JPS59202645A

JPS59202645A - チツプオリエンタ−

Info

Publication number: JPS59202645A
Application number: JP58077076A
Authority: JP
Inventors: Yoshito Matsui; 松井　吉人
Original assignee: Nichiden Machinery Ltd
Current assignee: Canon Machinery Inc
Priority date: 1983-04-30
Filing date: 1983-04-30
Publication date: 1984-11-16
Also published as: JPH0566014B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】イ、産業上の利用分野本発明は、半導体装置の製造工程においτ、半導体クエ
ーノ・から分離された各チップを、リードフレーム上の
所定位置に所定方向で載Ｗするために、チップを位置決
めしτ、整列させる装置に利用される。

口、従来技術半導体装置の製造工程において、半耶体りエーハに形成
されている半導体素子は谷ベンントに分離され、チップ
化されるが、チップ化の後、各チップはリードフレーム
上の所定位置に載置されて、ベレントマクントされる。

このように、各チップをリードフレームに載置する場合
例えば従来、第１図（ａ）、第１図（ｂ）、第７図（ｃ
）に示すような内面が略截頭逆角錐状の位置決め白目ｊ
の中にチップ１２１を入れて位置決めを行なった後、各
チップ（２３を吸着ヘッドで吸着して、順次リードフレ
ーム上に載瞳させていく０そして、チップ（２）の品種
毎に位置決め台（１）は父換され、史にチップ＋２１の
方向を変えて姿勢制御するために、位置決め台ｆｉｌは
ｊ　ｌ　００　自由に回転しなければならない。このよ
うな位置決め台Ｉｌｌは、従来、個々の部品を焼き入れ
後、精密研磨して製作した後、これらを組み合せること
により、７個に形成される。

ところが、このような個々の部品の研磨はμｍ単位の精
度が要求さｎるため、加工が困難でｊｂす、その結果、
位置決め台［１１の製作は時間がかかり、かつ、高価に
なり、チップ（２］の品種毎にいくつかの兵なる寸法の
位置決め台（１）の製作が必要となシ、コスト上昇の原
因となる。又同−品棟のチップ１２）でろつτも、μｍ
単位で寸法にバラツキがろり、対ルＳする位置決め台（
１）の収納寸法と合わない場合があシ、位置決めが正確
に行われなかったり、チップｉ２１が入らなかったりす
ることがある。

ハ、発明の目的本発明の目的は、半導体クエーノ・ヲチップ化した後、
各チップを位置決め、かつ、姿勢１！ｉｌＪ　御して、
リードフレーム上に或眩する工程で、７個の装置により
すべての品種のチップの位１ｄ決めと姿勢制御を行うも
のである。

二、発明の構成本発明に係るチップオリエンターは、支持体に回動自在
に支持される回転ブロックと、１ｉｉｊ記回転ブロック
に収り付けられているチップ載置台と、グ個のガイドに
各々が案内され、グ個のスプリングの付勢力により、チ
ップ’ｉ＠ｊ、直台上で四方から押止して位置決めする
グ枚の爪と、第１のアームと第２のアームと第３のアー
ムとが丁字形を成して、前記グ枚の爪毎に設けられ、か
つ、第ｌ、第２、第３のアームの各交点を中心にして、
それぞれ回動するグ個のンバーと、前記回転ブロックに
設けられ、かつ、前配り個の第１のアーム金押圧して、
谷レバーを回動させ、前記グ枚の爪をグ個の第２のアー
ムによりスプリングの付勢力に抗して四方に開かせる往
復１ｇｌ１機構と、＠肥り個の＠Ｊのアームに対向させ
て、ｇＩＪ記回唸ブロックに支持され、かつ、前記往復
動４ＪＡ構が退入動作をしてり個の第１のアームから離
れ、り個の第２のアームが押圧された時、グ個の第３の
アームに当接することにより、チップｋ　ｄ　ｉＭ台上
で位置決めするマイクロメーターヘッドと、前記回転ブ
ロックを所定方１０」に１０Ｊ＜まで回転させ、チップ
を宕く置台上で優勢制動する回転位置決め機構とから成
ることを特徴とする。

