JPS5917192B2 - 真空処理装置 - Google Patents
真空処理装置Info
- Publication number
- JPS5917192B2 JPS5917192B2 JP10677180A JP10677180A JPS5917192B2 JP S5917192 B2 JPS5917192 B2 JP S5917192B2 JP 10677180 A JP10677180 A JP 10677180A JP 10677180 A JP10677180 A JP 10677180A JP S5917192 B2 JPS5917192 B2 JP S5917192B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- machine frame
- vacuum processing
- vacuum
- bottom plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 5
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空蒸着その他の真空処理装置に関する。
従来この種装置として例えば第１図示のように真空タン
クａ内にサブストレートを巻取走行する 。
クａ内にサブストレートを巻取走行する 。
巻取機構その他の作動部材ｂを出入自在に設ける式のも
のは知られるが、この場合該タンクａは同図示のように
前面を開放する型式から成り、その前方に該前面との重
合によればこれを閉じる前面板ｃを備え、該作動部材ｂ
をこれに支承させて設 。ける式を一般としたもので、
かゝるものでは該作動部材ｂは該前面板ｃに対し片持支
持となるため、充分に強固な支持を得難くかくて例えば
巻取機構の場合、ロール径或はロール回転数等の増大に
よればこれに振動を生じ勝ちとなる不都合を伴う。従来
かゝる不都合を無くすべく、ブラケットその５ 他の支
持部材を大型化することは行われたが、これによれば該
タンク内の容積が減少し、かくて全体を大型化する必要
がある等の不都合を伴う。尚図示のものでは該タンクａ
を床面ｄ土に固定とし、該前面板ｃは台車ｅに取付けて
走行自在と０ した。本発明はかゝる不都合のない装置
を得ることをその目的としたもので、真空タンク内に巻
取機構その他の作動部材を出入自在に設ける式のものに
おいて、該タンクを前面と下面とが開放するフー５ ド
状の枠筐型に構成させると共に、その前方に該前面との
重合によればこれを閉じる前面板と、該下面との重合に
よればこれを閉じる底面板とから成る機枠を備えて該作
動部材を該機枠上に設けることを特徴とする。
のは知られるが、この場合該タンクａは同図示のように
前面を開放する型式から成り、その前方に該前面との重
合によればこれを閉じる前面板ｃを備え、該作動部材ｂ
をこれに支承させて設 。ける式を一般としたもので、
かゝるものでは該作動部材ｂは該前面板ｃに対し片持支
持となるため、充分に強固な支持を得難くかくて例えば
巻取機構の場合、ロール径或はロール回転数等の増大に
よればこれに振動を生じ勝ちとなる不都合を伴う。従来
かゝる不都合を無くすべく、ブラケットその５ 他の支
持部材を大型化することは行われたが、これによれば該
タンク内の容積が減少し、かくて全体を大型化する必要
がある等の不都合を伴う。尚図示のものでは該タンクａ
を床面ｄ土に固定とし、該前面板ｃは台車ｅに取付けて
走行自在と０ した。本発明はかゝる不都合のない装置
を得ることをその目的としたもので、真空タンク内に巻
取機構その他の作動部材を出入自在に設ける式のものに
おいて、該タンクを前面と下面とが開放するフー５ ド
状の枠筐型に構成させると共に、その前方に該前面との
重合によればこれを閉じる前面板と、該下面との重合に
よればこれを閉じる底面板とから成る機枠を備えて該作
動部材を該機枠上に設けることを特徴とする。
ｏ 本発明実施の１例を別紙図面に付説明する。
第２図はその１例を示すもので、１は真空タンク、２は
作動部材を示し、該部材２は合成樹脂フィルムその他の
サブストレートを巻取走行する巻取機構から成るものと
する。５ 該タンク１は同図に明示するように前面３と
下面４とが開放するフード状の枠筐型に構成されるもの
とし、その前方に該前面３との重合によればこれを閉じ
る前面板５と、該下面４との重合によればこれを閉じる
底面板６とから成る断面Ｌ型の０ 機枠Ｔを用意し、か
くて該タンク１は該機枠、？との結着によればその内部
を気密に閉じられるようにし、更に前記した作動部材２
はこれを該機枠１上に支承させて設けるようにした。
作動部材を示し、該部材２は合成樹脂フィルムその他の
サブストレートを巻取走行する巻取機構から成るものと
する。５ 該タンク１は同図に明示するように前面３と
下面４とが開放するフード状の枠筐型に構成されるもの
とし、その前方に該前面３との重合によればこれを閉じ
る前面板５と、該下面４との重合によればこれを閉じる
底面板６とから成る断面Ｌ型の０ 機枠Ｔを用意し、か
くて該タンク１は該機枠、？との結着によればその内部
を気密に閉じられるようにし、更に前記した作動部材２
