JPS59202059A - 超音波断層装置用探触子 - Google Patents
超音波断層装置用探触子Info
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- JPS59202059A JPS59202059A JP58076214A JP7621483A JPS59202059A JP S59202059 A JPS59202059 A JP S59202059A JP 58076214 A JP58076214 A JP 58076214A JP 7621483 A JP7621483 A JP 7621483A JP S59202059 A JPS59202059 A JP S59202059A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は振動子ないしはその電極を同心円（環）状に分
割してなる超音波断層装置用探触子に関するものである
。
割してなる超音波断層装置用探触子に関するものである
。
従来のこの種の探触子（アニユラ−アレー探触子）は、
第１図に示すように、中心の円板状の、およびその外周
に同心的に配列した複数の環状の、ＰＺＴ等で作成され
た圧電セラミックからなる振動子１〜５を、各々電気的
および機械的に完全に分離させて吸音材６（第２図参照
）上に配設されてなる。
第１図に示すように、中心の円板状の、およびその外周
に同心的に配列した複数の環状の、ＰＺＴ等で作成され
た圧電セラミックからなる振動子１〜５を、各々電気的
および機械的に完全に分離させて吸音材６（第２図参照
）上に配設されてなる。
この種の探触子による超音波断層像形成について第２図
を参照して説明する。第２図において、１〜５は振動子
、６は吸音材、Ｐ＋−Ｐｓは振動子１〜５の表、裏面に
各々被着された電極の振動子半径方向の中央点である。
を参照して説明する。第２図において、１〜５は振動子
、６は吸音材、Ｐ＋−Ｐｓは振動子１〜５の表、裏面に
各々被着された電極の振動子半径方向の中央点である。
ここで、振動子１〜５の表面（図中下面）の電極は接地
電極として共通接続されて接地され、裏面（図中上面〕
の電極は各々振動子選択駆動電極として電気的に分離し
て各々パルス電圧発生器７の出力端および遅延回路８の
入力端に接続されている。９はタイミング回路、１０は
制御回路、１１は加算器である。
電極として共通接続されて接地され、裏面（図中上面〕
の電極は各々振動子選択駆動電極として電気的に分離し
て各々パルス電圧発生器７の出力端および遅延回路８の
入力端に接続されている。９はタイミング回路、１０は
制御回路、１１は加算器である。
このような超音波断層装置において、探触子前方の点Ｏ
に超音波ビームの焦点をおく場合の動作について説明す
る。いま、点Ｏを中心とし、この点Ｏと最外周側の環状
振動子５の中央点Ｐ５とを結ぶ距離を半径として円弧を
描き、各振動子１〜４の中央点Ｐ１〜Ｐ４を通る直線Ｏ
Ｐ＋ 、 ＯＦ２ 、 ＯＰａ 、 ＯＦ４を延長した
線と上述円弧との交点を各々Ｐ’＋ ｒ Ｐ’２ Ｈ￥
ｓ ＋Ｐ’ａ とする。
に超音波ビームの焦点をおく場合の動作について説明す
る。いま、点Ｏを中心とし、この点Ｏと最外周側の環状
振動子５の中央点Ｐ５とを結ぶ距離を半径として円弧を
描き、各振動子１〜４の中央点Ｐ１〜Ｐ４を通る直線Ｏ
Ｐ＋ 、 ＯＦ２ 、 ＯＰａ 、 ＯＦ４を延長した
線と上述円弧との交点を各々Ｐ’＋ ｒ Ｐ’２ Ｈ￥
ｓ ＋Ｐ’ａ とする。
上述前提において、ＰＩ ＰＳ＋ Ｐ２ Ｐ４． Ｐｓ
Ｐ≦、 Ｐ４ ＰＩ３間を各々超音波が伝播するのに
相当する時間だけ遅延を与えて各振動子１〜５を駆動す
れば、点Ｏには振動子１〜５から送波された超音波が同
一時点で到達し、集束することになる。ここでは制御回
路１０よシ制御されるタイミング回路９よシ上述時間遅
延に応じたタイミング信号を発生させ、パルス電圧発生
器７を駆動することにより上述集束動作を行わせる。
Ｐ≦、 Ｐ４ ＰＩ３間を各々超音波が伝播するのに
相当する時間だけ遅延を与えて各振動子１〜５を駆動す
れば、点Ｏには振動子１〜５から送波された超音波が同
一時点で到達し、集束することになる。ここでは制御回
路１０よシ制御されるタイミング回路９よシ上述時間遅
延に応じたタイミング信号を発生させ、パルス電圧発生
器７を駆動することにより上述集束動作を行わせる。
一方、点Ｏに焦点を合わせてエコー信号を受波するため
