JPS59228177A - Ｉｃテスタのｄｃ測定機能付きテストヘツド - Google Patents
Ｉｃテスタのｄｃ測定機能付きテストヘツドInfo
- Publication number
- JPS59228177A JPS59228177A JP58102659A JP10265983A JPS59228177A JP S59228177 A JPS59228177 A JP S59228177A JP 58102659 A JP58102659 A JP 58102659A JP 10265983 A JP10265983 A JP 10265983A JP S59228177 A JPS59228177 A JP S59228177A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tester
- test head
- measuring function
- under test
- pin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はロジックＩＣテスタでそのままＤＣパラメトリ
ンク試験も行えるようにしたＤＣ測定機能付きテストヘ
ッドに関する。
ンク試験も行えるようにしたＤＣ測定機能付きテストヘ
ッドに関する。
従来は、ＩＣのＤＣパラメトリック試験（例えば、ＤＣ
定電圧を印加して電流測定を行い、ＤＣ定電流を流して
電圧測定を行う）は、数台のＤＣ測定ユニットをマルチ
プレクサして被試験ＩＣに接続し、このＩＣの入出力端
子および電源系を直流的に試験していた。その際、マル
チプレクサとしてリレーを使用している為、切り換えに
時間がかかり、ＩＣの多ピン化に伴い測定回数従って測
定時間も増大するなどの問題があった。
定電圧を印加して電流測定を行い、ＤＣ定電流を流して
電圧測定を行う）は、数台のＤＣ測定ユニットをマルチ
プレクサして被試験ＩＣに接続し、このＩＣの入出力端
子および電源系を直流的に試験していた。その際、マル
チプレクサとしてリレーを使用している為、切り換えに
時間がかかり、ＩＣの多ピン化に伴い測定回数従って測
定時間も増大するなどの問題があった。
本発明の目的は、ロジックＩＣテスタでそのままＤＣパ
ラメトリック試験も行え、ピン数の多いＩＣでも比較的
短時間でＤＣ試験まで済ませられるようにした、ＩＣテ
スタのＤＣ測定機能付きテストヘッドを提供することに
ある。
ラメトリック試験も行え、ピン数の多いＩＣでも比較的
短時間でＤＣ試験まで済ませられるようにした、ＩＣテ
スタのＤＣ測定機能付きテストヘッドを提供することに
ある。
上記目的を達成するために本発明においては、ＩＣテス
タ本体と被試験ＩＣの中間に介在し、外表面に被試験Ｉ
Ｃ接続部を備え、内部にそれぞれＩＣ接続ピン用インク
フェース回路を搭載した多数枚のピンボード（搭載した
インタフェース回路と共に通常ピンエレクトロニクスと
よぶ）を収納したＩＣテスタのテストヘッド内のピンエ
レクトロニクスに、ＤＣパラメトリック試験に必要な測
定回路を付加して搭載することとした。
タ本体と被試験ＩＣの中間に介在し、外表面に被試験Ｉ
Ｃ接続部を備え、内部にそれぞれＩＣ接続ピン用インク
フェース回路を搭載した多数枚のピンボード（搭載した
インタフェース回路と共に通常ピンエレクトロニクスと
よぶ）を収納したＩＣテスタのテストヘッド内のピンエ
レクトロニクスに、ＤＣパラメトリック試験に必要な測
定回路を付加して搭載することとした。
第１図は本発明一実施例のピンエレクトロニクスのブロ
ック図を示す。図中、１はドライバ、２はコンパレータ
、３はＤＣ測定部、４は被試験ＩＣ，５，６は切り換え
リレー、７は開閉リレーである。ドライバやコンパレー
タにＤＣ測定機能（電源機能を含む）を付加するのでは
、ドライバ、コンパレータの高速性が望めない為、個別
ユニットとしてハイブリッドＩＣ化して小型化したＤＣ
測定部３をピンエレクトロニクスに搭載した。ピンエレ
クトロニクスを本来の高速ドライバ、コンパレータとし
て使用する場合は、切り換えリレー５．６をａ側に接続
し、開閉リレー７をオフする。ピンエレクトロニクスを
ＤＣ測定器として使用する場合は、切り換えリレー５．
６をｂ側に接続し、開閉リレー７をオンする。この時、
ピンエレクトロニクスのＤＣ測定部３にはドライバ１か
ら設定電圧が入力され、定電圧または定電流が被試験Ｉ
Ｃに印加され、その時このＩＣに流れる電流または生ず
る電圧をコンパレータ２で比較判定する。
ック図を示す。図中、１はドライバ、２はコンパレータ
、３はＤＣ測定部、４は被試験ＩＣ，５，６は切り換え
リレー、７は開閉リレーである。ドライバやコンパレー
タにＤＣ測定機能（電源機能を含む）を付加するのでは
、ドライバ、コンパレータの高速性が望めない為、個別
ユニットとしてハイブリッドＩＣ化して小型化したＤＣ
測定部３をピンエレクトロニクスに搭載した。ピンエレ
クトロニクスを本来の高速ドライバ、コンパレータとし
て使用する場合は、切り換えリレー５．６をａ側に接続
し、開閉リレー７をオフする。ピンエレクトロニクスを
ＤＣ測定器として使用する場合は、切り換えリレー５．
６をｂ側に接続し、開閉リレー７をオンする。この時、
ピンエレクトロニクスのＤＣ測定部３にはドライバ１か
ら設定電圧が入力され、定電圧または定電流が被試験Ｉ
Ｃに印加され、その時このＩＣに流れる電流または生ず
る電圧をコンパレータ２で比較判定する。
以上説明したように本発明によれば、ＤＣパラメトリッ
ク試験を含むＩＣテストに要する時間が大幅に短縮され
、ＩＣテスクのスルーブツトが向上する。
ク試験を含むＩＣテストに要する時間が大幅に短縮され
、ＩＣテスクのスルーブツトが向上する。
第１図は本発明−実施例ピンエレクトロニクスのブロッ
ク図を示す。 １− ドライバ、２−コンパレータ、３−・ＤＣ測定部