はこれを該機枠１上に支承させて設けるようにした。
尚図示のものでは該機枠７を床面８上に固定と５ し、
かくてこれを台車型とする従来式のものに比し該部材２
による振動を一層減少させ得るようにし、該タンク１は
これを下面の台車９の車輪９ａ’りにおいて該床面８上
のレール８ａ上を走行自在とした。
かくてこれを台車型とする従来式のものに比し該部材２
による振動を一層減少させ得るようにし、該タンク１は
これを下面の台車９の車輪９ａ’りにおいて該床面８上
のレール８ａ上を走行自在とした。
尚該タンク１は前記したように該機枠７との結着によれ
ば気密に閉じるもので、該タンク１と該機枠７との重合
面の少くとも一方にはゴムその他のシール部材１０が予
め施されるものとする。図面で１１は該作動部材２の外
端を支承する支持部材を示し、該部材１１は該底面板６
上に植立される。図面で１２は該前面板５から外方にの
びる排気口を示す。その作動を説明するに、真空タンク
１と機枠７とが図示のように互に開いた状態から、次で
互に閉じれば該タンク１内は気密となると共に作動部材
２はその内部に収容されるもので、かくて該タンタ１内
を排気すると共に該作動部材２を作動させてサブストレ
ートの真空蒸着その他の真空処理を行うことが出来、次
で図示のように互に開いてサブストレートの交換その他
の作業に備えられる。
ば気密に閉じるもので、該タンク１と該機枠７との重合
面の少くとも一方にはゴムその他のシール部材１０が予
め施されるものとする。図面で１１は該作動部材２の外
端を支承する支持部材を示し、該部材１１は該底面板６
上に植立される。図面で１２は該前面板５から外方にの
びる排気口を示す。その作動を説明するに、真空タンク
１と機枠７とが図示のように互に開いた状態から、次で
互に閉じれば該タンク１内は気密となると共に作動部材
２はその内部に収容されるもので、かくて該タンタ１内
を排気すると共に該作動部材２を作動させてサブストレ
ートの真空蒸着その他の真空処理を行うことが出来、次
で図示のように互に開いてサブストレートの交換その他
の作業に備えられる。
尚か＼る作動に際し、作動部材２は前面板５と底面板６
とから成る機枠７上に支承されるもので、従来の片持支
持の場合に比しその支承が安定且堅牢であり、振動等の
不都合を生じない。更に図示のものでは、該タンク１を
前記した台車９上に左右各側の前後１対のリンク１３，
１３を介して連結すると共に、その後方にこれを押圧す
る作動シリンダ１４を備え、かくて該シリンダ１４の作
動によれば該タンク１は前下方に押され、前記・した機
枠７との間の閉じを簡単且確実に得られるようにした。
このように本発明によるときは真空タンクを前面と下面
とが開く型式とし、これと協動する機枠を前面板と底面
板とで構成してこれに作動部材を支承させるもので、該
部材が片持支持となる従来のものの前記した不都合を無
くし得られる効果を有する。
とから成る機枠７上に支承されるもので、従来の片持支
持の場合に比しその支承が安定且堅牢であり、振動等の
不都合を生じない。更に図示のものでは、該タンク１を
前記した台車９上に左右各側の前後１対のリンク１３，
１３を介して連結すると共に、その後方にこれを押圧す
る作動シリンダ１４を備え、かくて該シリンダ１４の作
動によれば該タンク１は前下方に押され、前記・した機
枠７との間の閉じを簡単且確実に得られるようにした。
このように本発明によるときは真空タンクを前面と下面
とが開く型式とし、これと協動する機枠を前面板と底面
板とで構成してこれに作動部材を支承させるもので、該
部材が片持支持となる従来のものの前記した不都合を無
くし得られる効果を有する。
第１図は従来例の側面図、第２図は本発明装置の１例の
斜面図である。 １・・・・・・真空タンク、２・・・・・・作動部材、
３・・・・・・前面、４・・・・・・下面、５・・・・
・・前面板、６・・・・・・底面板、７・・・・・・機
枠。
斜面図である。 １・・・・・・真空タンク、２・・・・・・作動部材、
３・・・・・・前面、４・・・・・・下面、５・・・・
・・前面板、６・・・・・・底面板、７・・・・・・機
枠。
Claims (1)
- １ 真空タンク内に巻取機構その他の作動部材を出入自
在に設ける式のものにおいて、該タンクを前面と下面と
が開放するフード状の枠筐型に構成させると共に、その
前方に該前面との重合によればこれを閉じる前面板と、
該下面との重合によればこれを閉じる底面板とから成る
機枠を備えて該作動部材を該機枠上に設けることを特徴
とする真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10677180A JPS5917192B2 (ja) | 1980-08-05 | 1980-08-05 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10677180A JPS5917192B2 (ja) | 1980-08-05 | 1980-08-05 | 真空処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5732368A JPS5732368A (en) | 1982-02-22 |