には、上述超音波送波時と同じ遅延時間を各振動子１〜
５からの信号に与えた後、加算すればよい。すなわち、
点Ｏからの信号は同位相で加算器１１で加算されるよう
にすれば、この点Ｏから反射したエコー信号が最大感度
となる。この際の遅延を行うのが遅延回路８であるが、
この遅延回路８は、点Ｏ（焦点）の位置を任意に移動可
能とするため、制御回路１０からの信号によってその遅
延時間が適宜変更できるようになされている。
には、上述超音波送波時と同じ遅延時間を各振動子１〜
５からの信号に与えた後、加算すればよい。すなわち、
点Ｏからの信号は同位相で加算器１１で加算されるよう
にすれば、この点Ｏから反射したエコー信号が最大感度
となる。この際の遅延を行うのが遅延回路８であるが、
この遅延回路８は、点Ｏ（焦点）の位置を任意に移動可
能とするため、制御回路１０からの信号によってその遅
延時間が適宜変更できるようになされている。
以上説明したような動作によシアニュラーアレー探触子
はその焦点を任意の点に移動できる利点があり、広い視
野に亘って鮮明な超音波断層像を形成することができる
。また、この種の探触子は、その中心を通る軸に対し、
軸対称に超音波集束されるためアーチファクトが生じ難
いという利点がある。
はその焦点を任意の点に移動できる利点があり、広い視
野に亘って鮮明な超音波断層像を形成することができる
。また、この種の探触子は、その中心を通る軸に対し、
軸対称に超音波集束されるためアーチファクトが生じ難
いという利点がある。
以上述べたように上述探触子を用いた超音波断層装置は
優れた性能（利点）をもつが、上述探触子は第１図およ
び第２図に示すように、１つの円板状の振動子１と多数
の環状の振動子２〜５を必要とする。しかし、これら振
動子１〜５は、通常、圧電セラミックを用いるため加工
が困難である。
優れた性能（利点）をもつが、上述探触子は第１図およ
び第２図に示すように、１つの円板状の振動子１と多数
の環状の振動子２〜５を必要とする。しかし、これら振
動子１〜５は、通常、圧電セラミックを用いるため加工
が困難である。
特に、高性能化のため環状振動子の数を多くする場合や
、高周波用としての小口径探触子製造のために各振動子
間の幅を微細とする場合等、極めて加工が困難となった
。すなわち、通常、上述のような加工には超音波加工法
が最も実用的であるとされているが、この加工法によっ
ても加工速度が遅く、加工費が高くなシ、各振動子間の
切断溝幅も十分狭くできず、量産化を困難にしていた。
、高周波用としての小口径探触子製造のために各振動子
間の幅を微細とする場合等、極めて加工が困難となった
。すなわち、通常、上述のような加工には超音波加工法
が最も実用的であるとされているが、この加工法によっ
ても加工速度が遅く、加工費が高くなシ、各振動子間の
切断溝幅も十分狭くできず、量産化を困難にしていた。
また、振動子としてＰＺＴを用いた場合、環状振動子の
半径方向の幅の設定によっては、振動子の厚み方向の振
動に加えて半径方向の無用な振動が発生することがある
。そこで、その無用な振動を抑えるために、すなわち探
触子の高性能化とは無関係に、より多くの環状振動子の
分割加工を必要とし、従ってよシ一層、製造コストが高
くなり、量産化が困難となった。
半径方向の幅の設定によっては、振動子の厚み方向の振
動に加えて半径方向の無用な振動が発生することがある
。そこで、その無用な振動を抑えるために、すなわち探
触子の高性能化とは無関係に、より多くの環状振動子の
分割加工を必要とし、従ってよシ一層、製造コストが高
くなり、量産化が困難となった。
本発明は上記のような実情に鑑みてなされたもので、性
能を劣化させることなく容易に量産が可能となり、製造
コストを大幅に低減させ得る超音波断層装置用探触子を
提供することを目的とする。
能を劣化させることなく容易に量産が可能となり、製造
コストを大幅に低減させ得る超音波断層装置用探触子を
提供することを目的とする。
以下第３図ないし第６図を参照して本発明の詳細な説明
する。第３図は本発明による超音波断層装置用探触子の
一実施例の要部を示す断面図、第４図は第３図中の■−
■線断面図、第５図は第６図中の■−Ｖ線断面図で、１
′″引−臥各図において、６は第２図と同様に吸音材を
示゛す。１２はＰＺＴやチタン酸鉛系セラミック等から
なる円板状の圧電セラミックで、その−実測の面（第３
図中下面）には直線状の溝１６を多数交叉させて設ける
ことによシ振動子部１４が多数モザイク状に区分形成さ
