JPS5924093B2 - 光伝送用ガラスファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光伝送用ガラスファイバ母材の製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光通信に用いられる伝送損失の低いかつ半径方
向に所望の屈折率差を有する光伝送用ガラスファイバー
母材の製造方法に関する。
向に所望の屈折率差を有する光伝送用ガラスファイバー
母材の製造方法に関する。
光ファイバに要求される最も重要な特性として低損失性
と広帯域性が挙げられる。
と広帯域性が挙げられる。
このような特性を満たす光ファイバの製造方法としては
既に種種提案されているが、その中でガラス管の内部に
芯になるガラスの原料である四塩化珪素、四塩化ゲルマ
ニウムなどと酸素ガスを送り込み、外部より酸水素炎な
どにより高温に加熱し、ガラス管の内面にガラス膜を形
成した後充分に加熱しガラス管を中実化する方法（ＣＶ
Ｄ法）がある。かゝる方法では、第１に製造される母材
の品質が出発石英管の品質に左右されること、第２に成
長速度が非常に遅いこと、第３に成長が半径方向である
ため半径方向に屈折率のゆらぎが生ずる。第４に長さが
出発石英ガラス管の長さによつて決まり生産性が制限さ
れる等種々の問題点が有り、光通信の実用化が進むにつ
れてその生産性の悪さが大きな障害になつて来ている。
さらに、屈折率の高い石英ガラス棒を屈折率の低い石英
ガラス管の中に挿入して加熱溶融し屈折率の異なる二層
構造の一体化した光伝送用ガラスファイバ母材を得る方
法（ロッド・イン・チューブ法）もあるが、光の散乱損
失の原因となる傷、泡などを発生しないように石英ガラ
ス棒および石英ガラス管を加工することが困難であるた
めに、光の散乱損失の少ない光ファイバを生産性良く製
造することが難しく、かつ得られる光ファイバ断面（半
径方向）の屈折率分布が勾配状とならず階段状となつて
しまつて情報伝送容量を多くとれないという欠患があつ
た。
既に種種提案されているが、その中でガラス管の内部に
芯になるガラスの原料である四塩化珪素、四塩化ゲルマ
ニウムなどと酸素ガスを送り込み、外部より酸水素炎な
どにより高温に加熱し、ガラス管の内面にガラス膜を形
成した後充分に加熱しガラス管を中実化する方法（ＣＶ
Ｄ法）がある。かゝる方法では、第１に製造される母材
の品質が出発石英管の品質に左右されること、第２に成
長速度が非常に遅いこと、第３に成長が半径方向である
ため半径方向に屈折率のゆらぎが生ずる。第４に長さが
出発石英ガラス管の長さによつて決まり生産性が制限さ
れる等種々の問題点が有り、光通信の実用化が進むにつ
れてその生産性の悪さが大きな障害になつて来ている。
さらに、屈折率の高い石英ガラス棒を屈折率の低い石英
ガラス管の中に挿入して加熱溶融し屈折率の異なる二層
構造の一体化した光伝送用ガラスファイバ母材を得る方
法（ロッド・イン・チューブ法）もあるが、光の散乱損
失の原因となる傷、泡などを発生しないように石英ガラ
ス棒および石英ガラス管を加工することが困難であるた
めに、光の散乱損失の少ない光ファイバを生産性良く製
造することが難しく、かつ得られる光ファイバ断面（半
径方向）の屈折率分布が勾配状とならず階段状となつて
しまつて情報伝送容量を多くとれないという欠患があつ
た。
本発明は上記欠点を解消した大径、長尺な光伝送用ガラ
スファイバ母材を生産性良く製造する方法を提供するも
のである。
スファイバ母材を生産性良く製造する方法を提供するも
