JPS5929333A - 電子顕微鏡用視野移動装置 - Google Patents
電子顕微鏡用視野移動装置Info
- Publication number
- JPS5929333A JPS5929333A JP57139324A JP13932482A JPS5929333A JP S5929333 A JPS5929333 A JP S5929333A JP 57139324 A JP57139324 A JP 57139324A JP 13932482 A JP13932482 A JP 13932482A JP S5929333 A JPS5929333 A JP S5929333A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子顕微鏡にお【ノる顕微鏡像の視野移動を容
易に行うことを目的とするものＣある。
易に行うことを目的とするものＣある。
電子顕微鏡における顕ｒｌｉ鎮像の視野移動は酋通、光
軸と垂直な面内で試お１を機械的に移動さけることによ
って行われる。この視野移動の操作は螢光板上に表示さ
れる像を観察しながら行うが、試料の位置を同一方向へ
同一距離移動させても像イ８百参″が異なると螢光板上
の像の移動方向ど移＃ｌＩ吊は同一にはならないため、
所望の視野を１ｑるまでには試行錯誤を何度も繰り返さ
なければなら４１い欠ｒ：、ｔがあった。。
軸と垂直な面内で試お１を機械的に移動さけることによ
って行われる。この視野移動の操作は螢光板上に表示さ
れる像を観察しながら行うが、試料の位置を同一方向へ
同一距離移動させても像イ８百参″が異なると螢光板上
の像の移動方向ど移＃ｌＩ吊は同一にはならないため、
所望の視野を１ｑるまでには試行錯誤を何度も繰り返さ
なければなら４１い欠ｒ：、ｔがあった。。
本発明はこのような欠点を解決して視野移動の操作を容
易に行うことを目的とするもので、その構成は観察され
る試料位置を変化さＵるため視野を２方向へ移Ｕノさせ
る視野移動機構と、該視野移。
易に行うことを目的とするもので、その構成は観察され
る試料位置を変化さＵるため視野を２方向へ移Ｕノさせ
る視野移動機構と、該視野移。
動機構を電気信号にＪ：って操作覆る駆動部と、試料へ
の電子線照Ｑ＝１に基づいて顕微鏡像を形成づる電子光
学系と、前記顕微鏡像に重ねて又は顕微鏡像の近傍にに
（＝Ｊされ、方向と大きさを検知し得るマークと、該マ
ークによる表示内容と対応した複数のボタンを有覆る移
動信号回路と、該移動信号回路からの出力信号、前記電
子光学系から出力される顕微鏡像の倍率に関づる信号及
び前記光学系から出力される顕微鏡像の移動方向と試料
の移動方向との関係を表ねり信号に基づいて前記駆動部
への駆動信号を供給づるための中央制御回路を設（）た
ことを特徴と覆るものである。
の電子線照Ｑ＝１に基づいて顕微鏡像を形成づる電子光
学系と、前記顕微鏡像に重ねて又は顕微鏡像の近傍にに
（＝Ｊされ、方向と大きさを検知し得るマークと、該マ
ークによる表示内容と対応した複数のボタンを有覆る移
動信号回路と、該移動信号回路からの出力信号、前記電
子光学系から出力される顕微鏡像の倍率に関づる信号及
び前記光学系から出力される顕微鏡像の移動方向と試料
の移動方向との関係を表ねり信号に基づいて前記駆動部
への駆動信号を供給づるための中央制御回路を設（）た
ことを特徴と覆るものである。
第１図は本発明の一実施例装置を示づ略図である。図中
、１は試料を現わしてＪ３す、電子光学系の光軸Ｚに沿
って試料を黒錆づる電子線の一部が試料１を透過して対
物レンズ２、中間レンズ３゜投影レンズ／ＩＷ−からな
る電子光学系の結像レンズ部によって螢光板５上に顕微
ｌｔ像を結像づる。該顕微鏡像の倍率は結像レンズのレ
ンズ制御回路６を調整りることによって可変される。螢
光板上に表示される閣の視野を移動づるためには、通常
試料１を保持する試料移動機構７の水平移動杆を操作し
て行うが、図の装置においては中央制御回路９から駆動
信号が供給されるパルスニし−９８Ｘ。
、１は試料を現わしてＪ３す、電子光学系の光軸Ｚに沿
って試料を黒錆づる電子線の一部が試料１を透過して対
物レンズ２、中間レンズ３゜投影レンズ／ＩＷ−からな
る電子光学系の結像レンズ部によって螢光板５上に顕微
ｌｔ像を結像づる。該顕微鏡像の倍率は結像レンズのレ
ンズ制御回路６を調整りることによって可変される。螢
光板上に表示される閣の視野を移動づるためには、通常
試料１を保持する試料移動機構７の水平移動杆を操作し
