JPS59221629A - カラ−マ−ク検出方式 - Google Patents
カラ−マ−ク検出方式Info
- Publication number
- JPS59221629A JPS59221629A JP9658683A JP9658683A JPS59221629A JP S59221629 A JPS59221629 A JP S59221629A JP 9658683 A JP9658683 A JP 9658683A JP 9658683 A JP9658683 A JP 9658683A JP S59221629 A JPS59221629 A JP S59221629A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light source
- photoelectric sensor
- mark
- color
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
- G01J1/20—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle
- G01J1/22—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using a variable element in the light-path, e.g. filter, polarising means
- G01J1/24—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using a variable element in the light-path, e.g. filter, polarising means using electric radiation detectors
- G01J1/26—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle using a variable element in the light-path, e.g. filter, polarising means using electric radiation detectors adapted for automatic variation of the measured or reference value
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
- G01J3/50—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors
- G01J3/51—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters using electric radiation detectors using colour filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は測定対象上に付された下地と異なる色彩を有
するマークを検出するカラーマーク検出方式に関する。
するマークを検出するカラーマーク検出方式に関する。
微妙な色差な検出するカラーマークセンサは、その測定
となるマークの色が多岐にわたるため、照明用光源とし
ては全可視領域にスペクトルをもつ白熱電球が使われて
いる。そして、測定対象となるマークの色に合わせて、
適切な光学フィルタを装着し測定の８／Ｎ比をあげてい
くような構成が採用されている。
となるマークの色が多岐にわたるため、照明用光源とし
ては全可視領域にスペクトルをもつ白熱電球が使われて
いる。そして、測定対象となるマークの色に合わせて、
適切な光学フィルタを装着し測定の８／Ｎ比をあげてい
くような構成が採用されている。
このカラーマークセンサの原理図を第１図に示す。
光源１からの照明光はハーフミラ−２によって曲げられ
た後レンズ３を通して、マークのついている測定対象４
に照射される。この測定対象４からの反射光はレンズ３
、ハーフミラ−２を通って第１の光電センサ５に入射し
、電気信号に変換されてコンパレータ８の測定側の入力
端に入力する。一方、光源１からのもう１つの光は、し
や元板７によって減光された後、第２の光電センサ６に
入射し電気信号に変換されてコンパレータ８のリファレ
ンス側の入力端に入力する。コンパレータ８の測定側の
入力端の信号レベルがリファレンス側の入力端の信号レ
ベルより高くなったとき、あるいは測定側の入力端の信
号レベルがり４フアレンス側の入力端の信号レベルより
低くなったとき、コンパレータ８が動作して、出力回路
９を介してその内容を出力する。測定対象４の下地の色
彩と、この下地に描かれるマークの色彩の状態により（
１）下地からの反射光量がマークからの反射光量より大
きい。
た後レンズ３を通して、マークのついている測定対象４
に照射される。この測定対象４からの反射光はレンズ３
、ハーフミラ−２を通って第１の光電センサ５に入射し
、電気信号に変換されてコンパレータ８の測定側の入力
端に入力する。一方、光源１からのもう１つの光は、し
や元板７によって減光された後、第２の光電センサ６に
入射し電気信号に変換されてコンパレータ８のリファレ
ンス側の入力端に入力する。コンパレータ８の測定側の
入力端の信号レベルがリファレンス側の入力端の信号レ
ベルより高くなったとき、あるいは測定側の入力端の信
号レベルがり４フアレンス側の入力端の信号レベルより
低くなったとき、コンパレータ８が動作して、出力回路
