JPS59209727A - 超高真空用アルミ系材料の加工法 - Google Patents
超高真空用アルミ系材料の加工法Info
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- JPS59209727A JPS59209727A JP58083250A JP8325083A JPS59209727A JP S59209727 A JPS59209727 A JP S59209727A JP 58083250 A JP58083250 A JP 58083250A JP 8325083 A JP8325083 A JP 8325083A JP S59209727 A JPS59209727 A JP S59209727A
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- Japan
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- aluminum
- cutting
- ultra
- high vacuum
- gas
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P25/00—Auxiliary treatment of workpieces, before or during machining operations, to facilitate the action of the tool or the attainment of a desired final condition of the work, e.g. relief of internal stress
- B23P25/003—Auxiliary treatment of workpieces, before or during machining operations, to facilitate the action of the tool or the attainment of a desired final condition of the work, e.g. relief of internal stress immediately preceding a cutting tool
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
不発１１１１は、粒子加速器等【こ用いて好適の超高真
空用アルミ系（・オ料の加工法に関し、特（こ上記材料
の切削およびその切削面の処理のための加工法に関する
。
空用アルミ系（・オ料の加工法に関し、特（こ上記材料
の切削およびその切削面の処理のための加工法に関する
。
従来粒子加速器のごとき超高真空を必要とする容器の＋
４料として、アルミニウムを主成分とする材料が用いら
れているが、このようなアルミ系ヰ（料の表面には一般
に水や油などの汚れを吸蔵した１００〜１．００００人
程度０厚さの酸化変質層か存在し、これを超高真空用Ａ
・Ａ科とじた場合に、−り記の水や油かガスとして放出
されるという問題点がある。
４料として、アルミニウムを主成分とする材料が用いら
れているが、このようなアルミ系ヰ（料の表面には一般
に水や油などの汚れを吸蔵した１００〜１．００００人
程度０厚さの酸化変質層か存在し、これを超高真空用Ａ
・Ａ科とじた場合に、−り記の水や油かガスとして放出
されるという問題点がある。
そこで、上記アルミ系４＝Ｊ料の表ｍ」を切削すること
が考えられるが、単に旋盤やスライス盤などの工作機械
で切削加工を行なうと、活性の切削面が汚れた大気と直
ちに反応を起こしたり、切削油で汚ｉｚたりして、清浄
な表面が得られないという問題点がある。
が考えられるが、単に旋盤やスライス盤などの工作機械
で切削加工を行なうと、活性の切削面が汚れた大気と直
ちに反応を起こしたり、切削油で汚ｉｚたりして、清浄
な表面が得られないという問題点がある。
本発明は、このような問題点の解決をはかろうとするも
ので、アルミ系４・１料の切削およびその切削面の処理
を適切に行なって、超高真空用として好適の安定した表
面を得られるようにした、アルミ系（・４料の加］二法
を１是１λすることを目的とする。
ので、アルミ系４・１料の切削およびその切削面の処理
を適切に行なって、超高真空用として好適の安定した表
面を得られるようにした、アルミ系（・４料の加］二法
を１是１λすることを目的とする。
このため本発明の超高真空用アルミ系（・オ料の加工法
。
。
は、減圧された容器の内部で、アルミニウムを主成分と
する累月を切削加工しながら、その切削部を不活性ガス
と酸素ガスとの吹付けにより冷却し、ついで」二記素拐
の切削面に沿い放電電極によるプラズマを生成して、同
切削面にち密な酸化アルミニウムの薄層を形成すること
を特徴としている。
する累月を切削加工しながら、その切削部を不活性ガス
と酸素ガスとの吹付けにより冷却し、ついで」二記素拐
の切削面に沿い放電電極によるプラズマを生成して、同
切削面にち密な酸化アルミニウムの薄層を形成すること
を特徴としている。
以下、図面により本発明の一実施例としての超高真空用
アルミ系利料の加工法について説明すると、第１メ１は
本発明の力［江法に用いらｉｚる装置の要部を示す斜視
図で′あり、第２図は上記拐料の表面の切削加工および