のである。
本発明は本出願人が既に出願した特願昭５２一１３７８
３工号（特開昭５４−７１６５０号）の火炎酸化分解法
による高純度透明石英ガラス管を製造する方法を改良す
ることによつてなされたものである。
３工号（特開昭５４−７１６５０号）の火炎酸化分解法
による高純度透明石英ガラス管を製造する方法を改良す
ることによつてなされたものである。
本発明の要旨は、シリコンのハロゲン化物または水素化
物のガスおよび蒸気を火炎酸化分解することによつて、
高純度透明石英ガラス管を成長させながら、該石英ガラ
ス管成長部でない端部より珪酸塩ガラスを形成する金属
化合物のガスおよび蒸気を高純度透明石英ガラス管成長
部へ送り込み、かつ、火炎酸化分解をするバーナーノズ
ルに供給する不活性ガスの流量を制御し、該金属化合物
と火炎酸化分解によつて生成した二酸化珪素（ＳｉＯ２
）微粉末とを前記石英ガラス管成長部の高温で反応させ
て珪酸塩ガラス微粉末を生成せしめ、該珪酸塩ガラス微
粉末を前記成長石英ガラス管内壁に堆積させながら、石
英ガラス管複合体を所定の長さ成長させた後、該石英ガ
ラス管複合体を高温加熱してガラス化および中実化する
ことを特徴とする光伝送用ガラスフアイバ母材の製造方
法である。
物のガスおよび蒸気を火炎酸化分解することによつて、
高純度透明石英ガラス管を成長させながら、該石英ガラ
ス管成長部でない端部より珪酸塩ガラスを形成する金属
化合物のガスおよび蒸気を高純度透明石英ガラス管成長
部へ送り込み、かつ、火炎酸化分解をするバーナーノズ
ルに供給する不活性ガスの流量を制御し、該金属化合物
と火炎酸化分解によつて生成した二酸化珪素（ＳｉＯ２
）微粉末とを前記石英ガラス管成長部の高温で反応させ
て珪酸塩ガラス微粉末を生成せしめ、該珪酸塩ガラス微
粉末を前記成長石英ガラス管内壁に堆積させながら、石
英ガラス管複合体を所定の長さ成長させた後、該石英ガ
ラス管複合体を高温加熱してガラス化および中実化する
ことを特徴とする光伝送用ガラスフアイバ母材の製造方
法である。
次に本発明の一実施態様を図面に基づいて説明する。
第１図、第２図Ａ，ｂは本発明の一実施態様を示す概略
図で、第３図Ａ，ｂは本発明の実施例で得た光伝送用ガ
ラスフアイバ母材の半径方向の屈折率分布を示したもの
である。
図で、第３図Ａ，ｂは本発明の実施例で得た光伝送用ガ
ラスフアイバ母材の半径方向の屈折率分布を示したもの
である。
第１図に示す如く、雰囲気からの汚染を避けるための耐
熱ガラス製の成長室（図示していない）の一部から、石
英ガラス製の同芯円筒状バーナー・ノズル１が挿入され
ており、前記バーナー・ノズル１にシリコンのハロゲン
化物または水素化物のガスおよび蒸気と水素ガス、不活
性ガス、酸素ガスを所定量供給して燃焼の火炎２を形成
し火炎酸化分解の火炎２から生成する二酸化珪素微粉末
３を回転するガラス管保持具１１に保持された石英ガラ
ス管基体１０上に供給し、酸水素火炎４によつて溶融し
ながら連続的に透明石英ガラス管７を成長させる。透明
石英ガラス管が１５〜２０１２！成長して、該石英ガラ
ス管７成長部の形状が安定したところで、該石英ガラス
管７成長部でない端部よりゲルマニウム、アルミニウム
、リン等の珪酸塩ガラスを形成する金属化合物５のガス
および蒸気を火炎酸化分解の火炎２を乱さない程度にキ
ヤリアガス６と共に石英ガラス管７成長部へ送り込み、
前記石英ガラス管７成長部の高温部で火炎酸化分解によ
つて生成した二酸化珪素微粉末３の一部と反応させて珪
酸塩ガラス微粉末を生成し、成長石英ガラス管７内壁に
