JPS59195352A - 光デイスクのプリグル−ブ円板検査装置 - Google Patents
光デイスクのプリグル−ブ円板検査装置Info
- Publication number
- JPS59195352A JPS59195352A JP6842383A JP6842383A JPS59195352A JP S59195352 A JPS59195352 A JP S59195352A JP 6842383 A JP6842383 A JP 6842383A JP 6842383 A JP6842383 A JP 6842383A JP S59195352 A JPS59195352 A JP S59195352A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- pregroove
- group
- light
- depth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/2407—Tracks or pits; Shape, structure or physical properties thereof
- G11B7/24085—Pits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B27/00—Editing; Indexing; Addressing; Timing or synchronising; Monitoring; Measuring tape travel
- G11B27/36—Monitoring, i.e. supervising the progress of recording or reproducing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技術分野
本発明は元ディスクプリグループ円板のプリグループの
幅、深さの測定およびその均一性を検査するだめの検査
装置に関するものである。
幅、深さの測定およびその均一性を検査するだめの検査
装置に関するものである。
（２）技術の背景
元ディスク装置はアクリル基板上にテルル等の光反応層
を設けた元ディスク上に光学的手段によ多情報を書込み
又はブ０ディスクに書込まれた情報を読取るものである
。このような光ディスクには情報書込み用トラックに従
って予めトラックフォロー用案内溝であるノリグループ
が形成される。
を設けた元ディスク上に光学的手段によ多情報を書込み
又はブ０ディスクに書込まれた情報を読取るものである
。このような光ディスクには情報書込み用トラックに従
って予めトラックフォロー用案内溝であるノリグループ
が形成される。
光ディスクの情報書込み前の最終的なプリグループ円板
は、ガラス円板にレジストを塗布しプリグループノリ−
ンを露光、現像してレジスト上にプリグループを形成し
、このレジスト上のノリグループを有するガラス原板を
用いてメッキ等により金型スタンパを製造し、このスタ
ンパを用いてアクリル基板上にノリグループをスタンピ
ングし最終的なプリグループ円板として製造される。こ
のような光ディスクのプリグループを形成したプリグル
ープ円板（ガラス原板、金型スタンパおよび最終的な光
デイスクシリグループ円板）の各製造工程において、露
光時のフォーカシング状態、ノ臂ターンコントロール、
現像ムラ等によりシリグループの溝幅、深さ等の寸法の
狂いおよびむらが生ずる場合がある。このようなプリグ
ループの寸法の狂いおよびむらは光ディスクに収容する
情報信号の品質を著しく劣化させるため、プリグループ
の溝幅、深さおよび均一性を検査し不良品を発生させる
製造工程の修正あるいは不良品を除去し光ディスクへの
書込み情報の信頼性を向上させることが必要である。
は、ガラス円板にレジストを塗布しプリグループノリ−
ンを露光、現像してレジスト上にプリグループを形成し
、このレジスト上のノリグループを有するガラス原板を
用いてメッキ等により金型スタンパを製造し、このスタ
ンパを用いてアクリル基板上にノリグループをスタンピ
ングし最終的なプリグループ円板として製造される。こ
のような光ディスクのプリグループを形成したプリグル
ープ円板（ガラス原板、金型スタンパおよび最終的な光
デイスクシリグループ円板）の各製造工程において、露
光時のフォーカシング状態、ノ臂ターンコントロール、
現像ムラ等によりシリグループの溝幅、深さ等の寸法の
狂いおよびむらが生ずる場合がある。このようなプリグ
ループの寸法の狂いおよびむらは光ディスクに収容する
情報信号の品質を著しく劣化させるため、プリグループ
の溝幅、深さおよび均一性を検査し不良品を発生させる
製造工程の修正あるいは不良品を除去し光ディスクへの
書込み情報の信頼性を向上させることが必要である。
（３）発明の目的
本発明の目的は１ｍ単な方法でフ９リグルーブ円板のプ
リグループ寸法の検査が可能なプリグループ円板検査装
置の提供である。
リグループ寸法の検査が可能なプリグループ円板検査装
