JPS5931008B2 - 質量分析法 - Google Patents
質量分析法Info
- Publication number
- JPS5931008B2 JPS5931008B2 JP58108497A JP10849783A JPS5931008B2 JP S5931008 B2 JPS5931008 B2 JP S5931008B2 JP 58108497 A JP58108497 A JP 58108497A JP 10849783 A JP10849783 A JP 10849783A JP S5931008 B2 JPS5931008 B2 JP S5931008B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- mass spectrometry
- electromagnets
- electromagnet
- turned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は質量分析法の改良に関するものである。
従来技術と問題点従来、真空中において試料ガスをイオ
ン化させ該イオンの質量分析を行なつて試料中のガス成
分を定量する質量分析計が屡々用いられている。
ン化させ該イオンの質量分析を行なつて試料中のガス成
分を定量する質量分析計が屡々用いられている。
この場合、一般にはイオン源により熱電子を放射し該熱
電子をガス分子に衝突させてイオン化を行なつている。
このようなイオン化を行なう従来の質量分析計イオン源
装置を第１図に示す。
電子をガス分子に衝突させてイオン化を行なつている。
このようなイオン化を行なう従来の質量分析計イオン源
装置を第１図に示す。
図中、１はフィラメント、２はトラップ、３、３’は１
対の永久磁石で、これらは真空容器中に設けられている
。フィラメント１、トラップ２はイオン源を構成する。
永久磁石３、ぎはイオン源の上下に設けられており、対
向部の極性は異なつている。
対の永久磁石で、これらは真空容器中に設けられている
。フィラメント１、トラップ２はイオン源を構成する。
永久磁石３、ぎはイオン源の上下に設けられており、対
向部の極性は異なつている。
試料ガスは、フィラメント１、トラップ２間を流れる熱
電子と衝突してイオン化されるが、この場合永久磁石３
、３’は熱電子をらせん状に回転させてガスとの衝突効
率を高め、イオン化を促進する。
電子と衝突してイオン化されるが、この場合永久磁石３
、３’は熱電子をらせん状に回転させてガスとの衝突効
率を高め、イオン化を促進する。
し力化ながら、Ｈ２ガスのような軽いガスは熱電子の回
転によつてはねとばされて逆に感度が低下し分析が不可
能になる。
転によつてはねとばされて逆に感度が低下し分析が不可
能になる。
そこでＨ２ガスを分析する時は、永久磁石３、３’をと
り外し、熱電子の回転をとめてイオン化しているが、こ
の場合、永久磁石の着脱に手間がかかり、しかも永久磁
石の着脱の都度真空容器内の真空がやぷられるという問
題がある。発明の目的 本発明は上述の問題を解決するためのもので、各種ガス
の分析を真空状態をそのままにして効率よくかつ容易に
行なうことのできる質量分析法を提供することを目的と
している。
り外し、熱電子の回転をとめてイオン化しているが、こ
の場合、永久磁石の着脱に手間がかかり、しかも永久磁
石の着脱の都度真空容器内の真空がやぷられるという問
題がある。発明の目的 本発明は上述の問題を解決するためのもので、各種ガス
の分析を真空状態をそのままにして効率よくかつ容易に
行なうことのできる質量分析法を提供することを目的と
している。
発明の実施例
次に第２図乃至第４図に関連して本発明の実施例を説明
する。
する。
第２図において、１１はフィラメント、１２はトラップ
、１３、１３’は１対の電磁石である。
、１３、１３’は１対の電磁石である。
電磁石１３、１３’はイオン源の上下に対向して設けら
れ、対向部の極性が異なるように励磁されるようになつ
ている。この電磁石１３｜１３’はそれぞれガラスまた
はセラミツク等の絶縁材のカバー１４，１４′内に密封
されている。軽くないガスを分析する時は、電磁石１３
，１３′を０Ｎにし、熱電子に回転を与えて分析を行な
い、Ｈ２ガス等の軽いガスを分析する時は、電磁石１３
，１３′を０ＦＦにして分析を行なう。
れ、対向部の極性が異なるように励磁されるようになつ
ている。この電磁石１３｜１３’はそれぞれガラスまた
はセラミツク等の絶縁材のカバー１４，１４′内に密封
されている。軽くないガスを分析する時は、電磁石１３
，１３′を０Ｎにし、熱電子に回転を与えて分析を行な
い、Ｈ２ガス等の軽いガスを分析する時は、電磁石１３
，１３′を０ＦＦにして分析を行なう。
従つて従来の永久磁石着脱の手間を省くことができるの
みならず、永久磁石着脱時に真空容器内の真空をやぶる
問題を解決することができる。また、電磁石１３，１３
′はカバー１４，１４′内に密封されているため、電磁
石１３，１３′作動時に発生するガスが分析の妨げにな
ることはない。次に、電磁石を０Ｎ，０ＦＦしてＨ２ガ
スの分析を実際に行つた例を第３図により説明する。
みならず、永久磁石着脱時に真空容器内の真空をやぶる
問題を解決することができる。また、電磁石１３，１３
′はカバー１４，１４′内に密封されているため、電磁
石１３，１３′作動時に発生するガスが分析の妨げにな
ることはない。次に、電磁石を０Ｎ，０ＦＦしてＨ２ガ
スの分析を実際に行つた例を第３図により説明する。
第３図は本発明の方法により磁場０ＦＦ（電磁石１３，
１３′０ＦＦ）に訃いて測定したＨ２の質量スペクトル
である。図に卦いて、縦軸はイオン量（ピーク高さ）を
表わし、横軸はｍ／ｅ（質量／電荷の数）を表わす。ま
