JPS5834957U - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
- Publication number
- JPS5834957U JPS5834957U JP12921881U JP12921881U JPS5834957U JP S5834957 U JPS5834957 U JP S5834957U JP 12921881 U JP12921881 U JP 12921881U JP 12921881 U JP12921881 U JP 12921881U JP S5834957 U JPS5834957 U JP S5834957U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum deposition
- vacuum evaporation
- deposition equipment
- roughened
- wall surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は真空蒸着装置の一例を示す説明図である。
１・・・ベルジャ、１ａ・・・内壁面、２・・・蒸着源
、３・・・支持体、４・・・導管、５・・・バルブ、６
・・・真空ポンプ。
、３・・・支持体、４・・・導管、５・・・バルブ、６
・・・真空ポンプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空蒸着室内で支持体の表面に蒸着材を蒸着させる
装置において、前記真空蒸着室の内壁面および蒸着物が
付着する可能性のある場所を所要のあらさにあらしたこ
とを特徴とする真空蒸着装置。 ２ 前記真空蒸着室の内壁面および蒸着物が付着する可
能性のある場所をサンドブラスト法によりあらしたこと
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の真空
蒸着装置。 ３ ベルジャの内壁面をサンドブラスト法によりあらし
たことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
の真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12921881U JPS5834957U (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12921881U JPS5834957U (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 真空蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5834957U true JPS5834957U (ja) | 1983-03-07 |
Family
ID=29922892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12921881U Pending JPS5834957U (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834957U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61104223U (ja) * | 1984-12-14 | 1986-07-02 |
-
1981
- 1981-08-31 JP JP12921881U patent/JPS5834957U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61104223U (ja) * | 1984-12-14 | 1986-07-02 |
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