゲ−１・、Ｇ３・０４はエクスクル−シブオアゲート、
Ｇ５はオアゲート、Ｉｆ−’Ｉ８はインバータ、Ｄｉ・
Ｄ２は分周器、ＡＳはアナログマルチプレクサ、ＲＯ−
Ｒ１４は抵抗、ＣＡＰＩ＠ＣＡＰ２はコンデンサ、Ｔｒ
ｉ−Ｔｒ８はトランジスタである。３Ａ・３Ｂは電歪素
子で、振動波モータに夫々複数設置されたもののうち（
第１図の３Ａ、〜３Ａ７・３Ｂ、〜３Ｂ、、）、一つづ
つを示しである。１１は回転クシ南スイッチでロータ（
移動体）■に設けられたクシ歯電極１２にブラシ電極１
３が接触しロータｌの回転に従い開閉する構造である。

イア／＜−夕ｌ３ｅＩ４、コンデンサＣＡＰＩ、その値
が順次大きくなる抵抗ＲＯ−Ｒ４はクロックゼネレータ
ＣＧ２を形成する。アナログマルチプレクサＡｓはＡＯ
−Ａ２のデジタル入力によりＸｏ−Ｘ４のいずれかを選
択しＸ端子との導通を行う。従ってデジタル信号により
抵抗ＲＯ〜Ｒ４が選択され、クロックゼネレータＣＧ２
の出力ＣＬＫは、異った周波数での発振出力となる。分
周器Ｄ１１ＩＤ２はクッロク出力ＣＬＫの立上がりによ
り夫々１段の分周を行う。分周器Ｄ２かインバータＩ５
を介しているため、分周器Ｄ１とＤ２の出力は夫々第６
図で示す位相のずれたＡＣＬＫとＢＣＬＫの波形出力に
なる。

この波形の出力が夫々トライ八回路ＤＲＩ・ＤＲ２に入
力する。トライバ回路ＤＲＩは出力波形ＡＣＬＫによっ
て動作するプッシュプル回路からなり、電歪素子３Ａに
周波電圧を印加する。ドライバ回路ＤＲ２は出力波形Ｂ
ＣＬＫによって、同様に電歪素子３Ｂに１／４波長位相
のずれた周波電圧を印加する。

フリップフロラ７’ＤＦｌ・ＤＦ２−ＤＦ３はシフトレ
ジスタとして作用し、それらのクロック入力ＣＰはクロ
ックゼネレータＣＧＩと接続されブラシ１３からの信号
をクロックの立上がりで１１「１次シフトさせる。カウ
ンタＣ１はクロックゼネレータＣＧＩかものクロックを
カウントする。

フリップフロップＤＦ４の出力はトライステートとなっ
ていて、端子ＯＥのＬ人カで端子ＱＯ〜Ｑ３に出力信号
が発生する。

フリップフロップＤＦ２の入力と出方に接続されている
イクスクルーシブオアゲー）Ｇ４の出方の立上がりでフ
リップフロップＤＦ４の入力り。

〜Ｄ３はランチされ、フリップフロップＤＦ３の入力と
出力に接続されているイクスクルーシブオアゲ−１・Ｇ
３の出力がＨになると、オアゲートＧ５を介してカウン
タｃ１はリセットされる。

つまりこの動作は、ブラシ１３がらの開閉信号が変化す
ると、その直後にカウンタＣｔの内容のうちＱ３〜Ｑ６
の出力がフリップフロップＤＦ４にラッチされ、その直
後にカウンタＣ１がリセットされ、次にリセットが解除
され、カウンタＣ１は再びカウントを開始する。この動
作は、ブラシ１３からの信号が変化する毎に行われる。

フリップフロップＤＦ３の出力Ｑ及びカウンタＣ１の最
上位ビット出力Ｑ７はトライステートバッファＢＦの入
力ｘ１、ｘｏに加えられ、バッファＢＦはＯＥのＬ入力
でＹｌ、ＹＯに出力する。フリップフロップＤＦ４、バ
ッファＢＦの出力はマイクロコンピュータ−ＣＰＵのデ
ータバスラインＤＢＯ−ＤＢ３に接続される。ＣＰＵが
外部入力からデータを読む際に出力されるリード信号Ｒ
ＤがＬになり、アドレス信号ＡＯがＬの場合はナントゲ
ートＧ２の出力がＬになり、バッファＢＦのＯＥにＬ信
号が入力する。アドレス信号ＡＯがＨの場合は、ナンド
ゲー）Ｇｌの出力がＬになりフリップフロップＤＦ４の
端子ＯＥに入力し、出力ＱＯ−Ｑ３の信号がＣＰＵに読
み込まれる。

ＣＰＵが、外部に出力をするときは、ライト信号ＷＲが
Ｌになるので、フリップフロップＤＦ５は、ＣＰＵのデ
ータ／ヘス信号をラッチする。フリップフロップＤＦ５
の出力はアナログマルチプレクサＡＳに入力し、抵抗Ｒ
’Ｏ−Ｒ４のうち一つを選択する。

