JPS5934149B2 - 緻密質β′−サイアロン焼結体の製造方法 - Google Patents

緻密質β′−サイアロン焼結体の製造方法

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JPS5934149B2
JPS5934149B2 JP51088719A JP8871976A JPS5934149B2 JP S5934149 B2 JPS5934149 B2 JP S5934149B2 JP 51088719 A JP51088719 A JP 51088719A JP 8871976 A JP8871976 A JP 8871976A JP S5934149 B2 JPS5934149 B2 JP S5934149B2
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正章 森
法平 高井
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は緻密質β′−サイアロン焼結体の製造方法に関
するものである。
従来、β′−サイアロン(β’−8ialon)焼結体
の製造方法としては、種々の方法が提案さられているが
、得られたβ′−サイアロン焼結体は緻密質とならず、
仮に緻密質になっても焼成時に屈曲したり、収縮して寸
法安定性の劣るものしか得られず、しかも高温度で焼成
しなければならず製造コストの高騰を招く欠点があった
本発明は上記欠点を解消するためになされたもので、低
温焼成にて気孔率が小さく、かつ寸法安定性に優れると
共に耐熱性、耐熱衝撃性、耐酸化性の優れた緻密質β′
−サイアロン焼結体を得ることを目的とするものである
以下、本発明の詳細な説明する。
まず、次の方法にてβ′−サイアロン主成分素材(通常
β′−サイアロン70〜80重量%含有)を造る。
(1)シリカ粉末70〜40重量%と金属アルミニウム
粉末30〜60重量%とを充分混合して出発原料粉とし
、この出発原料粉を種々の成形法、たとえば金型プレス
法、ラバープレス法、スリップキャスティング法、押出
成形法により肉厚50r/L以下、好ましくは2cIr
L以下の任意形状の圧粉体とした後、この圧粉体を窒素
含有非酸化性ガス雰囲気中で1400〜1700°Cに
加熱反応せしめて固溶状態のβ′−サイアロン主成分素
材を造る。
(2)シリカ粉末70〜40重量%と金属アルミニウム
粉末30〜61重量%とを混合した出発原料粉を一旦粉
砕して平均粒径3μ以下、好ましくは1゜5μ以下にし
、微粉末原料を耐熱性容器に深さ5crfL以下、好ま
しくは2crIL以下に充填した後膣微粉末原料を窒素
含有非酸化性ガス雰囲気中で1400〜1700℃の温
度下にて加熱反応せしめて固溶状態のβ′−サイアロン
生成分素材を造る。
(3) シリカ粉末70〜40重量%と金属アルミニ
ウム粉末30〜60重量%とからなる混合粉末100重
量部に、鉄粉、銅粉、コバルト粉、マンガン粉等の金属
粉或いはそれらの酸化物粉、もしくはフッ化カルシウム
、フッ化アルミニウム、フッ化マグネシウム粉、フッ化
マンガン粉等の弗化物粉の群から選ばれる1種または2
種以上の添加剤を0.1〜10重量部添加混合して出発
原料粉とし、この出発原料粉を前記(1)の方法に準じ
て圧粉体とするか、もしくは前記(2)の方法に準じて
微粉末状原料とするかした後、窒素含有非酸化性雰囲気
中で1200〜1700℃の温度にて加熱せしめて固溶
状態のβ′−サイアロン主成分素材を造る。
上記(1)〜(3)の方法における加熱中の化学反応、
化学変化の詳細は不明であるが、基本的には次の反応が
起こっていると考えられる。
1)1000℃以下では、 3 S i02 + 4A11→3Si+2A1203
・・・・・(I)2Al+N2→2AJl?N
・・・・・・(If)ii)1000℃以上では
、 3Si+2N2→β−5i3N4 ・・・・・・(
III)β−8i3 N4へのAl2O8,AANの固
溶→β′−サイアロン主成分素材* ・・・・・・G
