JPS59200941A - 押込型硬度計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 １Ｌ哩臥伍１ 本発明は、金属材料等でなる試料に、圧子を押込んで、
その試料に圧痕をイ」シ、その圧痕がら、試料の硬度を
測定する押込型硬度計に関する。

水」Ｊ穎弘ヱ？Ｑ このような押込型硬度計として、従来、試料載置台に載
置された試料に付された圧痕を、撮像装置装架体に装架
された走査撮像装置を用いて走査撮像し、その搬像出力
から、試料の硬度を表わしている硬度信号を得るように
なされた構成のものが提案されている。

このような構成を有する従来の押込型硬度計においては
、試料載置台及び撮像装置装架体を走査撮像装置が、圧
痕を合焦点状態で走査撮像する相対的な位置に保持せし
める必要がある。

しかしながら、従来の押込型硬度計においては、そのた
めに、複雑、大型、高価なものを用いる必要があったり
、比較的長い旧聞を必要としたりする欠゛点を有してい
た。

水玉」し矢服逐− よって、本発明は、上述した欠点のない、新規な押込型
硬度計を提案ぜんとするものである。

本発明によれば、走査撮像装置の撮像出力から、走査撮
像装置が圧痕をどのような焦点で走査撮像しているかを
表している焦点信号を得、その焦点信号によって、試料
載置台及び撮像装置装架体を走査撮像装置が圧痕を合焦
点状態で走査撮像Ｊ−る相対的な位置に移動させる。

このため、本発明によれば、上述した従来の欠点を有し
ない。

ｍ悲友１１ 第１図及び第２図は、本発明による押込型硬度計の機械
系の一例を示し、以下に述べる構成を有する。

リ−なわち上下に昇降自在な試料載置台１を有する。

この試料載１慴台１は、通常の押込型硬度計１にみられ
ると同様に、試料２を載置し、その試料２に圧子（図示
せず）を押込んで、その試料２に、第３図に示すような
、４角錐状の圧痕３を付ずために用いられるものであり
、次に述べる構成を有する。

即ち、基台４上に筒体５が固定して配され、その筒体５
内に、上述した試料載置台１を遊端に取（ｑけた筒体６
が上下に昇降自在に内装されている。この場合、筒体６
の内部内周面には母螺７が付されている。

一方、基台４に、上述した筒体６の母螺７と螺合し、且
つ遊端に歯車８を取付けている螺軸９が枢着されている
。

また、基台４にモータ１０が取付けられ、その回転軸１
１が、それに取イ」けた歯車１２、基台４に枢着した歯
車１３、上述した螺軸９に取付けられた歯車８を介して
、螺軸９に連結されている。

よって、モータ１０を順方向に回転駆動させれば、螺軸
９が順方向に回転し、これに応じて、筒体６が上昇し、
従って、試料載置台１が上昇する。

また、モータ１０を逆方向に回転駆動させれば、螺軸９
が逆方向に回転し、これに応じて、筒体６が下降し、従
って、試料載置台１が下降１゛るように構成されている
。

また、本発明による押込型硬度計の一例は、撮像装置装
架体２０を有する。

この１Ｉｉ２像装置装架体２０は、−次元走査搬像装首
２１を装架している可動盤２２と、この可動盤２２を可
動自在に装架している保持体２３とを右づる。

保持体２３は、筒部２４ど、その上端部からこれと一体
に輻方向に外方に延長している環部２５と、その環部２
５の外周部からこれど一体に上方に延長している筒部２
６と、その筒部２６の上端部からこれと一体に幅方向に
内方に延長している板部２７とを有する。この場合、筒
部２４には、その外周面上に、歯車２８が付されている
。また、板部２７には、スリット２９が設（プられてい
る。

このような保持体２３は、その筒部２４内に、後述覆る
筒体４１の上端部を緩挿し、また、筒部２４の下端面を
、筒体４１の外周部からこれど一体に輻方向に外方に延
長している環部４２に受けさせた状態で、筒体４１の周
りに、回動自在に、配されている。

一方、上述した基台４に支持体４０が固定して設けられ
、その支持体４０に、モータ３０が取付けられている。

また、モータ３０の回転軸３１が、それに取付けた歯車
３２、上述した保持体２３の筒部２４に付された歯車２
８を介して、保持体２３に連結されでいる。

よって、モータ３０を順方向に回転駆動させれば、保持
体２３が、順方向に回動し、また、モータ３０を逆方向
に回転駆動させれば、保持体２３が逆方向に回動する。

また、上述した可動盤２２は、上述した保持体２３の環
部２５及び板部２７間で、保持体２３の軸ａを通ってこ
れと直交する線ｂ−ｂに沿って、可動自在に配されてい
る。

また、可動盤２２には、その上部に、これと一体に、杆
３３が取付りられている。

この杆３３は、上述した保持体２３の板部２７に設けら
れたスリット２９内を通って、上外方に延長している。

また、杆３３の遊端には、上）ホした保持体２３の軸ａ
と直交する面内の線ｂ−ｂと平行な線上に延長している
母螺３４が設けられている。

一方、上述した保持体２３の板部２７上に、モータ３５
が取付けられ、その回転軸３６に、上述した杆３３に設
けられた母螺３４と螺合する、螺子３７が付されている
。

よって、モータ３５を順方向に回転駆動させれば、可動
５Ｊ２２が、上述した保持体２３の軸ａと直交する線ｂ
−ｂに沿って第１の方向に移動し、ま１ｃ、モータ３５
を逆方向に回転駆動させれば、可動盤２２が、保持体２
３の軸ａと直交する線ｂ−ｂに沿って第１の方向とは逆
の第２の方向に移動する。

さらに、上述した一次元走査撮像装置２１は、第５図と
共に参照して明らかなように、多数（２１１→−１）個
の固体撮像素子（光電変換素子）Ｅｎ’　　、Ｅｎ−＋
　　’　　、−−−Ｅｌ　’　　、Ｅａ　　、Ｅｌ、Ｅ
ｌ・・・・・・・・・Ｅ、を、電気的に順次直列に接続
して、−次元的に一線上に配列している構成を有する。

このような−次元走査撮像装置２１は、上述した可動盤
２２の下面に、固体撮像素子Ｅｎ’〜Ｅｌ　’　＋　［
０＋　［１〜［Ｉｌを一次元的に一線上に配列している
、その配列線が、保持体２３の軸ａを通り、且つ保持体
２３の軸ａに沿う方向からみて、上述した線ｂ−ｂと直
交する線Ｃ−Ｃと一致するように、設けられている。

また、上述した保持体２３の環部２５に、下方に延長し
ている係合用ビン３８が植立されている。

一方、上述した原板４２上に、上述した保持体２３に植
立された係合用ビン３８が係合することによって作動す
る、スイッチ３９及び３９−が取付けられている。これ
ら、スイッチ３９及び３９−は、保持体２３の軸ａから
みて、９００の間隔を保っている。

ざらに、基台４に、支持体４０１ｆｉ設けられ、それに
、１述した筒体４１が取付けられている。

この筒体４１は、その軸ｄが上述した試料載ｉ１９台１
の−１，下の昇降方向に延長１°るように、且つ一端が
試料載置台１と対向するように、支持体４０に取付（〕
られている。

また、筒体４１には、これと一体に輻方向に外方に延長
している原板４２が取付）ブられている。

然して、筒体４１及び原板４２が、上述した保持体２３
を、その筒部２４内に、筒体４１を緩挿し、また保持体
２３の筒部２４の下端面を、原板４２に受けさせた状態
Ｃ１回動自在に装架している。

従って、上述した保持体２３の軸ａが、筒体４１の軸ｄ
と一致している。

また、筒体４１に、その側方から、これと連通している
筒体４３が取付けられ、その筒体４３内に、光源４４が
配されている。

然して、その光源４４からの光を、筒体４２内に設けた
レンズ４５、筒体４１内に設（プたハーフミラ−４６、
筒体４１内に設けたレンズ４７を介して、試料載置台１
上に載置された試料２に入射させ、また、その反射光を
、レンズ４７、ハーフミラ−４６を介して、−次元走査
搬像装置２１に入射させるようになされている。

以上にて、本発明による押込型硬度計の機械系の一例が
明らかとなった。

次に、第５図を伴なって、上述した機械系を有する本発
明による押込型硬度計の電気系の一例を、その動作と共
に述べよう。

上述したように、光源４４からの光が、レンズ４５、ハ
ーフミラ−４６、レンズ４７を介して、試料２に入射し
、その反ａ」光が、レンズ４７、ハーフミラ−４６を介
して、−次元走査撮像装置２１に入射づることによって
、その−次元走査撮像装置２１から、試料を一次元的に
走査撮像した、撮像出力（これを一般的にＳとする）が
得られる。

この場合、−次元走査撮像装置２１は、クロツクパルス
発生回路５ｏがらの、第４図Ｂに示すようなりロックパ
ルスＣＰによって、駆動制御されている。

どころで、−次元走査搬像装置２１は、前述したように
、多数の固体撮像素子Ｅｎ　’　、Ｅ。

−１′・・・・・・・・・Ｌ＋　’　、Ｅｏ　、Ｆ＋　
、Ｅ＋・・・・・・・・・Ｅｎを、電気的に順次直列に
接続して一次元的に、上述した線Ｃ−Ｃ上に一線上に配
列している描成を有する。

従って、撮像出力Ｓは、固体撮像素子Ｅｌｌ’ＩＥｎ−
＋　’　−−−［＋　’　、Ｅａ　、Ｅ＋　、Ｅｒ　−
・・・・・・「ｎでそれぞれ得られる光電変換量）ｊが
、−次元走査Ｉ最像装置２１の走査毎に、一般に、Ｓ＋
＋’　＊　Ｓｎ−＋　’　−−−８＋　’　、Ｓｏ　、
Ｓｔ　、Ｓ２・・・・・・・・・Ｓ　ｎとして、順次行
られる。

今、試お１成首台１上の試料２に付された、第２図に示
り圧痕３の、試料２の表面を含む平面上でみた、相対向
する点ＰＸ及びＰＸ’　を°結ぶ対角線くこれを第１の
対角線とする）を含んで延長している線を、Ｍ４図Ａに
示すように、ＬＸＯとし、また、他の相対向づ゛る点１
）　Ｙ及びＰＹ′を結ぶ対角線（これを第２の対角線と
する）を含／υＣ゛延長している線を、Ｌ　Ｙ　ｏとす
る。さｌうに、線ＬＸＯと線ＬＹＯとの交点をＯとする
。

また、試料２の表面を含む平面上でみた、線ＬＸＯと平
行に、線ＬＸＯから、線ＬＸｏ　と直交する方向に、点
ＰＹ側に向って、上述した第１及び第２の対角線の長さ
くこれ等を夫々、ＮＸ及びＮＹどすφ）に比し小なる幅
ｆの１／２、即ちｆ／２）の幅をとった範囲まで、順次
等間隔ｅをとって延長している複数６１本の線を、第４
図Ａに示すように、ＬＸ、、ＬＸ、、・・・・・・・・
・ＬＸｔ、、とする。ざらに、線ＬＸｏ　と平行に、線
ＬＸｏから、線Ｌ　Ｘ　Ｏと直交する方向に、点ＰＹ′
側に向っ−で、上述した幅ｆ／２をとった範囲まで、順
次等間隔ｅをとって延長している複数ｍ本の線を、ＬＸ
＋　’　、ＬＸ）’　、・・・・・・・・・ＬＸｍ’　
とする。

また、線ＬＹＤ　と平行に、線ＬＹｏから、線ＬＹｏ　
と直交する方向に、点ＰＸ側に向って、上述した幅［／
２をとった範囲まで、順次等間隔Ｃをどっ−Ｃ延長して
いる複数ｍ本の線を、しＹ＋　、ＬＹｉ　、・・・・・
・・・・ＬＹｉとする。さらに、線ＬＹＯと平行に、Ｆ
ｉｌ　Ｌ　Ｙ　ａがら、線ＬＹＯと直交する方向に、点
ＰＸ’側に向って、上述した幅ｆ／２をとった範囲まで
、順次等間隔ｅをとって延長している複数の線を、ＬＹ
ｉ　’　、ＬＹ２′、・・・・・・・・・ＬＹｍ’　と
する。