れている。ここでは、第５図に示すように、前記溝１６
は図中縦方向と横方向に各々多数等間隔で平行に、すな
わち基盤目状に設けられ、多数の正方形状の振動子１４
が形成されている。この場合、谷溝１３は、第６図に拡
大して示すように圧電セラミック１２が溝１６によシ切
シ離されない程度の深さで形成される。このように各振
動子部１４が溝１６により機械的に完全に分離されてい
なくとも、完全に分離した場合と同様に、１の振動子部
１４の厚み振動が隣接する他の振動子部１４に伝播して
影響を与えることが余りないことが知られている（ Ｉ
ＥＥＥＴＲＡＮＳＡ −ＣＴＩＯＮ ＯＮ ５ＯＮＩ
Ｃ８ＡＮＤ ＴＪＬＴＲＡＳＯＮＩＣ８、ＶＯＬ ５Ｕ
−１２。
する。第３図は本発明による超音波断層装置用探触子の
一実施例の要部を示す断面図、第４図は第３図中の■−
■線断面図、第５図は第６図中の■−Ｖ線断面図で、１
′″引−臥各図において、６は第２図と同様に吸音材を
示゛す。１２はＰＺＴやチタン酸鉛系セラミック等から
なる円板状の圧電セラミックで、その−実測の面（第３
図中下面）には直線状の溝１６を多数交叉させて設ける
ことによシ振動子部１４が多数モザイク状に区分形成さ
れている。ここでは、第５図に示すように、前記溝１６
は図中縦方向と横方向に各々多数等間隔で平行に、すな
わち基盤目状に設けられ、多数の正方形状の振動子１４
が形成されている。この場合、谷溝１３は、第６図に拡
大して示すように圧電セラミック１２が溝１６によシ切
シ離されない程度の深さで形成される。このように各振
動子部１４が溝１６により機械的に完全に分離されてい
なくとも、完全に分離した場合と同様に、１の振動子部
１４の厚み振動が隣接する他の振動子部１４に伝播して
影響を与えることが余りないことが知られている（ Ｉ
ＥＥＥＴＲＡＮＳＡ −ＣＴＩＯＮ ＯＮ ５ＯＮＩ
Ｃ８ＡＮＤ ＴＪＬＴＲＡＳＯＮＩＣ８、ＶＯＬ ５Ｕ
−１２。
Ｎｏ ４ 、０ＣＴＯＢＥＲ１９７２、ＰＰ４４４．
ＥＸＰＥ睨凹灯ＡＬ Ｉ押侶５ＴＧＡＴＩＯＮ ＯＦ
ＡＣＡＵＳＴＩＣＩＭＡＧＩＮＩＮＧ ＳΔ５ＯＲ８そ
の他参照）。
ＥＸＰＥ睨凹灯ＡＬ Ｉ押侶５ＴＧＡＴＩＯＮ ＯＦ
ＡＣＡＵＳＴＩＣＩＭＡＧＩＮＩＮＧ ＳΔ５ＯＲ８そ
の他参照）。
１５は上述多数の振動子部１４上を覆い形成された１枚
の薄い共通電極で、接地電極として用いられる。１６は
圧電セラミック１２の後述加工前に一様に被着された電
極である。
の薄い共通電極で、接地電極として用いられる。１６は
圧電セラミック１２の後述加工前に一様に被着された電
極である。
１７は振動子選択駆動電極で、前記圧電セラミック１２
の他方側の面（第３図中上面）の中心部に覆い形成され
た円形電極１７ａおよびこの円形電極１７ａの外周側に
、それと同心的に、かつ各々適宜量隔置いて被着配置さ
れた複数の、ここでは４つの環状電極１７ｂ〜１７ｅか
らなる。各電極１７ａ〜１７ｅ相互の間隔は、それらが
各々電気的に分離されるのに支障全米たさない範囲で任
意に設定される。
の他方側の面（第３図中上面）の中心部に覆い形成され
た円形電極１７ａおよびこの円形電極１７ａの外周側に
、それと同心的に、かつ各々適宜量隔置いて被着配置さ
れた複数の、ここでは４つの環状電極１７ｂ〜１７ｅか
らなる。各電極１７ａ〜１７ｅ相互の間隔は、それらが
各々電気的に分離されるのに支障全米たさない範囲で任
意に設定される。
１８は上記電極１７ａ〜１７ｅよシ各々導出されたリー
ド線である。
ド線である。
上述構成の本発明探触子においては、従来探触子のよう
に円板状の圧電セラミックを同心円状に多数切断するこ
となく、それとほぼ同等の円形お゛ よび環状の音源
（振動子）を構成できる。すなわち、円形および環状の
電極１７ａ〜１７ｅの各位置に対応する振動子部群が１
つの音源として機能するもので、例えば電極１７ｅに電
圧印加された際には第５図中ノ・ツチングを付して示す
領域の振動子部群が励振されることになる。この場合、
各方向の溝１３の本数を多くシ、振動子部１４を微細に
形成する程、真円に近い円形または環状の音源が形成さ
れることになり、円形または環状振動子によシ近似する
。通常、工業用に用いられているダイシングソーを前記
溝形成に用いれは４．３．５ ＭＨｚ 〜５．０ ＭＨ
ｚのＰＺＴ振動子となる圧電セラミックの円板を０．２
ｍｍ〜０．３ｍｍピッチ、最小釦ミクロンの溝幅での
加工を多量に行うことが困難ではない。従って、本発明
によれば、１つの円板状振動子と多重の環状振動子から
