JPS59204248A - ウエ−ハ自動供給装置 - Google Patents
ウエ−ハ自動供給装置Info
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- JPS59204248A JPS59204248A JP58079154A JP7915483A JPS59204248A JP S59204248 A JPS59204248 A JP S59204248A JP 58079154 A JP58079154 A JP 58079154A JP 7915483 A JP7915483 A JP 7915483A JP S59204248 A JPS59204248 A JP S59204248A
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- Japan
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- wafer
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- wafers
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H10P72/3404—Storage means
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10P72/3411—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10P72/3412—Batch transfer of wafers
-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は自動ウエーハプローパ等に用いられるウェーハ
自動供給装置に関する。
自動供給装置に関する。
従来の自動ウェーハケ−スを第１図、第２図に示す。自
動ウエーハプローパは、完成したウェーハ上の各集積回
路にタングステン等の針を立てて良品か否かの検査を自
動的におこない、不良品にはインク等で印をつけウェー
ハ上で選別をする装置である。自動ウエーハプローパは
、ウェーハローダ２かもなるウェーハ自動供給装置とウ
ェーハケ−ス１とからなっている。ウェーハローダ２は
２つのウェーハケース２１ 、２２と、ウェーハ搬送用
ベル）２３，２４，２５．２６ を有していて、ウェ
ーハケース２１．〃にはソレソれエレベータユニットが
設けられている。プロービングするウエーノ・はウェー
ハケース２Ｊに収納されており、エレベータユニットと
ウェーハ搬送用ベルト２３．２４によりブローパスチー
、）１１に乗せられる。ウェーハが乗せられたブローパ
スチージ１１は、顕微鏡１３の下にあるプローパ１２の
位置に送られ、そこでゾロ−ピングされる。プロービン
グされたウエーノ・はプローバステージ１１をさらに移
動して、ウエーノ・ローダ２に送られ、ウェーハ搬送用
ベル） ２５ 、２ｆ−ｉによりウェーハケース２２に
収納される。同様にして次々とウェーハがゾロ−ピング
され、ウェーハケース１１に収納されたウエーノ・のす
べてのプロービングが終了すると、ウエーノ・ケースρ
にはゾロ−ピングされたウェーハがすべて収納される。
動ウエーハプローパは、完成したウェーハ上の各集積回
路にタングステン等の針を立てて良品か否かの検査を自
動的におこない、不良品にはインク等で印をつけウェー
ハ上で選別をする装置である。自動ウエーハプローパは
、ウェーハローダ２かもなるウェーハ自動供給装置とウ
ェーハケ−ス１とからなっている。ウェーハローダ２は
２つのウェーハケース２１ 、２２と、ウェーハ搬送用
ベル）２３，２４，２５．２６ を有していて、ウェ
ーハケース２１．〃にはソレソれエレベータユニットが
設けられている。プロービングするウエーノ・はウェー
ハケース２Ｊに収納されており、エレベータユニットと
ウェーハ搬送用ベルト２３．２４によりブローパスチー
、）１１に乗せられる。ウェーハが乗せられたブローパ
スチージ１１は、顕微鏡１３の下にあるプローパ１２の
位置に送られ、そこでゾロ−ピングされる。プロービン
グされたウエーノ・はプローバステージ１１をさらに移
動して、ウエーノ・ローダ２に送られ、ウェーハ搬送用
