JPS593021B2 - 走査電子顕微鏡等用電子線偏向装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡等用電子線偏向装置Info
- Publication number
- JPS593021B2 JPS593021B2 JP53130251A JP13025178A JPS593021B2 JP S593021 B2 JPS593021 B2 JP S593021B2 JP 53130251 A JP53130251 A JP 53130251A JP 13025178 A JP13025178 A JP 13025178A JP S593021 B2 JPS593021 B2 JP S593021B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- deflection
- electron beam
- scanning
- beam deflection
- magnification
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査電子顕微鏡等に使用される電子線偏向装置
に関する。
に関する。
走査電子顕微鏡やＸ線マイクロアナライザー等 、の装
置では、試料を照射する電子線を走査偏向し、該走査と
同期したブラウン管の輝度変調信号に前記試料から得ら
れる検出信号を用いることによつて、ブラウン管画面上
に輝度変調走査像を表示している。
置では、試料を照射する電子線を走査偏向し、該走査と
同期したブラウン管の輝度変調信号に前記試料から得ら
れる検出信号を用いることによつて、ブラウン管画面上
に輝度変調走査像を表示している。
該走査像の倍率は試料照射電子線の走査。偏向強度を制
御することによつて切り換えられる。この場合、フェラ
イト等の強磁性体コアに巻回された偏向コイルに供給す
る励磁偏向電流の強度が像倍率に正確に対応するものと
仮定しているが、実際には強磁性体コアの磁化曲線にヒ
ステリシスが存在するため、強磁性体コアの磁化の強さ
がコｊ イルヘ供給する励磁電流強度だけでは一義的に
定まらず、それ以前の磁化状態に関係し同じ強度の励磁
電流を供給しても実際に得られる像倍率には僅かではあ
るが誤差が生じたり、観察視野が異なつたりする現像が
特に高倍率で著じるしくなる。０ このような現像を避
けるため、偏向コイルの強磁性体コアを取り去ろうとす
ると走査偏向電源の出力パワーを格段に大きくしなけれ
ばならず、又電子線経路近傍に設けられる偏向コイルが
占めるスペースや発熱量の増大など新たな問題を生じる
。
御することによつて切り換えられる。この場合、フェラ
イト等の強磁性体コアに巻回された偏向コイルに供給す
る励磁偏向電流の強度が像倍率に正確に対応するものと
仮定しているが、実際には強磁性体コアの磁化曲線にヒ
ステリシスが存在するため、強磁性体コアの磁化の強さ
がコｊ イルヘ供給する励磁電流強度だけでは一義的に
定まらず、それ以前の磁化状態に関係し同じ強度の励磁
電流を供給しても実際に得られる像倍率には僅かではあ
るが誤差が生じたり、観察視野が異なつたりする現像が
特に高倍率で著じるしくなる。０ このような現像を避
けるため、偏向コイルの強磁性体コアを取り去ろうとす
ると走査偏向電源の出力パワーを格段に大きくしなけれ
ばならず、又電子線経路近傍に設けられる偏向コイルが
占めるスペースや発熱量の増大など新たな問題を生じる
。
５ 本発明は、強度磁性体コアに巻回された偏向コイル
を用いたままそのヒステリシスによる高倍率走査像への
影響を除去することを目的とするものである。
を用いたままそのヒステリシスによる高倍率走査像への
影響を除去することを目的とするものである。
第１図は本発明の一実施例走査の要部を示す略り 図で
あり、光軸ｚに沿つた電子線経路を中心軸とするリング
状フェライトコア１、２に巻回されたＹ方向偏向コイル
３とＸ方向偏向コイル４に供給する電流制御系が表わさ
れている。
あり、光軸ｚに沿つた電子線経路を中心軸とするリング
状フェライトコア１、２に巻回されたＹ方向偏向コイル
３とＸ方向偏向コイル４に供給する電流制御系が表わさ
れている。
通常の動作状態においては、互いに同期したＸ軸（水平
）方向フ５ 走査電源５とＹ軸（垂直）方向走査電源６
の出力から発生する各鋸歯状波電流が倍率調整手段とし
て用いられる互いに連動した可変増幅器７Ｘ、７Ｙとス
イッチング回路８、９を経て偏向コイル３、４に供給さ
れる。り 該実施例装置では倍率可変操作を可変増幅器
ＴＹにおいて検出し、該検出信号に基づいて動作する消
磁制御回路１０が設けられている。
）方向フ５ 走査電源５とＹ軸（垂直）方向走査電源６
の出力から発生する各鋸歯状波電流が倍率調整手段とし
て用いられる互いに連動した可変増幅器７Ｘ、７Ｙとス
イッチング回路８、９を経て偏向コイル３、４に供給さ
れる。り 該実施例装置では倍率可変操作を可変増幅器
ＴＹにおいて検出し、該検出信号に基づいて動作する消
磁制御回路１０が設けられている。
該制御回路１０ｌｆＣはタイマーが内蔵されており、倍
率切換操作が行われたときから極めて短い時間Ｔの間？
５ だけ消磁電源１１とスイッチング回路８、９に制御
信号を印加して、それまで可変増幅器ＴＹ、７Ｘからの
出力とコイル３、４を接続していた状態から消磁電源１
１の出力がコイル３，４へ接続されるへ切り換えると共
に、ブラウン管（図示せず）の輝度変調入力にブランキ
ング信号を与える。第２図は第１図の装置におけるコイ
ル３へ供給される励磁電流の波形を示すもので、時刻ｔ