しかして、上述した一次元走査撮像装置２１を装架して
いる保持体２３が、第２図に示すように、それに設けた
係合用ピン３８が、上述した原板４２に設（プたスイッ
チ３９と係合している状ｆルで、上述した一次元走査撮
像装置２１の固体撮像素子Ｅ１．′〜Ｅ１′、Ｅｏ、Ｅ
１〜Ｅ１１の、上述した配列線Ｃ−Ｃが、上述した回転
盤２１の軸ａ、従って上述した筒体４１のｌ１ｌＩＩＩ
ｄに沿う方向からみて、試料載置台１上に載置された試
別２土の、上述した線Ｌ　Ｘ　ｏ　と平行であり、且つ
その線ＬＸＯと略々一致し〕でいるように、試オ゛」載
置台１上に試料２が予め位置調整されて載置され、また
保持体２３が回動している位置（これを第１の回動位置
と称す）をとっているものとする。

また、保持体２３と試別載置台１とが、−次元撮像装置
２１が試料２の肚痕３を合焦点状態で、−次元走査撮像
する、相対的位置（これを合焦点位置と称す）よりも、
下降している相対的位置（これを基準位置と称す）にあ
るものとする。

然るとぎは、上述した、−次元走査撮像装置２１から、
その走査毎に１ｑられる撮像出力Ｓをな４成している、
出力Ｓ１．′〜Ｓ１′、Ｓｏ。

８１〜Ｓｎが、第４図Ｃに示すように得られる。

即ち、例えば出力Ｓｎ′〜５ｎ−２′と出力Ｓｎ　−ｒ
〜Ｓｎとが略々同一レベルをとり、出力Ｓｎ−＋　’　
〜Ｓ＋　’　、Ｓｏ　、Ｓｔ　〜Ｓｎ−＋が、出力Ｓｎ
′〜５ｏ−２′及びＳｎ　−ｒ　”−８□に比し小なる
レベルをとるも、出力Ｓｎ−＋′〜８１′中の出力Ｓ。

−２′を含めた出ノｒｓ。−７′　の近傍の出ツノＳｎ
−＋　’　＋　Ｓｎ−＋　’　。

Ｓｎ−％　・・・・・・・・・が、順次小なるレベルを
とり、また、出力８１１−１〜Ｓ１中の、出ツノＳ　ｎ
　−ｒを含めた出ノＪＳｎ−＋　の近傍の出力Ｓロー２
゜ａｎ−１＋５ｎ−１・・・・・・・・・が、順次小な
るレベルをとって（ｑられる。

この場合、出力Ｓｎ′〜５ｎ−２′及びＳ。

−２〜Ｓｎが略々同一レベルをとっているのはそれ等出
力Ｓ　ｎ　’　〜Ｓｎ　−ｒ　’及び５ｎ−１〜Ｓ　ｎ
が試料２の、上述した線ＬＸｏ上の点ＰＸ′及びＰＸ外
の領域を、固体撮像索子Ｅｎ’〜Ｅｎ−２′及び［。−
２〜Ｅ、が撮像した出力であるからである。

まｌ〔、出力Ｓｎ−＋　’　、５ｎ−ｉ　’　＊　５ｎ
−４′・・・・・・・・・が、順次小なるレベルをとり
、また出力Ｓｎ−＋　、５ｎ−ｉ　＋　５ｎ−４＋　−
−・＝が、順次小なるレベルをとっているのは、出力Ｓ
　ｎ−ｒ　’　、Ｓｎ−＋　’　５ｎ−４’−・・・”
’が、圧痕３の、上方からみて線しＸａに沿った、点Ｐ
Ｘ′の近傍の傾斜領域を、固体撮像素子１：１１−１’
　＋　Ｅｎ−ｒ　’　＋　［。−４′・・・・・・・・
・が撮像した出力であり、また、出力Ｓ。−１＋５ｎ−
１＋ｓｎ　−４・・・・・・・・・が、圧痕３の、上方
からみて線ＬＸＯに沿った、点ＰＸの近傍の傾斜領域を
、固体撮像素子Ｅ　ｎ−ｒ　＋　Ｅ、ｎ−＋　、　Ｅｌ
ｌ−４−・・・・・・が撮像した出力であるからである
。

また、上述したように、−次元走査撮像装置２１の固体
撮像索子Ｅｎ’　〜［＋　’　、ＥＯ、Ｅ、〜Ｅ＋＋の
、−上述した配列線Ｃ−Ｃが、丁度、上述した線Ｌ　Ｘ
　ｏ　と一致しているように、試料載置台１上に試料２
が載置され、また、保持体２３が上述した第１の回動位
置をとっているが、保持体２３と試料載置台１どが、上
述した合焦点位置にあるものとする。

然るとぎも、上述した、−次元走査撮像装置２１から、
その走査毎に得られる、上述した出力Ｓｎ　’　〜Ｓ＋
　’　、Ｓｏ　、Ｓｔ　〜Ｓｒ１が、第４図Ｃで上）ホ
したと同様に得られる。

但し、この場合は、出力Ｓｌ＋’〜Ｓ）′。

ＳＯ、Ｓｔ　〜Ｓｎ　’　が、−第４図りに示すように
、保持体２３と試オ′）１載１ｒ？Ｊ台１との相対位置
が上述した基準位置にある場合に比し、人なるレベルで
得られる。

また、上述した出力Ｓ　１１−１　’　＋　Ｓｒ１−！
　’　＋Ｓｎ−％・・・・・・・・・が順次小になる変
化率と、出力Ｓロー２＋　５ｎ−ｒ　＋　５ｎ−ｉ・・
・・・・・・・が順次小になる変化率とが、共に、第４
図りに示すように、保持体２３と試料載置台１との相対
位置が、上述した基準位置にある場合に比し、大で得ら
れる。

一次元走査撮像装置２１がら、その走査毎に、上述した
出力Ｓｎ　’　〜Ｓ＋　’　、Ｓｏ　、Ｓｔ　〜Ｓ□の
順次の配列で得られる撮像出力Ｓは、演算処理回路５１
に供給される。

今、−次元走査撮像装置２１がら、その走査毎に得うレ
ル出力Ｓ。′〜Ｓ　ｌ　’　＊　Ｓ　Ｑ　＋　Ｓ　ｌ〜
Ｓｎの、ある時点ｔ１がら、Ｕ走査回分順次行られる、
出力Ｓｎ’　〜Ｓ＋　’　＋　８０　、Ｓｔ　〜Ｓ　ｎ
を、第６図Ａに示舊ように、順次、第１回目の出力８１
　ｎ’　〜Ｓｔ　＋　’　＋　ＳＩａ　＋　Ｓｔ　＋〜
ＳＩｎ　；第２回目の出力Ｓ　Ｉ　ｎ　’　〜ＳＩ　＋
　’　＋Ｓ、。、Ｓ、１〜Ｓｉｎ：・・・・・・・・・
第０回目の出力Ｓｕｎ’　〜Ｓｕ＋　’　＋　Ｓｕｎ　
＊　Ｓｕ＋　〜Ｓｕ□とする。

然るとき、上述した演算処理回路５１は、第１回目の出
力Ｓ＋ｎ′〜Ｓ＋＋’＋Ｓ＋ｏ＋Ｓ１１〜Ｓ＋ｎから・ △Ｓ＋　ｎ’　　　＝Ｓ＋　ｎ’　　５ｔ（ｎ−＋）’
ΔＳ＋（ｎ　−＋）’　＝Ｓ＋（ｎ　−＋）’　　Ｓｔ
（ｎ　−２）’ΔＳ＋　１’　＝８＋　＋　’　　Ｓ１
ａΔＳ＋　＋　＝Ｓ＋　Ｉ　Ｓｔ　ｅ △Ｓ１ｒ　＝Ｓ＋　ｒ　　８＋　１ ΔＳ＋ｎ＝Ｓ＋ｎ　　　　Ｓｔ（ｎ−＋）で表わされる
差出力△Ｓｌｎ’、△５Ｉ（ｎ−＋）′　、・・・・・
・・・・△ＳＩ＋’　　、△Ｓ７５．△８１　１　　・
・・・・・・・・△Ｓｌｎを得、そしＣ１それら差出力
△Ｓ１ｎ′〜△ｓ＋＋’　、△Ｓｔ　１〜へＳｌｎ中の
最大差出力（これをΔＳ、どする）を、判断して記憶し
、そして、第６図Ｂに示１ように正極性のパルスＰ１を
出力４−る。

また、演算処理回路５１は、次に、上述した第２回目の
出力Ｓ＋ｎ′〜Ｓ＋＋’＋Ｓ＋ｏ＋Ｓ＋　＋　〜Ｓ＋　
ｎから、 △　Ｓ　　ｒ　　　ｎ　　　’　　　＝Ｓ＋　　　ｎ　
　　’　　　−８＋　　（。−リ′△　５ｒ（ｎ　　　
−＋）’　　　＝８＋（ｎ　　　−＋）’　　　　　　
Ｓ　　２　（ｎ　　　−２）’△Ｓ＋　＋　’　＝Ｓ＋
　＋　’　　Ｓｚ　。

△Ｓ＋　＋　＝８２＋　　Ｓｔ　Ｏ △Ｓ＋　ｒ　＝Ｓ＋　２　Ｓｚ　＋ ΔＳｚ　　ｎ　　＝Ｓ＋　　ｎ　　　５ｔ（ｎ　−＋）
で表わされる差出力△Ｓ＋ｎ’　、△５２（ｎ−ｔ）′
、・・・・・・・・・△Ｓｌ＋’、ΔＳ、電、△Ｓ２２
・・・・・・・・・△Ｓｉｎを得、そして、それら差出
力ΔＳ２ｏ′〜ΔＳ　Ｉ　＋　’　、△Ｓ２Ｉ〜ＡＳｉ
ｎ中の最大差出力（これをΔＳ、とする）を、判断して
、記憶し、そして、第６図Ｂに示すように正極性のパル
スＰ２を出力する。

さらに、演算処理回路５１は、以下、順次第３回目の出
力Ｓ、ｎ′〜Ｓ１１′、Ｓ、。、Ｓ、１〜ＳＩｏ、第４
回目の出力Ｓ４ｎ′〜Ｓ４＋　’　、Ｓ４　ａ　ｓ　Ｓ
ｓ　＋〜Ｓ４ｎ・・・・・・・・・について、上述した
と同様の動作をなして、第０回目の出力Ｓｕｎ’　〜Ｓ
ｕ＋　’　＋　Ｓｕｏ　＋　Ｓｕ＋　”Ｓｕｌから、 ΔＳｕ　ｎ　’　＝　Ｓｕ　ｎ　’　−５ｕ（ｎ　−リ
’△５ｕ（ｎ　　−ｇ’　　＝Ｓｕ（ｎ　　−ｇ”　　
−８ｕ（ｎ　　−ｒン′△Ｓ　ｕ＋　　’　　−８ｕ＋
　　’　　　Ｓｕｎ△Ｓｕ　　＋　　＝Ｓｕ　　＋　　
　Ｓｕ　Ｏ△Ｓｕ　　２−８ｕ　ｒ−８ｕ　　＋ △Ｓｕ　＋＋　＝　Ｓｕ　ｔ＋　　−５ｕ（ｎ　−＋）
で表わされる差出力△５ｕｌｌ’、△Ｓｕ（。−〇′、
・・・・・・・・・△Ｓｕ　Ｉ　’　、ΔＳｕ＋、△Ｓ
ｕ）・・・・・・・・・△Ｓｕｎを得、そして、それら
差出力△Ｓｕ　１１　’　〜ΔＳｕ＋’＊△Ｓｕｌ〜Ａ
Ｓｕｎ中の最大差出力（これを△Ｓｕとする）を、判断
して、記憶し、そしで、第６図Ｂに示すように正極性の
パルスＰｕを出力する。

上述しｌ〔ようにして、演算処理回路５１から順次１号
られる正極性のパルスｌ’ｚ、Ｐ＋　・・・・・・・・
・１〕１は、モータ駆動回路５２を介して、上述したモ
ータ１０に供給される。

モータ１０は、正極性のパルスＰ＋　、Ｐｉ・・・・・
・・・・Ｐｕが順次供給される毎に、順方向にステップ
回転する。

このため、上述した試料載置台１が、上述した基準位置
からステップ上昇する。

この場合、試料載置台１がステップ上昇し終った位置が
、上述した合焦点位置の上方の位置にあるように、上述
した歯車１２及び１３間の歯車比、歯車１３及び８間の
歯車比、上述した螺軸９の螺子及び筒体６の母螺７のピ
ッチが選ばれている。

