JPS5918573B2 - エアベアリング用エアパツド - Google Patents
エアベアリング用エアパツドInfo
- Publication number
- JPS5918573B2 JPS5918573B2 JP7528380A JP7528380A JPS5918573B2 JP S5918573 B2 JPS5918573 B2 JP S5918573B2 JP 7528380 A JP7528380 A JP 7528380A JP 7528380 A JP7528380 A JP 7528380A JP S5918573 B2 JPS5918573 B2 JP S5918573B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- groove
- air supply
- pockets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はエアベアリングに係り、特にスラスト型のエア
ベアリング用エアパッドに関する。
ベアリング用エアパッドに関する。
従来、スラスト型のエアベアリングに用いられるエアパ
ッドは、パッドの中央に給気孔を設け、この給気孔から
パッド下面に設けられたポケットにエアを供給するか、
あるいは、パッドの中心を中心とした仮想円上に複数個
の給気孔を設け、これらの給気孔からそれぞれエアを噴
出するかしている。しかし、前者にあつては、給気孔が
パッド中央に設けられているため、給気横穴の加工寸法
が必５ 熱的に長〈なわ、加工が難かしく、特に大形の
エアパッドを製作する際には、穴径が小さいにもかかわ
らず深さが非常に深くなるため、まつすぐな錐穴をあけ
るのが一層困難であるという欠点がある。
ッドは、パッドの中央に給気孔を設け、この給気孔から
パッド下面に設けられたポケットにエアを供給するか、
あるいは、パッドの中心を中心とした仮想円上に複数個
の給気孔を設け、これらの給気孔からそれぞれエアを噴
出するかしている。しかし、前者にあつては、給気孔が
パッド中央に設けられているため、給気横穴の加工寸法
が必５ 熱的に長〈なわ、加工が難かしく、特に大形の
エアパッドを製作する際には、穴径が小さいにもかかわ
らず深さが非常に深くなるため、まつすぐな錐穴をあけ
るのが一層困難であるという欠点がある。
一方、後者にあつては、複数の給気孔の孔径１０を同一
にする必要性から、給気孔の部分は別部材で構成し、こ
の別部材をパッド本体に圧入固定している。このため、
給気孔を有する部材の圧入方向がパッド本体の下面に対
して必ずしも直交させ得ず、傾きを生じてしまうため、
エアパッドの浮１５上わ時傾斜してしまうという欠点が
ある。本発明の目的は、加工が簡単で、かつ、浮揚姿勢
も良好なエアベアリング用エアパッドを提供するにある
。本発明は、エアパッド本体の中心位置から所定２０距
離離れた位置に給気孔を設けることにより、給気横穴の
深さを浅くして加工を簡単にし、かつ、この給気孔とは
エアパッド本体の中心を挾んでほぼ反対側にポケットを
設け、このポケットと前記給気孔とをほぼ最短距離を通
る溝で連結すること２５により、空気膜内の圧力分布を
ほぼ均一にして浮揚姿勢を良好にし、前記目的を達成し
ようとするものである。
にする必要性から、給気孔の部分は別部材で構成し、こ
の別部材をパッド本体に圧入固定している。このため、
給気孔を有する部材の圧入方向がパッド本体の下面に対
して必ずしも直交させ得ず、傾きを生じてしまうため、
エアパッドの浮１５上わ時傾斜してしまうという欠点が
ある。本発明の目的は、加工が簡単で、かつ、浮揚姿勢
も良好なエアベアリング用エアパッドを提供するにある
。本発明は、エアパッド本体の中心位置から所定２０距
離離れた位置に給気孔を設けることにより、給気横穴の
深さを浅くして加工を簡単にし、かつ、この給気孔とは
