JPS59202022A - オプチカルエンコ−ダ - Google Patents
オプチカルエンコ−ダInfo
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- JPS59202022A JPS59202022A JP7684883A JP7684883A JPS59202022A JP S59202022 A JPS59202022 A JP S59202022A JP 7684883 A JP7684883 A JP 7684883A JP 7684883 A JP7684883 A JP 7684883A JP S59202022 A JPS59202022 A JP S59202022A
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- JP
- Japan
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- light
- receiving element
- slit plate
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- light emitting
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title description 11
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000001914 filtration Methods 0.000 abstract 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001615 p wave Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P13/00—Indicating or recording presence, absence, or direction, of movement
- G01P13/02—Indicating direction only, e.g. by weather vane
- G01P13/04—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement
- G01P13/045—Indicating positive or negative direction of a linear movement or clockwise or anti-clockwise direction of a rotational movement with speed indication
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Indicating Or Recording The Presence, Absence, Or Direction Of Movement (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は変位および方向全光学的に検出するリニア式
およびロータリ式などのオプチカルエンコーダに関する
ものである。
およびロータリ式などのオプチカルエンコーダに関する
ものである。
従来のロータリ式のオプチカルエンコーダは、第1図に
示すように、同一半径の周上に等間隔に多数個のスリッ
ト1aを有する回転スリット板1を、回転を検出すべき
回転軸2に軸結合し、第1および第2のスリン)3a、
31)を有する固定スリット板3ケ、第1および第2の
スリ ノド3a 。
示すように、同一半径の周上に等間隔に多数個のスリッ
ト1aを有する回転スリット板1を、回転を検出すべき
回転軸2に軸結合し、第1および第2のスリン)3a、
31)を有する固定スリット板3ケ、第1および第2の
スリ ノド3a 。
3bがスリット1aの移動軌跡上に位i6°するように
、回転スリット板1に対向配置し、第1の受光素子4を
固定スリット板3の第1のスリブ)3aに向かうように
配置するとともに第2の受光素子5を固定スリット板3
の第2のスリット3bに向かうように配置し、第1およ
び第2の発光素子6゜7を回転スリット板1および固定
スリット板3を介して第1および第2の受光素子4.5
にそれぞれ対向するように配置している。そして、第1
および第2の受光素子4.5の出力が信号処理回路8.
9によりそれぞれ増幅および波形整形されてパルス化さ
れるようになっている。なお、固定スリット板3の第1
および第2のスリット3a 、3bは、信号処理回路8
.9の出力パルスの位相が互いに90度ずれるように位
置決めしている。
、回転スリット板1に対向配置し、第1の受光素子4を
固定スリット板3の第1のスリブ)3aに向かうように
配置するとともに第2の受光素子5を固定スリット板3
の第2のスリット3bに向かうように配置し、第1およ
び第2の発光素子6゜7を回転スリット板1および固定
スリット板3を介して第1および第2の受光素子4.5
にそれぞれ対向するように配置している。そして、第1
および第2の受光素子4.5の出力が信号処理回路8.