プラズマ処理の］二程を示す説明図である。
アルミ系利料の加工法について説明すると、第１メ１は
本発明の力［江法に用いらｉｚる装置の要部を示す斜視
図で′あり、第２図は上記拐料の表面の切削加工および
プラズマ処理の］二程を示す説明図である。
ｍｌ［１に示すように、透明材を気密に嵌め込まれた窓
１ａを有する金属製容器１の内部で、アルミニウムを主
成分とする素利（以下、ワークという。）Ｗの加工が行
なわれるようになっており、この容器１は、旋盤または
フライス盤の回転軸２におけるワーク取（＝１部３を覆
うとともに、バイト４の取イ」部５を覆うように、同旋
盤のＶ示しない本体に装着されている。
１ａを有する金属製容器１の内部で、アルミニウムを主
成分とする素利（以下、ワークという。）Ｗの加工が行
なわれるようになっており、この容器１は、旋盤または
フライス盤の回転軸２におけるワーク取（＝１部３を覆
うとともに、バイト４の取イ」部５を覆うように、同旋
盤のＶ示しない本体に装着されている。
そして、容器１には、その内部を減圧するための真空ポ
ンプ６か、バルブ７を介して接続されて・−る。
ンプ６か、バルブ７を介して接続されて・−る。
回転軸２は容器１の外部の図示しないモーターで回転駆
動され、この回転軸２が容器１を貫通する部分には、気
密シールを施された軸受２ａが設けられてり・る。
動され、この回転軸２が容器１を貫通する部分には、気
密シールを施された軸受２ａが設けられてり・る。
また容器コの内部にはワーク切削部冷却用７ズル８が設
けられ、このノズル８には、アルゴン等の不活性〃又と
酸素ガスとからなる冷却用ガスを貯留したガスボンベ９
が、リークバルブ１０を介して接続されて′ｖ）る。
けられ、このノズル８には、アルゴン等の不活性〃又と
酸素ガスとからなる冷却用ガスを貯留したガスボンベ９
が、リークバルブ１０を介して接続されて′ｖ）る。
さらにワークＷの切削面に沿いプラズマを生成する放電
電極１１が、容器１内に配設されて、同電極１］゛に電
源１２から高電圧が供給されるようになってν・Σ。
電極１１が、容器１内に配設されて、同電極１］゛に電
源１２から高電圧が供給されるようになってν・Σ。
なお、電源１２から放電電極コ１へ至る高圧線１ｊ３が
、容器１の金属製壁部を貫通する部分には、絶縁相から
なる気密シール１４が施されて０る。
、容器１の金属製壁部を貫通する部分には、絶縁相から
なる気密シール１４が施されて０る。
またワークＷに、ワーク取付部３９回転軸２１軸受２ａ
および容器１の金属製壁部を介して接続するリード線１
５が設けられ、このリード線は電源］２のアース線１６
に接続されている。
および容器１の金属製壁部を介して接続するリード線１
５が設けられ、このリード線は電源］２のアース線１６
に接続されている。
上述の装置を用いて、本発明の超高真空用アルシミ系材
料の加工法は、次のように行なわれる。
料の加工法は、次のように行なわれる。
まず、容器１の内部が真空ポンプ６の作動により減圧さ
れる。
れる。
ついで、旋盤またはフライス盤の回転軸２を回転駆動じ
ながら、バイト４によりワークＷの切削加］二か行なわ
れる。
ながら、バイト４によりワークＷの切削加］二か行なわ
れる。
その際、第１，２図に示すように、ノズル８からアルゴ
ンガスと酸素ガスとの混合ガスをバイト４およびワーク
Ｗの切削部に吹（旧すて、冷却を行なうようにする。
ンガスと酸素ガスとの混合ガスをバイト４およびワーク
Ｗの切削部に吹（旧すて、冷却を行なうようにする。
このようにして、ワークＷの切削面は清浄に保たれ、容
器１内にはアルゴンガスと酸素ガスとが存在するように
なるので、ワークＷの切削面に沿い放電電極１１のアー
ク放電によるプラズマ１７を生成すると、アルミ系素（
・４としてのワークＷの切削面には、サファイアのごと
べち密な酸化アルミニウムのＦ’７ＪＶ１１８が形ｒｊ
ｉ、されるのである。
器１内にはアルゴンガスと酸素ガスとが存在するように
なるので、ワークＷの切削面に沿い放電電極１１のアー
ク放電によるプラズマ１７を生成すると、アルミ系素（
・４としてのワークＷの切削面には、サファイアのごと
べち密な酸化アルミニウムのＦ’７ＪＶ１１８が形ｒｊ
ｉ、されるのである。
」二連のごとくワークＷの表面に形成された薄層１８は
極めて安定しており、大気中のガスや水分、油分などと
反応を起こすことはほとんど無く、またそれらの吸着も
極めて僅かとなるのである。
極めて安定しており、大気中のガスや水分、油分などと
反応を起こすことはほとんど無く、またそれらの吸着も
極めて僅かとなるのである。
したかっ′６本発明の加］−法を施されたアルミ系（・
４ネ２［の超高真空特性は著しく優れたものとなり、従
来の超高真空Ａ＝Ａ料の場合のような長時間にわたる真
空中での１湧温加熱脱ガス処理を必要とせずに、超高真
空を実現できる利点がある。
４ネ２［の超高真空特性は著しく優れたものとなり、従
来の超高真空Ａ＝Ａ料の場合のような長時間にわたる真
空中での１湧温加熱脱ガス処理を必要とせずに、超高真
空を実現できる利点がある。
なお、アルゴンが又と酸素ガスとの混合ガスをワークＷ
の切削部へ吹きイ」けて冷却を行なう際に、容器１の内
部の外圧を防止するため、要すれば真空ポンプ６による
吸引か行なわれ、この吸引ガスは図示しないコンプレッ
サーによりガスボンベ９へ戻される。