V)*β′−サイアロン主成分素材;β′−サイアロン
が主成分であるが、他に未固溶のAl2O3゜Y−相サ
サイアロンA[N構造中にSi、0が入り、金属:非金
属原子比が5二6になっている化学式(Si 、Al)
s(0−N)aで表わされるもの)、AlN等が含有す
る。
上記(1)〜(3)の方法に使用するシリカ粉末として
は、水晶粉末、硅砂粉末、石英ガラス粉末、蒸発シリカ
(Volatiled−8ilica)、化学沈殿法シ
リカ、気相法シリカ等を挙げることができ、とくに蒸発
シリカはβ′−サイアロン主成分素材の生成収率が最も
良好である。
この場合、シリカ粉としてシラスを用いることも可能で
あるが、アルカリ成分の含有率が高いために加熱時に加
熱炉の炉芯管、ライニング耐火物、断熱耐火物、抵抗発
熱体などを汚染、劣化するため好ましくない。
上記(1)〜(3)の方法に使用するアルミニウム粉末
としては、アルミニウムの涙滴状アトマイズ粉(噴霧粉
)、鱗片状搗砕粉のどちらでも効果は同じであるが、と
くに50メツシユより細かい粉末を用いることが望まし
い。
上記(1)〜(3)の方法におけるシリカ粉末とアルミ
ニウム粉末との比(Sin2粉末/Al粉末)を上記範
囲に限定した理由は、S t 02粉末/All粉末の
比を40/60 (重量割合)より小さくすると、未反
応のAlが残存したりSi、AlNが生成したりしてβ
′−サイアロン主成分素材中のβ′−サイアロン生成量
が減少し、一方その比が70/30より多いと、未反応
のS t 02が残存したり、ムライトが生成したりし
て該主成分素材中のβ′−サイアロン生成量が減少する
からであり、好ましい比はSiO2粉末/Al粉末が6
0/40付近である。
また、上記(1) 、 (33の方法において圧粉体の
厚さを限定した理由はその肉厚が5CIrLを越えると
、加熱時に該圧粉体中に窒素ガスが充分浸入せず、β′
−サイアロンの生成率の高いβ′−サイアロン主成分素
材が得られないからである。
上記(1) 、 (3)の方法において微粉体状原料の
充填深さを限定した理由は、その充填深さが5crfL
を越えると、加熱時該充填原料中に窒素ガスが充分浸入
せず、β′−サイアロンの主成率の高いβ′−サイアロ
ン主成分素材が得られないからである。
この場合使用される容器としては、通常黒鉛質、窒化珪
素質、アルミナ質のものであるが、とくに黒鉛質容器を
用いるには炭化珪素の生成を防止する目的からその内面
に窒化アルミニウム粉末或いは窒化硼素粉末を被覆する
ことが望ましい。
上記(3)の方法においてシリカ粉末とアルミニウム粉
末とからなる混合粉末に添加する添加剤の量を上述した
範囲に限定した理由は、添加剤の量を0.1重量部未満
にすると、上記(1)〜帥式の反応を促進する効果が期
待できず、一方その量が10重量部を越えると、得られ
たβ′−サイアロン主成分素材の純度を阻害するからで
ある。
さらに、上記(1) 、 (2)の方法において加熱処
理温度を限定した理由は、加熱処理温度を1400℃よ
り低くすると、未反応Siが残ってβ′−サイアロン主
成分素材中のβ′−サイアロンの生成率が低下し、一方
その温度が1700℃を越えると、Y−phase サ
イアロンが増加してβ′−サイアロン主成分素材中のβ
′−サイアロンの生成率が低下するからである。
また、上記(3)の方法においては加熱処理純度を上記
(1) 、 (2)の方法の温度より200℃低い12
00℃の温度下でも可能となる。
望ましい加熱処理方法は、600℃/Hr以下、好まし
くは200°C/Hr以下の昇温速度で1400〜15
00℃、或いは1200〜1500℃の温度まで加熱し
、その保持温度を5時間以上保持する(これを第1段加
熱処理と称す)。
これで加熱処理の目的は達せられるが、さらにβ′−サ
イアロンの生成率を向上させるには、第1段加熱処理後
さらに1500〜1700°Cの間の所 。
定温度まで昇温しで3時間以上加熱処理する(これを第
2段加熱処理と称す)。
しかるに、前記(1)の方法にあっても、上述した組成