9によりそれぞれ増幅および波形整形されてパルス化さ
れるようになっている。なお、固定スリット板3の第1
および第2のスリット3a 、3bは、信号処理回路8
.9の出力パルスの位相が互いに90度ずれるように位
置決めしている。
つぎに、動作について説明する。発光素子6゜7は潜時
連続して点灯している。回転軸2が回転すると、それに
応じて回転スリット板1が回転する。この際回転スリッ
ト板1のスリットIRと固定スリット板3の第1のスリ
ット3aとが重なったときに第1の発光素子6から第1
の受光素子4へ到達する光量が最大となり、スリブ)I
Rが左右どちらへ移動しても光量が減少し、スリブ)l
aが第1のスリットaaQ間に位置したときに光量が最
小となる。したがって、第1の受光素子4の出力は回転
スリット板3が一定角度(スリットピッチ)回転する毎
に第2図(A)に示すように変化することになる。第2
の受光素子5についても同様で、その出力は第2図(B
)に示すように変化する。
連続して点灯している。回転軸2が回転すると、それに
応じて回転スリット板1が回転する。この際回転スリッ
ト板1のスリットIRと固定スリット板3の第1のスリ
ット3aとが重なったときに第1の発光素子6から第1
の受光素子4へ到達する光量が最大となり、スリブ)I
Rが左右どちらへ移動しても光量が減少し、スリブ)l
aが第1のスリットaaQ間に位置したときに光量が最
小となる。したがって、第1の受光素子4の出力は回転
スリット板3が一定角度(スリットピッチ)回転する毎
に第2図(A)に示すように変化することになる。第2
の受光素子5についても同様で、その出力は第2図(B
)に示すように変化する。
この第2の受光素子5の出力は、回転スリット板1が正
方向に回転しているときは第1の受光素子4の出力より
位相が90度遅れ、回転スリット板1が逆方向に回転し
ているときは逆に位相が90度進むことになる。
方向に回転しているときは第1の受光素子4の出力より
位相が90度遅れ、回転スリット板1が逆方向に回転し
ているときは逆に位相が90度進むことになる。
上記第1および第2の受光素子4,5の出力を信号処理
回路8,9で増幅および波形整形すれば、それぞれ第2
図(C) 、 (D)に示すようにパルス化される。第
2図tc) 、 CD)のパルスの個数は回転スリット
板1の回転角度に比例し、第2図C1、(rl)のパル
スの位相差(+90度または一90度)は回転スリット
板1の回転方向を示すことになる。
回路8,9で増幅および波形整形すれば、それぞれ第2
図(C) 、 (D)に示すようにパルス化される。第
2図tc) 、 CD)のパルスの個数は回転スリット
板1の回転角度に比例し、第2図C1、(rl)のパル
スの位相差(+90度または一90度)は回転スリット
板1の回転方向を示すことになる。
しかし、このような従来のオプチカルエンコーダは、装
置全体を小型化するにつれて第1の発光素子6および第
1の受光素子4と第2の発光素子7および第2の受光素
子5との間で相互干渉が発生し、すなわち、第1の発光
素子6から第・2の受光素子5へ到達する光量および第
2の発光素子7から第1の受光素子4へ到達する光量が
増加し、信号対雑音比(S/N比)を低下させていた。
置全体を小型化するにつれて第1の発光素子6および第
1の受光素子4と第2の発光素子7および第2の受光素
子5との間で相互干渉が発生し、すなわち、第1の発光
素子6から第・2の受光素子5へ到達する光量および第
2の発光素子7から第1の受光素子4へ到達する光量が
増加し、信号対雑音比(S/N比)を低下させていた。
この発明は相互干渉を除去してSA比を高めることがで
きるオプチカルエンコーダを提供することを目的とする
。
きるオプチカルエンコーダを提供することを目的とする
。
この発明のオプチカルエンコーダは、等間隔に多数個の
可動スリットを有する可動スリット板と、この可動スリ
ット板と対向配置し前記可動スリ。
可動スリットを有する可動スリット板と、この可動スリ
ット板と対向配置し前記可動スリ。
トの移動軌跡上に第1の固定スリットとこの第1の固定
スリットに対して電気的に一定位相ずれた位置に配置し
た第2の固定スリットとを有する固定スリット板と、前
記第1の固定スリットの位置で前記可動スリット板およ
び固定スリット板を介して対向する第1の発光素子およ
び第1の受光素子と、前記第2の固定スリットの位置で
前記可動スリット板および固定スリット板を介して対向
する第2の発光素子および第2の受光素子と、前記第1
の発光素子をパルス点灯させる第1のパルス点灯駆動回
路と、前記第2の発光素子をパルス点灯させる第2のパ
ルス点灯駆動回路と、前記第1の受光素子の出力を前記
第1の発光素子のパルス点灯と同期して同期整流する第
1の同期整流回路と、前記第2の受光素子の出力を前記
第2の発光素子のパルス点灯と同期して同期整流する第
2の同期整流回路と、前記第1および第2の同期整流回
路の出力をそれぞれ低域p波する第1および第2のロー
パスフィルタとを備える構成にしたことを特徴とする。
スリットに対して電気的に一定位相ずれた位置に配置し
た第2の固定スリットとを有する固定スリット板と、前
記第1の固定スリットの位置で前記可動スリット板およ