の切削部へ吹きイ」けて冷却を行なう際に、容器１の内
部の外圧を防止するため、要すれば真空ポンプ６による
吸引か行なわれ、この吸引ガスは図示しないコンプレッ
サーによりガスボンベ９へ戻される。
また、前述のアルミ系４・４料の表面に形成された薄層
１８には、さらに容器１内に設けたイオンブレーティン
グ装置により、所要のコーティングを施すようにしても
よい。
１８には、さらに容器１内に設けたイオンブレーティン
グ装置により、所要のコーティングを施すようにしても
よい。
以上詳述したように、本発明の超高真空用アルミ系４・
４料の加工法によれば、；威圧された容゛器の内部で、
アルミニウムを主成分とする累月を切削加工しなから、
その切削部を不活性力スと酸素ガスとの吹付けにより冷
）：ｌｌシ、ついで」二記素拐の切削面に沿い放電電極
によるプラズマを生成して、同切削面にち密な酸化アル
ミニウムの薄層を形成するという極めて簡素な手段で、
超高真空特性の優れた表面をもつアルミ系祠料を、容易
に且つ安価Ｉこ１ニドられるようになる効果かある。
４料の加工法によれば、；威圧された容゛器の内部で、
アルミニウムを主成分とする累月を切削加工しなから、
その切削部を不活性力スと酸素ガスとの吹付けにより冷
）：ｌｌシ、ついで」二記素拐の切削面に沿い放電電極
によるプラズマを生成して、同切削面にち密な酸化アル
ミニウムの薄層を形成するという極めて簡素な手段で、
超高真空特性の優れた表面をもつアルミ系祠料を、容易
に且つ安価Ｉこ１ニドられるようになる効果かある。
：ＰＪ１図は本発明の一実施例としての類１−６真空用
アルミ系Ｈ料の加」二法（こ用いられろ装置の要部を示
す斜視図であり、第２図１土上記ｋＡ料の表面の切＋：
ｌ加工およびプラズマ処理の工程を示す説明図である。 ］・・容器、ＩＩｉ・・窓、２・・旋盤またはフライス
盤のｊｌｌｌ 「Ｌ’軸、２ａ・・ｆ’ｌｌｌ受、３・
・ワーク収（＝ｆ部、↓・・ハイ）、５・・バイト取付
部、６・・真空ポンプ、７・・バルブ、２；・・ノズル
、５ノ・・ガスボンベ、］（）・・リークバルブ、１１
・・放電電極、］２・・電）原、１３・・高圧線、１・
１・・気密シール、１５・・リ−：を線、］６・・アー
ス線、１７・・プラズ゛マ、１２８・・助層、〜■・・
ワーク。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦 第１図 手続７１１）正τ１１ １１？シロ５９年 １月１１０ 、 昭＋１１５８年 特 許 願 ＠８３２５０号２
発明の名称 超高真空用アルミ系桐材の加工法 ３ 補ｊ「をする者 １１件との関係 出願人 郵便番り ３０５ １１：所 茨城県新治郡桜村大字大角豆１３５
２番地並木２１−１］１２８４メ！１０２号 氏名 石 丸 肇 ４代理人 郵便番ち° １６０ ＋１−所 東京都新宿区南元町５番地３＋３−
６ 補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄。 ７ 補正の内容 明細書第２百１４行に記載された１−スライス盤」を１
−フライス盤−１に補正する。 □
アルミ系Ｈ料の加」二法（こ用いられろ装置の要部を示
す斜視図であり、第２図１土上記ｋＡ料の表面の切＋：
ｌ加工およびプラズマ処理の工程を示す説明図である。 ］・・容器、ＩＩｉ・・窓、２・・旋盤またはフライス
盤のｊｌｌｌ 「Ｌ’軸、２ａ・・ｆ’ｌｌｌ受、３・
・ワーク収（＝ｆ部、↓・・ハイ）、５・・バイト取付
部、６・・真空ポンプ、７・・バルブ、２；・・ノズル
、５ノ・・ガスボンベ、］（）・・リークバルブ、１１
・・放電電極、］２・・電）原、１３・・高圧線、１・
１・・気密シール、１５・・リ−：を線、］６・・アー
ス線、１７・・プラズ゛マ、１２８・・助層、〜■・・
ワーク。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦 第１図 手続７１１）正τ１１ １１？シロ５９年 １月１１０ 、 昭＋１１５８年 特 許 願 ＠８３２５０号２
発明の名称 超高真空用アルミ系桐材の加工法 ３ 補ｊ「をする者 １１件との関係 出願人 郵便番り ３０５ １１：所 茨城県新治郡桜村大字大角豆１３５
２番地並木２１−１］１２８４メ！１０２号 氏名 石 丸 肇 ４代理人 郵便番ち° １６０ ＋１−所 東京都新宿区南元町５番地３＋３−
６ 補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄。 ７ 補正の内容 明細書第２百１４行に記載された１−スライス盤」を１
−フライス盤−１に補正する。 □
Claims (1)
- 減圧された容器の内部で、アルミニウムを主成分とする
素材を切削加工しながら、その切削部を不活性ガスと酸
素ガスとの吹イ」けにより冷却し、ついで」−記素材の
切削部に沿い放電電極ｉ：よるプラズマを生成して、同
切削面：こち富な酸化アルミニウムのＮ、層を形成する