て行うが、図の装置においては中央制御回路９から駆動
信号が供給されるパルスニし−９８Ｘ。
８Ｙによって自動的に操作される。又、視野移動の別の
方法として結像レンズ系内に設けられた偏向］イル１０
Ｘ、１０Ｙどその偏向電源１１Ｘ。
方法として結像レンズ系内に設けられた偏向］イル１０
Ｘ、１０Ｙどその偏向電源１１Ｘ。
１１Ｙによって電気的に行う方法すある。（訂細は例え
ば特公昭／ｌ ８−３３９０３号公報参照）第２図は第
１図の装置における螢光板５を光軸７方向から眺めた図
であり、光軸／を中心どづる円板状螢光板５の周囲には
リング状の部材１２が配賄されており、その表面には光
軸Ｚに関して対称な位買に△、Ｂ、Ｃ，・・・、１」の
文字が刻設されて、１３す、これらの文字と螢光板５の
中心を結ぶ線上には等間隔で゛十′印のマークが螢光板
上に刻設されている。、Ｌ記文字△、Ｂ、・・・、１１
に対応りる操作ボタンが第１図の装置の操作パネル１３
に設【ノられており、操作ボタンＡ、Ｂ、・・・、 １
１のいずれかを選択して所望の回数押圧づることにより
、中央制御回路９に視野移動のための信号が供給される
。
ば特公昭／ｌ ８−３３９０３号公報参照）第２図は第
１図の装置における螢光板５を光軸７方向から眺めた図
であり、光軸／を中心どづる円板状螢光板５の周囲には
リング状の部材１２が配賄されており、その表面には光
軸Ｚに関して対称な位買に△、Ｂ、Ｃ，・・・、１」の
文字が刻設されて、１３す、これらの文字と螢光板５の
中心を結ぶ線上には等間隔で゛十′印のマークが螢光板
上に刻設されている。、Ｌ記文字△、Ｂ、・・・、１１
に対応りる操作ボタンが第１図の装置の操作パネル１３
に設【ノられており、操作ボタンＡ、Ｂ、・・・、 １
１のいずれかを選択して所望の回数押圧づることにより
、中央制御回路９に視野移動のための信号が供給される
。
上記構成の装置によって視野移動を行う手順は以下のよ
うになる。
うになる。
初めにレンズ制御回路６を操作し−Ｃ視野捜しを行うの
に適した像倍率が得られるにうに調整づる。
に適した像倍率が得られるにうに調整づる。
次に螢光板５上に表示される顕微１！像を観察して観察
目的とづる視野例えば第２図中１４で示す部分を捜し、
この部分を螢光板の中央に移動さＵるＪ、うに操作パネ
ル１３の操作ボタン△を２回抑圧覆る。この操作によっ
て、部材１２のマークΔから螢光板の中心Ｏに向かう第
２図の矢印１５に示づ方向へ順を移動させる信号が中央
制御回路９に供給される。又、その指定する移動量は螢
光板上に刻設された゛十′マーク間隔の２目盛分となる
。
目的とづる視野例えば第２図中１４で示す部分を捜し、
この部分を螢光板の中央に移動さＵるＪ、うに操作パネ
ル１３の操作ボタン△を２回抑圧覆る。この操作によっ
て、部材１２のマークΔから螢光板の中心Ｏに向かう第
２図の矢印１５に示づ方向へ順を移動させる信号が中央
制御回路９に供給される。又、その指定する移動量は螢
光板上に刻設された゛十′マーク間隔の２目盛分となる
。
一方、中央制御回路９にはレンズ制御回路６から、像倍
率に関づる倍率信号Ｍとパルス七−夕による試わ１移動
方向と顕微鏡像の移動方向とのスレ、即ｔ５像回転信号
Ｒが供給されており、前）ボした操作パネルのボタン操
作によって供給される移動信号Ｓと共にパルスモータ８
Ｘ、８Ｙへ供給する駆動信号が予め定められた関係式に
基づいて演算される。該演算においては移動信号Ｓの大
きさを表わ１部分にはイ８率信号Ｍに対応した係数が付
加され、移動信号Ｓの方向を表ねづ部分には前記回転信
号Ｒに対応した信号が加えられる。以上のｊ、うな手順
によってパルスモータ８Ｘ、８Ｙに駆動信号が供給され
ると試料１は光軸７に垂直な平面内を適切な方向へ適切
な市だけ移動し、螢光板５」ニには視野１４が中央に表
示される。ここで像倍率を増加さければ目的とする視野
の訂細が観察１１能と４する。
率に関づる倍率信号Ｍとパルス七−夕による試わ１移動
方向と顕微鏡像の移動方向とのスレ、即ｔ５像回転信号
Ｒが供給されており、前）ボした操作パネルのボタン操
作によって供給される移動信号Ｓと共にパルスモータ８
Ｘ、８Ｙへ供給する駆動信号が予め定められた関係式に
基づいて演算される。該演算においては移動信号Ｓの大
きさを表わ１部分にはイ８率信号Ｍに対応した係数が付
加され、移動信号Ｓの方向を表ねづ部分には前記回転信
号Ｒに対応した信号が加えられる。以上のｊ、うな手順
によってパルスモータ８Ｘ、８Ｙに駆動信号が供給され
