JPS5936364Y2 - 表面研磨機における加圧装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はミラーポリッシングマシンなどの表面研磨機に
おける加圧装置の改良に関するものである。

従来、工作物の表面仕上にはラップ盤、パフ盤などの研
磨機が用いられ、中でも薄板等の精密な被加工物の表面
仕上研磨にはミラーポリッシングマシンが使用されてい
る。

ところで、前記各種表面研磨機において、被加工物の表
面に砥粒などの研磨剤を介し、あるいは直接研磨体など
を押しつけるための加圧装置としては、研磨ヘッドの重
量を利用するものとが、空気圧または油圧等の流体圧に
よるシリンダ装置を利用するものなどが公知であるが、
前記研磨仕上の際の加圧力には被加工物の大きさおよび
仕上状況などにより、たとえば５００ ｋｇ程度の高加
圧力がら３ｋｇ程度の低加圧力までを必要とする場合が
あり、たとえば１個の流体圧シリンダ装置を用いて前記
広範囲の加圧力を付与しようとすれば特に低加圧時に減
圧弁の極低圧コントロールが困難であり、またピストン
シールおよびロッドシールの抵抗が大きいために作動し
ないことがあり、事実上極低加圧は不可能であった。

本考案は従来の上記実情に鑑み、高加圧用と低加圧用の
二つの流体圧シリンダ装置をＬ形レバーを介して直列に
連結し、前記広範囲の加圧力を付与できるようにしたこ
とを特徴とするもので、以下図面に基づいて説明する。

第１図および第２図は本考案の一実施例を示し、第１図
は要部正面図、第２図は同斜視図で、ベッド１上には下
定盤２が図示しない無段変速モータなどの回転装置によ
りたとえば矢印方向に回転可能に設けられており、その
下定盤２の上方には下端部に加圧板３を装着した加圧軸
４が垂直方向に配され、水平アーム状のフレーム５の先
端部に垂直方向移動自在に保持されている。

前記フレーム５の基端部はベッド１上に固着した垂直方
向筒状のコラム６に軸支された旋回軸（図示せず）に取
付けられていて図示しない旋回用モータにより加圧板３
を下定盤２上たとえば６０°範回旋回（揺動）可能にな
っている。

さらに前記旋回軸内部には駆動軸を通し、下部に直結し
た無段変速モータなどの回転装置からフレーム５内に組
込んだ減速歯車を介して前記加圧軸４を回転可能にして
あり、そのため加圧軸４はたとえばボールスプライン軸
にして軸方向移動時の抵抗を極力小さくするようにしで
ある。

そして前記加圧板３下面にたとえば真空チャック式に被
加工物の薄板等を取付けて下定盤２上に張付けたクロス
に所定加圧力で押しつけ、表面を研磨仕上するのである
が、そのための加圧装置として前記フレーム５上にほぼ
水平方向に高加圧用流体圧シリンダ装置７を装着し、そ
のロッド８先端部を、前記フレーム５後端部に支点を枢
着したＬ形レバー９の垂直状アーム１０の上端部に枢着
し、前記フレーム５上にシリンダ装置７を跨いで両側に
固着したブラケット１２に天びん状レバー１３の中央部
をピンにより枢着し、その天びん状レバー１３の一端部
に前記加圧軸４の上端部を外周にすべり溝を設けたベア
リングケース１４を介してすべりピン１５により枢着し
、天びん状レバー１３の他端部と前記り形レバー９の水
平状アーム１１の先端部との間をほぼ垂直状に配した低
加圧用流体圧シリンダ装置１６を介して連結しである。

すなわち第３図に示すように、低加圧用流体圧シリンダ
装置１６の上部はシリンダ１８部を上側にして筒状の加
圧金物２２内に上下方向摺動可能に保持し、加圧金物２
２の上端面に固着するふた状のロードセル取付板２３の
中央部下面にロードセル２４を装着してその接触子先端
をシリンダカバ−１９中央部に固着した栓２０に当接す
るようにしてあり、前記加圧金物２２の下部両側に突設
したピン部２５を前記天びん状レバー１３の他端部に枢
着し、前記シリンダ１８内に流体圧を作動させるとロッ
ド１７を基準にしてシリンダ１８が上昇し、シリンダカ
バ−１９中央部の栓２０がロードセル２４の接触子に当
接し、その場合の加圧力がロードセル２４、ロードセル
取付板２３、加圧金物２２およびピン部２５を経て天び
ん状レバー１３の他端部を押し上げ、加圧軸４の上端部
を枢着した一端部を押し下げて加圧板３に加圧力を作用
させるようにしてあり、この場合の加圧力は前記ロード
セル２４で直接測定することができる。