ホ、実施例以下に本発明の一実施例を、！ｇ、２図、第３図、第７
図に示すチップオリエンター（３）から説明する。図に
おいて、（４）（４１・Ｏ＠はチップ載置台１５）上に
ｊ或せているチップを四方から押止して位置決めするり
枚の爪であり、回転ブロック（６１に取９付けられてい
るり個のガイド＋７１１７１・・・に案内されτ、チッ
プ域置吾ｉ５１方回、例えば（Ａ）方向、及び、チップ
載置台（６１と反対方向、例えば（Ａ）方向にグ枚の爪
＋４１＋４１・・・が一度に動き、チップ載置台（５１
上で開閉する０そしてグ個のガイド［７１４７１・ｅｅ
内には圧縮スプリング（８１［８１・・・が嵌入されて
おり、爪１４１ｆ＋＋・―・をそれぞれチップ載置台（
５）方向に押圧する。又、チップ載置台（５１は、回転
ブロックｔ６１に固定されているり個の支持プラタン１
１９１［９１・・・に取り付けられ、回転ブロック（６
１と共に回転する。そして、回転ブロック１６１は支持
体＋１０１にベアリング（Ｉｌｌ　（ｌす・・・を介し
て回動自在に収り付けられて２す、更にベロ７クムカツ
フリンク（１２）ｔＪｌ”Ｌテハルスモーター霞に連結
され、ステップ毎に回転する。このパルスモータ−賎の
回転数（よ、発生するパルス数で測られるが、回転の始
点位置はロータリーエンコンダー圓と７オトインタフプ
タリ５）とで決められる。次に、川は回転ブロック（６
１に設けられ工いる往復ｉ！ＩＩＩ機構であり、例えば
回転ブロック（６１の中心に形成されている四部に萩押
されるピストン機構でるる。即ら、ピストンｉｉｕ＊の
周囲には、圧縮スプリング伏ηが装看されてｉるが、圧
縮スプリング０７）はピスト２１１句と回転ブロック（
６；とに係止されておシ、ピストン機構（１６）が上方
に駆動された時、圧縮スプリング０乃は稲み、反対に圧
縮スプリングα乃の弾性的伸張力に応じて、ピストン機
構（１６）は下降する。そして、このようなピストン板
構詞の上方への駆動力は空気によって与えられる。即ち
、ピストン機構（＋６）のｔｍ＋ｌされ又いる回転ブロ
ック１６）の中心の凹部のＩｆε１６１に辿じていて、
回転ブロック（６１を貝°曲している穴（１８）、及び
支持体（ｌＯ）をＸ通している穴（１９）力・ら堅気が
送りこまれ、その圧力により、ピストン機構ｊｉ６Ｊは
上方に動く。ここで、穴部は回転ブロックｊ６１と共に
回転するため、回転ブロック１６１の全周に亘る穂状の
空気通過孔−が支持体１１Ｑ＋に形成され℃おり、穴霞
が回転し、穴部と同一直線上になくても、穴０９１に送
り込まれた窒気は、一旦環状の空気通剋孔彌を通り抜け
た後、Ｋ州に入り、回転ブロック（６１の中心の四部の
底［６１’Ｋまで送り込まれ、ピストン機構（１６）全
上方に駆動する。

セしてシ１）は第１のアーム（２１ａ）と第２のアーム
（２１ｂ）と第３のアーム（２１ｃ）とが１＋＋６　Ｔ
　！：Ｔ−形を成すレバーで、第／、＋８．２、第３の
アーム（２１ａ）（２１ｂ）　（２１ｃ）の交点を中心
に回動できるように支持グラグント（９］に軸支されて
おり、グ枚の爪＋４１（４１・・・の各々に設けられて
いる。更に、り個のＴｆ’形レバしレυシ１）・・・の
各第１アーム（２１ａ）（２１ａ）　　・・・はピスト
ン機構（皇６）に対向し、６第、２７−ム（２１ｂ）　
（２１ｂ）”　−”ｉ＜’枚ノ爪＋４１１４１６１１・
の６係止喘に対向している。従ってピストン機構（ＩＱ
が上方に駆＃ｌされた時、り個の第１アーム（２１ａ）
　（２１ａ）・―ｅを７度に押し上げるため、７個のＴ
字形レバーＥｌ＋馨υ・・・もチップ域置台１６１から
離れる方間、例えば第２図の［Ｅ）方向に７度に回動し
、グ個の第２アーム（２１ｂ）　（２１ｂ）・・−が圧
縮スプリング１８１　＋８１・・・の付勢力に抗してダ
枚の爪１４１１４ｉ・・・の各々を１度に押圧し、千ン
グｊｉ！に、ｉ＆台（［＋１上でこれを開かせる。この
時、ピストン機構（１０）の上方には第５図、第３図に
示すようにストンバー（細か設けられてＰす、ピストン
機構、１６）の上昇１１寸にこれに当接することにより
、その上昇位置を規市１」する。即ら、このストッパー
（論は第５図に示すように回転ブロック＋６１に固定さ
れている支持枠１２４）に軸支され、かつ、支持枠２４
）に当接しているネジ尚ノが端部に螺入して２す、ネジ
（詞ヲ出入れさせることにより、ストッパー囚）は上昇
又は下降し、その上下位置が設定される。そして圧縮エ
アーを電磁弁の切換えで抜くとピストン’ｆｌＡ　構ｔ
１６１が圧縮スプリングσηにより下降して、各第１ア
ーム（２１ａ）　（２１ａ）・・−から？ｊ４　’ａ”
１．た篩、ガイドｉ７１　＋７１・・・内で、圧縮スプ
リング＋８１　＋８１・・・がり枚の爪の各々をチンプ
戴喧台（６１方向、例えば第２図の（Ａ５’方同に押圧
して、チップｆｆ１ｍ台１５１上で、これを閉じる。

