JPS5933185B2 - 化学銅めつき液 - Google Patents
化学銅めつき液Info
- Publication number
- JPS5933185B2 JPS5933185B2 JP3887480A JP3887480A JPS5933185B2 JP S5933185 B2 JPS5933185 B2 JP S5933185B2 JP 3887480 A JP3887480 A JP 3887480A JP 3887480 A JP3887480 A JP 3887480A JP S5933185 B2 JPS5933185 B2 JP S5933185B2
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- JP
- Japan
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- copper plating
- chemical copper
- plating solution
- chemical
- nonionic surfactant
- Prior art date
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は化学銅めつき液、特に機械的特性にすぐれため
つき皮膜を与え得る化学銅めつき液に関する。
つき皮膜を与え得る化学銅めつき液に関する。
化学銅めつき液は通常たとえば硫酸銅、塩化第２銅など
の銅塩、エチレンジアミン四酢酸、Ｎ、Ｎ、Ｎ、Ｎ’−
テトラキスー（２−ヒドロキシプロピル）一エチレンジ
アミンなどのような錯化剤、ホルムアルデヒドなどのよ
うな還元剤および水酸化ナトリウムなどのｐＨ調整剤な
どを含むが、これらのみでなる化学銅めつき液から得ら
れるめつき皮膜は一般に脆く、実用に供するには機械的
特性とくに延展性が不足している。
の銅塩、エチレンジアミン四酢酸、Ｎ、Ｎ、Ｎ、Ｎ’−
テトラキスー（２−ヒドロキシプロピル）一エチレンジ
アミンなどのような錯化剤、ホルムアルデヒドなどのよ
うな還元剤および水酸化ナトリウムなどのｐＨ調整剤な
どを含むが、これらのみでなる化学銅めつき液から得ら
れるめつき皮膜は一般に脆く、実用に供するには機械的
特性とくに延展性が不足している。
例えば、印刷配線板の導通回路部を化学銅めつきによつ
て形成するいわゆるアディティブ法印刷配線板の製造に
おいては、印刷配線板の加工や環境変化による熱的応力
や物理的衝撃に起因して回路断線を生じ易い。上記欠点
を改良するために、銅塩、錯化剤、還元剤、ｐＨ調整剤
からなる化学銅めつき液にジピリジル類、フエナントロ
リン類あるいは水溶性シアン化合物をさらに添加するこ
とによつて、化学銅めつき皮膜の延展性の向上を図るこ
とが試みられている。しかしながら、上記ジピリジル類
などの添加によつても、化学銅めつき皮膜の延展性の向
上はわずかであり、たとえば印刷配線板の導通回路を形
成する銅皮膜として実用に供し得るに足る機械的特性を
有するめつき皮膜は尚得られない。本発明は、このよう
な点を考慮し、機械的特性、とくに延展性にすぐれため
つき皮膜を与える化学銅めつき液を提供することを目的
とする。本発明の特徴は、銅塩、錯化剤、還元剤および
ｐＨ調整剤を含有する化学銅めつき液あるいは銅塩、錯
化剤、還元剤およびｐＨ調整剤の他、２、２′−ジピリ
ジルもしくはその誘導体、１，１０フエナントロリンも
しくはその誘導体、水溶性シアン化合物のうちの１種以
上を含有する化学銅めつき液にフエノール樹脂のポリオ
キシエチレン誘導体からなる非イオン界面活性剤を特に
添加配合したものである。
て形成するいわゆるアディティブ法印刷配線板の製造に
おいては、印刷配線板の加工や環境変化による熱的応力
や物理的衝撃に起因して回路断線を生じ易い。上記欠点
を改良するために、銅塩、錯化剤、還元剤、ｐＨ調整剤