び固定スリット板を介して対向する第1の発光素子およ
び第1の受光素子と、前記第2の固定スリットの位置で
前記可動スリット板および固定スリット板を介して対向
する第2の発光素子および第2の受光素子と、前記第1
の発光素子をパルス点灯させる第1のパルス点灯駆動回
路と、前記第2の発光素子をパルス点灯させる第2のパ
ルス点灯駆動回路と、前記第1の受光素子の出力を前記
第1の発光素子のパルス点灯と同期して同期整流する第
1の同期整流回路と、前記第2の受光素子の出力を前記
第2の発光素子のパルス点灯と同期して同期整流する第
2の同期整流回路と、前記第1および第2の同期整流回
路の出力をそれぞれ低域p波する第1および第2のロー
パスフィルタとを備える構成にしたことを特徴とする。
このように構成したことにより、第1の発光素子および
第1の受光素子と第2の発光素子および第2の受光素子
との間の相互干渉を防止することカテキ、5z4J比を
高めることができる。
第1の受光素子と第2の発光素子および第2の受光素子
との間の相互干渉を防止することカテキ、5z4J比を
高めることができる。
この発明の一実施例を第3図ないし第5図に基づいて説
明する。第3図において、符号1〜7を付したものは、
第1図のものと同一構成である。
明する。第3図において、符号1〜7を付したものは、
第1図のものと同一構成である。
10および11はそれぞれ相異なる周波数のパルス信号
を発生するパルス発生器であり、各パルス信号の周波数
は回転スリット板1の回転による光の断続の周波数より
高くしている。12および13はそれぞれパルス発生器
10.11のパルス信号に基づいて第1および第2の発
光素子6.7をそれぞれパルス点灯させる駆動回路、1
4および15は第1および第2の受光素子4.5の出力
を増幅する増幅回路、16は増幅回路14の出力をパル
ス発生器10から出力されるパルス信号に同期して同期
整流する同期整流回路、17は増幅回路15の出力をパ
ルス発生器11がら出力されるパルス信号に同期して同
期整流する同期整流回路、18および19は同期整流回
路16.17の出力をそれぞれ低域沖波するローパスフ
ィルタ、2oおよび21はローパスフィルタ18.19
の出方をそれぞれパルス化する波形整形回路、22およ
び23はそれぞれ出力端子である。
を発生するパルス発生器であり、各パルス信号の周波数
は回転スリット板1の回転による光の断続の周波数より
高くしている。12および13はそれぞれパルス発生器
10.11のパルス信号に基づいて第1および第2の発
光素子6.7をそれぞれパルス点灯させる駆動回路、1
4および15は第1および第2の受光素子4.5の出力
を増幅する増幅回路、16は増幅回路14の出力をパル
ス発生器10から出力されるパルス信号に同期して同期
整流する同期整流回路、17は増幅回路15の出力をパ
ルス発生器11がら出力されるパルス信号に同期して同
期整流する同期整流回路、18および19は同期整流回
路16.17の出力をそれぞれ低域沖波するローパスフ
ィルタ、2oおよび21はローパスフィルタ18.19
の出方をそれぞれパルス化する波形整形回路、22およ
び23はそれぞれ出力端子である。
4図および第5図に基づいて説明する。パルス発生器l
O力)ら第4図(A)に示すような一定振幅のパルス信
号が発生し、駆動回路12が上記パルス信号に基づいて
第1の発光素子6を一定光量でパルス点灯させる。一方
、回転スリット板1の回転により回転スリット板1およ
び固定スリット板3を通過する光量は第4図CB)のよ
うに変化する。その結果、第1の受光素子4の出力は第
4図(C) K示すように第4図A)の波形を第4図(
B)の波形を振幅変調した波形となる。この第1の受光
素子4の出力を増幅回路14により増幅して第4図(D
)の波形としたのち、同期整流回路16で第4図(A)
のパルス信号と同期した同期整流を行うと、第4図の)
の波形が得られ、この波形をローパスフィルタ18に通
すと第4図CF)のようになり、第4図の)の光量変化
が電気信号として再現できる。この第4図旧の信号を波
形整形回路20に刀1えて波形整形を行えば、第4図(
G)に示すように回転スリット板10回転角度に比例し
た個数のパルスが出力端子22より得られることになる
。
O力)ら第4図(A)に示すような一定振幅のパルス信
号が発生し、駆動回路12が上記パルス信号に基づいて
第1の発光素子6を一定光量でパルス点灯させる。一方
、回転スリット板1の回転により回転スリット板1およ
び固定スリット板3を通過する光量は第4図CB)のよ
うに変化する。その結果、第1の受光素子4の出力は第
4図(C) K示すように第4図A)の波形を第4図(
B)の波形を振幅変調した波形となる。この第1の受光
素子4の出力を増幅回路14により増幅して第4図(D
)の波形としたのち、同期整流回路16で第4図(A)
のパルス信号と同期した同期整流を行うと、第4図の)
の波形が得られ、この波形をローパスフィルタ18に通
すと第4図CF)のようになり、第4図の)の光量変化
が電気信号として再現できる。この第4図旧の信号を波
形整形回路20に刀1えて波形整形を行えば、第4図(
G)に示すように回転スリット板10回転角度に比例し
た個数のパルスが出力端子22より得られることになる