即ら、ｅ４（ＢのＴ字形レバーＩ２１）則・・・が、ピ
ストン機構（嘴の往復動に応じて回動することによシ、
２枚の爪１４ｉ１４＋・・・はチップ域置台（５１上で
囲閉することになる。そして、Ｔ字形レバーｇｕｇｕ　
−−−のグ個の第３アーＡ　（２１ｃ）　（２１０）　
＠　ＩＩ・は、回転ブロック＋６１に支］咄σれている
７個のマイクロメーターヘッドβレク・ｅ＠に対向して
２シ、ダ枚の爪＋４１４１・・ｅが圧縮スプリング（８
１（８１・・・により、チンプ戦［置台１５１方回、即
ら、閉じる方向に各第２アーム（２１ｂ）　（２１ｂ）
・・・を押圧し、ダ個のＴ字形レバー（２）ｌ）＆υ・
・・が同じ方向、例えば第７図の（対方向に回動した時
、各第３アーム（２１ｃ）　（２１ｃ）　拳・拳がグ個
の各マイクロメーターヘッド１２り（四０１．に当接し
、グ改の爪＋４１＋４１・・・の閉じる位置ヲ決める。

ここで、マイクロメーターヘッド（社）（２）・−・に
よって設定される爪（４）（４）・・・の１１つじ位置
が決められれば、その位置は第３図に示すよりにグ個の
止めネジ（３樽關・・・によって固定される。

次に、回転ブロック（６１を支持し工いる支持体ｕｏｌ
　ｌｔｌ　％上下動プロンクＶ（２）に抱持σれ、かつ
、パルスモータ一時本体に固定されているフレーム同に
収り付けられる。そしてパルスモータ−α樽本体１及び
上下前ブロック（ハ）はベースに垂設されているガイド
ｇ８）　１２９１に支持され、上下動ブロック（朝の凸
部Ｗ６１’は、ガイド１Ｚ９）に−支ｄれているマイク
ロメーターヘッドＢυ）に当接して詮り、マイクロメー
ターヘッド（晴により、上下動ブロック四の高さが１．
１１節される。この時、上下動ブロック四に抱持されて
いる支持体［１０１、及びパルスモータ−贈本体の高ざ
も調節される。又、第２図、ＷＪＪ図、第９図に示すよ
うに、支持体ｔ１０１　Ｋに２本のアームｔ＋Ｉｆｎｏ
）が対向して突出形成されてお）／゛す、２本のアーム＋１０１　＋１０１には水平にマイク
ロメーターヘッドＩｌｌと、圧縮スプリング１３４が当
接している。即ら、マイクロメーターヘッド（３１）と
圧縮スプリングＸ北により、パルスモータ−１１３１の
回転軸に対する、支持体（１０）の１目対位置が微調節
される。従って、回１版ブロック（６１ヲが止すべさ位
置が、ステップ回転するパルスモータ−ｕ３）の中間位
置でめった場合、回転ブロック＋６１に対するパルスモ
ータ−賎本体を、マイクロメーターヘッド３１）を調節
することにより、所定域回転させて調整することができ
る。上記ｇ成に基づき、木＠明に係るチップオリエンタ
ー１３）の動作は次のようになる。即ら、まず、穴ｔ１
９）、空気通過孔ｗｏ’ｒ及び穴ｆ１８１を経て、空気
が送り込まれると、ピストン機構（Ｉ輸はストッパー１
２３）で規Ｉ１１」びれる停止位置まで、り個の丁字形
レバー（２１）　Ｉ２］）・・・の各第１アーム（２１
ａ）　（２１ａ）・・・を抑圧しながら、上昇し、各第
２アーム（２１，切（２１ｂ）・・・により、グ枚の爪
＋４１１４１・・・を圧縮スプリング＋８１　＋８１・
・・の付勢力に抗して、チップ載置台（５１上で開かせ
る。次にチップ載置台１５１上に、チップ１２）が域せ
られるが、この時、チツプエ或百台（５１には、あらゆ
る寸法のチップ１２１　ｔ”　載せることができる。