堆積すると、一部は石英ガラス管７成長部内側の溶融部
で溶融体９となり、残りは火炎の熱により緻密な焼結体
８となつて外層石英ガラス管７とともに成長する。ドー
パントのキヤリアガスとしては酸化を充分に行なわせる
ため、酸素ガスあるいは酸化性ガスを用いるのが良い。
前記石英ガラス管基体１０を保持したガラス管保持具１
１は、前記火炎酸化分解によつて透明石英ガラス管７の
溶融成長に先だつて、所定の回転および引下げ速度が与
えられ石英ガラス管７内壁に溶融体９と焼結体８とを具
備した石英ガラス管複合体１２の成長終了まで一定の条
件て駆動する。また、成長室内の雰囲気は前もつて酸素
ガスまたは不活性ガスの導入によつて雰囲気からの汚染
および外部からの汚染を防いでおり、前記石英ガラス管
複合体１２の成長終了まで所定の流量を送入する。さら
に、成長室排気孔から火炎酸化分解の火炎に影響を与え
ない程度に排ガスおよび排微粉末を排気している。前記
石英ガラス管複合体１２が所定長さに成長終了後、第２
図Ａ，ｂに示す如くガラス施盤１３に石英ガラス管基体
１０の付いたま＼装填し成長終了端に保持石英ガラス管
１４を溶着保持した後、酸水素バーナー１５を加熱源と
して内壁焼結体８のガラス化および中実化を行う。上記
の如き工程で得られる光伝送用ガラスフアィバ母材の半
径方向の屈折率分布はドーパントの酸化微粉末と二酸化
珪素微粉末との石英ガラス管７成長部内側での混合によ
つて与えられるので、中心付近は比較的なだらかで、境
界層付近の屈折率分布は大きな勾配で減少している。
熱ガラス製の成長室（図示していない）の一部から、石
英ガラス製の同芯円筒状バーナー・ノズル１が挿入され
ており、前記バーナー・ノズル１にシリコンのハロゲン
化物または水素化物のガスおよび蒸気と水素ガス、不活
性ガス、酸素ガスを所定量供給して燃焼の火炎２を形成
し火炎酸化分解の火炎２から生成する二酸化珪素微粉末
３を回転するガラス管保持具１１に保持された石英ガラ
ス管基体１０上に供給し、酸水素火炎４によつて溶融し
ながら連続的に透明石英ガラス管７を成長させる。透明
石英ガラス管が１５〜２０１２！成長して、該石英ガラ
ス管７成長部の形状が安定したところで、該石英ガラス
管７成長部でない端部よりゲルマニウム、アルミニウム
、リン等の珪酸塩ガラスを形成する金属化合物５のガス
および蒸気を火炎酸化分解の火炎２を乱さない程度にキ
ヤリアガス６と共に石英ガラス管７成長部へ送り込み、
前記石英ガラス管７成長部の高温部で火炎酸化分解によ
つて生成した二酸化珪素微粉末３の一部と反応させて珪
酸塩ガラス微粉末を生成し、成長石英ガラス管７内壁に
堆積すると、一部は石英ガラス管７成長部内側の溶融部
で溶融体９となり、残りは火炎の熱により緻密な焼結体
８となつて外層石英ガラス管７とともに成長する。ドー
パントのキヤリアガスとしては酸化を充分に行なわせる
ため、酸素ガスあるいは酸化性ガスを用いるのが良い。
前記石英ガラス管基体１０を保持したガラス管保持具１
１は、前記火炎酸化分解によつて透明石英ガラス管７の
溶融成長に先だつて、所定の回転および引下げ速度が与
えられ石英ガラス管７内壁に溶融体９と焼結体８とを具
備した石英ガラス管複合体１２の成長終了まで一定の条
件て駆動する。また、成長室内の雰囲気は前もつて酸素
ガスまたは不活性ガスの導入によつて雰囲気からの汚染
および外部からの汚染を防いでおり、前記石英ガラス管
複合体１２の成長終了まで所定の流量を送入する。さら
に、成長室排気孔から火炎酸化分解の火炎に影響を与え
ない程度に排ガスおよび排微粉末を排気している。前記
