JPS592330A - パタ−ンマツチング方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）０発明の技術分野 本・発明はマスクパターンの作成を改善したパターンマ
ツチング方法及びその装置に関する。

（２）、技術の背量 従来のパターンマツチング技法において用いられるマス
クパターンは、その作成においてマスターサンプルから
得られた画像ハターンデータに対しどのような処理も施
すことなく、そのま＼マスタパターンとしてマスタパタ
ーンメモリに記憶する如き方法を採っている。この方法
は上述のようにして得られるマスタパターンに不安定な
パターン部分が混入して来ない場合ＶＣは差したる問題
はないのであるが、実際には不安定なパターン部分が混
入して来ることが多く、そのため、パターンマツチング
の際にマツチング度が十分にとれず、比較試料の正確な
位置決めが出来ないという欠点を有し、その改善方が要
望されている。

（３）、従来技術と問題点 パターンマツチングを必要とする装置として、半導体チ
ップのパッドにワイヤをポンディングする自動ワイヤボ
ンターがある。そのワイヤのボンディングに先立って半
導体チップのパッド位置を認識する必要性が必り、その
ためにパターンマツチング処理をしなければならない、
それに用いられるマスクパターンメモリのパターンマツ
チング技法ト同ｔＬマスターザンプルから得られる画像
パターンをそのま＼マスタパターンとして得ている。そ
れ故、このマスタパターンは二値化の緻子化−差に起因
する不安ボなパターン部分が混入して来る。従って、こ
のマスクパターンを用いて試料から得られる比較パター
ンとのパターンマツチングを行りと、比較ハターン内ニ
マスクパターンと異なったパターン部分が現われる可能
性が大きく、マツチング度を大きく取ｎず、試料である
半導体チップのパッド位置決めを正確になし得ないこと
になる。

（４）１発明の目的 本発明は上述したような従来技術の有する課題に鑑みて
創案されたもので、その目的はマツチング度を高めて比
較パターンの正確な位置決め會行うパターンマツチング
方法及びその装置を提供することにある。

（５）０発明の構成 そして、これらの目的は、マスターサンプルからマスク
パターンを得るに際してそのマスターサンプルから予め
決められた回数繰返してパターン全入力し、それらのパ
ターンから不感領域を作成してマスクパターンを得、こ
のマスタパターンと試料から得られる比較パターンとを
比較するようにすることによって達成される。

（６）２発明の実施例 以下、添付図面を参照しながら、本発明の詳細な説明す
る。

第１図は本発明の一実施例を示す。この実施例は全自動
ワイヤボンダーの中に実施する場合を示す。１はＴＶ右
カメラ、このカメラは試料送り機構２上に載置された試
料、例えば半導体チップ３０表面パターンを撮像する。

カメラ１からの画像パタ−ン全力は二値化回路４へ接続
される。二値化回路４＃′ｉ二値化スライスレベルで画
像パターン信号を二値化する。その二値化スライスレベ
ルは、後述するように適宜な小ステップ幅で変更するよ
うに構成するのがよい。

５は二値化回路４の出力へ接続する認識部で、認識部５
の出力は制御部６へ接続されている。制御部６はボンデ
ィング機構７へ接続さ九、その制御を行う。

認識部５は被認識パターンメモリ（フレームメモリ）８
、マスクパターンメモリ９、これら両メモリへ接続され
た不感領域作成回路１０、及びメモリ８．９へ接続され
たパターンマツチング回路１１から成る。

次に、上述構成で本発明を実施する装置の動作を説明す
る。

先ず、マスクパターンと被認識パターン（比較パターン
）とのパターンマツチング回路るのに先立って、マスク
パターンが作成される。

試料送り機構２土に載置され、最初にＴＶ右カメラの視
野内に置かれる試料（マスターサンプル）３がカメラ１
によって予め決められた回数撮像される。

カメラ１によって撮像された最初の画像パターンは二値
化回路４で二値化され、カメラ１と同期しているフレー
ムメモリ８内に記憶され、その内のマスタパターンと目
される領域が切り出されてマスクパターンメモリ９内に
記憶される。

