JPS5928535U - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置Info
- Publication number
- JPS5928535U JPS5928535U JP12160982U JP12160982U JPS5928535U JP S5928535 U JPS5928535 U JP S5928535U JP 12160982 U JP12160982 U JP 12160982U JP 12160982 U JP12160982 U JP 12160982U JP S5928535 U JPS5928535 U JP S5928535U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- reaction chamber
- plasma processing
- processing equipment
- wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案のプラズマ処理装置の概略断面図、第２
図は従来のプラズマ処理装置の概略断面図、第３図ａ、
ｂは本考案のプラズマ処理装置の全体を示す長手方
向断面図および横断面図、第４−は本考案の装置におけ
る排気口の開閉作動のタイムチャート、第５図ａ、
ｂは本考案と従来のプラズマ処理装置を用いて処理した
実験結果を示す図である。 第１図において、１・・・・・・プラズマ処理槽、２・
・・・・・ジャワ管、３・・・・・・発生炉、４・・・
・・・プラズマ導入口、５−、〜。・・・・・・排気口
、７・・・・・・被処理物、８・・・・・・被処理物支
持台、９・・・・・・反応室。
図は従来のプラズマ処理装置の概略断面図、第３図ａ、
ｂは本考案のプラズマ処理装置の全体を示す長手方
向断面図および横断面図、第４−は本考案の装置におけ
る排気口の開閉作動のタイムチャート、第５図ａ、
ｂは本考案と従来のプラズマ処理装置を用いて処理した
実験結果を示す図である。 第１図において、１・・・・・・プラズマ処理槽、２・
・・・・・ジャワ管、３・・・・・・発生炉、４・・・
・・・プラズマ導入口、５−、〜。・・・・・・排気口
、７・・・・・・被処理物、８・・・・・・被処理物支
持台、９・・・・・・反応室。
Claims (1)
- プラズマ反応室内で被処理物の表面に／ラズマを照射し
て処理する装置において、円筒型反応室内部にプラズマ
を導入するように反応室円筒壁部にプラズマ導入口を設
け、該導入口と対向する反応室壁部の位置からＯ〜９０
°回転移動した範囲内の反応室長手方向壁部の任意の位
置に、反応室内部減圧用の排気口を複数個設置し、これ
らの排気口を同時にあるいは互いに時間的にずらせて間
けつ動作させるようにしたことを特徴とするプラズマ処
理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12160982U JPS5928535U (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12160982U JPS5928535U (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | プラズマ処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5928535U true JPS5928535U (ja) | 1984-02-22 |
| JPS629302Y2 JPS629302Y2 (ja) | 1987-03-04 |
Family
ID=30278261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12160982U Granted JPS5928535U (ja) | 1982-08-12 | 1982-08-12 | プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5928535U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61180140U (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-10 |
-
1982
- 1982-08-12 JP JP12160982U patent/JPS5928535U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61180140U (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-10 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS629302Y2 (ja) | 1987-03-04 |
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