そしτ、空気の供給を停止すれば、ピストン機構（１（
２）は圧樒スプリング０ηの付勢力により下降し、各第
１アーム（２１ａ）　（２１ａ）　・・・から離れ、反
対に、ガイド（７＋＋７１　轡・・内の圧動スプリング
＋８１（８１・・・がり枚の爪１４１ｉ４１−・ｅを７
度に押圧することにより、グ枚の爪＋４１（４）・・・
はチンプ戦百台１５１上で閉じて、チップ（２）を位置
決めする。

この時、グ枚の爪ｔ４Ｎ４１・・・の閉じる位置は、ｉ
ＵのＴ字ｊｆ２レパーレυ（社）・・・の各第３アーム
（２１Ｃ）　（２１０）・・・に当接するグ個のマイク
ロメーターヘッドｃイ４　ｇ２・・ｅにより設定される
。そして、チップ１２＋を姿勢制御するために、パルス
モータ−（１３）ｋ回転させ、その回転軸に連結してい
る回１版ブロック＋６１と、回転ブロック＋６１に収り
付けられているチップ載置台１５＋とが所定の方向に同
くまで回転させればよい。

このようＱてして、チップ］２）はチップ載置台（５）
上で、グ枚の爪＋４１＋４１・・・により位置決めされ
、回転ブロック１６１により姿勢制御される。そして吸
右ヘンドにより、チップ（２１を吸着すればよい０へ、発明の効果木発り」によれは、十辱体りエーハから分離された谷チ
ップｔリードフレームに域せるために、チップを位置決
めして、整列させる工程において、グ枚の爪の開閉によ
り、チップをチップ載置台上で位置決めするようにした
から、ろらゆる寸法のチップの位置決めが、１個の装置
により可能となる。しかも、グ枚の爪の開閉は空気で駆
動δれ、モーター、ソレノイド等の電気的駆動を必要と
しないため、プラン等エネルギーの供給のための機構が
不要であり、装置がコンパクトになる。文に、グ枚ｑ爪
とチップ戦１ａ台を回転ブロックに収り付け、３ｇθ°
自由に回転停止できるようにしたから、チップをチップ
載置台上で自由に姿勢制御することができる

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は従来のチップ位置決め台の斜視図、第１
図（ｂ）はその断面図、第１図（Ｑ）はその平面図、第
２図は本発明にイ糸るチップオリエンターの要部０ｔＩ
Ｉ断面図、第３図はその平面図、第９図はその正面図、
第ｊ図ｔま零発り］に係るチップオリエンターのストッ
パーの要部則面図である。＋２１　＠・チップ、（３）・・チップオリエンター、
］４１・１爪、（５１・−チップ載置台、（６１・・回
紘ズロング、（７１６＠ガイド、（８）・・スプリング
、（ｌＯ）・・支持体、１１３）　＠・パルスモータ−
１（１８）　＠番往復動機構、１２１＋　６１ルバー、
（２１ａ）　　ｅ　ｅａ　ｑｒ；　／のアーム、（２１
ｂ）・１１第２のアーム、（２１ｃ）　　・・第３のア
ーム、：３’、Ｑ　’・マイクロメーターヘッド。

Claims

【特許請求の範囲】

］１１　　支持体に回動自在に支持される回転ブロック
と、前記回転ブロックに収り付けられているチップ賊置
台と、グ個のガイドに各々が案内され、ｔＪｔ個のスプ
リングの付勢力によりチップを載置台上で四方から押止
して位置決めするグ枚の爪と！／のアームと第２のアー
ムと第３のアームとが１字形を成して、前記り枚の爪毎
に設けられ、かつ、第１、第２、第３のアームの各交点
を中心にして、それぞれ回動するり個のレバーと、前記
回転ブロックに設けられ、かつ、￥ｊ’＋ｊ記′１１個
の第／のアームを押圧して、各レバーを回ＩＩＩＩＪさ
せ、曲記爪をダ個の第２のアームによりスプリングの付
勢力に抗しχ四方に囲かせる往復動恢構と、前記グ個の
第Ｊのアームに対向させて、１１］記回訟グロンクに支
持され、かつ、前記往復＃ｌ懺構が退入動作をしてダ個
の第１のアームから離れ、２個の第２のアームカ；抑圧
された時、グ個の第３のアームに当接することにより、
チップを載置台上で位置決めするマイクロメーターヘッ
ドと、前記回転ブロックを所定方向に回くまで回転させ
、チップを載置台上で姿勢制御する回転位置決め機構と
から成ることを特徴とするチップオリエンター。