ベル） ２５ 、２ｆ−ｉによりウェーハケース２２に
収納される。同様にして次々とウェーハがゾロ−ピング
され、ウェーハケース１１に収納されたウエーノ・のす
べてのプロービングが終了すると、ウエーノ・ケースρ
にはゾロ−ピングされたウェーハがすべて収納される。
ウエーノへケース２】へのウェーハの供給と、ウェーハ
ケース２２からのウェーハの取り出しは通常人手により
おこなわれるため、この自動ウエーノープローパをでき
るだけ長く人手を介在させずに動作させるには、できる
だけ多（のウエーノ・を一度に供給すればよ℃）。
ケース２２からのウェーハの取り出しは通常人手により
おこなわれるため、この自動ウエーノープローパをでき
るだけ長く人手を介在させずに動作させるには、できる
だけ多（のウエーノ・を一度に供給すればよ℃）。
そのため従来は第３図、第４図に示すように、ウェーハ
自動供給装置に４つのウェーハロ−ダ２．３．４．５
を設けて、多（のウエーノ＼を一度に供給するように
していた。このようにすることにより、自動ウエーハゾ
ローパを長い期間人手を介在問題があった。また各ウエ
ーノ・ローダにはラニーハラ収納したウエーノ・ケース
とプロービング後のウェーハを収納するウエーノ・ケー
スとを２つずつ用意する必要があり無駄が多かった。
自動供給装置に４つのウェーハロ−ダ２．３．４．５
を設けて、多（のウエーノ＼を一度に供給するように
していた。このようにすることにより、自動ウエーハゾ
ローパを長い期間人手を介在問題があった。また各ウエ
ーノ・ローダにはラニーハラ収納したウエーノ・ケース
とプロービング後のウェーハを収納するウエーノ・ケー
スとを２つずつ用意する必要があり無駄が多かった。
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、自動ウエ
ーハゾローパ等の装置全体を太き（することな（、多く
のウエーノ・全一度に供給することができるウェーハ自
動供給装置６．を徒供することを目的とする。
ーハゾローパ等の装置全体を太き（することな（、多く
のウエーノ・全一度に供給することができるウェーハ自
動供給装置６．を徒供することを目的とする。
この目的を達成するために本発明によるウェーハ自動供
給装置は、未処理のウエーノ・が格納されたウェーハケ
ースを前記ウェーハ供給位置に対して立体的に配置し、
これらウェーハケースをウェーハ供給位置に搬送する第
１の搬送手段と、前記ウェーハ供給位置からウェーハ収
納位置にウェーハケースを搬送する第２の搬送手段とを
備え、前記ウェーハ供給位置にあるウェーハケースから
すべての未処理ウェーハの供給が終了する毎に、前記第
２の搬送手段により供給終了した空のウェーハケースを
前記ウェーハ供給位置から前記ウェーハ収納位置に搬送
し、前記第１の搬送手段により未処理のウェーハが格納
されたウェーハケースを前記ウェーハ供給位置に搬送す
ることを特徴とする。
給装置は、未処理のウエーノ・が格納されたウェーハケ
ースを前記ウェーハ供給位置に対して立体的に配置し、
これらウェーハケースをウェーハ供給位置に搬送する第
１の搬送手段と、前記ウェーハ供給位置からウェーハ収
納位置にウェーハケースを搬送する第２の搬送手段とを
備え、前記ウェーハ供給位置にあるウェーハケースから
すべての未処理ウェーハの供給が終了する毎に、前記第
２の搬送手段により供給終了した空のウェーハケースを
前記ウェーハ供給位置から前記ウェーハ収納位置に搬送
し、前記第１の搬送手段により未処理のウェーハが格納
されたウェーハケースを前記ウェーハ供給位置に搬送す
ることを特徴とする。
以下本発明を図示の一実施例に基づいて説明する。本実
施例によるウェーハ自動供給装置も自動ウエーハプロー
バに用いられている。自動ウエーハプローバの基本的動
作は従来のものと同じであり、ブローパスチー・り１１
に供給されたウェーハをプローバ１２によりプロービン
グし、ブロービング後のウェーハはウェーハ自動供給装
置に送られる。
施例によるウェーハ自動供給装置も自動ウエーハプロー
バに用いられている。自動ウエーハプローバの基本的動
作は従来のものと同じであり、ブローパスチー・り１１
に供給されたウェーハをプローバ１２によりプロービン
グし、ブロービング後のウェーハはウェーハ自動供給装
置に送られる。
本実施例によるウェーハ自動供給装置ではウェーハロー
ダ６はひとつであるが、未処理のウェーハが格納された