また、演算処理回路５１は、上述した正極性のパルスＰ
１〜Ｐｕを出力して後、第６図Ｂに示すように、０個の
負極性のパルスＰ＋　’〜Ｐ。′を順次出力する。

これら負極性のパルスＰ＋　’〜Ｐｕ′は、上述したモ
ータ駆動回路５２を介して、モータ１０に供給される。

モータ１０は、負極性のパルスＰ　ｌ　’　、Ｐ　２′
・・・・・・・・・Ｐｕ′が順次供給される旬に、逆方
向にステップ回転する。

このため、これに応じて、上述した試料載置台１が、上
述した上背位置からステップ下降し、よって、試料載置
台１が上述した基準位置に復帰する。

また、演算処理回路５１（よ、上述した負極性のパルス
Ｐ、′〜１）ｕ′を順次出力し終るまでの間Ｃ，または
パルスＰｕ′を出力して後、上述した最大差出力△Ｓ＋
　　、△Ｓ２、・・・・・・・・・ΔＳ１中の最大値（
これを、最大差出力中の第ｒ番ｌ］の最大差出力△Ｓ、
であるとする）を判別する。

然して、上述したパルスＰｕ′を出力して後、１゛個の
正極性のパルスＰ１″〜Ｐｒ″を出力する。

これら正極性のパルスＰ１″〜Ｐ、″は、モータ駆動回
路５２を介して、モータ１０に供給される。

従ってモータ１０が、再庶、順方向にステップ回転し、
これに応じて、試料載置台１がステップ上昇し、そして
、その上昇位置を保つ。

ところで、上述した最大差出力△Ｓ１、△Ｓ７、・・・
・・・・・・△Ｓｕ中の、最大差出力△Ｓ、は、第４図
りで上述したところから明らかなように、−次元走査撮
像装置２１が、合焦点状態で、試料２を走査撮像してい
る場合において、−次元走査撮像装置２１から、高いレ
ベルで得られる、出力Ｓｒｎ’　〜Ｓｒ＋　’　＋　Ｓ
ｒｏ　＊　Ｓｒ、＋　〜Ｓ１ｎから得られるものである
。

また、上述した最大差出力△Ｓ１、ΔＳ２、・・・・・
・・・・△Ｓｕ中の、最大差出力ΔＳＴ以外の最大差出
力は、第４図Ｃで上述したところから明らかなように、
−次元走査撮像装置２１が、非合焦点状態で、試料２を
走査撮像している場合において、−次元走査撮像装＠２
１から、低いレベルで得られる出力から得られるもので
ある。

従って、上述したパルスＰ１″〜Ｐ７″に基ずき、試料
台１が、上述したように上昇した位置は、−次元走査躍
像装＠２１が、合焦点状態で、試Ｆ１２を走査撮像して
いる、上述した合焦点位置である。

よって、試料台１が、合焦点位置を保って後、−次元走
査撮像装置２１から得られる撮像出力Ｓは、高いレベル
で得られる。

上述においては、−次元走査撮像装置２１を装架してい
る保持体２３が、上述した第１の回動位置をとっている
状態ぐ、上述した固体Ｉ１１像素子Ｅｎ’　〜Ｅ＋　’
　、ＥＤ　、Ｅ＋　”Ｅｏの配列４’！ｃ　　ｃが、試
料２上の上述した線ＬＸｏ　と一致しているものとして
、述べたが、今、保持体２３が、ト述した第１の回動位
置をとっている状態で、上述した固体搬像素子Ｅ４．′
〜ＦＩ′、ＥＯ、Ｅ＋　”ｌＥｎの配列線Ｃ−Ｃが、丁
度、試料２上の上述した線ＬＸｍ′と一致しているもの
とする。

なお、保持体２３が上述した第１の回動位置をとってい
る状態で、固体搬像素子Ｅ。′〜Ｅ１　’　＊　Ｅ　Ｏ
＋　Ｅ　ｌ　〜Ｅ　１１の配列線Ｃ−Ｃが、丁度、試料
２上の上述した線ＬＸ、ｌｌ′と一致している関係は、
試料台１が上述したように合焦点位置を保って後、演算
処理回路５１より、−個の負極性パルスＧ　１、〜Ｇ　
１　＋ｎを出力させ、そのｍ個の負極性パルスＧ　１　
＋〜Ｇ１ｔｎをモータ駆動回路５３を介して、上述した
モータ３５に供給させ、これに応じて、モータ３５を順
次順方向にステップ回転させ、またこれに応じて上述し
た可動ＩＭ２２を、上述した線ｂ−ｂに沿って、上述し
た線ＬＸｍ’側に向って順次ステップ移動させることに
よって得ることができる。

この場合、モータ３５の回転軸３６に付された螺子３７
及び可動盤２２の杆３３の母螺３４のピッチを、可動盤
２２が順次上述した間隔ｅづつステップ移動するように
選んでおけ、ばよい。

また、今述べたように、保持体２３が第１の回動位置を
とっている状態で、上述した配列線ｃ−ｃが、丁度、試
料２上の上述した線ＬＸ、。

′と一致している場合に、上述したように、試料載置台
１が上述した合焦点位置を保って後の時点ｔ２から、（
２＋ｎ＋１）走査回分順次前られる、上述した出力Ｓｎ
’　〜Ｓｒ　’　、Ｓｖ　、Ｓｌ：”Ｓｎを、第７図Ａ
に示すように、第６図Ａて前述したと同様に、第１回目
の出力Ｑ　Ｘ　１−Ｔ１１゜′へ□ＱＸＬ、ｌ＋＋　’
　、ＱＸＣ，ｌＩＯ’　、ＱＸＲｔｎ＋　’　〜ＱＸＲ
ｔｎ　ｎ　’　　：第２回目の出力Ｑ　Ｘ　Ｌ（Ｔｎ−
Ｂｎ　’　〜ＱＸＩ−（ｍ−＋）＋　’　、　ＱＸＣ（
ｍ　−＋）０’　、　ＱＸＲ（Ｉｌｌ　−＋１＋　’　
〜ＱＸＲ（ｍ　−Ｂｎ　’　　：・・・・・・・・・第
ｍ回目の出力ＱＸＬ＋ｎ’〜ＱＸＬ＋　＋’　、ＱＸＣ
＋　Ｄ　’　、ＱＸＲｔ　＋　〜ＱＸＲ＋　ｎ’　　：
第（ｍ　＋　１）回目の出力ＱＸ　ＬＯｎ　−ＱＸ　Ｌ
Ｏ５，ＱＸＣＯＯ、ＱＸＲｏ　Ｉ　〜ＱＸＲＯｎ　；第
（ｍ＋２）回目の出力ＱＸＬ１ｎ〜Ｑｘ１−１１゜ＱＸ
Ｃ＋　ｏ　、ＱＸＲｔ　＋　〜ＱＸＲ＋　ｎ　：第（’
ｍ＋３）回目の出力ＱＸＬ２１１〜ＱｘＬ２７、ＱＸＣ
＋　ａ　ｓ　ＱＸＲｔ　＋　〜ＱＸＲ＋　ｎ　：−−−
第（２ｍ＋１）回目の出力ＱＸ　Ｌｍ　ｎ　””ＱＸ　
Ｌｍ＋　　、ＱＸＣｍ　Ｏ、ＱＸＲｍ　＋　〜ＱＸＲｍ
　ｎとする。

然るとき、上述した演牌処理回路５１は、上述した第１
回目の出力ＱＸＬｍ　ｎ　’　〜ＱＸＬ、ｎ＋　’　、
ＱＸＣ−ｏ　’　、ＱＸＲｍ　＋　’〜ＯＸ　Ｒｍ□′
を記憶し、そして、 △ＱＸＬｍｎ′　＝ＱＸＬｙｎｎ′ Ｑ　Ｘ　Ｌｍ（ｎ　−＋）’ Δ　ＱＸ　　Ｌｍ（ｎ　　−＋）’　　　＝ＱＸ　　Ｌ
ｔｎ（ｎ　　−１）’−ＱＸＬｍ（。−２）′ 八〇ＸＬｍ　＋　　’　　＝ＱＸＬＴｌｌ　＋　　’Ｑ
ＸＣｍ＋＋’ ΔＱＸＲｍ　＋　　’　　−ＱＸＲｔｎ　＋　　’ＱＸ
Ｃｍｏ’ ΔＱＸＲＷ１２　′　＝ＱＸＲＴｌ１２　′−ＱＸＲｍ
＋’ △ＱＸＲｔｎ　、’　　＝ＱＸＲ，，’ＱＸＲｍ（ｎ　
−＋）’ で表わされる差出力ΔＱＸＬｍｎ’　、△ＱＸＬｍ（ｎ
−Ｑ′・・・・・・・・・ＱＸＬｔｌ１１′、△Ｑ　Ｘ
　Ｒｍ　１、△ＱＸＲＴ１１１’　　・・・・・・・・
・・・・・・・・・・Ｑ　Ｘ　Ｒｍ。′を冑る。

まｌこ、上述した差出力△ＱＸＬｍ＋’〜ＱＸＬ＋ｎｎ
′を、それらの順に順次配列記憶する。

そして、その配列を、差出）ｊ△ＱＸＬｍ＋’側から差
出力ΔＱＸＬｍｎ’側を順次みたときに、正の値での差
出力の複数が順次得られて後、省の値での差出力が最初
に得られる差出力（これを△ＱＸＬｍ’　とする）の得
られる配列、トの位置を判別する。

そして、差出ノ〕△Ｑ　Ｘ　Ｌ　ｍ　’が得られる配列
上の位置から、差出力△ＱＸＬｍ＋’が得られる配列位
■までの配列長を表わしている出ツノ（これをＷＸＬｍ
’　とする）を記ｔ＠する。

また、上述した配列を、差出ツノΔＱＸＲ，１′側から
差出力△Ｑ）１ｍ、、’側を順次みｌｃとぎに、同杆に
、正の飴での差出力の複数が順次１ｑられて後、零の値
での差出力が最初に得られる差出力（これを△ＱＸＲｔ
ｎ’　とする）の得られる配列上の位置を判知−する。

そして、差出力△ＱＸＲｍ’　が得られる配列上の位置
から、差出力△ＱＸＲＴ１１１′が得られる配列上の位
置までの配列長を表わしている出力（これをＷＸＲｍ’
　とする）を記憶する。

そして、上述した配列長を表わす出力ＷＸＬイ′及びＷ
ＸＲ，’から、ＭＸｙｎ　’　＝ＷＸ　Ｌｍ’＋ＷＸＲ
ｍ’で表わされる出力ＭＸｔｎ　’　を得、これを記憶
し、そして第７図Ｂに示すように、パルスＨＸｍ’　を
出力する。

また、上述した演舜処理回路５１は、上述した第２回目
の出力Ｑ　Ｘ　Ｌ（ｍ−リ。′〜Ｑ　Ｘ　Ｌ（ｍ−＋）
＋　　　’　　　、　　　ＱＸＣ（ｍ−Ｂｏ　　　’　
　　、　　　ＱＸＲ（ｍ−１３１’　〜Ｑ　Ｘ　Ｒ（Ｔ
１１−　＋）ｎ　’　を記憶し、そして、△ＱＸ　ＬＣ
ｍ　−１）ｎ　’　＝ＱＸ　ＬＣｍ−リｎ′Ｑ　Ｘ　Ｌ
（ｍ　−＋Ｂ。−５）Ｉ ΔＱＸ　Ｌ（ｍ　　−ｇ＜ｎ　　−＋１’　　＝Ｑ　　
Ｘ　　Ｌｃｙｎ　　−リ（ｎ　　−１）　　’Ｑ　　Ｘ
　　Ｌ（ｍ　　−＋Ｂｎ　　−２）’△　ＱＸＬｔｗｎ
−＋ン　＋　　　’　　　−ＱＸｌ−（Ｔ１１　−　　
＋＞１’Ｑ　　Ｘ　　Ｃ（ｙｎ　　−＋ン　。　　′△
Ｑ　ＸＲ（ｍ　−１）Ｉ　’　＝ＱＸＲ（ｍ　−＋）＋
　’ＱＸＣ（ｍ　−ｎｏ　　’ △ＱＸＲ（ｍ　　−１）ｌ　　’　　＝ＱＸＲｔｍ　　
−ｕ＋　　’Ｑ　Ｘ　Ｒｒｍ　−１７１’ △ＱＸＲ（ｍ　−＋）ｎ　　’　　′ＱＸＲ（ｙｎ　−
＋）ｎ　　’−−ＱＸＲ＋ｍ　−＋ｙｎ　−＋）’ で表わされる差出力△Ｑ　Ｘ　Ｌｙｎ　−１）。′、△
ＱＸＬｃｍ　　−ｇ＜ｎ　　−Ｂ’　　　”１＝０　Ｑ
ＸＬ（ｍ　　−Ｂ＋　　　’　　　＋△　Ｑ　　Ｘ　　
Ｒ（ｍ　　−＋ン　、′、　　　△　ＱＸＲ（Ｔ１１　
−　　ｒＢ　　　’　　　・・・　・・・・・・・・・
・・・・・・ＱＸＲｃｍ−＋）。′を得る。