なお、ＷＲ倍信号インバータ１６、オアゲートＧ５を介
して、カウンタＣ１をリセットする。またＲｅ端子には
コンデンサＣＡＰ２と抵抗Ｒ６からなる積分回路が接続
され電源投入時にＣＰＵをリセ・ン卜する。

以」二の回路動作手順の実施例を、第８図のプログラム
フローチャートを参照して、説明する。

電源を投入するとマイクロコンピュータＣＰＵのリセッ
トが力）かりプログラムカウンタはＯになるため、プロ
グラムはフローチャートのＬからスタートする。

まず、変数ＫをＯに初期設定し、レジスタＲＧ１の内容
を４ビツトでの最大値１５に設定する（Ｋ＝０、ＲＧｌ
＝１５）。なおこのレジスタＲＧｌの値は大きいほど速
度が遅いことになる。

このＫの値をデータバスに出力する（ＯＵＴＫ）。今に
＝ＯであるからクリップフロップＤＦ５の値は０となり
、アナログマルチプレクサＡｓによって抵抗ＲＯが選択
される。抵抗ＲＯの値は抵抗ＲＯ−Ｒ４のうち最も小さ
いため、出力波ＣＬＫは最大周波数となる。

このとき、ＣＰＵのライト信号ＷＲはインハータエ６と
オアゲートＧ５を通ってカウンタＣ１をリセントする。

次に、アドレス０のポート入力をする（ＩＮＦＵＴ　　
ＡＤＯ）。このときＣＰＵの出力ＡＯはＬとなっている
ので、バンファＢＦの出力がデータバスを介し、てＣＰ
Ｕに入力される。次にそのデータのｂｉｔｌが０か１か
の判別をする。つまりフリンプフロップＤＦ３のＱ出力
の判別であり、ｂｉｔｌがＯのとき、即ちブラシ１３か
電極１２と接しているどきはプログラムはＷＡＴに進行
する。次に前にＩＮＰＵＴ　　ＡＤＯで入力した値のｂ
ｉｔＯを判別する。ｂｉｔｏは、カウンタｃ１のＱ７出
力で、最初のリセット直後はいまだ０であるからＩＮＩ
にプログラムはもどる。

プログラムは、このループをくり返している間、振動波
モータが回転し、ブラシ１３と電極１２の接触がしない
位置になると、即ちスイッチ１１か開の状態になると、
フリップフロ、プＤＦＩ〜ＤＦ３の遅延時間後バッファ
ＢＦのＹｌ出力はＨになるので、プログラムはループか
ら抜は出し、ＩＮ２に進む。

ＩＮ２では、再びアドレス０のポート入力を行い（ＩＮ
Ｆ’ＵＴ　　ＡＤＯ）、ｂｉｔＯの判別を行う。この分
岐命令及びＷＡＴの分岐命令は振動波モータが停止ある
いは非常に低速度になっている状！Ｅを検出するもので
あり、カウンタＣ１が最旧位ビットＱ７までカウントす
ると、Ｑ７端子がＨになる為、ｂｉｔｏが１と検出され
プログラムはＮＸＴにジャンプする。すなわちこの命令
は低速を検出して、モータを最高速度に制御するまでの
時間の無駄を省くことにある。

次にＩＮ２で入力したデータのｂｉｔｌを検出する。す
なわち、ブラシ１３は電極１２の次の接点と接触するま
で再びＩＮ２までのループを繰り返す。ｂｉｔｌはＯに
なると、ＩＮ３にプログラムは進行し、アドレス１のポ
ート入力力を行う。

（ＩＮＰＵＴ　　ＡＤＩ）、ここでは、スリップフロン
プＤＦ４の出力を読み込む。

前述した様１こフリンプフロップＤＦ４は、カウンタＣ
１の出力をＱ３〜Ｑ６をブラシ１３の信号が変化した直
後にラッチするので、スイッチ１１が開状態の時間に対
応する値をＣＰＵに人力させることができる。

ＩＮ３で入力した値（Ｄ　Ａ　Ｔ　Ａ）とレジスタＲＧ
ｌの値を比較する。当初ＲＧ１＝１５であるから、ＤＡ
ＴＡが１５より小さいはずであり、プログラムはＭＮに
進行する。ここではＤＡＴＡをレジスタＲＧＩストアし
くＤＡＴＡ　＋ＲＧ　ｌ）　、Ｋ値をレジスタＲＧ２に
ストアする（Ｋ−＋Ｒ，Ｇ２）。

プログラムはＮＸＴに進み、Ｋ値をインクリメントする
（Ｋ＋Ｉ＋Ｋ）。もし、ＤＡＴＡがレジスタＲＧＩの内
容より大きいか等しくなったときは、レジスタＲＧＩ・
ＲＧ２の内容はそのままでプログラムはＮＸＴに進む。

次にに値が５であるかどうかを判別する。今にはｌにな
っているので、再びプログラムはＦＳＴに戻る。Ｋを１
、即ち抵抗Ｒ１を新に選択して、同様のプログラムを進
行させる。