割合の出発原料粉を成形して圧粉体とし、かつ該圧粉体
の厚さを規定することにより、シリカ 。
粉末とアルミニウム粉末との接触状況が良好となると共
に各粉末に対する窒素ガスの接触度合も改善するため、
上述した(I)〜(IV;式の反応が促進され、β′−
サイアロンの含有率の高いβ′−サイアロン主成分素材
が得られる。
また、前記(2)の方法にあっては、上述した組成割合
の出発原料粉を粉砕して微粉末状原料とすると共に該原
料の容器への充填深さを規定することにより、粉砕、混
合中に展延性の優えたアルミニウム粉末がシリカ粉末を
被覆してアルミニウム被シ膜を形成し、アルミニウムと
シリカとの接触状況が良好となり、かつ各原料に対する
窒素ガスの接触度合も向上するため、上述した(1)〜
(β′v)の反応が促進され、β′−サイアロンの含有
率の高いβ′−サイアロン主成分素材が得られる。
さらに、前記(3)の方法にあっては、出発原料粉を成
形、もしくは粉砕する他、該原料粉中に鉄、マグネシウ
ム等の添加剤を混入するため、上述した(1) 、 (
2)の方法よりさらに反応の促進化が助長され極めてβ
′−サイアロンの含有率の高いβ′−1“サイアロン主
成分素材が得られる。
なお、上記(1)〜(3)の製造方法において使用する
出発原料はシリカ粉とアルミニウム粉とからなるものに
限らず、たとえばシリカ、金属珪素、金属アルミニウム
、アルミナ、窒素珪素、窒化アルミニウム等を適宜組合
せ、窒化処理によってβ′−サイアロン主成分素材とな
る組成に配合したものを使用してもよく、場合によって
は出廃原料をそのままβ′−サイアロン主成分素材とし
て使用してもよい。
次いで、上述した(1)〜(3)の方法により得たβ′
−サイアロン主成分素材を、平均粒径(フィッシャー・
サブシーブサイザーで測定)が1.6μ以下、好ましく
は1.2μ以下になるまで微粉砕してβ′−サイアロン
主成分素材粉とする。
粉砕法としては、湿式粉砕法、乾式粉砕法が採用される
が、とくにアルコール中にタングステンカーバイド製或
いはアルミナ製のボールミナを入れた湿式粉砕法は短時
間で粉砕できるため有効である。
つづいて、該β′サイアロン主成分素材粉にシリカ粉末
を0.2〜20重量%及び珪酸ガラスを形成する金属酸
化物の一種又は二種以上を0.2〜20重量%配合し混
合してβ′−サイアロン混合素材粉とし、これを種々の
成形法、たとえば金型プレス、ラバープレス、スリップ
キャスティング、押出成形などにより密度が1.’H!
/cIf1以上となるように所望形状に成形した後、こ
の成形体を窒素含有非酸化性ガス雰囲気中(大気とほぼ
同圧)で1200〜1800℃の温度下にて焼成せしめ
て緻密質β′−サイアロン焼結体を得る。
本発明において、β′−サイアロン主成分素材粉の粒径
を限定した理由は、該主成分素材粉の粒径が1.6μを
越える払気孔率の低い緻密質βl−サイアロン焼結体が
得られないからである。
本発明に使用するシリカ粉としては、前述したβ′−サ
イアロン主成分素材の製造時に用いたのと同様、水晶粉
末、珪砂粉末、石英ガラス粉末、蒸発シリカ(Vola
tiled −5ilica)、化学沈殿法シリカ気相
法シリカ等を挙げることができる。
本発明におけるβ′−サイアロン混合素材粉中のシリカ
粉末及び珪酸ガラスを形成する金属酸化物の一種又は二
種以上の配合量を上記範囲に限定した理由は、その配合
量を0.2重量%未満にすると、低温焼結性の効果を充
分発揮できず、一方その配合量が20重量%を越えると
、得られた焼結体の構成相中にシリカガラスが多く含ま
れて物性低下を招来するからである。
ここに用いる金属酸化物としては、MgO* MnOt
L i20. Ti 02゜B2O3+ Fe2O3
、Cu2O、CaOから選ばれる1種または2種以上の
ものを挙げることができる。
本発明において成形体の密度を限定した理由は、その密
度を1.7g/cri1未満にすると、気孔率の低い緻
密質β′−サイアロン焼結体が得られないからである。
本発明における窒素含有非酸化性ガス雰囲気とは、窒素