エアパッド本体の中心を挾んでほぼ反対側にポケットを
設け、このポケットと前記給気孔とをほぼ最短距離を通
る溝で連結すること２５により、空気膜内の圧力分布を
ほぼ均一にして浮揚姿勢を良好にし、前記目的を達成し
ようとするものである。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
３０第１図には本実施例の底面図が示され第２図にはそ
の■−■線断面図が示されている。
の■−■線断面図が示されている。
これらの図において、円板状に形成さわたエアパッド本
体１の下面である軸受面には、エアパッド本体１の中心
Ｏから所定距離Ｒだけ離れた位置において五 下面と直
交する方向に給短Ｌ２が所定深さで穿設されている。こ
の給気孔２の内端は、エアパッド本体１の側面からあけ
られた給気横穴３に連通さιリ、れている。
体１の下面である軸受面には、エアパッド本体１の中心
Ｏから所定距離Ｒだけ離れた位置において五 下面と直
交する方向に給短Ｌ２が所定深さで穿設されている。こ
の給気孔２の内端は、エアパッド本体１の側面からあけ
られた給気横穴３に連通さιリ、れている。
この給気孔２の外端位置ＶＣ卦いて，エアパツド本体１
の下面から所定深さｄの円形ポケツト４が給気孔２と同
心状に設けられ、この円形ポケツト４の直径はＤ１とさ
れている。前記給気孔２Ｋ対し、エアパツド本体１の中
心Ｏを挟んで反対側に、すなわち、中心０から距離Ｒの
位置に直径Ｄ１、深さｄの円形ポケツト５が形成され、
この円形ポケツト５と、前記給気孔２に同心に設けられ
た円形ポケツト４とは最短距離を通る溝６により連結さ
れている。
の下面から所定深さｄの円形ポケツト４が給気孔２と同
心状に設けられ、この円形ポケツト４の直径はＤ１とさ
れている。前記給気孔２Ｋ対し、エアパツド本体１の中
心Ｏを挟んで反対側に、すなわち、中心０から距離Ｒの
位置に直径Ｄ１、深さｄの円形ポケツト５が形成され、
この円形ポケツト５と、前記給気孔２に同心に設けられ
た円形ポケツト４とは最短距離を通る溝６により連結さ
れている。
この溝６は、深さが円形ポケツト５と同じ深さｄとされ
、巾がＢ１とされている。前記両円形ポケツト４，５は
、溝６の両側に訃いて、エアバツド本体１の中心０を中
心としたそれぞれ半円状の対称形状に形成された溝形ポ
ケツト７，８を介して連結され、これらの溝形ポケツト
７，８の中間位置には、それぞれ円形ポケツト９，１０
が設けられている。
、巾がＢ１とされている。前記両円形ポケツト４，５は
、溝６の両側に訃いて、エアバツド本体１の中心０を中
心としたそれぞれ半円状の対称形状に形成された溝形ポ
ケツト７，８を介して連結され、これらの溝形ポケツト
７，８の中間位置には、それぞれ円形ポケツト９，１０
が設けられている。
これらの溝形ポケツト７，８は、内側直径がＤ２とされ
るとともに、巾がＢ２とされ、深さはｄとされている。
また、これらの溝形ポケツト７，９の中間位置にある円
形ポケツト９，１０の直径は、前記円形ポケツト４，５
と同一の直径Ｄ１とされ深さｄとさわている。な卦、第
２図中符号１１は、エアバツド本体１が対向され、所定
高さＨだけ浮揚する受部材を示し、定盤、角柱状ガイド
などから構成されている。
るとともに、巾がＢ２とされ、深さはｄとされている。
また、これらの溝形ポケツト７，９の中間位置にある円
形ポケツト９，１０の直径は、前記円形ポケツト４，５
と同一の直径Ｄ１とされ深さｄとさわている。な卦、第
２図中符号１１は、エアバツド本体１が対向され、所定
高さＨだけ浮揚する受部材を示し、定盤、角柱状ガイド
などから構成されている。
また、前記円形ポケツト４，５，９，１０、溝６及び溝
形ポケツト７，８は、エツチング加工によシ形成されて
いる。このように構成されたエアパツド本体１をエアベ
アリングとして使用するには．エアバツド本体１を、浮