石英ガラス管複合体１２が所定長さに成長終了後、第２
図Ａ，ｂに示す如くガラス施盤１３に石英ガラス管基体
１０の付いたま＼装填し成長終了端に保持石英ガラス管
１４を溶着保持した後、酸水素バーナー１５を加熱源と
して内壁焼結体８のガラス化および中実化を行う。上記
の如き工程で得られる光伝送用ガラスフアィバ母材の半
径方向の屈折率分布はドーパントの酸化微粉末と二酸化
珪素微粉末との石英ガラス管７成長部内側での混合によ
つて与えられるので、中心付近は比較的なだらかで、境
界層付近の屈折率分布は大きな勾配で減少している。
これは境界層付近のドーパントの酸化物が石英ガラス管
７成長時の高温により溶融されるのでその一部が揮発さ
れドーパントの収率が減少し屈折率の変化が生ずるもの
と推察される。半径方向の屈折率の分布は石英ガラス管
成長部の温度を変化することによつて、その勾配を変化
することが可能であり、前記石英ガラス管複合体の成長
を高温で行なえば第３図ａに示す如き緩やかな勾配にな
り、比較的温度を低くして石英ガラス管複合体の成長を
行なえば第３図ｂに示す如く勾配は急になる。前記石英
ガラス管複合体成長部の温度を変化するにはバーナーノ
ズルに供給する不活性ガスの流量を変えることによつて
容易に調整することが出来、また不活性ガス流量を制御
することによつて半径方向の屈折率の分布も制御可能で
ある。このように得られる光伝送用ガラスフアイバ母材
のコア全体の屈折率分布はグレーデツト型に近いものに
なり、ステツプ型に比べてフアイバの光伝送帯域が拡大
されたものになる。前記成長石英ガラス管の成長部でな
い端部より、ドーパントをキヤリアガスとともに送入す
る際は、石英ガラス管成長部の火炎酸化分解の火炎が乱
れない程度に、その流量を調整することが必要である。
７成長時の高温により溶融されるのでその一部が揮発さ
れドーパントの収率が減少し屈折率の変化が生ずるもの
と推察される。半径方向の屈折率の分布は石英ガラス管
成長部の温度を変化することによつて、その勾配を変化
することが可能であり、前記石英ガラス管複合体の成長
を高温で行なえば第３図ａに示す如き緩やかな勾配にな
り、比較的温度を低くして石英ガラス管複合体の成長を
行なえば第３図ｂに示す如く勾配は急になる。前記石英
ガラス管複合体成長部の温度を変化するにはバーナーノ
ズルに供給する不活性ガスの流量を変えることによつて
容易に調整することが出来、また不活性ガス流量を制御
することによつて半径方向の屈折率の分布も制御可能で
ある。このように得られる光伝送用ガラスフアイバ母材
のコア全体の屈折率分布はグレーデツト型に近いものに
なり、ステツプ型に比べてフアイバの光伝送帯域が拡大
されたものになる。前記成長石英ガラス管の成長部でな
い端部より、ドーパントをキヤリアガスとともに送入す
る際は、石英ガラス管成長部の火炎酸化分解の火炎が乱
れない程度に、その流量を調整することが必要である。
実験結果によれば、火炎酸化分解時の火炎の流速にもよ
るが、石英ガラス管成長部へ送入するドーパントガスの
流速が約１４ＣＴＩＬ／Ｓｅｃ〜約４２ｃｒｒＬ／Ｓｅ
ｃが望ましく、９０Ｃ！ｎ／Ｓｅｃを超えると火炎より
生じた二酸化珪素の微粉末との反応に悪影響をおよぼし
、半径方向の屈折率分布に不整を生ずる。さらに、送入
するドーパントガスの流速が１５０ＣＴｎ／Ｓｅｃ以上
になると、火炎酸化分解時の火炎に乱れを生じ石英ガラ
ス管の安定な成長に支障をきたすようになる。こ＼でい
う流速はドーパント（キヤリアガスを含む）の流量に、