ガス単独、或いは窒素ガスとアルゴンガス、ネオンガス
等の不活性ガスとの混合ガスなどである。
この場合、窒素ガス単独の雰囲気にするか、もしくは混
合ガスの雰囲気にするかは、成形体中のβl−サイアロ
ンの含有率、焼成温度等により適宜選定すればよい。
本発明におけて焼成温度を上記範囲に限定した理由は、
焼成温度を1200°C未満の低い温度にすると、成形
体の焼結速度が遅く、緻密質β′−サイアロン焼結体を
得るのに長時間要し、一方その温度が1800℃を越え
る高い温度にすると、成形体中のβ′−サイアロンの一
部が他の物質に変換されβ′−サイ了ロン含有率の高い
緻密質β′−サイアロン焼結体が得られないからである
本発明の焼結時に使用する焼成炉は通常黒鉛製抵抗ヒー
タ、高周波誘導加熱力式の黒鉛製サセプターを内装した
黒鉛製ライニングの炉が用いられる力S、この焼成時該
黒鉛製ヒータ等から多少のCOガスが発生するため、得
られたβ′−サイアロン焼結体の表面が炭化されて炭化
珪素膜が生じ易い。
また焼成時、成形体を同一温度で均一に焼結せしめるこ
とは難しく、その結果焼結体に亀裂や変形を生じる虞れ
がある。
しかるに、このような問題を解消するには、珪化硼素粉
(BN)、窒化アルミニウム粉(A7N)からなる詰粉
を充填した黒鉛製容器に前述した成形体を埋設して黒鉛
製容器ごと炉内に入れ、焼成を均一に行なうと共に焼結
体表面に炭化珪素膜が生成するのを阻止することが望ま
しい。
なお、上述した粒径1.6μ以下のβ′−サイアロン主
成分素材粉(微粉末)と上述した方法により得た緻密質
β′−サイアロン焼結体を再粉砕して篩分けした中粒と
粗粒とを適当な配合割合で混合し、これを常法に従って
成形した後、この成形体を窒素含有非酸化性が大雰囲気
中で1600〜2000°Cの温度にて焼成ゼしめて緻
密質β′−サイアロン焼結体を製造してもよい。
このような方法によれば、焼成中における成形体の収縮
がわずかとなるため、得られた焼結体の変形、亀裂を皆
無ならしめ、大型形状物の製造を可能にし、さらに寸法
安定性を向上させる他、耐熱衝撃性のとくに優れた緻密
質β′−サイアロン焼結体を得るこことができる。
しかして、本発明は平均粒径を規定した微細なβ′−サ
イアロン主成分素材粉に所定量のシリカ粉末及び珪酸ガ
ラスを形成する金属酸化物の一種又は二種以上を配合し
たβ′−サイアロン混合素材粉を、所定密度に成形し、
これを窒素含有非酸化性ガス雰囲気中で所定温度範囲に
て焼成せしめることにより、成形体のβl−サイアロン
主成分素材粉中のβ′−サイアロン以外の物質を一部β
′−サイアロンに変換できるとともに、焼成過程におい
て粒界相にβ′−サイアロンを主成分とする微細粉とシ
リカガラスとが化合した窒素含有ガラス相を形成して該
微細粉同志を著しく容易に低温度で焼結できるため、亀
裂、変形のない寸法安定性に優れた緻密質β′−サイア
ロン焼結体を安価に得ることができる。
したがって、本発明方法により得た緻密質β′−サイア
ロン焼結体は寸法安定性に優れる他、骨格をなすβ′−
サイアロン自体の特性により次に示すような多種多様の
分野に応用できる。
■ 溶融非鉄金属用耐火物 溶融炉ライニング材、溶融非鉄金属輸送用パイプ、溶融
非鉄金属測温用熱電対保護管、低圧鋳造用ストーク、連
続鋳造用ノズル、タップホール用インサートノズル、溶
融非鉄金属流量調整弁、溶融非鉄金属用ポンプ摺動部材
(ホットチャンバーのピストン、シリンダー)、クーズ
ネツク、ゲルマニウム或いはシリコン等の半導体溶融用
ルツボ ■ 溶鋼用耐火物 連続鋳造用各種ノズル、スライディングノズル用プレー
ト、イマージョンパイプ ■ 機械部品 熱交換器、ピストンエンジンにおけるピストンヘッド、
およびシリンダー、ガスタービンエンジンの燃焼室構造
材(ロータ、ステータ、シュラウド等)、ロケットノズ
ル ■ 耐蝕材料 耐酸、耐アルカリ容器、塩素、硫化水素ガス輸送用パイ
プ、塩素ガス吹込管、プラスチックなどの焼成炉の内張
材 以下、本発明の詳細な説明する。
実施例 1〜2 蒸発シリカ粉末60重量%とアルミニウムのアトマイズ