また、上述した着出力△ＱＸ　Ｌ（Ｔｌｌ　−Ｂ＋　’
〜Ｑ　Ｘ　Ｌ（ｍ　−Ｉ’ｌｌ　’　を、それらの順に
順次配列記憶覆る。

そして、その配列を、差出力△ＱＸＩ−ｔｍ−＋＞１′
側から差出力△Ｑ　Ｘ　Ｌ（ｗ＋　−＋）□′側を順次
みたときに、正の値での差出力の複数が順次得られて後
、零の値での差出力が最初に得られる差出力（これを△
ＱＸＬｍ−＋’　とする）の得られる配列上の位置を判
別する。

そして、差出力△ＱＸＬｍ−＋’　が得られる配列上の
位置から、差出力ΔＱＸ　Ｌ（ｍ　−１）１　’が得ら
れる配列上の位置までの配列長を表わしている出力（こ
れをＷＸＬ−−＋’　とする）を記憶する。

また、上述した配列を、差出力△ＱＸＲ（ｍ−リ、′か
ら差出力△ＱＸＲ＜ｒｎ−＋＞。′側を順次みたときに
、同様に、正の値での差出力の複数が順次得られて後、
零の値での差出力が最初に得られる差出力（これを△Ｑ
ＸＲｍ−＋’　とする）の得られる配列上の位置を判知
する。

そして、差出力△ＱＸＲｍ　−＋　’が得られる配列上
の位置カラ、差出力△ＱＸＲ（ｍ　−＋）＋　’が得ら
れる配列上の位置までの配列長を表わしている出力（こ
れをＷＸＲｔｎ−１’　と覆る）を記憶覆る。

そして、上述した配列長を表わす出力ＷＸＬイー１′及
びＷＸＲｍ　−＋　’から、ＭＸｍ−＋’　＝ＷＸＬｍ
　−＋　’　＋ｗＸＲｍ　−＋　’で表わされる出力Ｍ
Ｘｍ−＋　′を得、これを記憶し、第７図Ｂに示１よう
に、パルスト（Ｘ＋ｎ−＋’を出力する。

さらに、上述した演算処理回路５１は、以下第３回目の
の出力Ｑｘ　Ｌ（ｍ　−Ｂｎ　’　〜ＱＸ　Ｌ（ｍ−１
）＋　　　’　　　、　　　ＱＸＣ（ｍ−ｇｏ　　　’
　　　、　　　ＱＸＲ（ｗ＋−２Ｊ＋’　〜Ｑ　Ｘ　Ｒ
（ｍ　−ｒ）ｎ　’　　：第４回目の出力ＱＸＬ（＋ｔ
＋　　−＋）ｎ　　　’　　　′　ＱＸＬ＋ｍ　　−ｒ
Ｂ　　　’　　　ＱＸＣ（ｍ　　−＋）ｎ’　＋　ＱＸ
Ｒ（ｍ−＋７＋　’　′″ｖＱＸＲＣｍｖＱＸＲＣｍ−
リｎ’・・・についで、上述したと同様の動作をなす。

なおさらに、上述した演算処理回路５１は、上述しＩζ
第ｍ回目の出力ＱＸＬ＋ｎ′〜ＱＸＬ＋＋’、ＱＸＣ＋
　　　ｏ　　′　　、ＱＸ’Ｒ＋＋’　　　〜　ＱＸＲ
ｌｌ、′　を記憶し、そして、 八〇Ｘ　Ｌ＋　ｎ　’　＝ＱＸ　Ｌ＋　ｎ　’−ＱＸ　
Ｌ＋（ｎ　−＋）’ △ＱＸ　Ｌ＋（ｎ　−＋）’　　−ＱＸ　Ｌ＋（ｎ　−
１）’−ＱＸＬ＋ｃｎ　　−２）’ ΔＱＸＬ＋　　＋　　’　　＝ＱＸＬ＋　　１　’−Ｑ
ＸＣＩ　　Ｏ’ △ＱＸＲ＋　　＋　　’　　＝ＱＸＲ＋　　＋　　’−
ＱＸＣＩ　　Ｏ’ ΔＱＸＲ＋　　ｒ　’　　＝ＱＸＲ＋　ｒ　　’　　　
ＱＸＲ＋　　＋△ＱＸＲ＋　　ｎ　’　　＝ＱＸＲ＋　
　ｎ　’−ＱＸＲ＋（ｎ−〇′ で表わされる差出力△に）ＸＬ＋　ｎ　’　、△ＱＸＬ
＋（ｎ　−＋）’　−”・−ＱＸ　Ｌ＋　＋　’　＋Δ
ＱＸＲ＋＋′、ΔＱＸＲ１２’・・・・・・・・・・・
・・・・・・・ＱＸＲ＋。′を得る。

また、上述した差出力△ＱＸＬ＋ｔ’〜ＱＸＬ１．′を
、それらの順に順次配列記＠Ｊる。

そしく、その配列を、差出力△ＱＸＬ＋　＋　’側から
差出力ΔＱＸＬ＋ｎ’側を順次みたときに、正の値での
差出ツノの複数が順次得られて後、零の値での差出力が
最初に得られる差出力（これを△ＱＸＬ＋’　とする）
の得られる配列上の位置を判別りる。

−でして、差出力△ＱｘＬ、′が得られる配列上の位置
から、差出力ΔＱＸＬ＋＋’　が得られる配列上の位置
までの配列長を表わしている出力（これをＷＸＬ＋’　
とする）を記憶する。

また、上述した配列を、差出力△ＱＸＲ＋ｔ′側から差
出力△ＱＸＲ＋ｎ’側を順次みたときに、同様に、正の
値での差出力の複数が順次得られて後、零の値での差出
力が最初に得られる差出力（これをΔＱＸＲ７′とする
）の得られる配列上の位置を判知する。

そして、差出力△ＱＸＲ＋’が得られる配列上の位置か
ら、差出力△ＱＸＲ＋＋’が得られる配列上の位置まで
の配列長を表わしている出力（これをＷＸＲ＋’　とす
る）を記憶する。

そして、上述した配列長を表わす出力ＷＸ１１′及びＷ
ｘＲＩ′から、ＭＸ＋　’　＝ＷＸＬ＋’＋ＷＸＲ＋’
で表わされる出力ＭＸ−＋’を得、これを記憶し、そし
て第７図Ｂに示すように、パルスＨＸ＋　’　を出力す
る。

また、上述した演算処理回路５１は、上述した第（ＩＩ
ｌ＋１）回目の出力ＱＸ　Ｌｌ　ｎ　−ＱＸ　Ｌｏ　　
１　　　、　　ＱＸＣＯＯ、ＱＸＲＯ１〜ＱＸＲｏ　　
ｎ　　を記憶し、そして、 △Ｑ　Ｘ　Ｌ　Ｏｎ＝　Ｑ　Ｘ　Ｌ　ｕ。

−Ｑ　Ｘ　Ｌ　ｔ＋（ｎ−リ △　ＱＸＬｏ（ｎ　　−＋３＝ＱＸＬｏ（ｎ　　−＋）
ＱＸＬｏ（ｎ−＋） ΔＱＸＬｎ　＋　　＝ＱＸＬａ　＋　　　ＱＸＣｏ　。

ΔＱＸＲｎ　　１　＝ＱＸＲｏ　　＋　　−ＱＸＣｏ　
　。

△ＱＸＲｏ　　＋　　＝ＱＸＲｏ　　ｒ　　　ＱＸＲＯ
１△ＱＸＲＯｎ　＝ＱＸＲｏ　ｎ　　ＱＸＲｎ（ｎ　−
Ｂで表わされる差出力ΔＱＸＬｎｎ、ΔＱＸＬｏ（ｎ−
＋）−・−・・Ｑ　Ｘ　Ｌ＠　＋　　、　ΔＱＸＲｏ　
１　、　ΔＱ×Ｒｏ＋　・・・・・・・・・・・・・・
・・・・ＱＸＲｏｎを得る。

また、上述した差出力ΔＱＸＬθ１〜ＱＸＬＯｎを、そ
れらの順に順次配列記憶する。

そして、その配列を、差出力ΔＱＸＬＯ＋側から差出力
ＡＱＸＬｏｎ側を順次みたときに、正の値での差出力の
複数が順次得られて後、零の値での差出力が最初に得ら
れる差出力くこれをΔｏｘ［ｏ　とする）の得られる配
列上の位置を判別する。

そして、差出力ΔＱ　Ｘ　Ｌ　ｏが得られる配列上の位
置から、差出力ΔＱＸＬＱＩ　が得られる配列上までの
位置までの配列長を表わしている出力（これをＷ　Ｘ　
Ｌ　ｏ　とＪ−る）を記憶する。

また、上述した配列を、差出力ΔＱＸＲＤＩ側から差出
力ＡＱＸＲｏｎ側を順次みたときに、同様に、正の値で
の”差出力の複数が順次得られて後、零の値での差出力
が最初に得られる差出力（これを△Ｑ　Ｘ　ＲＯとする
）の得られる配列上の位置を判知する。

そして、差出力△Ｑ　Ｘ　ＲＯが得られる配列上の位置
から、差出力△ＱＸＲｏ＋　が得られる配列上の位置ま
での配列長を表わしている出力（これをＷ　Ｘ　Ｒｏ　
とする）゛を記憶する。。

そして、上述した配列長を表わす出力ＷＸＬＯ及びＷ　
Ｘ　Ｒｖから、Ｍ　Ｘ　０＝　Ｗ　Ｘ　Ｌ　Ｏ＋　Ｗ　
ＸＲｕで表わされる出力Ｍ　Ｘ　ａを得、これを記憶７
する。そして、第７図Ｂに示すように、パルスＨＸＯを
出力する。

さらに、上述した演算処理回路５１は、上述した第（ｍ
＋２）回目の出力ＱＸ　Ｌｌ　ｎ−ＱＸＬ＋　＋　、Ｑ
ＸＣ＋　ｏ　、ＱＸＲ＋　＋　〜ＱＸＲ＋　ｎを記憶し
、そして、 △ＱＸＬ＋　ｎ　＝ＱＸ　Ｌ＋。

ＱＸ　　Ｌ＋（ｎ　　−＋） △ＱＸ　Ｌ＋（ｎ　−＋）　＝ＱＸ　Ｌ＋（ｎ　−＋１
ＱＸＬ＋（ｍ−＋２ △ＱＸＩ　＋　＋　＝ＱＸＬ＋　＋　　ＱＸＣＩ　ｎ△
ＱＸＲ＋　＋　＝ＱＸＲ＋　＋　　ＱＸＧＩ。

△ＱＸＲ＋　）＝ＱＸＲＩ　Ｉ　　ＱＸＲ＋　＋１ＱＸ
Ｌ＋　ｎ　＝ＱＸＲＩ　ｎ Ｑ　Ｘ　Ｒ＋（ｎ−＋） で表わされる差出ツノΔＱＸＬ＋ｏ、ΔＱＸＬ＋（ｎ　
−＋）−−・＝Ｑ　Ｘ　ｌ−＋　＋　＋△ＱＸＲ＋＋、
△ＱＸＲ＋＋　・・・・・・・・・・・・・・・・・・
ＱＸＲ＋ｒ　を得る。

また、上述した差出力△ＱＸＬ＋Ｉ〜ＱＸＬ１ｎを、そ
れらの順に順次配列記憶する。

そして、その配列を、差出力ΔＱＸＬ＋＋　側から差出
力△ＱＸＬ＋　ｎ側を順次みたときに、正の値での差出
力の複数が順次得て後、零の値での差出力が最初に得ら
れる差出力（これをΔＱＸＬＩ　とする）の得られる配
列上の位置を判別する。

そして、差出力△ＱＸＬ＋　が得られる配列上の位置か
ら、差出力ΔＱＸＬ＋　＋　が得られる配列上の位置ま
での配列長を表わしている出力（これをＷ　Ｘ　Ｌ　＋
　とする）を記憶する。

また、上述した配列を、差出力△ＱＸＲ＋＋側から差出
力ΔＱＸＲ＋ｎ側を順次みたときに、同様に、正の値で
の差出力の複数が順次得られて後、零の値での差出力が
最初に得られる差出力（これを△Ｑ　Ｘ　Ｒ１とする）
の得られる配列上の位置を判知する。

そして、差出力△Ｑ　Ｘ　Ｒ＋が得られる配列上の位置
から、差出ｈΔＱＸＲ＋　＋　が得られる配ａｔ　トの
位置までの配列長を表わす出力（これをＷ　Ｘ　Ｒ＋　
とする）を記憶Ｊる。