９を介してその内容を出力する。測定対象４の下地の色
彩と、この下地に描かれるマークの色彩の状態により（
１）下地からの反射光量がマークからの反射光量より大
きい。
（２）マークからの反射光量が下地からの反射光量より
大きい。
大きい。
の２種類があるが、ここでは第２図に示すように上記（
１）の例をもって説明を行う。すなわち、コンパレータ
８の測定側の入力端の信号レベルは反射光量の大きい下
地のレベルと、反射光量の小さいマークのレベルをとる
。これから、しや基板７を適切な位置に動かして、コン
パレータ夕８のリファレンス側の入力端の信号レベルな
ほぼこの２つのレベルの中間のレベルになるようにセッ
トすることで、マークを安定して検出することができる
ことＫなる。
１）の例をもって説明を行う。すなわち、コンパレータ
８の測定側の入力端の信号レベルは反射光量の大きい下
地のレベルと、反射光量の小さいマークのレベルをとる
。これから、しや基板７を適切な位置に動かして、コン
パレータ夕８のリファレンス側の入力端の信号レベルな
ほぼこの２つのレベルの中間のレベルになるようにセッ
トすることで、マークを安定して検出することができる
ことＫなる。
このカラーマークセンサの構成において、測定のＳ／Ｎ
比をあげるためには、下地の色彩とマークの色彩との間
でもつとも反射率の異なる波長を選択することが必要と
なる。今までのカラーマークセンサはこれを実行するた
めに、光学フィルタをレンズ３の前面にセットすること
ができるようになっていた。
比をあげるためには、下地の色彩とマークの色彩との間
でもつとも反射率の異なる波長を選択することが必要と
なる。今までのカラーマークセンサはこれを実行するた
めに、光学フィルタをレンズ３の前面にセットすること
ができるようになっていた。
しかし、この方式の欠点は、
（１）下地とマークの色彩が多岐にわたるため、分光透
過率特性の異なる複数の光学フィルタを用意しなくては
ならない点。
過率特性の異なる複数の光学フィルタを用意しなくては
ならない点。
（２）通常の光学フィルタの透過する光の波長領域がか
なり広い点から、いわば反射率の異なる波長がぼけてし
まって８／Ｎ比があがりにくい点。
なり広い点から、いわば反射率の異なる波長がぼけてし
まって８／Ｎ比があがりにくい点。
にある。
この発明は、これらの問題点を解決するためになされた
ものである。以下第３図ないし第５図を参照してこの発
明の一実施例を説明する。なお第１図に示す部分と同一
の部分についてはその説明を省略する。
ものである。以下第３図ないし第５図を参照してこの発
明の一実施例を説明する。なお第１図に示す部分と同一
の部分についてはその説明を省略する。
周知のようにガラス基板に金属膜と非金属膜を多層に蒸
着した干渉フィルタは、透過させる光の紺色性がよいと
ともに、入射光に対して傾けると透過させる光の波長帯
が煙波長側ヘシフトしていく。この関係を第３図に示す
。この発明は、干渉フィルタのこの性質を使うものであ
る。すなわち、第４図に示すようにカラーマークセンサ
の内部に回転が可能な干渉フィルタ１０を設け、かつこ
の干渉フィルタ１０は第５図に示すように外部から簡単
に回転で酉る機構を有し、回転角に対応して選択される
光の波長ないしはその色を回転のつ咬み部に記載される
。
着した干渉フィルタは、透過させる光の紺色性がよいと
ともに、入射光に対して傾けると透過させる光の波長帯
が煙波長側ヘシフトしていく。この関係を第３図に示す
。この発明は、干渉フィルタのこの性質を使うものであ
る。すなわち、第４図に示すようにカラーマークセンサ
の内部に回転が可能な干渉フィルタ１０を設け、かつこ
の干渉フィルタ１０は第５図に示すように外部から簡単
に回転で酉る機構を有し、回転角に対応して選択される
光の波長ないしはその色を回転のつ咬み部に記載される
。
なおこの干渉フィルタは第４図においてはハーフミラ−
２と光電センサ５との間に設けたものを示したが、これ
は光源ｌとハーフミラ−２との間に設けてもよい。
２と光電センサ５との間に設けたものを示したが、これ
は光源ｌとハーフミラ−２との間に設けてもよい。
この発明は上述のように光源から第１の光電センサに至
る光路上に光源から単色光を選択する干渉フィルタを回
転自在に設けているので、測定対象のマークと下地の反
射光景の差がもつとも大きくなる光源の波長を連続的に
、かつ単色性よく選択でき、マーク検出の８／Ｎ比を向
１させることができる。また複数の光学フィルタを用意
する必要がなくなり、干渉フィルタの回転操作だけでよ
いため多数のフィルタの中から最適なフィルタを選択す
る手間を省くことができる効果がある。
る光路上に光源から単色光を選択する干渉フィルタを回
転自在に設けているので、測定対象のマークと下地の反
射光景の差がもつとも大きくなる光源の波長を連続的に
、かつ単色性よく選択でき、マーク検出の８／Ｎ比を向
１させることができる。また複数の光学フィルタを用意
する必要がなくなり、干渉フィルタの回転操作だけでよ
いため多数のフィルタの中から最適なフィルタを選択す
る手間を省くことができる効果がある。
第１図はカラーマーク検出方式の原理を示す構成図、第
２図は測定対象からの反射光量とスライスレベルとの関
係を示す図、第３図は干渉フィルタの回転角における透
過率と波長との関係を示す図、第４図はこの発明におけ
るカラーマーク検出方式の構成図、第５図は干渉フィル
タの操作機構を示す正面図である。 ｌ・・・光１ｍｔｉｔ、 ２・・・ハーフミラ−１３・
・・レンズ、゛４・・・測定対象、５・・・第１の光電
センサ、６・・・第２の光電センサ、７・・・しや先板
