JPS5923731U - 拡散治具 - Google Patents
拡散治具Info
- Publication number
- JPS5923731U JPS5923731U JP11909582U JP11909582U JPS5923731U JP S5923731 U JPS5923731 U JP S5923731U JP 11909582 U JP11909582 U JP 11909582U JP 11909582 U JP11909582 U JP 11909582U JP S5923731 U JPS5923731 U JP S5923731U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- diffusion jig
- support fitting
- diffusion
- wafer support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図は従来の拡散治具、第３図は本考案拡散
治具の斜視図、第４図は要部断面図。 ６・・・支承板、８，８′・・・ウェーハ支持体嵌合部
、９、 ９’・・・・ノエーハ支持体、１１・・・ウェ
ーハ支承溝、１２・・・切欠部、１３・・・おねじ部、
１４・・・固定ナツト。
治具の斜視図、第４図は要部断面図。 ６・・・支承板、８，８′・・・ウェーハ支持体嵌合部
、９、 ９’・・・・ノエーハ支持体、１１・・・ウェ
ーハ支承溝、１２・・・切欠部、１３・・・おねじ部、
１４・・・固定ナツト。
Claims (1)
- 広面にウェーハ支持体嵌合部を形成した支承板２個を直
立対面させ、その中間に位置して複数個のウェーハ支持
体をその両端部を前記ウェーハ支持体嵌合部に嵌合させ
架設する拡散治具において前記ウェーハ支持体の少なく
とも一本はその両端部を前記ウェーハ支持体嵌合部を貫
通して外方へ突出するよう構成すると共にその突出部周
縁にはおねじ部を形成しそ、該おねじ部にはナツトを螺
合して固定するよう構成して成ることを特徴とする拡散
治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11909582U JPS5923731U (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | 拡散治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11909582U JPS5923731U (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | 拡散治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5923731U true JPS5923731U (ja) | 1984-02-14 |
Family
ID=30273468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11909582U Pending JPS5923731U (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | 拡散治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5923731U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02104630U (ja) * | 1988-11-25 | 1990-08-20 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4944509U (ja) * | 1972-07-21 | 1974-04-19 | ||
| JPS5636140B2 (ja) * | 1977-09-09 | 1981-08-21 |
-
1982
- 1982-08-05 JP JP11909582U patent/JPS5923731U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4944509U (ja) * | 1972-07-21 | 1974-04-19 | ||
| JPS5636140B2 (ja) * | 1977-09-09 | 1981-08-21 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02104630U (ja) * | 1988-11-25 | 1990-08-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6056252U (ja) | 試験片固定具 | |
| JPS58142230U (ja) | 外部床取付構造 | |
| JPS59155376U (ja) | 配管支持装置 | |
| JPS588928U (ja) | チヨ−クコイル | |
| JPS59175773U (ja) | 配管支持装置 | |
| JPS6083252U (ja) | パワ−トランジスタの取付構造 | |
| JPS6073266U (ja) | ワイヤ位置決め機構 | |
| JPS5932945U (ja) | ロ−ドセルの取付け構造 | |
| JPS59102607U (ja) | パイプ高欄 | |
| JPS59107192U (ja) | 回路ブロツクの放熱構造 | |
| JPS59113747U (ja) | 腐食試験片のホルダ− | |
| JPS5882168U (ja) | 華道用止め具 | |
| JPS58151238U (ja) | 床パネル取付装置 | |
| JPS6094832U (ja) | 半導体素子 | |
| JPS58184848U (ja) | トランジスタ構造 | |
| JPS60111046U (ja) | ウエハホルダ | |
| JPS58159754U (ja) | 平形半導体装置 | |
| JPS58187332U (ja) | 寝台用テ−ブル | |
| JPS6196535U (ja) | ||
| JPS6049324U (ja) | フロ−テイングナツトによる取付構造 | |
| JPS5867012U (ja) | システム天井構造 | |
| JPS59113639U (ja) | 気密タンク | |
| JPS6061310U (ja) | 組立物置の二重壁取付装置 | |
| JPS5965550U (ja) | リ−ドフレ−ム | |
| JPS5926035U (ja) | ダクト用ハンガ− |