JPS5936144Y2 - リニアパルスモ−タ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の利用分野〕 本考案は、リニアパルスモータに係り、特にスライダの
位置を検出する個所の構造に関する。

〔考案の背景〕

一般に、リニアパルスモータは、所定ピッチで磁極歯列
を形成した直線状のステータと、前記磁極歯列に対向す
る磁極を有し、パルス入力に応じて前記ステータ上を移
動するスライダとを有している。

この種のリニアパルスモータにおいて、スライダの位置
を制御するためには、スライダめ位置検出を行なう必要
がある。

従来、スライダの位置検出は、所定のピッチで多数のス
リットを形成したスリット板をスライダの移動方向と平
行に取付け、且つ、スライダには、前記スリット板の片
側に発光素子を、反対側に受光素子を配置する光検出器
を取付けて、スライダの移動にともない、発光素子から
出た光がスリット板のスリットを通過して受光素子に受
光される回数をカウントすることにより行なっている。

ところで、前記スリット板に形成されるスリットは、ス
ライダの位置検出精度を高めるために、スリットピッチ
を高精度に仕上げる必要がちる。

このため、スリット板は、通常、エツチング加工により
製造されている。

即ち、スリット板を製造するには、ステンレス板等のエ
ツチング可能な金属板等にスリットパターンを印刷し、
それをエツチング処理してスリットを形成する。

しかしながら、スリット板は、直線性が保持できるよう
にある程度の厚さが必要であり、厚さを厚くするとエツ
チング加工の精度が低下するという問題がある。

例えば、直線性を保持するためには少なくとも０．１ｍ
ｍ程度の厚さが必要であるが、０．１關のステンレス板
にピッチ０．８４７１７１で４００個のスリットをエツ
チング加工によって形成すると、スリットピッチの誤差
は±０．０７ｍｍにもなってしまい、使用に耐えない。

エツチング加工の精度を上げるためにはスリット板の厚
さを薄くする必要があるが、そうするとスリット板の直
線性が保持できな（・という問題がある。

〔考案の目的〕

本考案の目的は、上記した従来技術の欠点を解消し、高
精度のスリットピッチを有し、直線性も充分に保持でき
るスリット板を備えたリニアパルスモータを提供するに
ある。

〔考案の概要〕

本考案は、この目的を達成するため、スリット板として
、スリットが形成される部分の肉厚な薄肉に形成し、そ
の薄肉部の少なくとも一側縁に沿って厚内部を形成した
スリット板を用い、前記薄肉部に前記スリットを形成し
たことを特徴とするものである。

〔考案の実施例〕

以下、本考案の一実施例を第１図ないし第３図を参照し
て詳細に説明する。

直線状に延びるステータ１は、上面に磁極歯列２を有し
ている。

このステータ１上にはスライダ３が長手方向に移動可能
に配置されている。

スライダ３には前記磁極歯列２に対向する磁極４が設け
られている。

この磁極４がパルス入力に応じて励磁されるとスライダ
３はステータ１上を１ピツチずつ移動するようになって
いる。

ステータ１の片側には、前記スライダ３の移動方向と平
行にスリット板５が取付けられ、このスリット板５には
所定のピッチで多数のスリット６が形成されている。

一方、スライダ３には、前記スリット板５に跨がる形状
の光検出器７が取付けられている。

この光検出器７は、スリット板５の片側に発光素子（図
示せず）が、反対側に受光素子（図示せず）が配置され
ており、この発光素子及び受光素子の間にスリット６が
くると、発光素子から出た光がスリット６を通過して受
光素子で受光され、電気的出力を発するようになってい
る。

したがって、スライダ３の移動にともなって発生する光
検出器７の出力をカウントすることによりスライダ３の
位置検出を行なうことができる。

スリット板５は、第３図に示すように、その長手方向の
スリットが形成される部分の肉厚が薄肉に形成されてお
り、その薄肉部８の左右両端部及び下側縁部に厚肉部９
が形成されている。

前記スリット６は前記薄肉部８に形成される。

このようなスリット板５は次のような方法によって製造
される。

即ち、原材料として、例えば厚す０．５１ＥＩＥ程度の
ステンレス板又はパーマロイ板等エツチング性の良Ｌ・
金属板を用い、その片面から厚肉部９以外のところをエ
ツチングし、このエツチングにより厚さ０．０５ｍｍ程
度の薄肉部８を形成する。

その後、薄肉部８にスリットパターンを印刷して、スリ
ットの部分だけをエツチングにより除去し、スリット６
を形成する。

このように、スリット６を形成する薄肉部８を充分な薄
さに形成すると、エツチングによって形成されるスリッ
ト６の加工精度を向上することができる。

例えば、ピッチ０．８４７ｍｍ、個数４００個の場合で
、スリットピッチの誤差を±０．０１ｍｍ程度にするこ
とが可能である。

また、この薄肉部８の左右両端部及び下側縁部には厚内
部９が一体に形成されているので、充分な剛性をも有し
、薄肉部８の直線性が損なわれることもない。

尚、上記実施例は、薄肉部８の左右両端部及び下側縁部
にのみ補強用の厚肉部９を形成した場合の実施例である
が、本考案の要旨はこれに限定されるものではなく、薄
肉部８の左右両端部及び上下両側縁部の全体に厚肉部９
を形成することも勿論可能である。

また、上記実施例は、スリット６の加工手段としてエツ
チングを採用した場合について説明したが、本考案の要
旨はこれに限定されるものではなく、リニアパルスモー
タに用いられるスリット板として充分な高精度にスリッ
トを形成可能な手段であれば、公知に属する任意の加工
手段を用いることができる。

また、上記実施例は、スリット板５をステータ１の一側
縁に取付けた場合の実施例であるが、本考案の要旨は、
スリット板５をスライダ３の移動方向と平行に取付ける
点に存するのであって、スリット板の取付は位置として
はこれに限定されるものではない。

例えば、ステータ１を設定するマシーンペースにもスリ
ット板５が取付は可能であることは当然である。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案によれば、スリット板を薄
肉部と厚肉部とで構成し、その薄肉部にスリットを形成
したのでスリットピッチの精度を向上させることができ
ると共に、その薄肉部は厚内部によって補強されるから
、スリット板の直線性が損なわれることもない。

したがって、スライダの位置検出を正確に行なえる利点
がある。

【図面の簡単な説明】 第１図は本考案の一実施例に係るリニアパルスモータの
平面図、第２図は第１図の■−■線断面図、第３図は同
モータに用いられるスリット板の拡大斜視図である。 １・・・・・・ステータ、３・・・・・・スライダ、５
・・・・・・スリット板、６・・・・・・スリット、７
・・・・・・光検出器、８・・・・・・薄肉部、９・・
・・・・厚肉部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 直線状のステータと、このステータ上を移動スるスライ
   ダと、そのスライダの移動方向と平行に延び所定ピッチ
   でスリットが形成されているスリット板と、前記スライ
   ダに取付けられ、前記スリット板の片側に発光素子を反
   対側に受光素子を配置する光検出器とを備えたリニアパ
   ルスモータにおいて、前記スリット板として、前記スリ
   ットが形成される部分の肉厚を薄肉に形成し、その薄肉
   部の少なくとも一側線に沿って厚肉部を形成したスリッ
   ト板を用い、前記薄肉部に前記スリットを形成したこと
   を特徴とするリニアパルスモータ。