次に前記高加圧用流体圧シリンダ装置７を作動させた場
合は前記り形レバー９の垂直状アーム１０上端部が矢印
方向に引き寄せられ、たとえば３：１のてこ比にした水
平状アーム１１先端部のロッド１７下端部が３倍の推力
で押し上げられてその上端部がシリンダカバー１９の栓
２０を突き上げ、以下前記同様の順序を経て加圧板３に
高加圧力を作用させるのである。

前記各シリンダ装置７，１６はいずれも摩擦抵抗の少い
ようにベロフラム式エヤーシリンダ装置とし、たとえば
低加圧用で３〜５０ ｋｇ、高加圧用で３０〜５００
ｋｇの加圧力を与えるようにしであるが、摩擦抵抗を問
題にしない場合には他の形式あるいは他の油圧、水圧等
の流体圧シリンダ装置を使用することもできる。

なお前記低加圧用流体圧シリンダ装置１６のロッド１７
下端部は第４図に示すように、Ｌ形レバー９の水平状ア
ーム１１先端部に両側ピン部を軸支した揺動軸２６の中
央上部に折れ曲がり可能な枢着部２７を設け、直線状の
場合には１本のロッド同様に作用して前記低加圧および
高加圧にも耐え、Ｌ形レバー９の一方の側面に装着した
揺動モータ２８により前記揺動軸２６を第５図に示すよ
うに約半回転させると、ロッド１７の途中が折れ曲がっ
て引下げられ、反対側の加圧板３を上昇させて被加工物
の着脱を容易にしているが、たとえば下定盤２を昇降可
能にした場合などには前記ロッド１７下端部は直接水平
状アーム１１先端部に枢着するようにしてもよい。

また各シリンダ装置７，１６に作動させる流体の圧力値
から加圧板３に作用する加圧力を算出する場合には前記
ロードセル２４を省略し、低加圧用流体圧シリンダ装置
１６のシリンダ１８を直接天びん状レバー１３の他端部
に枢着するようにしてもよい さらに前記低加圧用流体圧シリンダ装置１６は極低加圧
時において敏感に作動するようシリンダ１８およびシリ
ンダカバー１９をアルミニウム製とし、あるいはロード
セル２４の表示圧力と加圧板３に作用する加圧力をバラ
ンスさせるためたとえばロードセル取付板２３上部にバ
ランスウェイト２９を設けるなどすればよい。

本考案は以上のように構成されるから、広範囲の加圧力
に対して高加圧は勿論、特に極低加圧にも正確、容易に
対処することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第５図は本考案の一実施例を示し、第１図は要
部正面図、第２図は同斜視図、第３図は第１図ＩＩＩ部
の縦断面図、第４図は第１図ＩＶ部の分解正面図、第５
図は第１図ＩＶ部の移動状態説明図である。 １：ベッド、２：下定盤、３：加圧板、４：加圧軸、５
：フレーム、６：コラム、７：高加圧用流体圧シリンダ
装置、８：ロッド、９：Ｌ形しバー、１０：垂直状アー
ム、１１：水平状アーム、１２ニブラケツト、１３：天
びん状レバー、１４：ベアリングケース、１５：すベリ
ピン、１６：低加圧用流体圧シリンダ装置、１７：ロッ
ド、１８ニジリンダ、１９ニジリンダカバー、２０：栓
、２１：ベロフラム、２２：加圧金物、２３：ロードセ
ル取付板、２４：ロードセル、２５：ピン部、２６：揺
動軸、２７：枢着部、２８：揺動モータ、２９：バラン
スウェイト。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 下端部に加圧板３を装着した加圧軸４を水平アーム状フ
   レーム５の先端部に垂直方向移動自在に保持し、前記フ
   レーム５上にほぼ水平方向に装着した高加圧用流体圧シ
   リンダ装置７のロッド８先端部を、前記フレーム５後端
   部に支点を枢着したＬ形レバー９の垂直状アーム１０上
   端部に枢着し、前記フレーム５上に固着したブラケット
   １２に中央部を枢着した天びん状レバー１３の一端部に
   前記加圧軸４の上端部を枢着し、天びん状レバー１３の
   他端部と前記り形レバー９の水平゛状アーム１１先端部
   とを低加圧用流体圧シリンダ装置１６を介して連結した
   ことを特徴とする表面研磨機における加圧装置。