JPS5928563U - イオン注入装置 - Google Patents

イオン注入装置

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Publication number
JPS5928563U
JPS5928563U JP12355082U JP12355082U JPS5928563U JP S5928563 U JPS5928563 U JP S5928563U JP 12355082 U JP12355082 U JP 12355082U JP 12355082 U JP12355082 U JP 12355082U JP S5928563 U JPS5928563 U JP S5928563U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion
section
chamber
beam line
ion implanter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12355082U
Other languages
English (en)
Inventor
河合　禎
新山　哲男
Original Assignee
日新ハイボルテ−ジ株式会社
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Publication date
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Publication of JPS5928563U publication Critical patent/JPS5928563U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の実施例縦断面図、第２図は同横断面
図である。 １・・・ターゲットチャンバ、２・・・ビームラインチ
ャンバ、３・・・ベローズ（可撓管）。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イオン生成部、質量分析部、加速部、走査系およびウェ
    ハ処理部等とから構成されるイオン注入装置において、
    走査系を構成するビームラインチャンバとウェーハ処理
    部を構成するターゲットチャンバとを可撓管により連接
    するとともに、ターゲットチャンバをビームラインチャ
    ンバに対シて俯仰自在に設け、ビームラインチャンバ内
    からのイオンビームがターゲットチャンバ内のウェーハ
    に角度自在に注入できるように構成してなるイオン注入
    装置。
JP12355082U 1982-08-12 1982-08-12 イオン注入装置 Pending JPS5928563U (ja)

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JP12355082U JPS5928563U (ja) 1982-08-12 1982-08-12 イオン注入装置

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JP12355082U JPS5928563U (ja) 1982-08-12 1982-08-12 イオン注入装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5928563U true JPS5928563U (ja) 1984-02-22

Family

ID=30281987

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12355082U Pending JPS5928563U (ja) 1982-08-12 1982-08-12 イオン注入装置

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JP (1) JPS5928563U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0252680U (ja) * 1988-10-07 1990-04-16

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0252680U (ja) * 1988-10-07 1990-04-16

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