そして、上述した配列長を表わり出力ＷＸ１１及びＷＸ
Ｒｌから、Ｍ　Ｘ　＋　＝　Ｗ　Ｘ　Ｌ　＋　＋　Ｗ　
ＸＲ１で表わされる出ノ］　Ｍ　Ｘ　＋　を１ワ、これ
を記憶−４る。そして第７図Ｂに示りｊ：うにパルスＩ
−１×１を出力する。

また、［述した演算処理回路５１は、以下箱（＋ｎ＋３
）回目の出力ＱＸＬ＋　ｎ　〜ＱＸＬ＋　＋　、ＱＸＣ
Ｉ　ｏ　、ＱＸＲ７＋　〜ＱＸＲ＋　ｎ　：第（ｍ→４
）回目の出力ＱＸＬ＋　ｎ　〜ＱＸＬ＋　＋　、ＱＸＣ
Ｉ　Ｏ：　ＱＸＲ＋　＋　〜ＱＸＲ＋　ｎ　：　−−−
について、上述したと同様の動作をなす。

さらに、上述した演算処理回路５１は、上述した第（２
ｍ＋’ｌ）回目の出力ＱｘＬｍ１〜ＱＸＬｍ　＋　　、
ＱＸＣｍ　ｏ　　、ＱＸＲｔｎ　＋　　〜ＱＸＲｍ、１
を記憶し、そして、 △ＱＸ　ｌ　ｍ　ｎ　＝ＱＸ　Ｌｍ　ｎ　　ＱＸ　Ｌ＋
ｎｒｎ　−１）△　ＱＸ　　Ｌｍ　（ｎ　　　−＋）　
　＝ＱＸ　　ｌ−＋ｎ（ｎ　　　−＋）Ｑ　Ｘ　Ｌ　ｍ
（ｎ　−Ｑ △ＱＸ　Ｌｍ　＋　　＝ＱＸ　ＬＴｌｌ　＋−ＱＸＣ，
。

△ＱＸＲｍ　１　＝ＱＸＲｍ　＋　　　ＱＸＣｍ　。

ΔＱＸＲｍｙ＝ＱＸＲｍ＋　　　ＱＸＲ＋ｎ＋△ＱＸＲ
ｍ　ｎ　＝ＱＸＲｍ　ｎ　　ＱＸＲｍ（ｎ　−１）で表
わされる差出力△ＱＸＬｍｎ、△ＱＸＬｍ（ｎ　−＋）
　”　・・・・−ＱＸＬ、、、△ＱＸＲｍ＋。

△Ｑ　Ｘ　Ｒｍ　２　・・・・・・・・・・・・・・・
・・・ＱＸＲｍｎを得る。

また、上述した差出力△Ｑ　Ｘ　Ｌ’ｍ　＋１ＱＸＬｗ
ｎ′を、それらの順に順次配列記憶する。

そして、その配列を、差出力ΔＱＸＬ−＋側から差出力
ＡＱ　Ｘ　Ｌ　ｍ　ｎ側を順次みたときに、正の値での
差出力の複数が順次得て後、零の値での差出力が最初に
得られる差出力（これを△ＱＸＬＴｎとする）の得られ
る配列上の位置を判別する。

イして、差出力△ＱＸＬＴｌｌが得られる配列上の位置
から、差出力△Ｑ　Ｘ　Ｌ　ｍ　＋　が得られる配列上
の位置までの配列長を表わしている出）Ｊ（これをＷＸ
Ｌｍとする）を記憶する。

まｌ〔、上述しＩこ配列を、差出力△ＱＸＲＴｎ＋側か
ら差出力ＡＱＸＲｍｎ側を順次みたときに、同様に、正
の埴−Ｃの差出力の複数が順次得られて後、零の値での
差出ツノが最初に得られる差出力（これを△ｏ　Ｘ　Ｒ
ｍと１６）の得られる配列上の位置を判知する。

そし−で、差出力△ＱＸＲ，が得られる配列上の位置か
ら、差出力△ＱＸＲｍ１が得られる配列上の位置までの
配列長を表わず出力（これをＷＸＲｍどする）を記憶す
る。

そして、上述した配列長を表わしている出力Ｗ　Ｘ　Ｌ
　ｍ及びＷ　Ｘ　Ｒｍから、ＭＸｍ−ＷＸＬｍ十ＷＸＲ
Ｔｌｌで表わされる出力ＭＸを得、これを記憶して第７
図Ｂに示すように、パルスｌ−Ｉ　Ｘ　、ｎを出力する
。

上述したようにして、演算処理回路５１から順次得られ
るパルスト１ｘイ′、トｌＸｍ−＋’　・・・−＝４１
Ｘ＋　　　’　　　、　　　ＨＸｏ　　　’　　　、　
　　ＨＸ＋　　　、　　　ＨＸ＋　　　−−・・・ＨＸ
、は、モータ駆動回路５３を介して、上述したモータ３
５に供給される。

モータ３５は、パルスＨＸｒｎ　’　、　ＨＸ＋ｎ　−
１’　、−−−ＨＸ＋　’　、ＨＸＯ、ＨＸ＋　、ＨＸ
＋・・・・・・・・・１−ＩＸ、ＴＩが得られる毎に、
順方向にステップ回転し、これに応じて、上述した可動
盤２２が、上述した線Ｃ−Ｃが上述した線ＬＸｍ’　と
合致している、保持体２３との相対的位置から、上述し
た線ｂ−ｂに沿って、線ＬＸｍ側に順次上述した間隔ｅ
づつステップ移動する。

このような可動盤２２の順次のステップ移動によって、
上述した線Ｃ−Ｃが、上述した線しＸｓ’　と合致して
いる保持体２３との相対的位置から、順次、線ＬＸｍ−
、’　、ＬＸ、−２’・・・・・・・・・ＬＸ＋　’　
、ＬＸＯ、ＬＸ＋　・・・・・・・・・Ｌ　−Ｘ　ｍと
合致する関係が得られる。

ところで、上述した出力ＭＸＴＩＩ′の１ノＪＷ１１′
は、試料２の圧痕３の、上述した線ＬＸＴ１１′上での
、／ｊＥ痕３の中心位置Ｏから点Ｐ　Ｘ　’側の側縁ま
での長さを表わしている。

その理由は、出力ＷＬｍ’が、上述した差出力△Ｑｘ＋
−ｍ’　が得られる配列上の位置から、差出ノｊ△Ｑ×
１−ＴＩｌ、′　が得られる配列トの位置までの配列長
を表わり一出力である。一方、差出力△ＱＸＬｍ’が、
差出力△ＱＸＬ□１′〜ＱＸＬｍｎ′を順次配列記憶し
たときの、その配列を、差出力△ＱＸＩ’側から差出力
ΔＱＬｍ１１′　側を順次みたときに正の値での差出力
の複数が順次得られて後、零の値Ｃ′の差出力が最初に
１ｑられる差出力である。従って、差出力△ＱＸＬｔｎ
’が得られる配列上の位置が、第４図Ｃ及び１〕で、一
般的な出力Ｓ　ｎ　’　＊　’Ｓｎ　−１’　”’・・
−＝・Ｓｔ　’　、Ｓｏ　、Ｓｔ　、Ｓｔ　−−−８ｎ
　−＋　。

Ｓｎのレベルについて上述したところから、明らかなよ
うに、圧痕３の、上述した線ＬＸｍ’上での点ＰＸ′側
の側縁に対応しているからである。

また、上述した出力Ｍ　Ｘ　ｔｎ　’　の出力Ｗ　Ｘ　
Ｒｔｎ′は、上述したと同様の理由で、試料２の圧痕３
の、上述した線ＬＸｍ’上での、圧痕３の中心位置から
点ＰＸ側の側縁までの長さを表わしている。

従って、上述した出力ＭＸ１，１′は、圧痕３の、上述
した線ＬＸ−１’上での長さを表わしている。

さらに、上述した出力ＭＸ−−＋　’　、ＭＸｍ−ｒ　
’　・”−−ＭＸ＋　’　、ＭＸＯ、ＭＸ＋　、ＭＸ、
・・・・・・・・・Ｍ　Ｘ　ｍは、上述したと同様の理
由で、それぞれ、圧痕３の、上述した線Ｌ　Ｘｍ　−＋
　’　＋ＬＸｍ−ｒ　’、、−−−ＬＸ＋　’　、ＬＸ
Ｏ、ＬＸ＋、ＬＸ＋・・・・・・・・・ＬＸｍ上での長
さを表わしている。

また、演算処理回路５１は、上述したパルスＨＸｍ’　
、ＨＸｗ＋−１’　、−−−ＨＸ＋　’　、ＨＸｏ　、
Ｈ’Ｘ＋　、ＨＸ＋・・・・・・・・・１−（Ｘ、を出
力して後、第７図Ｃに示１ように、１つの切換用パルス
ＰＸＷを出力する。

この切換用パルスＰＸＷは、モ・−タ駆動回路５４に供
給される。

一方、モータ駆動１り路５４には、上述した保持体２３
の係合用ビン３８が係合する、スイッチ３９及び３９′
が接続されている。

スイッチ３９は、上述した保持体２３が第１の回動位置
にあるので、上述した切操用パルスＰＸＷが得られると
き、Ｖ「動している。

モータ駆動回路５４は、スイッチ３９が作動している状
態で、上述した切換用パルスＰｘＷが供給された場合、
第７図りに示１ように、順次パルスに×を出力する。

この順次のパルスＫＸ・・・・・・・・・は、上述した
モータ３０に供給される。

モータ３０は、順次のパルスＫＸの供給を受けて、順方
向にステップ回動する。このため、保持体２３が順方向
に回動する。

そして、保持体２３が、上述した係合用ビン３８が、上
述したスイッチ３９′と係合り−るまで回動すれば、ス
イッチ３９′が作動する。

このため、モータ駆動回路５４からの上述したパルスＫ
Ｘが得られなくなり、モータ３０の回動が停止し、これ
に応じて保持体２３０回動が停止する。

保持体２３の回動が停止したとき、上述したー次元走査
踊像装置２１の固体撮像素子Ｅｎ’〜Ｅ＋　’　、Ｅ口
、Ｅ＋〜Ｅ口の配列線ｃ−ｃが、試料２中の、上述した
線ＬＹｔｎ’　と略々一致している、保持体２３の、試
料２との相対的な回動位置（これを第２の回動位置と称
す）を保っているものとする。

今述べたように、保持体２３が第２の回動位置をとって
いる状態で、上述した配列線Ｃ−Ｃが、試料２上の上述
した線ＬＹｍ’　と略々一致している場合に、時点１．
かう、（２ｍ＋１）走査回分順次骨られる、上述した出
力Ｓｎ′〜Ｓ＋　’　、Ｓｏ　、Ｓ＋　〜Ｓｎを、第８
図Ａに示すように、第７図Ａで前述したと同様に、第１
回目の出力ＱＹＬｍｎ　’　〜ＱＹＬｍ　＋　’　、Ｑ
ＹＣｍＯ’　、ＱＹＲｍ＋　’　〜ＱＹＲｍｎ’　：第
２回目の出力Ｑ　Ｙ　Ｌ（ｍ　−＋）。’　〜Ｑ　Ｙ　
Ｌ（ｗ、　−ｇ＋　’　。

ＱＹＣ（ＴＩ−１）０　’　　、　　ＱＹＲ（Ｔ、ｌ−
１）Ｉ　　’　　〜ＱＹＲ（ｍ−ｌ）ｎ’＋・・・・・
・・・・第８）回目の出力ＱＹＬＩ口’　　〜ＱＹＬ＋
　　＋　　’　　、ＱＹＣ’　　ｌ　　Ｄ　　、ＱＹＲ
＋　　＋’　”−ＱＹＲ＋　ｎ　’　　：第（ｍ−＋−
１）回目の出力ＱＹｌ　ｏ　　ｎ　　〜ＱＹＬｏ　　＋
　　、ＱＹＣｏ　　ｏ　　、ＱＹＲＯ＋　””ＱＹＲｏ
　ｎ　：第（ｍ＋２）回目の出力ＱＹＬ＋　　ｎ　〜Ｑ
ＹＬ＋　　＋　　、ＱＹＣ＋　　Ｏ、ＱＹＲ＋　　＋〜
ＱＹＲ＋。：第（ｍ＋３）回目の出力ＱＹＬｒ　　ｎ　
　〜ＱＹＬｙ　　＋　　　、　　ＱＹＣ＋　　ａ　　　
、　　ＱＹＲ２＋　　　〜ＱＹＲ＋ｎ：・・・・・・・
・・第（２ｍ−１−１）回目の出力ＱＹＬＴＩＩ　ｒ１
〜．Ｑ　’ｌ’ｌ−，Ｔｌ　＋　　、　　ＱＹＣｍ　ｏ
　　、　　ＱＹＲｍ１〜ＱＹＲ，ｎｎとする。