。
なお、相互干渉により、第2の発光素子7の光が第1の
受光素子4に入射して第2の受光素子4の出力波形が第
5図(Δ)のようになった場合にも、これを増幅(−で
第5図(B)の波形を得、さらに同期整流を行えば#r
G 5図(C)の波形となり、これを低域F波すれば第
5図(r))のようになり、第2の発光素子7からの入
射光による第1の受光素子4の出力変動分(雑音)は除
去できることになる。これは、第2の発光素子7の点灯
周期が第1の発光素子6の点灯周期とけ異なり、同期整
流を行ったとき((雑音成分は相殺されるためである。
受光素子4に入射して第2の受光素子4の出力波形が第
5図(Δ)のようになった場合にも、これを増幅(−で
第5図(B)の波形を得、さらに同期整流を行えば#r
G 5図(C)の波形となり、これを低域F波すれば第
5図(r))のようになり、第2の発光素子7からの入
射光による第1の受光素子4の出力変動分(雑音)は除
去できることになる。これは、第2の発光素子7の点灯
周期が第1の発光素子6の点灯周期とけ異なり、同期整
流を行ったとき((雑音成分は相殺されるためである。
パルス発生器11.駆動回路13゜第2の発光素子7.
第2の受光素子5.増幅回路15.同期整流回路17.
ローパスフィルタ19およヒ波形整形回路21の動作け
、パルス点灯周波数が異なるだけで他は上記説明と同様
であるので、波形図および詳細な説明は省略する。ただ
し、波形整形回路21から出力されるパルスは、固定ス
リット板3の第1および第2のスリット3g 、3bの
位置関係から、従来例と同様に、回転スリット板1が正
回転のときは第4図(G)のパルスより90度位相が遅
れ、回転スリット板1が逆回転のときは90度位相が進
む。
第2の受光素子5.増幅回路15.同期整流回路17.
ローパスフィルタ19およヒ波形整形回路21の動作け
、パルス点灯周波数が異なるだけで他は上記説明と同様
であるので、波形図および詳細な説明は省略する。ただ
し、波形整形回路21から出力されるパルスは、固定ス
リット板3の第1および第2のスリット3g 、3bの
位置関係から、従来例と同様に、回転スリット板1が正
回転のときは第4図(G)のパルスより90度位相が遅
れ、回転スリット板1が逆回転のときは90度位相が進
む。
このように構成した結果、相互干渉による雑音が除去さ
れ、装置を小型化してもS/N比を十分高いものとでき
る。
れ、装置を小型化してもS/N比を十分高いものとでき
る。
なお、上記実施例は、ロータリ式のオプチカルエンコー
ダについて説明したが、リニア式のものについても同様
にこの発明を適用で姦る。また、対となった発光素子お
よび受光素子はスリット板に対する位置が逆でもよい。
ダについて説明したが、リニア式のものについても同様
にこの発明を適用で姦る。また、対となった発光素子お
よび受光素子はスリット板に対する位置が逆でもよい。
さらに、98に例はパルス発光の周波数を変えているが
、位相を変えるようにしてもよい。
、位相を変えるようにしてもよい。
この発明のオプチカルエンコーダによれば、相互干渉に
よる雑音が除去され、装置を小型化してもS/N比を十
分高くできる。
よる雑音が除去され、装置を小型化してもS/N比を十
分高くできる。
つぎに、開示技術について説明する。このオプチカルエ
ンコーダは、第3図のものと同一の目的を達成するもの
であり、第1図と同様の構成において、第1の発光素子
6として、例えばGaAsを素材に用いた近赤外発光ダ
イオードを用い、第2の発光素子7として、例えばGA
Pを素材に用いた緑色発光ダイオードを用い、第Jの受
を素子4の受j(、1ffiに可視カットフィルタを1
寸設するとともに第2の受光素子5の受承面に赤外カッ
トフィルタを1寸設したものである。
ンコーダは、第3図のものと同一の目的を達成するもの
であり、第1図と同様の構成において、第1の発光素子
6として、例えばGaAsを素材に用いた近赤外発光ダ
イオードを用い、第2の発光素子7として、例えばGA
Pを素材に用いた緑色発光ダイオードを用い、第Jの受
を素子4の受j(、1ffiに可視カットフィルタを1
寸設するとともに第2の受光素子5の受承面に赤外カッ
トフィルタを1寸設したものである。
このように構成すれば、第1の発光素子6から第2の受
光素子5へ入射しようとする近赤外光は赤外カットフィ
ルタにより遍〃テされ、また、第2の発光素子7から第
1の受光素子4へ入射しようとする緑色光は可視カット
フィルタにより遮断されることになり、相互干渉は防止
され、装置を小型化してもS2へ比を十分高くできる。
光素子5へ入射しようとする近赤外光は赤外カットフィ
ルタにより遍〃テされ、また、第2の発光素子7から第
1の受光素子4へ入射しようとする緑色光は可視カット
フィルタにより遮断されることになり、相互干渉は防止
され、装置を小型化してもS2へ比を十分高くできる。
第1図は従来のオグチカルエンコーダの構収図、第2図
(A)〜(I))はその各部の波形図、第3図はこの発
明の一実施例のブロック図、第4図(A)〜C)および
第5図(A)〜(D)はその各部の波形図である。 1・・回転スリット板、IR・・・スリット、3・・・
固定スリット板、3g、3b・・・スリット、4.5・
・・受光素子、6,7・・・発光素子、10.11・・