揚して移動させようとする部材（図示せず）ＶＣ取付け
るとともに、給気横穴３に配管（図示せず）を介して圧
縮空気を供紬する。
形ポケツト７，８は、エツチング加工によシ形成されて
いる。このように構成されたエアパツド本体１をエアベ
アリングとして使用するには．エアバツド本体１を、浮
揚して移動させようとする部材（図示せず）ＶＣ取付け
るとともに、給気横穴３に配管（図示せず）を介して圧
縮空気を供紬する。
この圧縮空気は、給気孔２を通つて円形ポケツト４に供
給され、さらに溝６及び溝形ポケツト７，８ｆｆＣよつ
て他の円形ポケツト５，９，１０に供給されつつ受部材
１１ＶＣ向つて噴出され，エアパツド本体１及びこのエ
アパツド本体１が取付けられる部材を高さＨだけ浮揚さ
れる。この際、給気孔２を形成された円形ポケツト４内
の圧力は、万一溝６がないとすると、反対側の円形ポケ
ツト５へ溝形ポケツト７，８を介して供給されることと
なるが、この場合には溝形ポケツト７，８よシ空路抵抗
の小さい円形ポケツト９，１０が溝形ポケツトγ，８の
途中に形成されているため、反対側の円形ポケツト５の
圧力は円形ボケツト９，１０より小さくなつてしまう可
能性がある。しかし、本実施例では円形ポケツト４と５
とを溝６で直接接続しているため、円形ポケツト４内の
圧力が円形ポケツト５にほぼそのままの圧力で供給され
ることとなる。また、圧縮空気の供給時、エアパツド本
体１が取付けられる部材が浮揚する前は各円形ポケツト
４，５，９，１０、溝形ポケツト７，８及び溝６内の圧
力は等しく、浮陽した後には各ポケツト４，５，７，８
，９，１０及び溝６から圧縮空気が漏れるが、その浮揚
量はせいぜい１０〜２０μｍと小さく、一方、各ポケツ
ト４，５，７，８，９，１０、溝６の深さｄ及び直径Ｄ
１もしくは巾Ｂｌ，Ｂ２は０．１ｍもしくは？オーダー
であり、かつ、溝６の巾Ｂ１を溝形ポケツト７，８の巾
Ｂ２より広く形成するなど寸法を適宜に設定することに
より．円形ポケツト４内の圧力をほとんど低下させるこ
となく反対側の円形ポケツト４ＶＣ供給できる。さらに
、円形ポケツト４，５，９，１０及び溝形ポケツト７，
８からはそれらの内方に向つても空気が噴出されるため
、それらの外方よりも圧力が高くなつているため、溝６
からの圧縮空気の噴出は溝形ポケツト７，８等に比べて
少なくなり、抵抗の小さい円形ポケツト５に、より多く
流入して円形ポケツト５内の圧力を比較的高く保つこと
ができ、さらには、前記各ポケツト４，５，７，８，９
，１０からの空気ａ質出でそれらの内外が一種のエアカ
ーテンで仕切られた状態となつてそれらの内部での圧力
差が打消されるように空気が移動することとなも従つて
、これらの理由から前記円形ポケツト４，５，９，１０
及び溝形ポケツト７，８ＶＣ囲まれた内部の空気膜圧力
分布はほ′婁均一となり、エアパツド本体１を正しい姿
勢、すなわち、傾かせることなく浮揚させる。上述のよ
うな本実施例によれば、給気孔２を、エアパツド本体１
の中心０から所定距離Ｒだけ離れた外周に近い位置に形
成したから、従来の中心に設けたものに比べ、給気横穴
３の深さを著しく浅くでき、加工時間を低減できるとと
もに、ドリルの折損等に注意を払うことなく、高速で能
率よ〈加工することもでき、製作コストを著しく低減で
きる。
給され、さらに溝６及び溝形ポケツト７，８ｆｆＣよつ
て他の円形ポケツト５，９，１０に供給されつつ受部材
１１ＶＣ向つて噴出され，エアパツド本体１及びこのエ
アパツド本体１が取付けられる部材を高さＨだけ浮揚さ
れる。この際、給気孔２を形成された円形ポケツト４内
の圧力は、万一溝６がないとすると、反対側の円形ポケ
ツト５へ溝形ポケツト７，８を介して供給されることと
なるが、この場合には溝形ポケツト７，８よシ空路抵抗
の小さい円形ポケツト９，１０が溝形ポケツトγ，８の
途中に形成されているため、反対側の円形ポケツト５の