なるアニユラ−アレー探触子に極めて近似した探触子を
工業的に容易に、低コストで得られることになる。
に円板状の圧電セラミックを同心円状に多数切断するこ
となく、それとほぼ同等の円形お゛ よび環状の音源
（振動子）を構成できる。すなわち、円形および環状の
電極１７ａ〜１７ｅの各位置に対応する振動子部群が１
つの音源として機能するもので、例えば電極１７ｅに電
圧印加された際には第５図中ノ・ツチングを付して示す
領域の振動子部群が励振されることになる。この場合、
各方向の溝１３の本数を多くシ、振動子部１４を微細に
形成する程、真円に近い円形または環状の音源が形成さ
れることになり、円形または環状振動子によシ近似する
。通常、工業用に用いられているダイシングソーを前記
溝形成に用いれは４．３．５ ＭＨｚ 〜５．０ ＭＨ
ｚのＰＺＴ振動子となる圧電セラミックの円板を０．２
ｍｍ〜０．３ｍｍピッチ、最小釦ミクロンの溝幅での
加工を多量に行うことが困難ではない。従って、本発明
によれば、１つの円板状振動子と多重の環状振動子から
なるアニユラ−アレー探触子に極めて近似した探触子を
工業的に容易に、低コストで得られることになる。
以下、上述本発明探触子の製造方法の一例を説明する。
まず、ＰｚＴあるいはチタン酸鉛系セラミック等からな
る円板状の圧電セラミックを用意する。この圧電セラミ
ックの両面には銀電極（１６，１７）が焼き付けられて
いるが、その一方何の面の銀電極（１７）に機械的な切
削を施すことにより第４図に示すような電極１７ａ〜１
７ｅを形成する。この電極の切断はホトエツチング法に
よって行なってもよい。またこの電極１７ａ〜１７ｅの
形成は、圧電セラミックの片面に銀を含むインクを第４
図に示す形状にスクリーン印刷した後、焼き付けを施す
ことによって行ってもよい。その他電極形状のマスクを
用いた蒸着法によっても可能である。
る円板状の圧電セラミックを用意する。この圧電セラミ
ックの両面には銀電極（１６，１７）が焼き付けられて
いるが、その一方何の面の銀電極（１７）に機械的な切
削を施すことにより第４図に示すような電極１７ａ〜１
７ｅを形成する。この電極の切断はホトエツチング法に
よって行なってもよい。またこの電極１７ａ〜１７ｅの
形成は、圧電セラミックの片面に銀を含むインクを第４
図に示す形状にスクリーン印刷した後、焼き付けを施す
ことによって行ってもよい。その他電極形状のマスクを
用いた蒸着法によっても可能である。
次に、上述方法により電極１７ａ〜１７ｅを形成した圧
電セラミックのそれら電極１７ａ〜１７ｅ形成面側に吸
音材６を接合させる。この吸音材乙の接合形成は、エポ
キシ樹脂あるいはシリコンゴム中に金属粉を混入したも
のを型を用いて前記圧電セラミックの電極１７ａ〜１７
ｅ形成面上に流し込むことにより行ってもよく、また、
予め成形された金属粉入りシリコンゴムを圧電セラミッ
クの電極１７ａ〜１７ｅ形成面上に接着することによっ
てもよい。
電セラミックのそれら電極１７ａ〜１７ｅ形成面側に吸
音材６を接合させる。この吸音材乙の接合形成は、エポ
キシ樹脂あるいはシリコンゴム中に金属粉を混入したも
のを型を用いて前記圧電セラミックの電極１７ａ〜１７
ｅ形成面上に流し込むことにより行ってもよく、また、
予め成形された金属粉入りシリコンゴムを圧電セラミッ
クの電極１７ａ〜１７ｅ形成面上に接着することによっ
てもよい。
いずれにしても、その際、各電極１７ａ〜１７ｅからリ
ード線１８が各々導出され得るようになされる。
ード線１８が各々導出され得るようになされる。
このように裏面に吸音材６が接合された圧電セラミック
は、次工程で、例えば第５図に示すように基盤目状に溝
１ろが切削形成される。その深さは、第６図に示すよう
にその溝切削により圧電セラミックを機械的に分離させ
ない程度に設定される。
は、次工程で、例えば第５図に示すように基盤目状に溝
１ろが切削形成される。その深さは、第６図に示すよう
にその溝切削により圧電セラミックを機械的に分離させ
ない程度に設定される。
上述溝切削により多数の振動子部１４が区分形成される
もので、その後、この全振動子部１４上、よジ詳しくは
振動子部１４の弄面の前記銀電極１６上に、１枚の導電
性のプラスチック薄板が接合され、共通電極（接地電極
）１５となされるものである。
もので、その後、この全振動子部１４上、よジ詳しくは
振動子部１４の弄面の前記銀電極１６上に、１枚の導電
性のプラスチック薄板が接合され、共通電極（接地電極
）１５となされるものである。