置の提供である。
（４） 発明の構成
本発明に係るプリグループ円板検査装置は検査すべきノ
０ディスクのプリグループ円板を回転可能に支持する支
持手段と、該支持手段をプリグループ円板の半径方向に
移動させる移動手段と、上記プリグループ円板を照射す
るレーザ光源と、プリグループ円板に照射されたレーザ
光の透過光又は反射光の１次回折光検知手段および２次
回折検知手段とにより構成される。
０ディスクのプリグループ円板を回転可能に支持する支
持手段と、該支持手段をプリグループ円板の半径方向に
移動させる移動手段と、上記プリグループ円板を照射す
るレーザ光源と、プリグループ円板に照射されたレーザ
光の透過光又は反射光の１次回折光検知手段および２次
回折検知手段とにより構成される。
（５） 発明の実施例
本発明は、検査すべき円板を回転あるいは半径方向に移
動させ、この円板にレーザ光を照射し、この回折光を検
出するものであって、溝の雫さけ１次回折光強度に対応
し、幅は（１次回折光強度）／（２次回折光強度）の比
に対応する。
動させ、この円板にレーザ光を照射し、この回折光を検
出するものであって、溝の雫さけ１次回折光強度に対応
し、幅は（１次回折光強度）／（２次回折光強度）の比
に対応する。
第１図は本発明に係る検査装置の構成図である。
スピンドル１上に検査すべきプリグループ円板２が回転
可能に支持される。このスピンドル１は移動装置３によ
りプリグループ円板２の半径方向（矢印入方向）に移動
可能である。４はレーザ光源であり、例えばＨｅ−Ｎｅ
レーザ（λ：６３２８Ａ）のレーデ光をハーフミラ−５
およびミラー６を介してプリグループ円板２に照射する
。この場合、レーザ光のビーム径が例えば１間程度で円
板のトラックピッチが２．５μｍであれば°約４００本
のプリグループがマクロ的に照射される。プリグループ
円板２を透過したレーデ光はプリグループのため回折す
る。回折光のうち１次回折光７および２次回折光８の光
路上にレンズ９を設は各回折光７，８を平行光束とし１
次回折光検知器１０および２次回折光検知器１１に入射
させる。レンズ９の焦点位置にプリグループ円板表面を
配置することによシ、トラックピッチが変９１次、２次
の回折光の回折角度が変化しても各回折光検知器１０゜
１１に入射する回折光路のずれは小ざく従って回折光検
知器の位置を調整する必要はない。１次回折う′０検知
器１０の検知信号はアンプ１３を介してプリグループの
溝の深さに対応した出力信号ａとして取出されさらに割
げ器１５に入力される。割Ｒ器１５にはさらに２次回折
元検知器１１の検知信号がアンプ１４を介して入力され
（１次回折光強［）／（２次回折元強度）が演しγされ
プリグループの溝の幅に対応した出力・１８号すとして
取出される。このような出力信号ａ、ｂは、ハーフミラ
−５を介して光検仰器１２によυ′検知されるレーザ光
強度の出力信号Ｃに基いてレーザ光強度に応じて補正さ
れプリグループの溝の虚さおよび幅が測定される。この
ような測定中にスピンドル１を回転してノリグループ円
板２を回転させればトラックの円周方向の幅および深さ
の均一性が検査できる。また、移動装置３によりプリグ
ループ円板２を半径方向に移動させればトラックの半径
方向の幅および深さの均一性が検査できる。
可能に支持される。このスピンドル１は移動装置３によ
りプリグループ円板２の半径方向（矢印入方向）に移動
可能である。４はレーザ光源であり、例えばＨｅ−Ｎｅ
レーザ（λ：６３２８Ａ）のレーデ光をハーフミラ−５
およびミラー６を介してプリグループ円板２に照射する
。この場合、レーザ光のビーム径が例えば１間程度で円
板のトラックピッチが２．５μｍであれば°約４００本
のプリグループがマクロ的に照射される。プリグループ
円板２を透過したレーデ光はプリグループのため回折す
る。回折光のうち１次回折光７および２次回折光８の光
路上にレンズ９を設は各回折光７，８を平行光束とし１
次回折光検知器１０および２次回折光検知器１１に入射
させる。レンズ９の焦点位置にプリグループ円板表面を
配置することによシ、トラックピッチが変９１次、２次
の回折光の回折角度が変化しても各回折光検知器１０゜
１１に入射する回折光路のずれは小ざく従って回折光検
知器の位置を調整する必要はない。１次回折う′０検知
器１０の検知信号はアンプ１３を介してプリグループの
溝の深さに対応した出力信号ａとして取出されさらに割
げ器１５に入力される。割Ｒ器１５にはさらに２次回折
元検知器１１の検知信号がアンプ１４を介して入力され
（１次回折光強［）／（２次回折元強度）が演しγされ
プリグループの溝の幅に対応した出力・１８号すとして
取出される。このような出力信号ａ、ｂは、ハーフミラ
−５を介して光検仰器１２によυ′検知されるレーザ光
強度の出力信号Ｃに基いてレーザ光強度に応じて補正さ
れプリグループの溝の虚さおよび幅が測定される。この
ような測定中にスピンドル１を回転してノリグループ円
板２を回転させればトラックの円周方向の幅および深さ
の均一性が検査できる。また、移動装置３によりプリグ