石英ガラス管複合体の内径を掛けたものをいう。実際の
石英ガラス管成長部から流出するガスの流速は、石英ガ
ラス管から外に出た時点で減速されるためこの数値より
も小さい値になる。次に本発明法による実施例について
説明する。
るが、石英ガラス管成長部へ送入するドーパントガスの
流速が約１４ＣＴＩＬ／Ｓｅｃ〜約４２ｃｒｒＬ／Ｓｅ
ｃが望ましく、９０Ｃ！ｎ／Ｓｅｃを超えると火炎より
生じた二酸化珪素の微粉末との反応に悪影響をおよぼし
、半径方向の屈折率分布に不整を生ずる。さらに、送入
するドーパントガスの流速が１５０ＣＴｎ／Ｓｅｃ以上
になると、火炎酸化分解時の火炎に乱れを生じ石英ガラ
ス管の安定な成長に支障をきたすようになる。こ＼でい
う流速はドーパント（キヤリアガスを含む）の流量に、
石英ガラス管複合体の内径を掛けたものをいう。実際の
石英ガラス管成長部から流出するガスの流速は、石英ガ
ラス管から外に出た時点で減速されるためこの数値より
も小さい値になる。次に本発明法による実施例について
説明する。
実施例 １窒素ガスが火炎酸化分解の火炎が乱れない程
度に流入した石英ガラス製の成長室内に挿入された同芯
円筒状構造のバーナーノズルの内側からモノシランガス
１．２１／ｍかと水素ガス４．０１／Ｍｉ！ｌの混合ガ
ス、アルゴンガス０．３１／Ｍｉ！Ｌと水素ガス４．０
１／Ｍｉ！ｌの混合ガス、酸素ガス１３１／７ｎｊｔを
供給して火炎酸化分解の火炎を形成して生成した二酸化
珪素微粉末を、前記成長室内の駆動軸上に保持された外
径１６ｍ７！ＬＳ内径１２７ｎｍの石英ガラス管基体土
に析出し、駆動軸を２０ｒ−ｐ−ｍ１引下げ速度１．２
ｍｍノｉで駆動し石英ガラス管を成長開始した。
度に流入した石英ガラス製の成長室内に挿入された同芯
円筒状構造のバーナーノズルの内側からモノシランガス
１．２１／ｍかと水素ガス４．０１／Ｍｉ！ｌの混合ガ
ス、アルゴンガス０．３１／Ｍｉ！Ｌと水素ガス４．０
１／Ｍｉ！ｌの混合ガス、酸素ガス１３１／７ｎｊｔを
供給して火炎酸化分解の火炎を形成して生成した二酸化
珪素微粉末を、前記成長室内の駆動軸上に保持された外
径１６ｍ７！ＬＳ内径１２７ｎｍの石英ガラス管基体土
に析出し、駆動軸を２０ｒ−ｐ−ｍ１引下げ速度１．２
ｍｍノｉで駆動し石英ガラス管を成長開始した。
石英ガラス管を約１５ｍｍ成長させた後、第１図に示す
如く石英ガラス管基体の保持端よりドーパントとして四
塩化ゲルマニウム（ＧｅＣｌ４）を約３５℃に加熱して
０．２１／ｍ−の酸素ガスでキヤリアして石英ガラス管
の内側成長部へ送り込み、石英ガラス管の成長を６時間
３０分続行したところ外径２５．２ｍｗ！±０．３７１
Ｌへ内径１０．３ｍｍ±０．２ｍへ長さ４６０ｍＴ１Ｌ
の透明石英ガラス管の内壁に厚み約２關の緻密な焼結体
を有した石英ガラス管複合体が得られた。得られた石英
ガラス管複合体をガラス施盤の保持具に保持し、酸水素
バニナ一の火炎によつて加熱し焼結体のガラス化を行い
ながら中実化を行つたところ、外径２４．１ｍｍ±０．
２５ｍｍで第３図ａに示す如き半径方向の屈折率分布を
有した光伝送用ガラスフアイバ母材を得た。実施例 ２ 火炎酸化分解をするバーナーノズルに供給するアルゴン
ガスの流量を０．６１／Ｍｉ！ｔにし、他の条件は実施
例１と同一条件で石英ガラス管複合体を得た後、ガラス
化および中実化を行つたところ外径２３．８ｍｍ±０．
２ｍｍで第３図ｂに示す如き半径方向の屈折率分布の光
伝送用ガラスフアイバ母材を得た。
如く石英ガラス管基体の保持端よりドーパントとして四
塩化ゲルマニウム（ＧｅＣｌ４）を約３５℃に加熱して