ウェーハケースがひとつではなく立体的に配置されてい
る点に特徴がある。第５図に示すようにウェーハローダ
６の下部に検数のウェーハケースが収められたウェーハ
ケース部７がある。このウェーハケース部７には、第７
図に示すように、ゾロ−ピング処理前のウェーハが格納
されたウェーハケース６１．６２，６３．６４．６５と
、ひとつの空のウェーハケース６６とがセットされる。
ダ６はひとつであるが、未処理のウェーハが格納された
ウェーハケースがひとつではなく立体的に配置されてい
る点に特徴がある。第５図に示すようにウェーハローダ
６の下部に検数のウェーハケースが収められたウェーハ
ケース部７がある。このウェーハケース部７には、第７
図に示すように、ゾロ−ピング処理前のウェーハが格納
されたウェーハケース６１．６２，６３．６４．６５と
、ひとつの空のウェーハケース６６とがセットされる。
ウェーハを供給するウェーハ供給位置にはウェーハケー
ス６１が、ウェーハを収納するウェーハ収納位置にはウ
ェーハケース６６がセットされる。さらにウェーハケー
スを搬送する搬送用ベル） ６７ 、６８ 、６９ 。
ス６１が、ウェーハを収納するウェーハ収納位置にはウ
ェーハケース６６がセットされる。さらにウェーハケー
スを搬送する搬送用ベル） ６７ 、６８ 、６９ 。
７０が設けられている。搬送用ベルト６７はウェーハケ
ース６２０位％ｔからウェーハケース６１の位置すなわ
ちウェーハ供給位置ヘウエーハケースを搬送し、搬送用
ベルト６８はウェーハケースｆｉ２ 、６：３ 、６４
、６５を順々に搬送し、搬送用ベルト６９はウェーハ
ケース６６の位置すなわちウェーハ収納位置からウェー
ハケース６５の位置ヘウエーハケースを搬送するもので
ある。搬送用ベルト７０はウェーハの供給を終了して空
になったウェーハケースをウェーハ供給位置からウェー
ハ収納位置に搬送するものである。
ース６２０位％ｔからウェーハケース６１の位置すなわ
ちウェーハ供給位置ヘウエーハケースを搬送し、搬送用
ベルト６８はウェーハケースｆｉ２ 、６：３ 、６４
、６５を順々に搬送し、搬送用ベルト６９はウェーハ
ケース６６の位置すなわちウェーハ収納位置からウェー
ハケース６５の位置ヘウエーハケースを搬送するもので
ある。搬送用ベルト７０はウェーハの供給を終了して空
になったウェーハケースをウェーハ供給位置からウェー
ハ収納位置に搬送するものである。
第８図、第９図に示すようにウェーハ供給位置にあるウ
ェーハケース６１はエレベータ７１により上下移動が可
能であり、ウェーハ収納位置にあるウェーハケース６６
はエレベータ７２により上下移動が可能である。
ェーハケース６１はエレベータ７１により上下移動が可
能であり、ウェーハ収納位置にあるウェーハケース６６
はエレベータ７２により上下移動が可能である。
次にこのウェーハ自動供給装置の動作全説明する。まず
第７図のようにカセットケース６１ 、６２ 。
第７図のようにカセットケース６１ 、６２ 。
６３．６４．６５ にプロービング前のウェーハを収納
し、カセットケース６６にはウェーハを格納せず空にし
てウェーハ自動装置にセットする。エレベータ７２によ
りカセットケース６１が上に移動し、最上のウェーハが
供給されうる位置で停止する。同様にしてカセットケー
ス６２がエレベータ７１により上に移動し、プロービン
グ後のウェーハが収納される位置で停止する。次に、ウ
ェーハがウエーノ・プローパ１に供給されると、エレベ
ータ７２によりウェーハの１枚分、ウェーハケース６１
ヲ上に移動させる。
し、カセットケース６６にはウェーハを格納せず空にし
てウェーハ自動装置にセットする。エレベータ７２によ
りカセットケース６１が上に移動し、最上のウェーハが
供給されうる位置で停止する。同様にしてカセットケー
ス６２がエレベータ７１により上に移動し、プロービン
グ後のウェーハが収納される位置で停止する。次に、ウ
ェーハがウエーノ・プローパ１に供給されると、エレベ
ータ７２によりウェーハの１枚分、ウェーハケース６１
ヲ上に移動させる。
供給されたウェーハがゾロ−ピングを終了してウェーハ
自動供給装置にもどりウェーハケース６６に収納される
とエレベータ７１によりウェーハケース６６をウェーハ
の１枚分下に移動させる。以上の動作を繰り返してウェ
ーハケース６１に格納されたウェーハがすべてプロービ