なお、前記溝１３内に、第６図に示すように軟質物質、
例えばシリコンゴム１９を充填し、振動子部１４を形成
した側の圧電セラミック１２面をほぼ平面状になせば、
その平面上に導電性塗料を塗布する等の方法で容易に共
通電極１５ヲ形成させ得る。
例えばシリコンゴム１９を充填し、振動子部１４を形成
した側の圧電セラミック１２面をほぼ平面状になせば、
その平面上に導電性塗料を塗布する等の方法で容易に共
通電極１５ヲ形成させ得る。
なお、上述実施例では、直線状の溝１ろを、例えばまず
一方向に多数平行して等間隔に切削し、その後、それと
直交する方向に多数平行して等間隔に切削する等により
基盤目状に形成し、１つの振動子部１４が最外周側を除
いて正方形となるようにしたが、これに限定されること
はなく、他の矩ブ杉あるいは三角形さらにはひし形等、
種々の形状に形成してもよい。いずれの形状であっても
上述実施例と同様の効果が得られる。
一方向に多数平行して等間隔に切削し、その後、それと
直交する方向に多数平行して等間隔に切削する等により
基盤目状に形成し、１つの振動子部１４が最外周側を除
いて正方形となるようにしたが、これに限定されること
はなく、他の矩ブ杉あるいは三角形さらにはひし形等、
種々の形状に形成してもよい。いずれの形状であっても
上述実施例と同様の効果が得られる。
以上述べたように本発明は、圧電材に多重同心円を描く
ように切削等で分離する加工全必要とせず、直線状の溝
形成加工全必要とするに過ぎない構成としたので、容易
に量産が可能となり、製造コスＩｆ犬幅に低減させるこ
とができるという効果がある。しかもこの場合、探触子
の性能としては、前述したように従来探触子とほぼ同等
になし得るという効果もある。
ように切削等で分離する加工全必要とせず、直線状の溝
形成加工全必要とするに過ぎない構成としたので、容易
に量産が可能となり、製造コスＩｆ犬幅に低減させるこ
とができるという効果がある。しかもこの場合、探触子
の性能としては、前述したように従来探触子とほぼ同等
になし得るという効果もある。
第１図は従来探触子の要部正面図、第２図は同探触子が
用いられた超音波断層装置の回路図、第６図は本発明に
よる超音波断層装置用探触子の一実施例の要部を示す断
面図、第４図は第６図中のＩＶ−ＩＶ線断面図、第５図
は第６図中の■−Ｖ線断面図、第６図は本発明探触子の
他の実施例の要部拡大断面図である。 ６・・・吸音材、１２・・・圧電セラミック、１６・・
・溝、１４・・・振動子部、１５・・・共通電極、１７
．１７ａ〜１７ｅ・・・振動子選択駆動電極、１８・・
・リード線。 特許出願人 株式会社日立メディコ 代理人 弁理士 秋 本 正 実第６図
用いられた超音波断層装置の回路図、第６図は本発明に
よる超音波断層装置用探触子の一実施例の要部を示す断
面図、第４図は第６図中のＩＶ−ＩＶ線断面図、第５図
は第６図中の■−Ｖ線断面図、第６図は本発明探触子の
他の実施例の要部拡大断面図である。 ６・・・吸音材、１２・・・圧電セラミック、１６・・
・溝、１４・・・振動子部、１５・・・共通電極、１７
．１７ａ〜１７ｅ・・・振動子選択駆動電極、１８・・
・リード線。 特許出願人 株式会社日立メディコ 代理人 弁理士 秋 本 正 実第６図
Claims (1)
- 一方側の面に直線状の溝を多数交叉させて設けることに
よシ多数の振動子部が区分形成された円板状の圧電材と
、この圧電材の一方側の面に形成された前記多数の振動
子部上を覆い形成された共通電極と、前記圧電材の他方
側の面の中心部に覆い形成された円形電極およびこの円
形電極の外周側をそれと同心的に各々被着配置された複
数の環状電極からなシ、かつそれら各電極間が電気的に
分離された振動子選択駆動電極とを具備することを特徴
とする超音波断層装置用探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58076214A JPS59202059A (ja) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | 超音波断層装置用探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58076214A JPS59202059A (ja) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | 超音波断層装置用探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59202059A true JPS59202059A (ja) | 1984-11-15 |