このようにして、振動波モータを回転させつつ抵抗ＲＯ
〜Ｒ４を逐次選択し、印加電圧の周波数を少しづつ減少
させてゆく。

変数Ｋが５になると、レジスタＲＧＩには振動波モータ
が、最高速度になったときの速度に対応したカウント値
が、レジスタＲＧ２にはそのときのに値が夫々記憶され
ている。

従ってに＝５の分岐命令でＦＮＳヘプログラムは進行し
、レジスタＲＧ２の値を出力することによって、抵抗Ｒ
Ｏ−Ｒ４のうちから、振動波モータが最高速度になるよ
うな抵抗を選択して、クロックゼネレータＣＧ２の出力
ＣＬＫを制御してプログラムは終了する。

制御された出力ＣＬＫによって、分周器Ｄ１・Ｄ２が動
作する。分周器Ｄ１の出力ＡＣＬＫ、分周器Ｄ２の出力
ＢＣＬＫに従った周波電圧が夫々ドライバ回路ＤＲＩ・
ＤＲ２によって電歪素子３Ａ・３Ｂに印加される。

このときの周波電圧の周波数は振動体の形状・大きさに
対し最適の共振状態となるように制御され、モータの速
度は最高となり駆動効率は極めて高いものとなる。

この制御は回路電源投入後最初のモータの駆動開始して
ただちに行なわれるため、使用の都度条件が変わる場合
であっても富に最適の状態で制御され、しかも必要以上
に共振状！魚の選択動作をする無駄がない。

製造時に周波数の微調整をする必要がなくなり製造工程
の短縮が図れることになる。

」１記実施例ではモータの速度信号の出力手段として、
回転クシ歯スインチのものを例示したが光学パターンと
受光素子を用いた光電変換式のもの、磁性体パターンと
ホール素子とを用いた磁電変換式のものによって速度信
号を出すこともできる。

速度測定はカウンタを使用して行ったが、ブラシからの
信号をそのままマイクロコンピュータに入力し、プログ
ラムにおいてソフト的に時間演算を行うことも可能で、
速度測定はハード的なカウンタに限定されるものではな
い。

また、上記の分周器の出力波形は第６図に示すような方
形波ＡＣＬＫ・ＢＣＬＫに限らず、正弦波を加えても振
動波モータは作動する。

第８図は振動波モータをカメラのオートフォーカスレン
ズの駆動に使用した場合の応用例を示すものでありオー
トフォーカス回路１０１は特開昭５５−１５５３３７号
公報に記載された公知のものであるから説明を省略する
。

この回路は第５図に示した回路にオートフォーカス回路
１０１と選択ゲー１−　ｃ　ｉ　ｏとＧｌｌを付加した
ものである。

合焦時には、コンパレータ５９．６０のいずれの出力も
Ｌレベルであり、非合焦時には、どちらかのコンパレー
クの出力がＨレベルになるので、その出力が、アンドケ
ーｈＧ１２・Ｇ１３とオアゲートＧ１４からなる選択ゲ
ー１−　Ｇ　１．　Ｏｌ又はアントゲートＧ１５・Ｇ１
６とオアゲートＧ１７からなる選択ゲートＧｌｌに入力
されて、振動波モータＭは、ＩＦ転あるいは逆転する。

オアゲー１−　Ｇ１８の出力ＳＴはモータ駆動時にＨに
なり、この信号はマイクロコンピュータＣＰＵの５ＴＯ
Ｐ端子に入力される。５ＴＯＰ端子がＬレベルであると
、ＣＰＵはプログラム進行をせずにホールト状態となる
ため、プログラムが進行するのは電源投入後最初のモー
タ駆動時となる。

尚振動波モータを使用する応用例はこのようなオートフ
ォーカスに限られるものではなく、例えばカメラにおい
ては、絞り制御やフィルム駆動等に応用されるものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は振動波モータの分解斜視図、第２図は電歪素子
の実施例の平面図、第３図・第４図は振動波モータの駆
動原理説明図、第５図は振動波モータの駆動制御回路図
、第６図は分周器の出力波形を説明する図、第７図は本
発明の各ステップを説明するフローチャート図、第８図
は実施例の制御回路の動作順を示すフローチャー１・図
、第９１４は振動波モータをカメラのオートフォーカス
機構に応用した場合の制御回路図である。 ■は移動体、２は振動体、３は電歪素子、１１はクシ南
スイッチ、ＣＧＩ・ＣＧ２はクロックゼネレータ、ＣＰ
Ｕはマイクロコンピュータ、（イ）〜（へ）は本発明の
方法の各ステップである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）振動体を接触させた電歪素子に周波電圧を印加し
   て、該振動体に生ずる進行性振動波にょって、該振動体
   と接触させた移動体を駆動させる振動波モータの回路電
   源投入後、最初のモータ駆動開始時に、印加周波電圧を
   、 順次周波数変動させ、その変動させた各周波数での該移
   動体の駆動速度を計測し、その計測を順次比較演算し、
   該計測値が最大となる周波数を記憶し、その記憶されて
   いる周波数に、 制御することを特徴とする振動波モータの制御方法。