JPS5919258U - 被研磨部材の貼着板 - Google Patents
被研磨部材の貼着板Info
- Publication number
- JPS5919258U JPS5919258U JP1982117054U JP11705482U JPS5919258U JP S5919258 U JPS5919258 U JP S5919258U JP 1982117054 U JP1982117054 U JP 1982117054U JP 11705482 U JP11705482 U JP 11705482U JP S5919258 U JPS5919258 U JP S5919258U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polished
- parts
- adhesive plate
- polishing
- rotation axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は研磨装置の概略図、第２図ａ、 ｂは本考案に
よる貼着板の実施例を示す斜視図である。 １：加圧自転軸、２：シリコンウェハー、４゜４０：貼
着板、５：ターンテーブル。
よる貼着板の実施例を示す斜視図である。 １：加圧自転軸、２：シリコンウェハー、４゜４０：貼
着板、５：ターンテーブル。
Claims (1)
- ラッピング、ポリッシングなどにより研磨を行うべく被
研磨部材を貼り付ける貼着板の加圧自転軸へ当接する側
に、頂部が平面状の突起を複数個形成したことを特徴と
する被研磨部材の貼着板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982117054U JPS5919258U (ja) | 1982-07-30 | 1982-07-30 | 被研磨部材の貼着板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982117054U JPS5919258U (ja) | 1982-07-30 | 1982-07-30 | 被研磨部材の貼着板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5919258U true JPS5919258U (ja) | 1984-02-06 |
Family
ID=30269601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982117054U Pending JPS5919258U (ja) | 1982-07-30 | 1982-07-30 | 被研磨部材の貼着板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5919258U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5056150A (ja) * | 1973-09-14 | 1975-05-16 | ||
| JPS5062218A (ja) * | 1973-10-03 | 1975-05-28 |
-
1982
- 1982-07-30 JP JP1982117054U patent/JPS5919258U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5056150A (ja) * | 1973-09-14 | 1975-05-16 | ||
| JPS5062218A (ja) * | 1973-10-03 | 1975-05-28 |
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