た、ＸｌＯＯ，ＸｌＯ，Ｘｌは記録計の感度を表わす。
第４図は、比較例として磁場０Ｎの状態に訃けるＨ２の
質量のスペクトルを示し、磁場０Ｎのときに比べてＨ２
ビークが減少している。このように、電磁石を０ＦＦに
することにより、０Ｎ状態の約１．８倍にピークが増加
し、感度が向土する。
１３′０ＦＦ）に訃いて測定したＨ２の質量スペクトル
である。図に卦いて、縦軸はイオン量（ピーク高さ）を
表わし、横軸はｍ／ｅ（質量／電荷の数）を表わす。ま
た、ＸｌＯＯ，ＸｌＯ，Ｘｌは記録計の感度を表わす。
第４図は、比較例として磁場０Ｎの状態に訃けるＨ２の
質量のスペクトルを示し、磁場０Ｎのときに比べてＨ２
ビークが減少している。このように、電磁石を０ＦＦに
することにより、０Ｎ状態の約１．８倍にピークが増加
し、感度が向土する。
また、第４図の磁場０Ｎの状態では、Ｈ２よりも重いＨ
３のイオン化効率が上がることにより、第３図では検出
されなかつたＨ３（ｍ／ｅ＝３）の質量スペクトルが測
定されている。
３のイオン化効率が上がることにより、第３図では検出
されなかつたＨ３（ｍ／ｅ＝３）の質量スペクトルが測
定されている。
なお、第３，４図の測定は、ガス圧力６０μＭＨｙで行
つた。
つた。
発明の効果
本発明により、リードスイツチに封入するガス中の水素
分析、あるいはＩＣパツケージを還元性雰囲気で封止す
る際用いるガス中の水素ガスの定量分析を容易に精度よ
く行なうことができる。
分析、あるいはＩＣパツケージを還元性雰囲気で封止す
る際用いるガス中の水素ガスの定量分析を容易に精度よ
く行なうことができる。
以上述べたように、本発明によれば、従来のように軽い
ガスの分析時に永久磁石をとり外す必要はなく、電磁石
を０Ｎ，０ＦＦにするだけで各種ガスの分析を効率よく
かつ容易に行なうことが可能で、しかも電磁石は絶縁材
よりなるカバーに密封されているため、電磁石作動時に
発生するガスが分析の妨げになることはない。
ガスの分析時に永久磁石をとり外す必要はなく、電磁石
を０Ｎ，０ＦＦにするだけで各種ガスの分析を効率よく
かつ容易に行なうことが可能で、しかも電磁石は絶縁材
よりなるカバーに密封されているため、電磁石作動時に
発生するガスが分析の妨げになることはない。
第１図は従来の質量分析計イオン源装置の正面図、第２
図は本発明を適用する質量分析計イオン源装置の実施例
を示す正面図、第３図及び第４図は本発明の方法による
測定例を示すグラフで、図中、１１はフイラメント、１
２はトラツブ、１３，１３′は電磁石、１４，１４′は
カバーである。
図は本発明を適用する質量分析計イオン源装置の実施例
を示す正面図、第３図及び第４図は本発明の方法による
測定例を示すグラフで、図中、１１はフイラメント、１
２はトラツブ、１３，１３′は電磁石、１４，１４′は
カバーである。
Claims (1)
- １ イオン源より放射される熱電子を試料ガスに衝突さ
せて試料ガスをイオン化させ、該イオンの質量分析を行
なつて試料ガス中のガス成分を定量する質量分析法にお
いて、前記イオン源の上下に、絶縁材のカバー内に密封
され対向部の極性が異なるように励磁される１対の電磁
石を設け、水素ガスの分析をする際は前記電磁石をオフ
とし、他のガスを分析する際は前記電磁石をオンとして
分析するようにしたことを特徴とする質量分析法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58108497A JPS5931008B2 (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 質量分析法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58108497A JPS5931008B2 (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 質量分析法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59648A JPS59648A (ja) | 1984-01-05 |
| JPS5931008B2 true JPS5931008B2 (ja) | 1984-07-30 |
Family
ID=14486268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58108497A Expired JPS5931008B2 (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 質量分析法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5931008B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60179911U (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-29 | 東芝機械株式会社 | 遠隔操作器を設けた厚さ測定装置 |
-
1983
- 1983-06-16 JP JP58108497A patent/JPS5931008B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60179911U (ja) * | 1984-05-11 | 1985-11-29 | 東芝機械株式会社 | 遠隔操作器を設けた厚さ測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59648A (ja) | 1984-01-05 |
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