ると試料１は光軸７に垂直な平面内を適切な方向へ適切
な市だけ移動し、螢光板５」ニには視野１４が中央に表
示される。ここで像倍率を増加さければ目的とする視野
の訂細が観察１１能と４する。
所で、観察倍率が高くなるに従って機械的な試料の移動
による視野移動の精度が悪くなる傾向があり、このよう
な欠点を避けるＩこめには第１図の装置にＪ３りるパル
スモータ８Ｘ、８Ｙへ信号を供給する代わりに偏向電源
１１Ｘ、１１Ｙへ信号を供給し電気的な視野移動を行う
ように構成づることも容易である。
による視野移動の精度が悪くなる傾向があり、このよう
な欠点を避けるＩこめには第１図の装置にＪ３りるパル
スモータ８Ｘ、８Ｙへ信号を供給する代わりに偏向電源
１１Ｘ、１１Ｙへ信号を供給し電気的な視野移動を行う
ように構成づることも容易である。
尚、本光明は透過電子顕微鏡の視野移動装置のみに限定
されるものではなく、走査電子顕微鏡の視野移動装置ど
しても適用可能である。この場合には第３図に示す如く
、電子顕微鏡像を表示する陰極線管画面１６の周囲にｘ
、ｙ方向の目盛を描いた透明なアクリル板を設けると共
に、第４図に示づ様な前記目盛の方向に対応づる移動方
向を表わす操作ボタン”１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７
ｄを右づる操作パネルを設け、これらの操作ボタンの選
択どその抑圧回数によって陰極線管両面内の視野を×又
はｙ方向へ何目盛移動さけたいかを電気信号に変換し、
該変換された移動信号に像倍率に基づく補正と試料移動
と視野移動方向のズレに基づく補正を行った後、試料移
動用のパルスモータ制御信号として用いればにい。
されるものではなく、走査電子顕微鏡の視野移動装置ど
しても適用可能である。この場合には第３図に示す如く
、電子顕微鏡像を表示する陰極線管画面１６の周囲にｘ
、ｙ方向の目盛を描いた透明なアクリル板を設けると共
に、第４図に示づ様な前記目盛の方向に対応づる移動方
向を表わす操作ボタン”１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７
ｄを右づる操作パネルを設け、これらの操作ボタンの選
択どその抑圧回数によって陰極線管両面内の視野を×又
はｙ方向へ何目盛移動さけたいかを電気信号に変換し、
該変換された移動信号に像倍率に基づく補正と試料移動
と視野移動方向のズレに基づく補正を行った後、試料移
動用のパルスモータ制御信号として用いればにい。
以上のように本発明にＪ、れば電子顕微鏡にＪ３ける視
野移動の操作が迅速、確実に行われるので電子顕微鏡の
操作性向上に大きな効果が得られる。
野移動の操作が迅速、確実に行われるので電子顕微鏡の
操作性向上に大きな効果が得られる。
第１図は透過電子顕微鏡に本発明を適用しＩＣ装胃を示
す略図、第２図はその部分拡大図、第３図及び第４図は
走査電子顕微鏡に本発明を適用した装置の主要部を示り
略図である。 １：試料、２：対物１ノンズ、３：中間レンズ、４：投
影レンズ、５：螢光板、６：レンズ制御回路、７：試料
移動奢幾横、８Ｘ、８Ｙ：パルスモータ、９：中央制御
回路、１０Ｘ、１０Ｙ：偏向−］イル、１１Ｘ、１１Ｙ
：偏向電源、′１２；リング状部材、１３：操作パネル
、１４ ： ｒｆｌ野、１６：走査電子顕微鏡の陰極線
管。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
す略図、第２図はその部分拡大図、第３図及び第４図は
走査電子顕微鏡に本発明を適用した装置の主要部を示り
略図である。 １：試料、２：対物１ノンズ、３：中間レンズ、４：投
影レンズ、５：螢光板、６：レンズ制御回路、７：試料
移動奢幾横、８Ｘ、８Ｙ：パルスモータ、９：中央制御
回路、１０Ｘ、１０Ｙ：偏向−］イル、１１Ｘ、１１Ｙ
：偏向電源、′１２；リング状部材、１３：操作パネル
、１４ ： ｒｆｌ野、１６：走査電子顕微鏡の陰極線
管。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
Claims (1)
- 観察８れる試料位置を変化させるためン児野を２方向へ
移動さける視野移動機構と、該視野移動機構を電気信号
にＪ：っ−Ｃ操作する駆動部と、試料への電子線照射に
基づいて顕微鏡像を形成づる電子光学系と、前記顕微鏡
像に重ねて又は顕微鏡像の近傍に付され、方向と大きさ
を検知し得るマークと、該マークによる表示内容と対応