然るとさ、上述した演綽処理回路５１は、上述した第１
回目の出力ＱＹＬ＋＋＋　ｎ　’　〜ＱＹＬＴ１１＋　
’　、ＱＹＣｍ　Ｄ　”＋　ＱＹＲｍ　＋　’　〜ＱＹ
ＲｍＩＩ′　を記憶し、イして、 △ＱＹ［ｍ０′−ＱＹＬＴｌ１１１′ Ｑ　Ｙ　Ｌ　ｎ（ｎ　−＋）　’ △ＱＹ　Ｌｍ＜ｎ　−＋）’　　＝ＱＹ　Ｌｍ（ｎ　−
＋）’−ＱＹＬ而（ｎ−１）’ △ＱＹ　Ｌｍ　＋　　’　　＝ＱＹ　Ｌｍ　＋　　’Ｑ
ＹＣｍｏ’ △ＱＹＲ＋ｎ　＋　　’　　＝ＱＹＲｍ　＋　　’−Ｑ
ＹＣ−ｏ’ △ＱＹＲｍ　ｒ　　’　　＝ＱＹＲｍ２　　’−ＱＹＲ
ｍ＋’ △ＱＹＲｍ　ｎ　’　　＝ＱＹＲｍ　ｎ　　’−ＱＹＲ
ｍ（ｎ　　−１）’ で表わされる差出力ΔＱＹＬ、、’、ΔＱＹＬｍ（ｎ　
−＋）　’　−−−Ｑ　Ｙ　Ｌｍ　＋　’　＊△ＱＹＲ
ｍ＋′、△ＱＹＲｍ＋’　・・・・・・・・・・・・・
・・・・・ＱＹＲｍｎ’を得る。

また、上述した差出力△ＱＹＬ’ｍ＋〜ＱＹＬｌｌｌ１
１′　を、それらの順に順次配列配憶づ−る。

そして、その配列を、差出力△ＱＹＬ＋ｎ＋’側から差
出力△ＱＹＬｔｎｎ’側を順次みたときに、正の値での
差出力の複数が順次得られて後、零の値Ｃの差出力が最
初に得られる差出力（これを△ＱＹＬｍ’　とする）の
得られる配列上の位置を判別りる。

そして、差出力△ＱＹＬ、’が得られる配列上の位置か
ら、差出力△ＱＹＬｍ＋’　が得られる配列位置までの
配列長を表わしている出力（これをＷＹＬｍ’　とする
）を記憶する。

また、上述した配列を、差出力△ＱＹＲＷｌ＋′側から
差出力ΔＱＹＲｍｎ’側を順次みたときに、同様に、正
の値での差出力の複数が順次得られて後、零の値での差
出力が最初に得られる差出力（これを△ｏｙＲｍ’　と
１−る）の得られる配列上の位置を判知する。

そして、差出力△ＱＹＲｔｎ’が得られる配列上の位置
から、差出力△ＱＹＲｍ＋’　が得られる配列上の位置
までの配列長を表わしている出力（これをＷ　Ｙ　Ｒｍ
　’　とする）を記憶する。

そして、上述した配列長を表わす出力ＷＹ１１′及びＷ
ＹＲＷｌ′から、ＭＸｍ’　＝ｗｙｔｍ′＋ＷＹＲ１Ｉ
ｌ′で表わされる出力Ｙ　Ｍ　ｍ　’　を得、これを記
憶し、そして第８図Ｂに示すように、パルスＨＹ、ｌｌ
′を出力する。

また、上述した演算処理回路５１は、上述した第２回目
の出力ＱＹＬ（ＩＴｌ−リ□′〜Ｑ　Ｙ　Ｌ（ｍ−ｇ＋
　’　、ＱＹＣ（ｍ−＋）ｏ　’　、ＱＹＲ（ｍ−＋）
ｔ′〜ＱＹＲ（＋ｎ−＋戸′を８己憶し、そして、△Ｑ
ＹＬ（ｍ　−ｕｎ　’　＝ＱＹＬ（ｍ　−ｏｎ、　’Ｑ
Ｙ　Ｌ（ｍ　−＋ｏｎ　−１１’ ΔＱ　Ｙ　Ｌ（ｍ　−リ（ｎ　−リ′　“ＱＹ　　Ｌｌ
ｍ　　−ｇｉｎ　　−＋）’Ｑ　　Ｙ　　Ｌ（ｍ　　−
＋）（ｎ　　−ｒ）　′ΔＱＹＬ情−リ＋　’　＝　Ｑ
　Ｙ　Ｌ（ｍ−リ、′Ｑ　Ｙ　ｃ＋ｔｎ−００′ △　ＱＹＲ（ｍ　　−＋＞＋　　　’　　　＝ＱＹＲ（
ｍ　　−ｇ　　＋　　　’Ｑ　　Ｙ　　Ｃ（ｎ＋　　−
＋＞　ｏ　　’△　ＱＹＲ（ｍ　　−Ｉｌｌ　　’　　
　＝ＱＹＲ（ｍ　　−＋）ｌ　　　’−ＱＹＲｔｍ　−
＋１＋　　’ △ＱＹＲ（ｍ−＋）ｕ　’　　＝ＱＹＲ（ｍ　−ｕｒ＋
　’−Ｑ　Ｙ　Ｒ（量　−リ（ｎ　　−１）’ぐ表わさ
れる差出力△ＱＹＬ（ｍ−リ□′、ΔＱＹＬ（ｍ　　−
ＩＨｎ　　　−＋）’　　　−−−ＱＹＬｒｍ　　−Ｉ
Ｊ　　Ｉ′、△ＱＹＲ（ｍ　−Ｂ＋　’　、△Ｑ　Ｙ　
Ｒ（ｍ　−＋）ｒ′・・・・・・・・・・・・・・・・
・・Ｑ　Ｙ　Ｒ（ｍ　−＋）ｎ　’を得る。

また、上述した差出ノｊ△Ｑ　Ｙ　Ｌ（Ｔ１１−リ１′
〜Ｑ　Ｙ　Ｌ（イーＩｎｎ’を、それらの順に順次配列
記憶する。

そして、その配列を、差出ツノ△Ｑ　Ｙ　Ｌ（ｍ　−２
）１′側から差出力△ＱＹ　Ｌ（ｍ　−＋）ｒｒ’側を
順次みたときに、正の値での差出力の複数が順次得られ
て後、零の値での差出力が最初に得られる差出力（これ
を△ＱＹＬｍ−＋’　とする）の得られる配列上の位置
を判別する。

そして、差出力△ＱＹＬｍ−＋’　が得られる配列上の
位置から、差出力△Ｑ’Ｙ　Ｌ（ｍ　−Ｂ電′が得られ
る配列上の位置までの配列長を表わしている出力（これ
をＷＹＬｍ−＋’　とする）を記憶する。

また、上述した配列を、差出力△Ｑ　Ｙ　Ｒ（ｍ−ｌ）
Ｉ　’側から差出力ΔＱＹＲ（＋ｎ　−＋）ｎ　’側を
順次みたときに、同様に、正の値での差出力の複数が順
次得られて後、零の値での差出力が最初に得られる差出
力（これをΔＱＹＲ１−１′とする）の得られる配列上
の位置を７判知する。

そして、差出力△Ｑ　Ｙ　Ｒ（Ｔ１１−０１′が得られ
る配列上の位置から、差出力△Ｑ　Ｙ　Ｒ（ｍ　−リ、
′が得られる配列上の位置までの配列長を表わしている
出力（これをＷＹＲＷｌ−１′とづる〉を記！！する。

イしＣ１上述した配列長を表わす出力ＷＹＬ’ｍ−１及
びＷＹＲｍ−＋　　から、ＭＹ’ｍ　−＋　　＝ＷＹＬ
ｍ　−＋　’　　＋ＷＹＲｔｎ　−＋　’　で′表わさ
れる出力ＭＹｍ　−＋　’　を得、これを記憶し、第８
図Ｂに示すように、パルスＨＹ　ｍ−４′　を出力する
。

さらに、上述しｌｃ演算処理回路５１は、以下第３回目
のの出力Ｑ　Ｙ　Ｌ（Ｔ１１−２）。′〜ＱＹＬ（ｍ　
　−２）＋　　　’　　　、　　　ＱＹＣ（Ｔ１１　−
　　２）ｏ　　　’　　　＋　　　ＱＹＲ（ｍ−ｒ）＋
　’　〜ＱＹＲ（ｍ　−＋）ｎ　’　　：第４回目の出
力ＱＹＬ（ｍ　−ｒ）ｎ　’　〜ＱＹＬ（ｍ　−＋）＋
　’　、　ＱＹＣ（ｍ　−１）Ｏ’　、　ＱＹＲ（＋＋
＋　−ｒ）ｔ　′”−ＱＹＲ（Ｔ１１−１）ｎ　’　　
：・・・・・・・・・について、上述したと同様の動作
をなす。

なおさらに、上述した演算処理回路５１は、上述した第
ｍ回目の出力ＱＹＬ＋ｎ’〜Ｑ　Ｙ。

Ｌ＋＋’、ＱＹＣ＋ｏ’、ＱＹＲ＋＋′〜ＱＹＲ＋ｎ’
　を記憶し、そして、 △ＱＹＬ＋　ｎ　’　＝ＱＹＬ＋　ｎ　’ＱＹ　Ｌ＋（
ｎ　−１）’ △ＱＹＬ＋（ｎ　−＋）’　−ＱＹＬ＋（ｎ　−＋）’
Ｑ　Ｙ　Ｌ　＋　（ｎ　−２）” ΔＱＹＬ＋　　＋　　’　　＝ＱＹＬ＋　　＋　　’Ｑ
　Ｙ　Ｃ＋　　。′ ΔＱＹＲ＋　　＋　　’　　＝ＱＹＲ＋　　＋　　’−
ＱＹＣ＋ｏ’ ΔＱＹＲ＋　　２　’　　＝ＱＹＲ＋　　ｒ　　’−Ｑ
ＹＲ＋＋’ ΔＱＹＲ’　　＋　　ｎ　　＝ＱＹＲ＋　　ｎ　　’Ｑ
ＹＲ＋（ｎ　−＋）’ で表わされる差出力△ＱＹＬ＋ｎ’　、ΔＱＹＬ＋　（
ｎ　−１）’　−−・・・ＱＹ　Ｌ＋　＋　’　、△Ｑ
ＹＲ＋＋′、ΔＱＹＲ＋　２　’・・・・・・・・・・
・・・・・・・・ＱＹＲ＋ｏ’をｊする。

また、上述した差出力△ＱＹＬ＋＋’〜ＱＹＬ＋ｎ’を
、それらの順に順次配列記憶する。

そして、その配列を、差出力△ＱＹＬ＋　＋　’側から
差出力△ＱＹＬ＋ｎ’、側を順次みたときに、正の値で
の差出力の複数が順次得られて後、零の値での差出力が
最初に得られる差出力（これをΔＱＹＩ−＋’　と覆る
）の得られる配列上の位置を判別する。

そして、差出力ΔＱＹＬ＋　’　が得られる配列上の位
置から、差出力ΔＱＹＬ＋　１’　が得られる配列上の
位置までの配列長を表わしている出力（これをＷＹＬ＋
’　とする）を記憶づる。

また、上述した配列を、差出力△ＱＹＲ＋＋′側から差
出力△ＱＹＲ＋ｎ’　側を順次みたときに、同様に、正
の値での差出ツノの複数が順次ｊ１１られて後、零の値
での差出力が最初に得られる差出力（これを△ｏＹＲ，
’　とする）の得られる配列上の位置を判知する。

イして、差出力△ＱＹＲＩ　’　が得られる配列−ヒの
位置から、差出力へ〇ＹＲ１，′が得られる配列上の位
置までの配列長を表わしている出力（これをＷＹＲ＋’
　とする）を記憶する。

そして、上述した配列長を表わす出力ＷＹ、１１′及び
ＷＹＲ＋’かう、ＭＹ＋　’　＝ＷＹＬ＋’＋ＷＹＲ＋
’で表わされる出力ＭＹ’　を得、これを記憶し、そし
て第８図Ｂに示すように、パルスＨＹ＋’を出力する。

また、上述した演算処理回路５１は、上述した第（ｌＩ
ｌ＋１）回目の出力ＱＹＬＯｎ　−ＱＹＬｏ　＋　、　
ＱＹＣａ　Ｏ、ＱＹＲ［、〜ＱＹＲｏ　ｎを記憶し、そ
して、 ΔＱＹ　Ｌｏ　ｎ　＝ＱＹ　Ｌｏ　ｎ　−ＱＹ　Ｌｏ（
ｎ　−＋）ΔＱ　Ｙ　Ｌｏ（ｎ−＋）　”　Ｑ　Ｙ　Ｌ
ｏ（ｎ　−＋）−ＱＹＬｏ（ｎ　−ｒ） △ＱＹＬｏ　　＋　　＝ＱＹＬｏ　　＋　　　　　ＱＹ
ＣＯ。