圧力は円形ボケツト９，１０より小さくなつてしまう可
能性がある。しかし、本実施例では円形ポケツト４と５
とを溝６で直接接続しているため、円形ポケツト４内の
圧力が円形ポケツト５にほぼそのままの圧力で供給され
ることとなる。また、圧縮空気の供給時、エアパツド本
体１が取付けられる部材が浮揚する前は各円形ポケツト
４，５，９，１０、溝形ポケツト７，８及び溝６内の圧
力は等しく、浮陽した後には各ポケツト４，５，７，８
，９，１０及び溝６から圧縮空気が漏れるが、その浮揚
量はせいぜい１０〜２０μｍと小さく、一方、各ポケツ
ト４，５，７，８，９，１０、溝６の深さｄ及び直径Ｄ
１もしくは巾Ｂｌ，Ｂ２は０．１ｍもしくは？オーダー
であり、かつ、溝６の巾Ｂ１を溝形ポケツト７，８の巾
Ｂ２より広く形成するなど寸法を適宜に設定することに
より．円形ポケツト４内の圧力をほとんど低下させるこ
となく反対側の円形ポケツト４ＶＣ供給できる。さらに
、円形ポケツト４，５，９，１０及び溝形ポケツト７，
８からはそれらの内方に向つても空気が噴出されるため
、それらの外方よりも圧力が高くなつているため、溝６
からの圧縮空気の噴出は溝形ポケツト７，８等に比べて
少なくなり、抵抗の小さい円形ポケツト５に、より多く
流入して円形ポケツト５内の圧力を比較的高く保つこと
ができ、さらには、前記各ポケツト４，５，７，８，９
，１０からの空気ａ質出でそれらの内外が一種のエアカ
ーテンで仕切られた状態となつてそれらの内部での圧力
差が打消されるように空気が移動することとなも従つて
、これらの理由から前記円形ポケツト４，５，９，１０
及び溝形ポケツト７，８ＶＣ囲まれた内部の空気膜圧力
分布はほ′婁均一となり、エアパツド本体１を正しい姿
勢、すなわち、傾かせることなく浮揚させる。上述のよ
うな本実施例によれば、給気孔２を、エアパツド本体１
の中心０から所定距離Ｒだけ離れた外周に近い位置に形
成したから、従来の中心に設けたものに比べ、給気横穴
３の深さを著しく浅くでき、加工時間を低減できるとと
もに、ドリルの折損等に注意を払うことなく、高速で能
率よ〈加工することもでき、製作コストを著しく低減で
きる。
また、給気横穴３が短かくなることから、直径２００―
程度の大形のエアパツドも容易に製作できるようになり
、大形部材の浮揚も可能にできる。さらに、給気孔２が
１つですむため、加工時間を少なくできるとともに、孔
径の管理が容易になり、この点からもコストの低減を図
れる。また、給気孔２の部分にある円形ポケツト４と反
対側の円形ポケツト５とを溝６で連結したから、エアパ
ツド本体１の下面の空気膜内の圧力分布を均一にでき、
浮揚姿勢を良好にできる。さらに、円形ポケツト４，５
，９，１０、溝６及び溝形ポケツト７，８をエツチング
により形成したから、従来のエンドミルなどの機械加工
では困難であつた比較的浅い凹みを均一な深さｄで形成
でき、従つてエアパツド本体１の下面に形成される空気
膜の厚さが薄く、均一になつて膜厚剛性が高くでき、荷
重の変動に対しても十分対応できる。また、エツチング
加工であるから、薄形ポケツト７，８等の形状が複雑な
ものでも加工でき、かつ硬質の材料の加工も容易にでき
る。さらに、円形ポケツト４，５，９，１０、溝６及び
薄形ポケツト７，８等は浅くされ、容積が小さいから、
ニユーマチツクハンマを起しにくく、従つてニユーマチ
ツクハンマ防止用のダンピングキヤビテイ等を形成する
必要がなく、コストを低減できる。な｝、実験によれば
、エアパツド本体１の直径を１４０Ｔ１ｍ程度とし、供
給空気圧力を４Ｋクｆ／Ｃｄとした場合で、各円形ポケ
ツト４，５，９，１０の直径Ｄ１を５．７ＴｍｒＬ、溝
６の巾Ｂ１を３」溝形ポケツト７，８の内径直径Ｄ２を
６２ｗｍ、巾Ｂ２を１．５ｍとしたとき、各円形ポケツ
ト等の深さｄを０．１５〜０．５ｍＶＣ変化させても溝
６があれば常に良好な浮揚姿勢を得ることができ、この