した複数のボタンを有りる移動信号回路と、該移動信号
回路からの出力イａ号、前記電子光学系から出力される
顕微鏡像の倍率に関する信号及び前記電子光学系から出
力される顕微鏡像の移動方向と試Ｈの移動方向との回転
関係を表わす信号に基づいて前記駆動部への駆動信号を
供給す゛るための中央制御回路を設けたことを特徴とづ
る電子顕微鏡用視野移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139324A JPS5929333A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | 電子顕微鏡用視野移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139324A JPS5929333A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | 電子顕微鏡用視野移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5929333A true JPS5929333A (ja) | 1984-02-16 |
| JPH0234421B2 JPH0234421B2 (ja) | 1990-08-03 |
Family
ID=15242654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57139324A Granted JPS5929333A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | 電子顕微鏡用視野移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5929333A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0690474A1 (en) * | 1994-06-29 | 1996-01-03 | Hitachi, Ltd. | Bi-axial-tilting specimen fine motion device and method of correcting image shifting |
| JP2002216695A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-08-02 | Topcon Denshi Beam Service:Kk | 分析透過型電子顕微鏡 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5478075A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-21 | Hitachi Ltd | Sample image display device |
-
1982
- 1982-08-11 JP JP57139324A patent/JPS5929333A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5478075A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-21 | Hitachi Ltd | Sample image display device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0690474A1 (en) * | 1994-06-29 | 1996-01-03 | Hitachi, Ltd. | Bi-axial-tilting specimen fine motion device and method of correcting image shifting |
| JP2002216695A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-08-02 | Topcon Denshi Beam Service:Kk | 分析透過型電子顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0234421B2 (ja) | 1990-08-03 |
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