Family
ID=13598919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58076214A Pending JPS59202059A (ja) | 1983-05-02 | 1983-05-02 | 超音波断層装置用探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59202059A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4006718A1 (de) * | 1989-03-07 | 1990-09-13 | Mitsubishi Mining & Cement Co | Piezoelektrischer wandler |
| DE4008768A1 (de) * | 1989-03-27 | 1990-10-04 | Mitsubishi Mining & Cement Co | Piezoelektrischer wandler |
| EP0565380A3 (en) * | 1992-04-09 | 1994-09-14 | Gen Electric | Repair of nuclear reactor incore housings and ultrasonic examination |
| WO2012141682A1 (en) * | 2011-04-11 | 2012-10-18 | Halliburton Energy Services, Inc. | Piezoelectric element and method to remove extraneous vibration modes |
| CN103048387A (zh) * | 2011-10-14 | 2013-04-17 | 通用电气公司 | 超声波层析成像系统 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5254415A (en) * | 1975-10-29 | 1977-05-02 | Oki Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic transmitter and receiver |
| JPS52153471A (en) * | 1976-06-16 | 1977-12-20 | Oki Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic transmitter and receiver |
| JPS5670000A (en) * | 1979-11-10 | 1981-06-11 | Toray Ind Inc | Ultrasonic wave transducer using high molecular piezoelectric body |
| JPS5732200A (en) * | 1980-06-25 | 1982-02-20 | Commissariat Energie Atomique | Method of producing composite ultrasonic wave converter |
| JPS57132497A (en) * | 1981-02-10 | 1982-08-16 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Ring type probe and its manufacture |
-
1983
- 1983-05-02 JP JP58076214A patent/JPS59202059A/ja active Pending
Patent Citations (5)
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| US9354204B2 (en) | 2011-10-14 | 2016-05-31 | General Electric Company | Ultrasonic tomography systems for nondestructive testing |
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