０．２１／ｍ−の酸素ガスでキヤリアして石英ガラス管
の内側成長部へ送り込み、石英ガラス管の成長を６時間
３０分続行したところ外径２５．２ｍｗ！±０．３７１
Ｌへ内径１０．３ｍｍ±０．２ｍへ長さ４６０ｍＴ１Ｌ
の透明石英ガラス管の内壁に厚み約２關の緻密な焼結体
を有した石英ガラス管複合体が得られた。得られた石英
ガラス管複合体をガラス施盤の保持具に保持し、酸水素
バニナ一の火炎によつて加熱し焼結体のガラス化を行い
ながら中実化を行つたところ、外径２４．１ｍｍ±０．
２５ｍｍで第３図ａに示す如き半径方向の屈折率分布を
有した光伝送用ガラスフアイバ母材を得た。実施例 ２ 火炎酸化分解をするバーナーノズルに供給するアルゴン
ガスの流量を０．６１／Ｍｉ！ｔにし、他の条件は実施
例１と同一条件で石英ガラス管複合体を得た後、ガラス
化および中実化を行つたところ外径２３．８ｍｍ±０．
２ｍｍで第３図ｂに示す如き半径方向の屈折率分布の光
伝送用ガラスフアイバ母材を得た。
本発明は次のような有利な点を持つている。
第１に、本発明によれば、コア部とタラツド部の一括製
造方法であるので、工程が単純であり装置が比較的簡易
である。第２に、成長が軸方向であるから、得られる母
材の長さの制限がなく量産性に適している。第３に、ガ
ラスフアイバ母材の主成分である二酸化珪素の原料と、
ドーパントの供給が別系列であるから配管系統の保守管
理が容易である。以上詳述せる如く、本発明によれば高
純度透明石英ガラス管の成長と同時に、成長石英ガラス
管内にドーパントガスを送入することによつてコア部と
クラツド部とを同時に成長させることが容易に出来、か
つ、その半径方向の屈折率分布を火炎酸化分解用のバー
ナーノズルに送入する不活性ガスの流量によつてコント
ロール出来るので、品質の優れた光伝送用ガラスフアイ
バ母材を生産性良く、低コストで容易に得られる効果が
ある。
造方法であるので、工程が単純であり装置が比較的簡易
である。第２に、成長が軸方向であるから、得られる母
材の長さの制限がなく量産性に適している。第３に、ガ
ラスフアイバ母材の主成分である二酸化珪素の原料と、
ドーパントの供給が別系列であるから配管系統の保守管
理が容易である。以上詳述せる如く、本発明によれば高
純度透明石英ガラス管の成長と同時に、成長石英ガラス
管内にドーパントガスを送入することによつてコア部と
クラツド部とを同時に成長させることが容易に出来、か
つ、その半径方向の屈折率分布を火炎酸化分解用のバー
ナーノズルに送入する不活性ガスの流量によつてコント
ロール出来るので、品質の優れた光伝送用ガラスフアイ
バ母材を生産性良く、低コストで容易に得られる効果が
ある。
第１図、第２図Ａ，ｂは本発明の一実施態様を示す概略
図で、第３図Ａ，ｂは本発明の実施例で得た光伝送用ガ
ラスフアイバ母材の半径方向の屈折率分布を示したもの
である。 １は同芯円筒状バーナーノズル、２はシリコンのハロゲ
ン化物または水素化物のガスおよび蒸気の燃焼火炎、３
は二酸化珪素微粉末、４は酸水素火炎、５はドーパント
、６はキヤリアガス、１は石英ガラス管、８は珪酸塩ガ
ラスの焼結体、９は珪酸塩ガラス溶融体、１０は石英ガ
ラス管基体、１１はガラス管保持具、１２は石英ガラス
管複合体、１３はガラス施盤、１４は保持石英ガラス管
、１５は酸水素パーナ一。
図で、第３図Ａ，ｂは本発明の実施例で得た光伝送用ガ
ラスフアイバ母材の半径方向の屈折率分布を示したもの
である。 １は同芯円筒状バーナーノズル、２はシリコンのハロゲ
ン化物または水素化物のガスおよび蒸気の燃焼火炎、３