、４−被試験ＩＣｌ３．６−切り換えリレー、７−・開
閉リレー。 代理人 弁理士 縣 武雄
ク図を示す。 １− ドライバ、２−コンパレータ、３−・ＤＣ測定部
、４−被試験ＩＣｌ３．６−切り換えリレー、７−・開
閉リレー。 代理人 弁理士 縣 武雄
Claims (1)
- ＩＣテスタ本体と被試験ＩＣの中間に介在し、外表面に
被試験ＩＣ接続部を備え、内部にそれぞれＩＣ接続ピン
用インタフェース回路を搭載した多数枚のピンボードを
収納したＩＣテスタのテストヘッドにおいて、ピンボー
ドにＤＣパラメトリック試験用の測定回路を付加して搭
載したことを特徴とするＩＣテスタのＤＣ測定機能付き
テストヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58102659A JPS59228177A (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | Ｉｃテスタのｄｃ測定機能付きテストヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58102659A JPS59228177A (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | Ｉｃテスタのｄｃ測定機能付きテストヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59228177A true JPS59228177A (ja) | 1984-12-21 |
Family
ID=14333354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58102659A Pending JPS59228177A (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | Ｉｃテスタのｄｃ測定機能付きテストヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59228177A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5679268A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-29 | Nec Kyushu Ltd | Inspection apparatus for integrated circuit |
| JPS56107174A (en) * | 1980-01-31 | 1981-08-25 | Nec Corp | Test evaluation device for semiconductor integrated circuit |
-
1983
- 1983-06-10 JP JP58102659A patent/JPS59228177A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5679268A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-29 | Nec Kyushu Ltd | Inspection apparatus for integrated circuit |
| JPS56107174A (en) * | 1980-01-31 | 1981-08-25 | Nec Corp | Test evaluation device for semiconductor integrated circuit |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2827229B2 (ja) | 半導体集積回路 | |
| JP3631275B2 (ja) | 半導体試験装置のピン試験回路 | |
| JPS59228177A (ja) | Ｉｃテスタのｄｃ測定機能付きテストヘツド | |
| JPS5923676U (ja) | 自己診断機能を持つｉｃ試験装置 | |
| JPH10240560A (ja) | 波形信号処理装置 | |
| JPS631248Y2 (ja) | ||
| JPH01129432A (ja) | 集積回路 | |
| JPH07109844B2 (ja) | 半導体集積回路 | |
| JPH0712940Y2 (ja) | Ｉｃ試験装置 | |
| JP3331103B2 (ja) | Ｉｃテスタの電流測定装置 | |
| JPS6217727Y2 (ja) | ||
| JPH0426069B2 (ja) | ||
| JPH0718914B2 (ja) | Ｌｓｉテスタ | |
| JP2836101B2 (ja) | プローバのアタッチメントボード | |
| JP2624129B2 (ja) | 多ピン半導体集積回路の検査装置 | |
| JPH0365987U (ja) | ||
| JPH02165076A (ja) | プローブカード | |
| JPH0422306Y2 (ja) | ||
| JPS6134483A (ja) | 集積回路装置 | |
| JPH07151819A (ja) | 集積回路試験装置 | |
| JPH09325176A (ja) | Ｉｃ試験装置 | |
| JP2743864B2 (ja) | 半導体集積回路及びそのテスト方法 | |
| JPH0540457Y2 (ja) | ||
| JPS6415675A (en) | Circuit for testing integrated circuit | |
| JPH1123648A (ja) | Ｉｃ試験装置のテストヘッド |