ループ円板２を半径方向に移動させればトラックの半径
方向の幅および深さの均一性が検査できる。
金型スタン・臂のプリグループを検査する場合には、金
型スタンノぞは不透明であるため第２図に示すように、
金型スタン・９１６を真空吸着器１７によりスピンドル
１上に装着し、金型スタンパ１６表面からの反射光を検
知するようにレーザ光源４を配置する。その他の構成、
作用については第１図の実施例と同様である。
型スタンノぞは不透明であるため第２図に示すように、
金型スタン・９１６を真空吸着器１７によりスピンドル
１上に装着し、金型スタンパ１６表面からの反射光を検
知するようにレーザ光源４を配置する。その他の構成、
作用については第１図の実施例と同様である。
（６） 発明の詳細
な説明したように、本発明に係る光ディスクのノリグル
ープ円板の検査装置においては、レーザ光の回折光を利
用して溝幅および深さを測定しているため容易に確実に
プリグループの深さおよび幅を測定できまた寸法のむら
の検査も容易に行われる。従って、ノリグループ円板の
製造における品質の向上およ、ひ工程管理に寄与する。
ープ円板の検査装置においては、レーザ光の回折光を利
用して溝幅および深さを測定しているため容易に確実に
プリグループの深さおよび幅を測定できまた寸法のむら
の検査も容易に行われる。従って、ノリグループ円板の
製造における品質の向上およ、ひ工程管理に寄与する。
第１図および第２図は各々本発明に係るプリグループ円
板検査装置の各別の例の構成図である。 ｌ・・・スピンドル、２・・・プリグループ円板、３・
・・移動装置、４・・・レーザ光源、７・・・１次回折
光、８・・・２次回折光、１０・・・１次回折光検知器
、１１・・・２次回折元検知器。 ％許出願人 富士通株式会社 特訂出願代理人 弁理士 青水 朗 弁理士 西舘和之 弁理士 内田幸男 弁理士 山 口 昭 之
板検査装置の各別の例の構成図である。 ｌ・・・スピンドル、２・・・プリグループ円板、３・
・・移動装置、４・・・レーザ光源、７・・・１次回折
光、８・・・２次回折光、１０・・・１次回折光検知器
、１１・・・２次回折元検知器。 ％許出願人 富士通株式会社 特訂出願代理人 弁理士 青水 朗 弁理士 西舘和之 弁理士 内田幸男 弁理士 山 口 昭 之
Claims (1)
- 検査すべき光ディスクのシリグループ円板全回転可能に
支持する支持手段と、該支持手段をプリグループ円板の
半径方向に移動させる移動手段と、上記プリグループ円
板を照射するレーザ光源と、シリダループ円板に照射さ
れたレーザ光の透過光又は反射光の１次回折元検知手段
および２次回折元検知手段とからなる光ディスクのプリ
グループ円板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6842383A JPS59195352A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 光デイスクのプリグル−ブ円板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6842383A JPS59195352A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 光デイスクのプリグル−ブ円板検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59195352A true JPS59195352A (ja) | 1984-11-06 |
Family
ID=13373254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6842383A Pending JPS59195352A (ja) | 1983-04-20 | 1983-04-20 | 光デイスクのプリグル−ブ円板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59195352A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS634440A (ja) * | 1986-06-24 | 1988-01-09 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | ディスク検査装置 |
-
1983
- 1983-04-20 JP JP6842383A patent/JPS59195352A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS634440A (ja) * | 1986-06-24 | 1988-01-09 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | ディスク検査装置 |
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