からなる化学銅めつき液にジピリジル類、フエナントロ
リン類あるいは水溶性シアン化合物をさらに添加するこ
とによつて、化学銅めつき皮膜の延展性の向上を図るこ
とが試みられている。しかしながら、上記ジピリジル類
などの添加によつても、化学銅めつき皮膜の延展性の向
上はわずかであり、たとえば印刷配線板の導通回路を形
成する銅皮膜として実用に供し得るに足る機械的特性を
有するめつき皮膜は尚得られない。本発明は、このよう
な点を考慮し、機械的特性、とくに延展性にすぐれため
つき皮膜を与える化学銅めつき液を提供することを目的
とする。本発明の特徴は、銅塩、錯化剤、還元剤および
ｐＨ調整剤を含有する化学銅めつき液あるいは銅塩、錯
化剤、還元剤およびｐＨ調整剤の他、２、２′−ジピリ
ジルもしくはその誘導体、１，１０フエナントロリンも
しくはその誘導体、水溶性シアン化合物のうちの１種以
上を含有する化学銅めつき液にフエノール樹脂のポリオ
キシエチレン誘導体からなる非イオン界面活性剤を特に
添加配合したものである。
本発明において、フエノール樹脂のポリオキシエチレン
誘導体系非イオン界面活性剤を添加配合する銅塩一錯化
剤一還元剤−ＰＨ調整剤系化学銅めつき液は例えば次の
ような組成のものである。
誘導体系非イオン界面活性剤を添加配合する銅塩一錯化
剤一還元剤−ＰＨ調整剤系化学銅めつき液は例えば次の
ような組成のものである。
本発明においてベースとなる化学銅めつき液は上記の如
く銅塩一錯化剤一還元剤−ＰＨ調整剤の四成分系のみで
もよいが２，２′−ジピリジルもしくはその誘導体、１
，１０−フエナントリロンもしくはその誘導体、水溶性
シアン化合物などをさらに添加配合したものでもよい。
尚上記水溶性シアン化合物としては例えばシアン化ナト
リウム、シアン化カリウム、ニトロプルシツドナトリウ
ム塩、ニツケルシアン化カリウム、フエロシアン化カリ
ウム、フエリシアン化カリウムなどが挙げられ、これら
の添加配合量は２Ｗ１９〜３９／ｌ好ましくは０．５Ｗ
１９〜１９程度がよい。
く銅塩一錯化剤一還元剤−ＰＨ調整剤の四成分系のみで
もよいが２，２′−ジピリジルもしくはその誘導体、１
，１０−フエナントリロンもしくはその誘導体、水溶性
シアン化合物などをさらに添加配合したものでもよい。
尚上記水溶性シアン化合物としては例えばシアン化ナト
リウム、シアン化カリウム、ニトロプルシツドナトリウ
ム塩、ニツケルシアン化カリウム、フエロシアン化カリ
ウム、フエリシアン化カリウムなどが挙げられ、これら
の添加配合量は２Ｗ１９〜３９／ｌ好ましくは０．５Ｗ
１９〜１９程度がよい。
本発明において、化学銅めつき液に特に添加配合するフ
エノール樹脂のポリオキシエチレン誘導体からなる非イ
オン界面活性剤は、例えばフエノール誘導体とフオルマ
リンとの重縮合体フエノール誘導体とフルフリルアルコ
ールの共縮合体、ポリアルキレンポリフエノール縮合体
などのフエノール性水酸基にエチレングリコールもしく
はポリオキシエチレングリコールを適宜エーテル化反応
させることによつて得られる。しかしてこのような非イ
オン界面活性剤は例えば次の一般式（但し式中Ｒ，，Ｒ
２は水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリル
基、アラルキル基、１，ｍ，ｎは１以上の整数を示す）
で示されるものである。
エノール樹脂のポリオキシエチレン誘導体からなる非イ
オン界面活性剤は、例えばフエノール誘導体とフオルマ
リンとの重縮合体フエノール誘導体とフルフリルアルコ
ールの共縮合体、ポリアルキレンポリフエノール縮合体
などのフエノール性水酸基にエチレングリコールもしく
はポリオキシエチレングリコールを適宜エーテル化反応
させることによつて得られる。しかしてこのような非イ
オン界面活性剤は例えば次の一般式（但し式中Ｒ，，Ｒ
２は水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリル
基、アラルキル基、１，ｍ，ｎは１以上の整数を示す）
で示されるものである。
しかしてこの非イオン界面活性剤は１種もしくは２種以
上の混合系で用いてもよく、またその添加配合量は化学
銅めつき液１１当り０．１〜２．０９程度で充分である
。次に本発明を具体例をもつて説明する。硫酸銅（５水
和物）、エチレンジアミン四酢酸、ホルムアルデヒド、
水酸化ナトリウム、２，２′−ジピリジル、２−９−ジ
メチル１，１０−フエナントロン、シアン化ナトリウム
およびフエノール樹脂のポリオキシエチレン誘導体から
なる非イオン界面活性剤を水にそれぞれ溶解せしめ表−
１に示す如き組成系の化学銅めつき液１４種を調整した
。
上の混合系で用いてもよく、またその添加配合量は化学
銅めつき液１１当り０．１〜２．０９程度で充分である
。次に本発明を具体例をもつて説明する。硫酸銅（５水
和物）、エチレンジアミン四酢酸、ホルムアルデヒド、
水酸化ナトリウム、２，２′−ジピリジル、２−９−ジ
メチル１，１０−フエナントロン、シアン化ナトリウム
およびフエノール樹脂のポリオキシエチレン誘導体から
なる非イオン界面活性剤を水にそれぞれ溶解せしめ表−
１に示す如き組成系の化学銅めつき液１４種を調整した
。
尚界面活性剤は次式
（但しＲｌ，Ｒ２はノニル基、ｌは１〜３の数）におい
てｍ＋ｎ＝３の場合を種類（Ａ）、ｍ＋ｎ＝２０の場合
を種類（Ｂ）、ｍ＋ｎ−９の場合を種類（Ｏで示した。
てｍ＋ｎ＝３の場合を種類（Ａ）、ｍ＋ｎ＝２０の場合
を種類（Ｂ）、ｍ＋ｎ−９の場合を種類（Ｏで示した。
一方厚さ１０μｍの圧延銅箔を１０％苛性ソーダ水溶液
に３０秒間浸漬後水洗し、引続き１００！）硝酸水溶液
に浸漬してから水洗し表面を清浄にした。
に３０秒間浸漬後水洗し、引続き１００！）硝酸水溶液
に浸漬してから水洗し表面を清浄にした。
かくして表面清浄化した銅箔を、塩化錫５０９／ｌ塩酸
１０ｄ／ｌ残部が水よりなる前処理液に２分間浸漬して
から流水で１分間水洗した。
１０ｄ／ｌ残部が水よりなる前処理液に２分間浸漬して
から流水で１分間水洗した。
しかる後この前処理した銅箔を、塩化パラジウム０．２
５９／１１塩酸１０ｍ１／１１残部が水よりなる感応性
賦与液に１分間浸漬し、流水中で１分間水洗した。上記
処理を施した銅箔を、前記調製した化学銅めつき液（浴
温７０℃）にそれぞれ浸漬し、銅箔の両面に厚さ４〜６
μｍの銅めつき膜をそれぞれ析出形成させた。
５９／１１塩酸１０ｍ１／１１残部が水よりなる感応性
賦与液に１分間浸漬し、流水中で１分間水洗した。上記
処理を施した銅箔を、前記調製した化学銅めつき液（浴
温７０℃）にそれぞれ浸漬し、銅箔の両面に厚さ４〜６
μｍの銅めつき膜をそれぞれ析出形成させた。
このようにして形成した銅めつき膜の展延性を１８０゜
の折り曲げ試験により測定した結果を表−２にそれぞれ
示した。尚展延性試験は銅めつき膜を一定方向に１８０
゜折り曲げて折目を次に元の位置にもどし圧力を加えて
折り目を平坦にする操作を繰返し、折り目の部分で銅め
つき膜が破断するまでの回数（めつき膜が耐え得る折り
曲げ回数）をもつて評価したものである。
の折り曲げ試験により測定した結果を表−２にそれぞれ
示した。尚展延性試験は銅めつき膜を一定方向に１８０
゜折り曲げて折目を次に元の位置にもどし圧力を加えて
折り目を平坦にする操作を繰返し、折り目の部分で銅め
つき膜が破断するまでの回数（めつき膜が耐え得る折り
曲げ回数）をもつて評価したものである。
また上記実施例７の組成の化学銅めつき液においてシア
ン化ナトリウムの代りに、水溶性シアン化合物である（
ａ）＝ニトロプルシツドナトリウム（５０Ｗ１９／ｌ）
、（ｂ）シアン化ニツケルカリウム（１００ｍｇ／ｌ）
もしくは（ｃ）フエロシアン化カリウム（５０Ｗ１９／
ｌ）を用いた他は同じ組成のめつき液を用い、同じ条件
で銅めつき膜を析出形成させ、そのめつき膜について展