粉(250メツシユ以下)40重量%とをvミキサーで
乾式混合した出発原料粉を、ラバープレス(lton/
cr/l)により肉厚5crILのチューブ状圧粉体と
した後、との圧粉体を窒素雰囲気中で昇温速度200°
C/Hrの条件下にて1500℃まで高め、その温度下
で10時間保持して加熱処理せしめβ′−サイアロン主
成分素材を造った。
このβl−サイアロン主成分素材をX線粉末回折法で調
べたところ、β′−サイアロンの大きなピークとα−A
1203およびY−相ササイアロン小さなピークとが確
認され、はぼβ′−サイアロンからなることが判った。
次いで、上記β′−サイアロン主成分素材を予めショー
クラッシャーで粗砕し、さらにハンマークラッシャーで
細粉した後、この細粉を■アルコール中にアルミナ製ボ
ールミルを混入した湿式粉砕法にて70時間粉砕し、ま
た■同温式粉砕法にて24時間粉砕して平均粒径1.2
μのβ′−サイアロン主成分素材粉(実施例1)、平均
粒径1,6μのβ′−サイアロン主成分素材粉(実施例
2)を造った。
なお、比較例として、上記細粉を■アルミナ製ボールミ
ルの乾式粉砕法にて24時間粉砕して平均粒径1.8μ
のβ′−サイアロン主成分素材粉を造った。
その談合β′−サイアロン主成分素材粉に夫々蒸発シリ
カを2重量%及び炭酸ソーダ2重量%添加混合してβ′
−サイアロン混合素材粉とし、°これら混合素材粉に夫
々酢酸ビニールを20重量%添加混練し50メツシユの
ナイロン篩を通過さセで造粒した後、一旦乾燥してから
金型プレスにより550ky/C11tの圧力条件で成
形して3種の板状成形体(寸法40WX70LX9T’
ジを造った。
これら成形体を400℃の大気中で12時間加熱処理し
てバインダー(酢酸ビニール)を揮散除去し、除去後の
各成形体の密度を調べた。
その結果、実施例1に用いる成形体は1.919/cr
IL、実施例2の成形体は1.9397cm、比較例1
の成形体は1、92 g/cmであった。
つづいて、これら成形体を夫々黒鉛製容器内の窒化硼素
詰粉中に埋設し、コレら容器ごと窒素雰囲気の焼成炉に
入れ昇温速度400℃の条件で1600℃まで高め、そ
の温度下で2時間保持して焼成せしめ3種のβ′−サイ
アロン焼結体を得た。
得られたβ′−サイアロン焼結体をX線粉末回折法によ
り同定したところ、どの焼結体もβl−サイアロンに少
量のα−A1203、Y−相ササイアロン含むものであ
った。
また、各β′−サイアロン焼結体の気孔率を調べたとこ
ろ、実施例1の焼結体は1%、実施例2の焼結体は2%
と極めて緻密質であるのに対し、比較例1の焼結体は9
%と気孔率の高いものであった。
このようなことがら緻密質βl−サイアロン焼結体を得
るにはβ′−サイアロン混合素材粉中のβ′−サイアロ
ン主成分素材粉の平均粒径が重要な要素になることがわ
かる。
実施例 3 上記実施例1で用いたβ′−サイアロン混合素材粉(平
均粒径1.2μのβ′−サイアロン主成分素材粉含有)
に酢酸ビニールを添加混線し50メツシユのナイロン篩
を通過させて造粒した後、一旦乾燥してから、金型プレ
スにより600 kg/C111(実施例3)、110
kg/cril (比較例2)、55ky/ffl
(比較例3)の圧力条件で成形して3種の板状成形体(
寸法40WX70LX9T關)を造った。
これら成形体を大気中で12時間加熱処理してバインダ
ー(酢酸ビニール)を揮散除去し、除去後の各成形体の
密度を調べたところ、実施例3に用いる成形体は1.9
i g7crit、比較例2の成形体は1.66.9
重cm、比較例3の成形体は1.50g/dであった。
つづいて、これら成形体を前記実施例1と同様な方法に
て焼成せしめ3種のβ′〜サイアロン焼結体を得た。
得られた各β′−サイアロン焼結体の気孔率を調べた。
その結果、本発明(実施例3)の焼結体は1%と極めて
緻密性の優れたものであるのに対し、比較例2の焼結体
は9%、比較例3の焼結体は15%と気孔率が高く緻密
性の劣るものであった。
このようなことから、緻密質β′−サイアロン焼結体を