ΔＱＹＲａ　＋　＝ＱＹＲｏ　＋　　ＱＹＣｏ　ｅ△Ｑ
ＹＲｏ　　２　＝ＱＹＲｏ　　２　　ＱＹＲｏ　　＋△
ＱＹＲＯｎ　　−ＱＹＲｏ　　ｎ　　　ＱＹＲＯ（Ｉ＋
　−＋）で表わされる差出力△ＱＹＬｏｎ、△ＱＹＬ。

（ｎ　　−Ｑ”’　　”’　　”’　　Ｑ　　Ｙ　　Ｌ
　　ｏ　　　＋　　　、　　　△　ＱＹＲＯｌ、　　　
△　ＱＹＲＯ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・
ＱＹＲｏｎを得る。

また、上述した差出力△ＱＹＬｏ＋〜ＱＹＬＯＩ＋を、
それらの順に順次配列記憶する。

そして、その配列を、差出力△ＱＹＬｏ＋側から差出力
△ＱＹＬｏｎ側を順次みたときに、正の値での差−出ノ
ノの複数が順次得られて後、零の値での差出力が最初に
冑られる差出力（これを△ＱＹＬｏ　とする）の得られ
る配列上の位置を判別する。

そして、差出力△ＱＹＩｏが１！′７られる配列上の位
置から、差出力△ＱＹＬｏ＋　が１すられる配列上まで
の位置までの配列長を表わしている出力（これをＷＹＬ
。とする）を記憶する。

また、上述した配列を、差出力ΔＱＹＲＯ＋側から差出
カム〇ＹＲＤ　ｎ側を順次みたときに、同様に、正の値
での差出力の複数が順次得られて後、零の値での差出力
が最初に得られる差出力（これをΔＱＹＲａ　とする）
の得られる配列上の位置を判知する。

そして、差出力△ＱＹＲＯが得られる配列上の位置から
、差出力△ＱＹＲｏ＋　が得られる配列上の位置までの
配列長を表わしている出力（これをＷ　Ｙ　Ｒａ　とす
る）を記憶する。

そして、上述した配列長を表わす出力ＷＹＬ。及びＷ　
Ｙ　Ｒｏから、Ｍ　Ｙ　ｏ　＝　Ｗ　Ｙ　Ｌ　ｏ　＋Ｗ
　ＹＲＯで表わされる出力Ｍ　Ｙ　ｏを得、これを記憶
する。そして、第８図Ｂに示すように、パルスＨＹｏを
出力する。

さらに、上述した演算処理回路５１は、上述した第（ｌ
Ｉ＋＋２）回目の出力ＱＹＬ＋　ｎ　〜ＱＹＬ＋　＋　
・ＱＹＣ＋ｏ・ＱＹＲ＋＋　〜ＱＹＲ＋ｎを記憶し、そ
して、 ΔＱＹＬ＋ｎ＝ＱＹＬ＋ｎ　　ＱＹＬ＋（ｎ−＋）△Ｑ
Ｙ　Ｌ＋（ｎ　−ＩＪ　＝ＱＹ　Ｌ＋（ｎ　−１）−Ｑ
ＹＬ＋（ｍ−Ｑ ΔＱＹＬ＋　　＋　　＝ＱＹＬ＋’＋　　　ＱＹＣ＋　
　。

△ＱＹＲ＋　　＋　　＝ＱＹＲ＋　　＋　　　　ＱＹ　
　Ｃ＋　　。

△ＱＹＲ＋　　ｒ　　＝ＱＹＲ＋　　ｒ　　　ＱＹＲ＋
　　＋△ＱＹＲ＋　　ｎ　　＝ＱＹＲ＋　　’ｎ　　　
ＱＹＲｕｎ　−＋）で表わされる差出力△ＱＹＬ＋ｎ、
△ＱＹＬ＋（ｎ　−１）・・・・・・・・・ＱＹＬ＋　
＋　、△ＱＹＲ＋＋、ΔＱＹＲ＋　）・・・・・・・・
・・・・・・・・・・ＱＹＲ＋ｎを得る。

また、上述した差出力△ＱＹＬ＋ｎ〜ＱＹＬ１１、を、
それらの順に順次配列記憶する。

そしＣ１その配列を、差出力△ＱＹＬ＋＋側から差出力
△ＱＹＬ＋ｎ側を順次みたとぎに、正の埴での差出力の
複数が順次得て後、零の値での差出力が最初に得られる
差出力（これをΔＱ　Ｙ　Ｌ　＋　とする）の得られる
配列上の位置を判別する。

そして、差出力△Ｑ　Ｙ　Ｌ　＋　が得られる配列上の
位置から、差出力ΔＱＹＬ＋＋　が得られる配列上の位
置までの配列長を表わしている出力（これをＷ　Ｙ　Ｌ
　＋　とする）を記憶する。

また、上述した配列を、差出力△ＱＹＲ１＋側から差出
力△ＱＹＲ＋ｎ側を順次みたときに、同様に、正の値で
の差出力の複数が順次得られて後、零の値での差出力が
最初に得られる差出力（これをΔＱＹＲ＋　とする）の
得られる配列上の位置を判知する。

そして、差出力△ＱＹＲ＋が得られる配列上の位置から
、差出力△ＱＹＲ＋＋　が得られる配。

列上の位置までの配列長を表わす出力（これをＷ　Ｙ　
Ｒ＋　とする）を記憶する。

そして、上述した配列長を表わす出力ＷＹＬ１及びＷ　
Ｙ　Ｒ１から、Ｍ　Ｙ　＋　＝　Ｗ　Ｙ　Ｌ　＋　＋　
Ｗ　ＹＲｌで表わされる出力Ｍ　Ｙ　１　を得、これを
記憶覆る。そして第８図Ｂに示す」；うにパルストＩＹ
１を出力覆る。

また、［述した演梓処理回路５１は、以下箱（ｍ＋３）
回目の出力ＱＹＬ２１．〜ＱＹＬ２１、ＱＹＣ）Ｏ、Ｑ
ＹＲ）＋　〜ＱＹＲ）ｎ　：第（１１＋４）回目の出力
ＱＹＬ＋ｎ〜ＱＹＬ＋　１、ＱＹＣ＋　Ｏ：　ＱＹＲＩ
　＋　〜ＱＹＲ＋　ｎ　；　−−−について、上述した
と同様の動作をなす。

さらに、上述した演粋処理回路５１は、上述した第（２
ｍ＋１）回目の出力Ｑ　Ｙ　Ｌｗｎ　ｎ　〜ＱＹＬｍ　
＋　、ＱＹＣｙｎ　Ｏ、ＱＹＲｍ　＋　〜ＱＹＲｍ。を
記憶し、そして、 △　ＱＹＬｍｎ＝ＱＹＬｍｎ　　　　ＱＹＬ　Ｔｌ１（
ｎ−＋ンΔＱＹＬｍ（ｎ　−＋）−ＱＹＬｗｌ（ｎ　−
＋）Ｑ　Ｙ　Ｌ　ｍ（ｎ　−２） ΔＱＹＬＴ１１＋　＝ＱＹｌ　ｍ　＋　　ＱＹＣＴＩＩ
　。

ΔＱＹＲｍ　＋　−ＱＹＲＴｌｌ＋　　ＱＹＣＷＩ　Ｏ
△ＱＹＲＴＩＩ　ｒ　　＝ＱＹＲｍ　＋　　　ＱＹＲｍ
　＋△ＱＹＲｍ　ｎ　−ＱＹＲｍ　ｎ　　　ＱＹＲｔｎ
（ｎ　−＋）で表わされる差出力△ＱＹＬ□。、△ＱＹ
Ｌｍ（ｎ　−＋）”’＝’−ＱＹＬｍ　＋　、△ＱＹＲ
ｍ＋。

ΔＱ　Ｙ　Ｒｔｎ　）・・・・・・・・・・・・・・・
・・・Ｑ　Ｙ　Ｒｍ　ｎを得る。

また、上述した差出力△ＱＹＬｍ＋〜ＱＹＬ。。′を、
それらの順に順次配列記憶する。

そして、その配列を、差出力△Ｑ　Ｙ　Ｌ−＋側から差
出力ＡＱＹＬｍｎ側を順次みたときに、正の値での差出
力の複数が順次得て後、零の値での差出力が最初に得ら
れる差出力（これを△ＱＹＬ、とする）の得られる配列
上の位置を判別する。

そして、差出カム〇Ｙ１ｔ１１が得られる配列上の位置
から、差出力ΔＱ　Ｙ−Ｌ　ｍ　＋　が得られる配列上
の位置までの配列長を表わしている出力（これをＷＹＬ
ｔｎとする）を記憶−４６゜また、上述した配列を、差
出力△Ｑ　Ｙ　Ｒｍ　＋側から差出力△ＱＹＲ，，，側
を順次みたときに、同様に、正の値での差出力の複数が
順次得られて後、零の値での差出力が最初に得られる差
出ツノ（これを△ＱＹＲ，１１とする）の得られる配列
上の位置を判知する。

そして、差出力△ＱＹＲｍが１７られる配列上の位置か
ら、差出力△Ｑ　Ｙ　Ｒｍ　’＋　が得られる配列上の
位置までの配列長を表わす出力（これをｗＹＲ，、！＝
する）　を記４Ｍ’ｒＪる。

そして、上述した配列長を表わしている出力Ｗ　Ｙ　Ｌ
　ｍ及びＷ　Ｙ　Ｒｒｎから、Ｍ　Ｙ　ｍ　＝　Ｗ　Ｙ
　Ｌ　ｎ＋　Ｗ　Ｙ　Ｒｍで表わされる出力ＭＹを得、
これを記憶して第８図Ｂに示１ように、パルスＨＹ。

を出力する。

上述したようにして、演算処即回路５１から順次１９ら
れるパルストＩＹＩ、ｌ’、トＩＹｍ　−＋　’　−・
・−−ＨＹ　　＋　　　’　　　、　　　ＨＹ　　ｏ　
　　、　　　トＩＹＩ　　　、　　　１−ＩＹ２　　−
・・　・・・　−・−ＨＹ　ｍは、モータ駆動回路５３
を介して、上述したモータ３５に供給される。

モータ３５は、パルスＨＹｍ’　、ＨＹｍ　−＋′　　
、　　・・・　・・・　・・・　トＩＹ＋　　　’　　
　、’ＨＹＯ、ＨＹ＋　　　、　　　ＨＹ＋・・・・・
・・・・ＨＹＴｌｌが得られる毎に、順方向にステップ
回転し、これに応じて、上述した可動盤２２が、上述し
た線Ｃ−Ｃが上述した線ＬＹｍ’　と合致している、保
持体２３との相対的位置から、上述した線ｂ−ｂに沿っ
て、線ＬＹｍ側に順次ステップ移動する。

この場合、可動盤２２の順次のステップ移動が、上述し
た線Ｃ−Ｃが、上述した線ＬＹｍ’と合致している保持
体２３との相対的位置から、順次線ＬＹｍ　−１’　、
ＬＹｍ　−ｒ　’　−−−ＬＹ＋　’　、ＬＹａ　’　
、ＬＹ＋　””””’ＬＹＴ、ｌと合致するようになさ
れる。

ところで、上述した出力ＭＹ、’の出力Ｗ１１′は、試
料２の圧痕３の、上述した線ＬＹｍ′上での、圧痕３の
中心位置Ｏから点ＰＹ’側の側縁までの長さを表わして
いる。

その理由は、出力ＷＬ、’が、上述した差出力△Ｑ　Ｙ
　Ｌ　ｍ　’が得られる配列上の位置から、差出力△Ｑ
ＹＬｍ＋’　が１７られるは配列上の位置までの配列長
を表わす出力である。一方、差出力△ＱＹＬｍ’　が、
差出力△ＱＹＬＴ１１１′〜ＱＹＬＴＩ１１．′を順次
配列記憶したときの、その配列を、差出力△ＱＹＬｍ＋
’側から差出力△ＱＬＴｌｌｎ′側を順次みたときに正
の値ぐの差出力の複数が順次得られて後、零の値での差
出力が最初に得られる差出力である。従って、差出力△
ＱＹＬｍ’　が１１られる配列上の位置が、第５図Ｃ及
びＤで、一般的な出力Ｓ＋１’＋５ｎ−２′・・・・・
・・・・Ｓｔ　’　、ＳＯ、Ｓｔ　、Ｓｔ　・・・・・
・・・・Ｓｎ　−＋　＋　Ｓｏのレベルについて上述し
たところから、明らかなように、圧痕３の、上述した線
ＬＹＴ１１′上での点ＰＹ’側の側縁に対応しているか
らである。