延性を評価したところ折り曲げ回数は（ａ）の場合２４
回、（ｂ）の場合２２回、（ｃ）の場合２０回であつた
。
ン化ナトリウムの代りに、水溶性シアン化合物である（
ａ）＝ニトロプルシツドナトリウム（５０Ｗ１９／ｌ）
、（ｂ）シアン化ニツケルカリウム（１００ｍｇ／ｌ）
もしくは（ｃ）フエロシアン化カリウム（５０Ｗ１９／
ｌ）を用いた他は同じ組成のめつき液を用い、同じ条件
で銅めつき膜を析出形成させ、そのめつき膜について展
延性を評価したところ折り曲げ回数は（ａ）の場合２４
回、（ｂ）の場合２２回、（ｃ）の場合２０回であつた
。
表−１および表−２に本発明の特徴である非イオン界面
活性剤を添加しない化学銅めつきを使用した場合につい
ても比較例として付記してある。
活性剤を添加しない化学銅めつきを使用した場合につい
ても比較例として付記してある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 銅塩、錯化剤、還元剤、ｐＨ調整剤およびフェノー
ル樹脂のポリオキシエチレン誘導体からなる非イオン界
面活性剤を含有することを特徴とする化学銅めつき液。 ２ 特許請求範囲第１項においてフェノール樹脂のポリ
オキシエチレン誘導体からなる非イオン界面活性剤が一
般式、▲数式、化学式、表等があります▼ （式中Ｒ＿１、Ｒ＿２は水素原子、アルキル基、シクロ
アルキル基、アリル基、アラルキル基、ｌ、ｍ、ｎは１
以上の整数を示す）で示される化合物であることを特徴
とする化学銅めつき液。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3887480A JPS5933185B2 (ja) | 1980-03-28 | 1980-03-28 | 化学銅めつき液 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3887480A JPS5933185B2 (ja) | 1980-03-28 | 1980-03-28 | 化学銅めつき液 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56136969A JPS56136969A (en) | 1981-10-26 |
| JPS5933185B2 true JPS5933185B2 (ja) | 1984-08-14 |
Family
ID=12537351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3887480A Expired JPS5933185B2 (ja) | 1980-03-28 | 1980-03-28 | 化学銅めつき液 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5933185B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6352389A (ja) * | 1986-08-22 | 1988-03-05 | Takeshi Amamiya | 印刷面を備えた録音録画デイスク |
-
1980
- 1980-03-28 JP JP3887480A patent/JPS5933185B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6352389A (ja) * | 1986-08-22 | 1988-03-05 | Takeshi Amamiya | 印刷面を備えた録音録画デイスク |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56136969A (en) | 1981-10-26 |
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