JPS5919725Y2 - 巻取式真空蒸着装置 - Google Patents
巻取式真空蒸着装置Info
- Publication number
- JPS5919725Y2 JPS5919725Y2 JP7797580U JP7797580U JPS5919725Y2 JP S5919725 Y2 JPS5919725 Y2 JP S5919725Y2 JP 7797580 U JP7797580 U JP 7797580U JP 7797580 U JP7797580 U JP 7797580U JP S5919725 Y2 JPS5919725 Y2 JP S5919725Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- winding mechanism
- vacuum
- substrate
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はサブストレートを巻取式に走行させる式の真空
蒸着装置に関する。
蒸着装置に関する。
従来この種装置として、合成樹脂フィルムその他のサブ
ストレートを巻取式に走行させる巻取機構を真空タンク
内に出入自在に収容して該サブストレートに該タンク内
で真空蒸着処理を施すようにした式のものは知られるが
、この場合該タンクを床面上に固定とし、該機構を下面
の台車においてこれに対し移動自在とする式を一般とす
るもので、か・るものでは該機構はその作動に際し多少
とも振動を生じ勝ちであり、これは好ましくない。
ストレートを巻取式に走行させる巻取機構を真空タンク
内に出入自在に収容して該サブストレートに該タンク内
で真空蒸着処理を施すようにした式のものは知られるが
、この場合該タンクを床面上に固定とし、該機構を下面
の台車においてこれに対し移動自在とする式を一般とす
るもので、か・るものでは該機構はその作動に際し多少
とも振動を生じ勝ちであり、これは好ましくない。
即ちサブストレートが例えば極めて肉薄の合成樹脂フィ
ルムの場合、その振動によればこれに破断を生ずる等の
不都合を伴う。
ルムの場合、その振動によればこれに破断を生ずる等の
不都合を伴う。
本考案はか・る不都合のない装置を度得ることをその目
的としたもので、合成樹脂フィルムその他のサブストレ
ートを巻取式に走行させる巻取機構１を真空タンク２内
に出入自在に収容して該サブストレートに該タンク２内
で真空蒸着処理を施すようにした式のものにおいて、該
巻取機構１を床面３上に固定に設けると共に、該タンク
２をこれに対し移動自在に構威し、更に該タンク２の下
面に排気口８を設け、該巻取機構１の下方の該床面３下
に設けたピッｌ−１０内に真空ポンプ９を固定し、該タ
ンク２が該巻取機構１を収容する位置に移行したとき、
これが該排気口８において該ポンプ９上に位置してこれ
に接続されるようにしたことを特徴とする。
的としたもので、合成樹脂フィルムその他のサブストレ
ートを巻取式に走行させる巻取機構１を真空タンク２内
に出入自在に収容して該サブストレートに該タンク２内
で真空蒸着処理を施すようにした式のものにおいて、該
巻取機構１を床面３上に固定に設けると共に、該タンク
２をこれに対し移動自在に構威し、更に該タンク２の下
面に排気口８を設け、該巻取機構１の下方の該床面３下
に設けたピッｌ−１０内に真空ポンプ９を固定し、該タ
ンク２が該巻取機構１を収容する位置に移行したとき、
これが該排気口８において該ポンプ９上に位置してこれ
に接続されるようにしたことを特徴とする。
図示のものにつき説明すれば、巻取機構１は背面の架台
４から前方にのびて該架台４上のモータ５で駆動される
型式とするもので、これを該架台４において床面３上に
充分な基礎をもって剛性に固定されるものとし、その前
方に真空タンク２を下面の車輪６においてレール７上を
走行自在とする。
４から前方にのびて該架台４上のモータ５で駆動される
型式とするもので、これを該架台４において床面３上に
充分な基礎をもって剛性に固定されるものとし、その前
方に真空タンク２を下面の車輪６においてレール７上を
走行自在とする。
尚、該タンク２は排気口８を介して真空ポンプ９に接続
されて内部を排気されるべきもので、図示のものでは該
ポンプ９を該巻取機構１の下側に予め形成されるピッ）
１０内に固定して用意すると共に該排気口８は該タン
ク２の下面に開口する型式とし、該タンク２が該巻取機
構１を収容する位置に移行したとき、これが該排気口８
において該ポンプ９上に位置してこれに接続されるよう
にした。
されて内部を排気されるべきもので、図示のものでは該
ポンプ９を該巻取機構１の下側に予め形成されるピッ）
１０内に固定して用意すると共に該排気口８は該タン
ク２の下面に開口する型式とし、該タンク２が該巻取機
構１を収容する位置に移行したとき、これが該排気口８
において該ポンプ９上に位置してこれに接続されるよう
にした。
その接続手段としては、例えば図示のように、該ポンプ
９側に油圧シリンダ１１その他で作動される昇降自在の
ベローズ１２を備え、該ベローズ１２の上動によればこ
れが該接続口８に圧接されて所定の接続が得られる型式
とする。
９側に油圧シリンダ１１その他で作動される昇降自在の
ベローズ１２を備え、該ベローズ１２の上動によればこ
れが該接続口８に圧接されて所定の接続が得られる型式
とする。
尚、該タンク２の退去動によれば該ポンプ９はその上面
が開放となるもので、これに防塵機構１３を備えるが好
ましい。
が開放となるもので、これに防塵機構１３を備えるが好