ことを特徴とする、超高真空用アルミ系ヰ４料の加工法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58083250A JPS59209727A (ja) | 1983-05-12 | 1983-05-12 | 超高真空用アルミ系材料の加工法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58083250A JPS59209727A (ja) | 1983-05-12 | 1983-05-12 | 超高真空用アルミ系材料の加工法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1877284A Division JPS6071101A (ja) | 1984-02-03 | 1984-02-03 | 超高真空用アルミ系材料の加工法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59209727A true JPS59209727A (ja) | 1984-11-28 |
| JPS6247651B2 JPS6247651B2 (ja) | 1987-10-08 |
Family
ID=13797084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58083250A Granted JPS59209727A (ja) | 1983-05-12 | 1983-05-12 | 超高真空用アルミ系材料の加工法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59209727A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004063418A1 (ja) * | 2003-01-14 | 2004-07-29 | Tokyo Electron Limited | プラズマ処理装置用の部材、処理装置用の部材、プラズマ処理装置、処理装置及びプラズマ処理方法 |
| US7387477B2 (en) * | 2003-02-25 | 2008-06-17 | Shimane University | Controlled atmosphere cutting method using oxygen enrichment and cutting tool |
| CN104190571A (zh) * | 2014-08-20 | 2014-12-10 | 傅庆材 | 一种纳米镀膜设备 |
| CN104625571A (zh) * | 2015-01-06 | 2015-05-20 | 湖南科技大学 | 一种时效强化铝合金的切削加工方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5038882A (ja) * | 1973-08-13 | 1975-04-10 | ||
| JPS5877712A (ja) * | 1981-11-04 | 1983-05-11 | 昭和アルミニウム株式会社 | 真空用アルミニウム製中空押出形材の製造法 |
-
1983
- 1983-05-12 JP JP58083250A patent/JPS59209727A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5038882A (ja) * | 1973-08-13 | 1975-04-10 | ||
| JPS5877712A (ja) * | 1981-11-04 | 1983-05-11 | 昭和アルミニウム株式会社 | 真空用アルミニウム製中空押出形材の製造法 |
Cited By (6)
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| WO2004063418A1 (ja) * | 2003-01-14 | 2004-07-29 | Tokyo Electron Limited | プラズマ処理装置用の部材、処理装置用の部材、プラズマ処理装置、処理装置及びプラズマ処理方法 |
| EP1593751A4 (en) * | 2003-01-14 | 2008-08-06 | Tokyo Electron Ltd | ELEMENT OF A PLASMA TREATMENT DEVICE, ELEMENT OF A TREATMENT DEVICE, PLASMA TREATMENT DEVICE, TREATMENT DEVICE AND METHOD OF PLASMA TREATMENT |
| US7387477B2 (en) * | 2003-02-25 | 2008-06-17 | Shimane University | Controlled atmosphere cutting method using oxygen enrichment and cutting tool |
| CN104190571A (zh) * | 2014-08-20 | 2014-12-10 | 傅庆材 | 一种纳米镀膜设备 |
| CN104190571B (zh) * | 2014-08-20 | 2017-02-15 | 傅庆材 | 一种纳米镀膜设备 |
| CN104625571A (zh) * | 2015-01-06 | 2015-05-20 | 湖南科技大学 | 一种时效强化铝合金的切削加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6247651B2 (ja) | 1987-10-08 |
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