・パルス発生器、12.13・・駆動回路、14.15
・・・増幅回路、16.17・・同期整流回路、18.
19・・・ローパスフィルタ、20.21・・・波形整
形回路1:2− 吐土−・ ・ ;i;4 jl ;:、 5 。
(A)〜(I))はその各部の波形図、第3図はこの発
明の一実施例のブロック図、第4図(A)〜C)および
第5図(A)〜(D)はその各部の波形図である。 1・・回転スリット板、IR・・・スリット、3・・・
固定スリット板、3g、3b・・・スリット、4.5・
・・受光素子、6,7・・・発光素子、10.11・・
・パルス発生器、12.13・・駆動回路、14.15
・・・増幅回路、16.17・・同期整流回路、18.
19・・・ローパスフィルタ、20.21・・・波形整
形回路1:2− 吐土−・ ・ ;i;4 jl ;:、 5 。
Claims (1)
- 等間隔に多数個の可動スリットを有する可動スリット板
と、この可動スリット板と対向配置し前記可動スリット
の移動軌跡上に第1の固定スリットとこの第1の固定ス
リットに対して電気的に一定位相ずれた位置に配置した
第2の固定スリットとを有′する固定スリット板と、前
記第1の固定スリットの位置で前記可動スリット板およ
び固定スリット板を介して対向する第1の発光素子およ
び第1の受光素子と、前記第2の固定スリットの位置で
前記可動スリット板および固定スリット板を介して対向
する第2の発光素子および第2の受光米子と、前記第1
の発光素子をパルス点灯させる第1のパルス点灯駆動回
路と、前記第2の発光素子をパルス点灯させる第2のパ
ルス点灯駆動回路と、前記第1の受光素子の出力を前記
@1の発光素子のパルス点灯と同期して同期整流する第
1の同期整流回路と、前記第2の受光素子の出力を前記
第2の発光素子のパルス点灯と同期して同期整流する第
2の同期整流回路と、前記第1および第2の同期整流回
路の出力をそれぞれ低域F波する第1および第2のロー
パスフィルタとを備えたオプチカルエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7684883A JPS59202022A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | オプチカルエンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7684883A JPS59202022A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | オプチカルエンコ−ダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59202022A true JPS59202022A (ja) | 1984-11-15 |
Family
ID=13617074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7684883A Pending JPS59202022A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | オプチカルエンコ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59202022A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61195309A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-29 | Seikosha Co Ltd | 光電変換装置 |
| JPS61195310A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-29 | Seikosha Co Ltd | 光電変換装置 |
| JP2003065802A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-03-05 | Microsignal Kk | 光学式エンコーダ |
-
1983
- 1983-04-30 JP JP7684883A patent/JPS59202022A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61195309A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-29 | Seikosha Co Ltd | 光電変換装置 |
| JPS61195310A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-29 | Seikosha Co Ltd | 光電変換装置 |
| JP2003065802A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-03-05 | Microsignal Kk | 光学式エンコーダ |
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