は二酸化珪素微粉末、４は酸水素火炎、５はドーパント
、６はキヤリアガス、１は石英ガラス管、８は珪酸塩ガ
ラスの焼結体、９は珪酸塩ガラス溶融体、１０は石英ガ
ラス管基体、１１はガラス管保持具、１２は石英ガラス
管複合体、１３はガラス施盤、１４は保持石英ガラス管
、１５は酸水素パーナ一。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ シリコンのハロゲン化物または水素化物のガスおよ
び蒸気を火炎酸化分解することによつて光伝送用ガラス
ファイバ母材を製造する方法において、前記火炎酸化分
解することによつて高純度透明石英ガラス管を成長する
際に該ガラス管成長部でない端部から珪酸塩ガラスを形
成する金属化合物のガスおよび蒸気を該成長ガラス管内
成長部に送入し、かつ、火炎酸化分解をするバーナーノ
ズルに供給する不活性ガスの流量を制御することによつ
て、成長石英ガラス管内に生成された珪酸塩ガラス中の
ドーパント濃度を制御しながら、石英ガラス管複合体を
成長させた後、該石英ガラス管複合体を高温加熱してガ
ラス化および中実化することを特徴とする光伝送用ガラ
スファイバ母材の製造方法。 ２ 珪酸塩ガラスを形成する金属化合物がゲルマニウム
、アルミニウム、リンの化合物である特許請求の範囲第
１項記載の光伝送用ガラスファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP816079A JPS5924093B2 (ja) | 1979-01-29 | 1979-01-29 | 光伝送用ガラスファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP816079A JPS5924093B2 (ja) | 1979-01-29 | 1979-01-29 | 光伝送用ガラスファイバ母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55100234A JPS55100234A (en) | 1980-07-31 |
| JPS5924093B2 true JPS5924093B2 (ja) | 1984-06-07 |
Family
ID=11685572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP816079A Expired JPS5924093B2 (ja) | 1979-01-29 | 1979-01-29 | 光伝送用ガラスファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5924093B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS569230A (en) * | 1979-06-28 | 1981-01-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Manufacture of high purity quartz glass pipe |
-
1979
- 1979-01-29 JP JP816079A patent/JPS5924093B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55100234A (en) | 1980-07-31 |
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