また、上述した出力ＭＹｙｎ’　の出力Ｗ　Ｙ　Ｒｔｎ
′は、上）ホしたと同様の理由で、試料２の圧痕３の、
上述した線ＬＹｔｎ’　上での、圧痕３の中心位置から
点ＰＹ側の側縁まての長さを表わしている。

従って、上述した出力ＭＹ、’　は、圧痕３の、上述し
た線ＬＹ、’上での長さを表わしている。

さらに、上述した出力ＭＹｍ　−＋　’　、ＭＹｍ−２
′・・・・・・・・・ＭＹ＋　’　、ＭＹｏ　、ＭＹ＋
　、ＭＹ、・・・・・・・・・Ｍ　Ｙ　ｍは、上述した
と同様の理由で、それぞれ、圧痕３の、上述した線ＬＹ
ｍ−＋’。

ＬＹｍ　−ｒ　’　、−−−ＬＹ＋　’　、ＬＹｏ　、
ＬＹ＋、ＬＹ＋　・・・・・・・・・ＬＹｍ上での長さ
を表わしている。

また、演算処理回路５１は、上述したパルスＨＹｍ　’
　、ＨＹｍ　−１’　、・・・・・・・・・ＨＹｊ　’
　、　ＨＹＯ、ＨＹ＋　、ＨＹ２・・・・・・・・・Ｈ
Ｙｍを出力して後、第８図Ｃに示すように、１つの切換
用パルスＰＹＷを出力する。

この切換用パルスＰＹＷは、モータ駆動回路５４に供給
される。

一方、モータ駆動回路５４には、上述した保持体２３の
係合用ビン３８が係合する、スイッチ３９が及び３９′
接続されている。

スイッチ３９は、上述した保持体２３が第２０回動位同
にあるので、上述した切換用パルスＰ　Ｙ　Ｗが得られ
るとき、作動している。

七−全駆動回路５４は、スイッチ３９′が作動している
状態で、上述した切換用パルスＰＹＷが供給された場合
、第８図りに示づように、順次パルスＫＹを出力する。

この順次のパルスＫＹ・・・・・・・・・は、上述した
モータ３０に供給される。

モータ３０は、順次のパルスＫＹの供給を受けて、順方
向にステップ回動する。このため、保持体２３が順方向
に回動゛する。

そして、保持体２３が、上述した係合用ビン３８が、上
述したスイッチ３９と係合するまで回動すれば、スイッ
チ３９が作動する。

このため、モータ駆動回路５４からの上述したパルスＫ
Ｙが得られなくなり、モータ３０の回動が停止し、これ
に応じて保持体２３の回動が停止する。

保持体２３の回動が停止したとき、上述した一次元走査
撮像装置２１の固体撮像素子Ｅｎ’〜Ｅ＋　’　、Ｅｏ
　、Ｅ＋　〜Ｅｏの配列線ｃ−ｃが、試料２中の、上述
した線ＬＸイ′と略々一致している、保持体２３の、試
料２との相対的な第１の回動位置に復帰する。

上述したように、演算処理回路５１は、上述した出力Ｍ
Ｘｍ　’　〜ＭＸｍ　−＋　’　、ＭＸＯ、ＭＸ＋〜Ｍ
　Ｘ　ｍを記憶していると共に、上述した出力ＭＹｍ　
’　〜ＭＹ＋　、ＭＹｏ　、ＭＹ＋　〜ＭＹ１を記憶し
ている。

演算処理回路５１は、上述した出力ＭＸ’ｍ〜ｆｖｌＸ
＋　’　、ＭＸＯ、ＭＸ＋　〜ＭＸＷｌ中の、最大値を
とる出ノｊ（これをＭＸとする）を判知し、その出力Ｍ
Ｘを出力する。この出力ＭＸは、上述したように上述し
た出力ＭＸｍ’〜ＭＸ＋’、。

ＭＸｏ　、ＭＸ＋　〜ＭＸｍ　を得た場合、出力ＭＸＯ
である。

また、演算処理回路５１は、上述した出力ＭＹ１．ｌ’
　〜ＭＹ＋　’　、　ＭＹｏ　、　ＭＹ＋　”ｌＶＩＹ
ｍ中の、最大値をとる出力（これを特徴とする特許判知
し、その出ノＪＭＹを出力する。この出力ＭＹは、上述
したように上述した出力ＭＹＴ１１′〜・。

ＭＹ＋　’　、ＭＹＯ、ＭＹ＋　〜ＭＹ＋＋＋を得た場
合、出力ＭＹＯである。

上述した出力ＭＸは、上述したところから明らかなよう
に、試料２の圧痕３の点ＰＸ及びＰＸ′を結ぶ第１の対
角線の長さＮＸを表わしている。

また、上述した出力ＭＹは、上述したところから明らか
なように、試料２の圧痕３の点ＰＹ及びＰＹ’　を結ぶ
第１の対角線の長さＮＹを表わしている。

上述したように、本発明による押込型硬度計の実施例に
よれば、試料２に付された圧痕３の、第１及び第２の対
角線の長さＮＸ及びＮＹを、測定することができる。

従って、その長さＮＸ及びＮＹから、試料２の硬度を測
定することができる。

この場合、上述した本発明による押込型硬度計によれば
、試料２に付された圧痕３を、−次元走査撮像装置２１
を用いて一次元走査撤像し、そのｉ像出力から、圧痕３
の第１及び第２の対角線長さを表わしている出力を得る
ようになされている。

従って本発明による押込型硬度計によれば、第１及び第
２の対角線長さ信号を得るために用いる撮像装置として
、簡易、小型、廉価な一次元走査囮像装置を用いるのみ
で良いという大なる特徴を有する。

また、本発明による押込型硬度計によれば、−次元走査
撮像装置による圧痕の走査撮像を、圧痕の全域に厘っで
行なわないので、高速で圧痕の第１及び第２の対角線の
長さ信号を得ることができる。

また、本発明による押込型硬度計によれば、全体の装置
が簡易である等の大なる特徴を有する。

さらに、本発明による押込型硬度計によれば、−次元走
査Ｒ像装置から得られる搬像出力が、圧痕を合焦点状態
で走査撮像して得られる出力であるので、圧痕の対角線
の長さを正確に得ることがＣさるので、試料の硬度を正
確に測定し１１ノ　る　。

また、合焦点状態を得るために用いる焦点信号を撮像装
置の出力から冑でいるので、容易に合焦点状態を得るこ
とができるなどの特徴を有する なお、上述においては、試料に四角錐状の圧痕を付すよ
うになされた押込型硬度計に、本発明を適用した場合の
一例を述べたが、試料に休場の圧痕を（＝Ｉずようにな
された押込型硬度ｄに、本発明を適用−リ゛ることもＣ
ぎるものである。

その他、本発明の精神をＩＢＪ　することなしに、種々
の変型変更をなし得るであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に依る押込型硬度計の実施例の機械系
の一例を示す路線的断面図である。 第２図は、その■−■線上の断面図である。 第３図は、試１′８１に（＝Ｉされた圧痕を示す図であ
る。 第４図Ａは、−次元的踊像装置によって、試料を一次元
走査ｌｆｌ像する場合の説明に供する図、第４図Ｂ−Ｄ
は、試料を一次元走査した場合の説明に供する波形図で
ある。 第５図は、本発明による押込型硬度に１の実施例の機械
系を用いた場合の電気系の一例を示す系統的接続図であ
る。 第６図、第７図及び第８図は、その説明に供する信号配
列図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・試料載置台２
・・・・・・・・・・・・・・・・・・試料３・・・・
・・・・・・・・・・・・・・圧痕４・・・・・・・・
・・・・・・・・・・基台５．６・・・・・・・・・・
・・筒体 ７・・・・・・・・・・・・・・・・・・母螺８・・・
・・・・・・・・・・・・・・・歯車９・・・・・・・
・・・・・・・・・・・螺軸１０・・・・・・・・・・
・・・・・試料載置台１を昇降さＶるモータ １１・・・・・・・・・・・・・・・モータ１０の回転
軸１２．１３・・・・・・歯車 ２０・・・・・・・・・・・・・・・躍像装置装架体２
１・・・・・・・・・・・・・・・−次元走査撥俄装置
２２・・・・・・・・・・・・・・・可動盤２３・・・
・・・・・・・・・・・・保持体２４・・・・・・・・
・・・・・・・保持体２３の筒部２５・・・・・・・・
・・・・・・・保持体２３Ｑ）環部２６・・・・・・・
・・・・・・・・保持体２３の筒部２７・・・・・・・
・・・・・・・・保持体２３の板部２８・・・・・・・
・・・・・・・・筒部２４に付された歯車２９・・・・
・・・・・・・・・・・板部２７のスリット３０・・・
・・・・・・・・・・・・保持体２３を回転させるモー
タ ３１・・・・・・・・・・・・・・・モータ３０の回転
軸３２・・・・・・・・・・・・・・・回転軸３１に取
付けた歯車３３・・・・・・・・・・・・・・・可動盤
２２に暇イ」けた杆３４・・・・・・・・・・・・・・
・杆３３に設けた母螺３５・・・・・・・・・・・・・
・・可動盤２２を移動させるモータ ３６・・・・・・・・・・・・・・・モータ３５の回転
軸３７・・・・・・・・・・・・・・・回転軸３６に設
けた螺子３８・・・・・・・・・・・・・・・保持体２
３に植立されｌこ係合用ビン ３９．３９’　・・・係合用ピン３８の係合によって作
動するスイッチ Ｅｎ’〜Ｅ＋　’　、Ｅｏ　、Ｅ＋　〜Ｅｎ・・・・・
・・・・−次元走査眼像装置２１の固体撮像素子 ａ・・・・・・・・・・・・・・・・・・保持体２３の
軸ｂ−ｂ・・・・・・・・・・・・軸ａと直交する線Ｃ
−Ｃ・・・・・・・・・・・・固体撮像素子Ｅｎ１〜Ｆ
１′、Ｅｏ、Ｅ１〜Ｅｎが配 列されている線 ４０・・・・・・・・・・・・・・・支持体４１・・・
・・・・・・・・・・・・筒体４２・・・・・・・・・
・・・・・・筒体４１から延長して＆Ｎる原板 ｄ・・・・・・・・・・・・・・・筒体４１の軸４３・
・・・・・・・・・・・・・・筒体４１に取付けられ且
これと連通している筒体 ４４・・・・・・・・・・・・・・・光源４５．４７ ・・・・・・・・・・・・・・・レンズ４６・・・・・
・・・・・・・・・・ハーフミラ−５０・・・・・・・
・・・・・・・・り目ツクパルス発生回路ｐｘ、ｐｘ’
　・・・圧痕３の相対向する点ＰＹ、ＩＣＹ’・・・圧
痕３の他の相対向する点ＩＸｏ・・・・・・・・・・・
・点ＰＸ及びＩ）Ｘ’を通る線Ｌ　Ｙ　Ｏ・・・・・・
・・・・・・貞１）　Ｙ及びＰＹ’を通る梓０・・・・
・・・・・・・・・・・・・・し×ｏ及びＬＹａの交点
１−Ｘ、・〜ｌ−Ｘｍ　、ＬＸ＋　’〜ＬＸ、Ｔ１′・
・・・・・・・・・・・・・・線ＬＸｏ　と平行な線Ｌ
Ｙ＋　〜ＬＹｍ　、ｌ−Ｙ＋　’　〜Ｉ　Ｙｍ　’・・
・・・・・・・・・・・・・線ＬＹａ　と平行な線５１
・・・・・・・・・・・・・・・演算処理回路５２．５
３．５／１ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・モータ駆動回路
出願人　　松沢精機株式会社 ′−５２に民 だ−ｔ−３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 圧痕の付された試料を載置する試料載置台と、上記試料
   にイリされた圧痕を走査搬像する走査ｆｉｔ像装置を装
   架している撮ｍ装置装架体と、上記走査撮像装置の撮像
   出ノＪがら、上記走査撮像装置が上記圧痕をどのような
   焦点で走査撮像しているかを表わしている焦点信号を発
   生する焦点信号発生手段と、 上記焦点信号発生手段からの上記焦点信号にもとずいて
   、上記試料載置台及び撮像装置装架体を、上記走査撮像
   装置が上記圧痕を合焦点状態で走査１１ｎ像する相対的
   な位置に移動させる移動手段と を具備することを特徴とする押込型硬度計。