ときの浮揚量すなわち高さＨとしては１０〜２０μＭ，
傾きは両端での高さの差として１〜２μｍであつた。
程度の大形のエアパツドも容易に製作できるようになり
、大形部材の浮揚も可能にできる。さらに、給気孔２が
１つですむため、加工時間を少なくできるとともに、孔
径の管理が容易になり、この点からもコストの低減を図
れる。また、給気孔２の部分にある円形ポケツト４と反
対側の円形ポケツト５とを溝６で連結したから、エアパ
ツド本体１の下面の空気膜内の圧力分布を均一にでき、
浮揚姿勢を良好にできる。さらに、円形ポケツト４，５
，９，１０、溝６及び溝形ポケツト７，８をエツチング
により形成したから、従来のエンドミルなどの機械加工
では困難であつた比較的浅い凹みを均一な深さｄで形成
でき、従つてエアパツド本体１の下面に形成される空気
膜の厚さが薄く、均一になつて膜厚剛性が高くでき、荷
重の変動に対しても十分対応できる。また、エツチング
加工であるから、薄形ポケツト７，８等の形状が複雑な
ものでも加工でき、かつ硬質の材料の加工も容易にでき
る。さらに、円形ポケツト４，５，９，１０、溝６及び
薄形ポケツト７，８等は浅くされ、容積が小さいから、
ニユーマチツクハンマを起しにくく、従つてニユーマチ
ツクハンマ防止用のダンピングキヤビテイ等を形成する
必要がなく、コストを低減できる。な｝、実験によれば
、エアパツド本体１の直径を１４０Ｔ１ｍ程度とし、供
給空気圧力を４Ｋクｆ／Ｃｄとした場合で、各円形ポケ
ツト４，５，９，１０の直径Ｄ１を５．７ＴｍｒＬ、溝
６の巾Ｂ１を３」溝形ポケツト７，８の内径直径Ｄ２を
６２ｗｍ、巾Ｂ２を１．５ｍとしたとき、各円形ポケツ
ト等の深さｄを０．１５〜０．５ｍＶＣ変化させても溝
６があれば常に良好な浮揚姿勢を得ることができ、この
ときの浮揚量すなわち高さＨとしては１０〜２０μＭ，
傾きは両端での高さの差として１〜２μｍであつた。
一方、ほぼ同一寸法であつても溝６がない場合には傾き
が大きく実用とはならなかつた。また、実施にあたり、
溝形ポケツト７，８の形状は円形でなくともよく、たと
えば四角形でもよく、要するに溝６を中心にしてほぼ対
称形であればよい。さらに、円形ポケツト４，５，９，
１０等の形状、寸法は前記実施例の形状寸法『限定され
ない。また、円形ポケツト４，５，９，１０、溝６及び
溝形ポケツト７，８等の加工は、前記実施例のようにエ
ツチングによるものに限らず、エンドミルなどを用いた
機械加工でもよいが、エツチングで加工すれば前述のよ
うな効果がある。上述のように本発明によれば、加工が
容易で、かつ、浮揚姿勢も良好なエアベアリング用エア
パツドを提供できるという効果がある。
が大きく実用とはならなかつた。また、実施にあたり、
溝形ポケツト７，８の形状は円形でなくともよく、たと
えば四角形でもよく、要するに溝６を中心にしてほぼ対
称形であればよい。さらに、円形ポケツト４，５，９，
１０等の形状、寸法は前記実施例の形状寸法『限定され
ない。また、円形ポケツト４，５，９，１０、溝６及び
溝形ポケツト７，８等の加工は、前記実施例のようにエ
ツチングによるものに限らず、エンドミルなどを用いた
機械加工でもよいが、エツチングで加工すれば前述のよ
うな効果がある。上述のように本発明によれば、加工が
容易で、かつ、浮揚姿勢も良好なエアベアリング用エア
パツドを提供できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例Ｖｃ卦けるエアパツド本体の
底面図、第２図は第１図の−線断面図である。 １・・・・・・エアパツド本体、２・・・・・・給気孔
、３・・−・・給気横穴、４，５・・・・・・円形ポケ
ツト、６・・・・・・溝、７，８・・一・・溝形ポケツ
ト。
底面図、第２図は第１図の−線断面図である。 １・・・・・・エアパツド本体、２・・・・・・給気孔