１とＴ２ｖｃおいて倍率切換操作が行われた状態を表わ
し．ている。図中Ｗ，，Ｗ２，Ｗ３で表わされる鋸歯波
は夫々倍率Ｍｌ，Ｍ２，Ｍ３（Ｍ１くＭ２くＭ３に相当
する可変増幅回路７Ｙの出力を表わしており、時刻ｔ１
〜Ｔ２の切換時からＴ時間に表１われる交流波形Ｗ。は
消磁電源１１の出力を表わしている。該交流波形Ｗ。と
しては図に示すように初期の振幅Ｈ。が鋸歯状波の最大
振幅の１．５倍程度に大きく、次第に振幅が減衰してい
くものが用いられる。このような装置を用いれば高倍率
像１を観祭する前の観祭倍率がどのような値であつても
常に一定の状態から高倍率が設定されることになり、偏
向コイルのコアの有するヒステリシスの影響をうけなく
なる。以上に詳説した如く、本発明によれば、高倍率観
察時に生じる偏向コイルのコアのヒステリシスによる影
響を除去することが可能となるので、走査電子顕微鏡に
よる精確な試料観祭に大きな効果が得られる。
率切換操作が行われたときから極めて短い時間Ｔの間？
５ だけ消磁電源１１とスイッチング回路８、９に制御
信号を印加して、それまで可変増幅器ＴＹ、７Ｘからの
出力とコイル３、４を接続していた状態から消磁電源１
１の出力がコイル３，４へ接続されるへ切り換えると共
に、ブラウン管（図示せず）の輝度変調入力にブランキ
ング信号を与える。第２図は第１図の装置におけるコイ
ル３へ供給される励磁電流の波形を示すもので、時刻ｔ
１とＴ２ｖｃおいて倍率切換操作が行われた状態を表わ
し．ている。図中Ｗ，，Ｗ２，Ｗ３で表わされる鋸歯波
は夫々倍率Ｍｌ，Ｍ２，Ｍ３（Ｍ１くＭ２くＭ３に相当
する可変増幅回路７Ｙの出力を表わしており、時刻ｔ１
〜Ｔ２の切換時からＴ時間に表１われる交流波形Ｗ。は
消磁電源１１の出力を表わしている。該交流波形Ｗ。と
しては図に示すように初期の振幅Ｈ。が鋸歯状波の最大
振幅の１．５倍程度に大きく、次第に振幅が減衰してい
くものが用いられる。このような装置を用いれば高倍率
像１を観祭する前の観祭倍率がどのような値であつても
常に一定の状態から高倍率が設定されることになり、偏
向コイルのコアの有するヒステリシスの影響をうけなく
なる。以上に詳説した如く、本発明によれば、高倍率観
察時に生じる偏向コイルのコアのヒステリシスによる影
響を除去することが可能となるので、走査電子顕微鏡に
よる精確な試料観祭に大きな効果が得られる。
第１図は本発明の一実施例装置の要部を示す略図、第２
図は第１図の装置の出力波形を示す略図である。 １，２・・・・・・強磁性体コア、３，４・・・・・・
偏向コイル、５・・・・・・Ｘ軸走査信号発生回路、６
・・・・・・Ｙ軸走査信号発生回路、７Ｘ，７Ｙ・・・
・・・可変増幅器、８，９・・・・・・スイツチング回
路、１０・・・・・・消磁制御回路、１１・・・・・・
消磁電源。
図は第１図の装置の出力波形を示す略図である。 １，２・・・・・・強磁性体コア、３，４・・・・・・
偏向コイル、５・・・・・・Ｘ軸走査信号発生回路、６
・・・・・・Ｙ軸走査信号発生回路、７Ｘ，７Ｙ・・・
・・・可変増幅器、８，９・・・・・・スイツチング回
路、１０・・・・・・消磁制御回路、１１・・・・・・
消磁電源。
Claims (1)
- １ 強磁性体のコアに巻回された電子線偏向コイル、該
コイルへ可変増幅回路と切換回路を介して偏向電流を供
給する偏向電源、前記切換回路を介して減衰交流電流を
供給するための消磁電源、前記可変増幅回路の制御操作
と連動して前記切換回路と前記消磁電源を一定時間動作
させるための手段とを具備したことを特徴とする走査電
子顕微鏡等用電子線偏向装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53130251A JPS593021B2 (ja) | 1978-10-23 | 1978-10-23 | 走査電子顕微鏡等用電子線偏向装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53130251A JPS593021B2 (ja) | 1978-10-23 | 1978-10-23 | 走査電子顕微鏡等用電子線偏向装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5557247A JPS5557247A (en) | 1980-04-26 |
| JPS593021B2 true JPS593021B2 (ja) | 1984-01-21 |
Family
ID=15029764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53130251A Expired JPS593021B2 (ja) | 1978-10-23 | 1978-10-23 | 走査電子顕微鏡等用電子線偏向装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS593021B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59211570A (ja) * | 1983-05-16 | 1984-11-30 | Jeol Ltd | 成膜方法 |
-
1978
- 1978-10-23 JP JP53130251A patent/JPS593021B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5557247A (en) | 1980-04-26 |
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