得るには、成形体の密度も重要な要素なることがわかる
実施例 4 蒸発シリカ粉末60重量%とアルミニウムのアトマイズ
粉(250メツシユ)40重量%とを混合した出発原料
粉を、アルコール中にアルミナ製ボールミルを混入しよ
湿式粉砕法により48時間粉砕し、平均粒径1.3μの
微粉末原料とし、これを窒化珪素質容器に深さ約1.5
儒まで充填した後、該微粉末原料を窒素雰囲気中で15
00℃の温度にて10時間保持して加熱処理せしめβ′
−サイアロン主成分素材を造った。
このβ′−サイアロン主成分素材をX線粉末回折法で調
べたところ、β′−サイアロンに少量のα−A1203
、Y−相ササイアロン微量のAA’Nを含むことが判っ
た。
次いで、上記β′〜サイアロン主成分素材を予めショー
クラッシャーで粗砕し、さらにハンマークラッシャーで
細粉砕した後、この細粉をアルコール中にタングステン
カーバイド製ボールミルを混入した湿式粉砕法にて96
時間粉砕して平均粒径0.7μのβ′−サイアロン主成
分素材粉を造った。
その後、このβ′−サイアロン主成分素材粉に蒸発シリ
カ3重量%及び無水硼酸0.5重量%を添加混合してβ
′−サイアロン混合素材粉とし、この混合素材粉を用い
て前記実施例1と同様酢酸ビニールを添加混練、造粒、
金型プレス(圧力条件550kg/i)して成形し、そ
の成形体中のバインダーを揮散除去して密度1.83
g/cfIlの成形体を造った。
つづいて、この成形体を黒鉛製容器内の窒化硼素詰粉中
に埋設し、この容器ごと窒素雰囲気の焼成炉に入れ、昇
温速度200℃/ Hrの条件下で1500℃まで高め
、その温度下で3時間保持して焼成せしめβ′−サイア
ロン焼結体を得た。
得られたβ′−サイアロン焼結体をX線粉末回折法で同
定したところ、β′−サイアロンに微量のα−A120
3、Y−相ササイアロン含むものであった。
また、このβ′−サイアロン焼結体は気孔率が2%と極
めて緻密性に優れていることが認められた。
実施例 5 前記実施例1で用いたβ′−サイアロン主成分素材粉(
平均粒径1.2μ)に蒸発シリカ微粉末7重量%および
酸化リチウム粉末(Li20)3重量%を添加混合して
β′−サイアロン混合素材粉とし、これを実施例1と同
様な条件にて成形し密度1.89g/cr71の成形体
を造る。
つづいてこの成形体を黒鉛製容器の窒化硼素詰粉中に埋
設し、容器ごと窒素雰囲気の焼成炉に入れ、昇温速度4
00’C/Hrの条件にて1250℃まで高め、その温
度下で4時間保持して焼成せしめβ′−サイアロン焼結
体を得た。
得られたβ′−サイアロン焼結体をX線粉末回折法によ
り同定したところ、β′−サイアロンに少量のα−A1
203、Y−相ササイアロン含むことが確認された。
また、このβ′−サイアロン焼結体は上述した低い焼成
温度(1250℃)で処理しても気孔率が4.2%と極
めて緻密性に富むことがわかった。
以上詳述した如く本発明によれば気孔率が小さく、寸法
安定性に優れると共に耐熱性、耐酸性、耐熱衝撃性、耐
摩耗性に優れ溶融非鉄金属用耐火物、溶鋼用耐火物等の
分野に有効に利用できる緻密質β′−サイアロン焼結体
を著しく簡単かつ安価に得ることができる。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 β′−サイアロン主成分素材を平均粒径1.6μ以
    下に粉砕してβI−サイアロン主成分素材粉とし、該主
    成分素材粉にシリカ粉末を0.2〜20重量%及び硅酸
    ガラスを形成する金属酸化物の1種又は2種以上を0.
    2〜20重量%添加混合してβ′−サイアロン混合素材
    粉とし、これを密度が1.79/cIft以上になるよ
    うに成形して成形体とした後、該成形体を窒素含有非酸
    化性ガス雰囲気中で1200〜1800°Cの温度下に
    て焼成せしめることを特徴とする緻密質β′−サイアロ
    ン焼結体の製造方法。
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