、３・・−・・給気横穴、４，５・・・・・・円形ポケ
ツト、６・・・・・・溝、７，８・・一・・溝形ポケツ
ト。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ エアパット本体の中心位置から所定距離離れた位置
に給気化を設け、この給気孔に対しエアパット本体の中
心を挾んでほぼ反対側にポケットを設け、このポケット
と前記給気孔とを軸受面に開口されたほぼ最短距離を通
る溝で連結したことを特徴とするエアベアリング用エア
パッド。 ２ 前記特許請求の範囲第１項において、前記給気孔の
周囲にもポケットが設けられるとともに、このポケット
と前記給気孔の反対側に位置するポケットとは、前記最
短距離を通る溝の両側にほぼ対称に形成された溝形ポケ
ットにより連結されたことを特徴とするエアベアリング
用エアパッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7528380A JPS5918573B2 (ja) | 1980-06-04 | 1980-06-04 | エアベアリング用エアパツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7528380A JPS5918573B2 (ja) | 1980-06-04 | 1980-06-04 | エアベアリング用エアパツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS571824A JPS571824A (en) | 1982-01-07 |
| JPS5918573B2 true JPS5918573B2 (ja) | 1984-04-27 |
Family
ID=13571737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7528380A Expired JPS5918573B2 (ja) | 1980-06-04 | 1980-06-04 | エアベアリング用エアパツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5918573B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5921710U (ja) * | 1982-08-02 | 1984-02-09 | 株式会社ミツトヨ | 測定機の空気軸受 |
| FR2614079B1 (fr) * | 1987-04-14 | 1992-04-10 | Valeo | Dispositif amortisseur de torsion a moyen elastique plus raide |
| EP0471371B1 (en) * | 1990-08-17 | 1995-04-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Displacement-measuring apparatus |
| JP2000147781A (ja) * | 1998-11-06 | 2000-05-26 | Ngk Insulators Ltd | スクリーンマスク及びその製造方法並びに配線基板 |
| CN107255119A (zh) * | 2017-07-13 | 2017-10-17 | 西安工业大学 | 气浮旋转结构 |
-
1980
- 1980-06-04 JP JP7528380A patent/JPS5918573B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS571824A (en) | 1982-01-07 |
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