、８・・・コンパレータ、９・・・出力回路。
２図は測定対象からの反射光量とスライスレベルとの関
係を示す図、第３図は干渉フィルタの回転角における透
過率と波長との関係を示す図、第４図はこの発明におけ
るカラーマーク検出方式の構成図、第５図は干渉フィル
タの操作機構を示す正面図である。 ｌ・・・光１ｍｔｉｔ、 ２・・・ハーフミラ−１３・
・・レンズ、゛４・・・測定対象、５・・・第１の光電
センサ、６・・・第２の光電センサ、７・・・しや先板
、８・・・コンパレータ、９・・・出力回路。
Claims (1)
- 測定対象上に付された下地と異なる色彩を有するマーク
を検出するものにおいて、全可視波長領域にスペクトル
を有する光源からの光を測定対象に照射するとともにこ
の測定対象からの反射光を第１の光電センサによって電
気信号に変換し、かつこの出力８号をコンパレータの測
定側の入力端に入力し、一方上記光源からの光を第２の
光電センサによって電気信号に変換するとともにそのセ
ンサの出力信号を上記コンパレータのリファレンス側の
入力端に入力し、かつ上記光源から上記第１の光電セン
サに至る光路上に上記光源から単色光を選択する干渉フ
ィルタを回転自在に設け、この干渉フィルタの回転によ
り、任意の単色光の波長を選択しうるようにしたカラー
マーク検出方式
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9658683A JPS59221629A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | カラ−マ−ク検出方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9658683A JPS59221629A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | カラ−マ−ク検出方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59221629A true JPS59221629A (ja) | 1984-12-13 |
Family
ID=14169031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9658683A Pending JPS59221629A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | カラ−マ−ク検出方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59221629A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010103191A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 露光装置および露光方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5312345A (en) * | 1976-07-19 | 1978-02-03 | Ibm | Monochromator |
| JPS5313975A (en) * | 1976-07-26 | 1978-02-08 | Dainichiseika Color Chem | Apparatus for measuring color difference |
| JPS54100786A (en) * | 1978-01-24 | 1979-08-08 | Idec Izumi Corp | Color difference detector |
| JPS54100787A (en) * | 1978-01-24 | 1979-08-08 | Idec Izumi Corp | Digital set system color difference discriminating device |
-
1983
- 1983-05-31 JP JP9658683A patent/JPS59221629A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5312345A (en) * | 1976-07-19 | 1978-02-03 | Ibm | Monochromator |
| JPS5313975A (en) * | 1976-07-26 | 1978-02-08 | Dainichiseika Color Chem | Apparatus for measuring color difference |
| JPS54100786A (en) * | 1978-01-24 | 1979-08-08 | Idec Izumi Corp | Color difference detector |
| JPS54100787A (en) * | 1978-01-24 | 1979-08-08 | Idec Izumi Corp | Digital set system color difference discriminating device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010103191A (ja) * | 2008-10-21 | 2010-05-06 | Fujitsu Microelectronics Ltd | 露光装置および露光方法 |
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