続いて、マスターサンプルの第２回目の画像パターンが
同様にしてフレームメモリ８内に記憶された彼、フレー
ムメモリ８内の、最初に切り出された領域と、同一の領
域がマスタパターンメモリ９に記憶されたマスタパター
ンとの間の、量子化に起因する不安定な領域を不感領域
作成回路１０で弁別し、その不安定パターン部分、即ち
相違するパターン部分を仮不感領域としてマスクパター
ンメモリ９内に登録する。

このような処理をマスターサンプルについて所要回数繰
返してマスクパターンメモリ９ニ記憶されているマスタ
パターンを、爾後試料送り機４１１２によってＴＶカメ
ラ１の視野内に持ち来たされる試料から得られる比較パ
ターンのためのマスクパターンとすると共に、不感領域
作成回路１０によって作成され更新されたことがめった
上記所要回数後の仮不感領域を不感領域としてマスタパ
ターンメモリ９に登録してマスクパターンの作成が終了
する。そのマスタパターンは１例えば第２図の（２−１
）の如くなる。

然る後に、試料送り機構２によってＴＶ右カメラ視野内
に持ち来たされる試料から得られる比較パターンが第２
図の（２−２）の如きものであったとしても、その不安
定な領域はマスクパターンメモリ９に予め不感領域とし
て記憶されており、パターンマツチング回路１１でのマ
スクパターンと比較パターンとの比較からは除外される
から、それらの比較は高度のマツチング度の下で施行し
うる。従って、その出力信号を受ける制御部６の制御の
下にあるボンディング機構７は試料である半導体チップ
３のパッドの位置決めを正確に７− 施行しうることになる。

因に、従来のパターンマツチングを図ａするのが第３図
で、この図から判るように、マスクパターンはその不安
定なパターン部分の有無に拘わらず、それが全く考慮に
入れられていないから、比較パターンとの比較はマツチ
ング度を高くとれない状態で施行せざる奢得なかったの
である。なお、第２図及び第３図でＰけパッド、Ｌはり
、−ドである。

上記実施例では、二値化回路４の二値化スライスレベル
を固定している場合について説明したが、二値化スライ
スレベルを小さなステップ幅で変更すれば、不安定なパ
ターン部分を一層確実に不感領域にしてそのマスクパタ
ーンと比較パターンとの比較から除外することが可能に
なり、より高度のマツチング度でのパターンマツチング
を施行しうる。

（７）０発明の効果 以上要するに、本発明によれば、マスタパターンに不感
領域を作成し、比較パターン・と８− の比較において不感領域を比較から除外しているので、
マツチング度を高くとることが出来る。従って、本発明
を自動ワイヤボンダーに用いた場合にはパッドの位置決
めを正確になしうる等の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図及び第３図
は夫々、本発明及び従来のマスクパターン及び比較パタ
ーンを示す図でおる。 図において、１はＴＶ右カメラ３ｉｔ試料、４は二値化
回路、８は被認識パターンメモリ、９はマスターサンプ
ルＩＪ、１０ｉ／ｉ不感領域作成回路、１１はパターン
マツチング回路でめる。 特許　出　願人　富士通株式会社 第２図 ロイ感頒域 第３図 マスタフ１″ターン 比重交パターン ２７・ソチングあとれケい苔！タテ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １１１　　予めマスクパターンを用意し、これと被認識
   パターンとを比較して、これら両者間のマツチングの有
   無を得るパターンマツチング方法において、上記マスタ
   パターンの生成に際しては、マスタパターンを撮像し、
   その画像信号を予め設定されたスライスレベルで二値化
   して、それをマスクパターンメモリに格納する処理を生
   じさせるに当って、前記格納処理を複数回行い、そ、の
   都度、前に格納された、マスタパターンと次に入力され
   るマスタパターンとの間に差違がおるパターン部分を不
   感領域として記憶する一方、このマスタパターンと被認
   識パターンとの比較に際しては、上記不感領域を比較か
   ら除外することを特徴とするパターンマツチング方法。 （２）撮像系と、そこからの画像信号を予め設定された
   スライスレベルで二値化する二値化回路と、該二値化回
   路に接続された被認識パターンメモリと、該被認識パタ
   ーンメモリに接続すれたマスクパターンメモリと、上記
   両メモリに接続された不感領域作成回路と、上記両メモ
   リに接続されたパターンマツチング回路とを備えて成る
   パターンマツチング装置。 （３）　　上記スライスレベルを可変に１〜たことを特
   徴とする特許請求の範囲第２項記載のパターンマツチン
   グ装置。