ングを終了して、終了後のウェーハがすべてウェーハケ
ース６６に収納される。そしてエレベータ７１ 、７２
によりウェーハケース６６ 、６１は最下段の位置にま
で移動する。次に搬送ベルト６７．６８．６９．７０
によりカセットケース６１゜６２ 、６３ 、６４
、６５ 、６６を順々に移動させ、ウェーハの供給が終
了して空になったウェーハケース６１ヲウエーハ収納位
置に、次のウェーハケース６２ヲウエーハ供給位置にセ
ットし、再びウェーハの供給、収納動作を開始する。以
上の動作を繰り返しすべてのウェーハのプロービングが
終了すると、５つのウェーハケースにプロービング後の
ウェーハか収納された状態となる。
自動供給装置にもどりウェーハケース６６に収納される
とエレベータ７１によりウェーハケース６６をウェーハ
の１枚分下に移動させる。以上の動作を繰り返してウェ
ーハケース６１に格納されたウェーハがすべてプロービ
ングを終了して、終了後のウェーハがすべてウェーハケ
ース６６に収納される。そしてエレベータ７１ 、７２
によりウェーハケース６６ 、６１は最下段の位置にま
で移動する。次に搬送ベルト６７．６８．６９．７０
によりカセットケース６１゜６２ 、６３ 、６４
、６５ 、６６を順々に移動させ、ウェーハの供給が終
了して空になったウェーハケース６１ヲウエーハ収納位
置に、次のウェーハケース６２ヲウエーハ供給位置にセ
ットし、再びウェーハの供給、収納動作を開始する。以
上の動作を繰り返しすべてのウェーハのプロービングが
終了すると、５つのウェーハケースにプロービング後の
ウェーハか収納された状態となる。
このように本実施例によれば、ウェー７１０−ダはひと
つで、ウェーハケースを立体的に配置しているため、同
じ床面積で従来に比べ５倍のウェーハを一度に自動供給
することができる。
つで、ウェーハケースを立体的に配置しているため、同
じ床面積で従来に比べ５倍のウェーハを一度に自動供給
することができる。
先の実施例ではウェーハケースは両方向からウェーハの
取出し収納が可能なケースであるが、一方向からのみウ
ェーハの取出しができないウェーハケースの場合は、搬
送用ベルト７０の途中に、ウェーハケース全半回転させ
る回転機構を設ければよい。またウエーノ・ケースの移
動手段、搬送手段は、エレベータ、ベルトに限らないこ
とはいうまでもない。
取出し収納が可能なケースであるが、一方向からのみウ
ェーハの取出しができないウェーハケースの場合は、搬
送用ベルト７０の途中に、ウェーハケース全半回転させ
る回転機構を設ければよい。またウエーノ・ケースの移
動手段、搬送手段は、エレベータ、ベルトに限らないこ
とはいうまでもない。
以上の通り、本発明によれば、装置全体を大きくするこ
とな（、多くのウエーノ・を一度に供給することができ
、人手が介在しない期間が長くなり、装置全体の効率的
な運用が可能である。
とな（、多くのウエーノ・を一度に供給することができ
、人手が介在しない期間が長くなり、装置全体の効率的
な運用が可能である。
第１図、第２図はそれぞれ従来の自動ウェー７１０−ダ
の正面図および平面図、第３図、第４図はそれぞれ従来
の他の自動ウエーノ・プローバの正面図および平面図、
第５図、第６図はそれぞれ本発明の一実施例によりウエ
ーノ・自動供給装置が用いられた自動ウェーハケ−スの
正面図および平面図、第７図は同ウェーハ自動供給装置
のウェーハケース部の平面図、第８図、第９図はそれぞ
れ同ウェーハ自動供給装置の両方向および■方向からみ
た側面図である。 １・・・ウェーハケ−ス、２，３，４，５．６・・・ウ
ェーハローダ、７・・・ウェーハケース部、１１・・・
フローパステージ、１２ ・・・ゾローバ、２］ 、
２２ 、 ：（１、３２、４１。 ４２ 、５１ 、５２ 、６１ 、６２ 、６３ 、６
４ 、６５ 、６６・・・ウェーハケース、６７ 、６
８ 、６９ 、７０・・・搬送用ベルト、７１．７２・
・・エレベータ。 出願人代理人 猪 股 清 楕１図 １３ 第２図 鶴３図 ３ 粥４図 とど ５と ９と ｂ２
の正面図および平面図、第３図、第４図はそれぞれ従来
の他の自動ウエーノ・プローバの正面図および平面図、
第５図、第６図はそれぞれ本発明の一実施例によりウエ
ーノ・自動供給装置が用いられた自動ウェーハケ−スの
正面図および平面図、第７図は同ウェーハ自動供給装置
のウェーハケース部の平面図、第８図、第９図はそれぞ