| JPS5917192B2 true JPS5917192B2 (ja) | 1984-04-19 |
Family
ID=14442163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10677180A Expired JPS5917192B2 (ja) | 1980-08-05 | 1980-08-05 | 真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917192B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06240443A (ja) * | 1992-12-26 | 1994-08-30 | Sony Corp | 真空薄膜製造装置及びこれを用いた磁気記録媒体の製造方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5991360U (ja) * | 1982-12-12 | 1984-06-21 | シロキ工業株式会社 | 反応性蒸着膜形成装置 |
| JPS5991361U (ja) * | 1982-12-12 | 1984-06-21 | 日東工器株式会社 | 被膜蒸着装置 |
| JPS6016755U (ja) * | 1982-12-12 | 1985-02-04 | 白木金属工業株式会社 | 被膜蒸着装置 |
| JPS59107071A (ja) * | 1982-12-12 | 1984-06-21 | Nitto Kohki Co Ltd | 被処理物の外表面にスパッタリング膜を形成する装置 |
-
1980
- 1980-08-05 JP JP10677180A patent/JPS5917192B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06240443A (ja) * | 1992-12-26 | 1994-08-30 | Sony Corp | 真空薄膜製造装置及びこれを用いた磁気記録媒体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5732368A (en) | 1982-02-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5336027A (en) | Vehicle for carrying coiled rolls | |
| JPS5917192B2 (ja) | 真空処理装置 | |
| US4744203A (en) | Machine for vacuum-sealing a package | |
| US4993771A (en) | Truck trunk device | |
| US2437380A (en) | Collapsible carriage | |
| US3322454A (en) | Control valve for vacuum lift device | |
| US4343549A (en) | Box type contact printer | |
| US4090578A (en) | Battery operated fork-lift trucks | |
| JPH1194462A (ja) | 木材乾燥装置における木材搬入口の扉密閉構造 | |
| JPH063229Y2 (ja) | 真空ゲ−ト弁 | |
| JPH10297889A (ja) | 産業車両 | |
| US2757043A (en) | Movable roof mechanism and outrigger support therefor | |
| CN219383454U (zh) | 一种试卷专用运输箱 | |
| JPS5919725Y2 (ja) | 巻取式真空蒸着装置 | |
| JPS5941409B2 (ja) | スライドダンプにおける排出板支持装置 | |
| CN219525086U (zh) | 一种仓储货架防尘装置 | |
| CN218296535U (zh) | 一种塑料制品生产用原料防潮干燥装置 | |
| SU975543A2 (ru) | Приемоотправочна станци установки контейнерного пневмотранспорта | |
| JP2553943Y2 (ja) | 密閉容器の開閉蓋装置 | |
| JPH064142Y2 (ja) | 細長い開口部用真空ゲ−ト弁 | |
| JPH1033450A (ja) | 食器洗浄機 | |
| CN118651526A (zh) | 具有保护功能的外延片载具 | |
| JPH07277063A (ja) | トラックの荷箱 | |
| JP2558710Y2 (ja) | 自動車のライセンスナンバープレートの取付構造 | |
| JP3446024B2 (ja) | 密閉容器の開閉装置 |