ましい。
図面で１４はバルブを示す。尚該機構１と該タンク２と
はクリーンルーム１５内に存するものとし、架台４はそ
の側壁１６を介してその外部に存するようにした。
はクリーンルーム１５内に存するものとし、架台４はそ
の側壁１６を介してその外部に存するようにした。
その作動を説明するに、図示のように真空タンク２を退
去動させた状態で巻取機構１にサブストレートを巻取走
行自在に装着し、次で該タンク２を前進させて該機構１
を気密に収容した状態とし、次でこれをその排気口８に
おいて真空ポンプ９に接続してその内部を排気し、作動
に備えられる。
去動させた状態で巻取機構１にサブストレートを巻取走
行自在に装着し、次で該タンク２を前進させて該機構１
を気密に収容した状態とし、次でこれをその排気口８に
おいて真空ポンプ９に接続してその内部を排気し、作動
に備えられる。
次で作業の終了時は該タンク２と該ポンプ９との接続を
解除した後、図示の位置に退去動させ、サブストレート
を交換し、かくて次の作業に備えられる。
解除した後、図示の位置に退去動させ、サブストレート
を交換し、かくて次の作業に備えられる。
このように本考案によるときは、巻取機構１を床面３上
に固定に設け、真空タンク２を移動自在に構成してこれ
と組合せるもので、該機構１は充分の基礎を備えること
により作動中の振動を生ずることがなく、かくて振動に
伴うサブストレートの破断等の不都合を無くし得られ、
例えば極めて肉薄の合成樹脂フィルムの処理に適用して
有利である等の効果を有する。
に固定に設け、真空タンク２を移動自在に構成してこれ
と組合せるもので、該機構１は充分の基礎を備えること
により作動中の振動を生ずることがなく、かくて振動に
伴うサブストレートの破断等の不都合を無くし得られ、
例えば極めて肉薄の合成樹脂フィルムの処理に適用して
有利である等の効果を有する。
更に、本考案によるときは、真空タンク２の下面に排気
口８を設け、巻取機構１の下方の床面３下に設けたピッ
ト１０内に真空ポンプ９を固定し、該真空タンク２が該
巻取機構１を収容する位置に移行したとき、これが該排
気口８において該真空ポンプ９上に位置してこれに接続
されるようにしたので、該真空タンク２に該真空ポンプ
９等の重量物を備える必要がなくなり、サブストレート
のリールを着脱する際の該真空タンク２の進退を楽に行
なえる効果を有する。
口８を設け、巻取機構１の下方の床面３下に設けたピッ
ト１０内に真空ポンプ９を固定し、該真空タンク２が該
巻取機構１を収容する位置に移行したとき、これが該排
気口８において該真空ポンプ９上に位置してこれに接続
されるようにしたので、該真空タンク２に該真空ポンプ
９等の重量物を備える必要がなくなり、サブストレート
のリールを着脱する際の該真空タンク２の進退を楽に行
なえる効果を有する。
図面は本考案装置の１例の裁断側面図である。
１・・・・・・巻取機構、２・・・・・・真空タンク、
３・・・・・・床面、８・・・・・・排気口、９・・・
・・・真空ポンプ、１０・・・・・・ピット。
３・・・・・・床面、８・・・・・・排気口、９・・・
・・・真空ポンプ、１０・・・・・・ピット。
Claims (1)
- 合成樹脂フィルムその他のサブストレートを巻取式に走
行させる巻取機構１を真空タンク２内に出入自在に収容
して該サブストレートに該タンク２内で真空蒸着処理を
施すようにした式のものにおいて、該巻取機構１を床面
３上に固定に設けると共に、該タンク２をこれに対し移
動自在に構威し、更に該タンク２の下面に排気口８を設
け、該巻取機構１の下方の該床面３下に設けたピット１
０内に真空ポンプ９を固定し、該タンク２が該巻取機構
１を収容する位置に移行したとき、これが該排気口８に
おいて該ポンプ９上に位置してこれに接続されるように
したことを特徴とする巻取式％式％
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7797580U JPS5919725Y2 (ja) | 1980-06-06 | 1980-06-06 | 巻取式真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7797580U JPS5919725Y2 (ja) | 1980-06-06 | 1980-06-06 | 巻取式真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS575458U JPS575458U (ja) | 1982-01-12 |
| JPS5919725Y2 true JPS5919725Y2 (ja) | 1984-06-07 |
Family
ID=29440513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7797580U Expired JPS5919725Y2 (ja) | 1980-06-06 | 1980-06-06 | 巻取式真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5919725Y2 (ja) |
-
1980
- 1980-06-06 JP JP7797580U patent/JPS5919725Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS575458U (ja) | 1982-01-12 |
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