れ同ウェーハ自動供給装置の両方向および■方向からみ
た側面図である。 １・・・ウェーハケ−ス、２，３，４，５．６・・・ウ
ェーハローダ、７・・・ウェーハケース部、１１・・・
フローパステージ、１２ ・・・ゾローバ、２］ 、
２２ 、 ：（１、３２、４１。 ４２ 、５１ 、５２ 、６１ 、６２ 、６３ 、６
４ 、６５ 、６６・・・ウェーハケース、６７ 、６
８ 、６９ 、７０・・・搬送用ベルト、７１．７２・
・・エレベータ。 出願人代理人 猪 股 清 楕１図 １３ 第２図 鶴３図 ３ 粥４図 とど ５と ９と ｂ２
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ウェーハ供給位置にあるウェーハケースかう未処理のウ
ェーハを供給し、処理済のウェーハをウェーハ収納位置
にあるウェーハケースに収納するウェーハ自動供給装置
において、 未処理のウェーハが格納されたウェーハケースを前記ウ
ェーハ供給位置に対して立体的に配置し、これらウェー
ハケースを前記ウェーハ供給位置に搬送する第１の搬送
手段と、前記ウェーハ供給位置から前記ウェーハ収納位
置にウェーハケースを搬送する第２の搬送手段とを備え
、前記ウェーハ供給位置にあるウェーハケースからすべ
ての未処理ウェーハの供給が終了する毎に、前記第２の
搬送手段により供給終了した空力ウエーノ・ケースを前
記ウェーハ供給位置から前記ウェーハ収納位置に搬送し
、前記第１の搬送手段により未処理のウェーハが格納さ
れたウェーハケースを前記ウェーハ供給位置に搬送する
ことを特徴とするウェーハ自動供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58079154A JPS59204248A (ja) | 1983-05-06 | 1983-05-06 | ウエ−ハ自動供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58079154A JPS59204248A (ja) | 1983-05-06 | 1983-05-06 | ウエ−ハ自動供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59204248A true JPS59204248A (ja) | 1984-11-19 |
Family
ID=13682041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58079154A Pending JPS59204248A (ja) | 1983-05-06 | 1983-05-06 | ウエ−ハ自動供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59204248A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6231137A (ja) * | 1985-08-02 | 1987-02-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ダイスボンデイング装置 |
| JPH01125844A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-18 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
-
1983
- 1983-05-06 JP JP58079154A patent/JPS59204248A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6231137A (ja) * | 1985-08-02 | 1987-02-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ダイスボンデイング装置 |
| JPH01125844A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-18 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
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