JPS5943328A - 差圧伝送器 - Google Patents
差圧伝送器Info
- Publication number
- JPS5943328A JPS5943328A JP15384682A JP15384682A JPS5943328A JP S5943328 A JPS5943328 A JP S5943328A JP 15384682 A JP15384682 A JP 15384682A JP 15384682 A JP15384682 A JP 15384682A JP S5943328 A JPS5943328 A JP S5943328A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- diaphragm
- receiving
- casing
- sensitive element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、差圧を検１４）シその差１Ｆに対応し７／こ
？１１゜気信号を出力する差圧伝送器に係り、特に−ｔ
の４１ｑ造に関する。
？１１゜気信号を出力する差圧伝送器に係り、特に−ｔ
の４１ｑ造に関する。
〔発明の技術向背ｊｔと一七の問題点」従来の差圧伝送
器の一例を′＄；１図に示す。第１図において、高圧側
被測定流体が流入する（Ａｌ′、人Ｌ１（１ａ）を有す
るフランジ（１１と、低）ｆ、 １１（Ｉｆ ４測定υ
ｌ（体が流入する流入口（２ａ）全治するフランジ（２
）とは、それぞれ高圧（ｉｌｌｌダイ“ｒフラム（３）
および低圧側ダイアフラム（４）を介してケーシング（
５１，（６）および（７）に密着固定されている。また
、ケーシング（５）、（６）、（７）の受圧ダイアフラ
ノ、＋３）、（４）に対向する面にはそれぞれダイア゛
ノラト座商（３Ａ）、（４Ａ−）が形成されでいる。ケ
ーシング（５）、（６）、（１）とフランジ（＋）、（
２＋とＵシール部材（８）によって液密にシールされて
いる。そして、ケージング（５）、（６）間には中間ダ
イアフラム（９）が介在されている。
器の一例を′＄；１図に示す。第１図において、高圧側
被測定流体が流入する（Ａｌ′、人Ｌ１（１ａ）を有す
るフランジ（１１と、低）ｆ、 １１（Ｉｆ ４測定υ
ｌ（体が流入する流入口（２ａ）全治するフランジ（２
）とは、それぞれ高圧（ｉｌｌｌダイ“ｒフラム（３）
および低圧側ダイアフラム（４）を介してケーシング（
５１，（６）および（７）に密着固定されている。また
、ケーシング（５）、（６）、（７）の受圧ダイアフラ
ノ、＋３）、（４）に対向する面にはそれぞれダイア゛
ノラト座商（３Ａ）、（４Ａ−）が形成されでいる。ケ
ーシング（５）、（６）、（１）とフランジ（＋）、（
２＋とＵシール部材（８）によって液密にシールされて
いる。そして、ケージング（５）、（６）間には中間ダ
イアフラム（９）が介在されている。
この中間ダイアフラム（９）と高圧４１１１ｊ受圧タイ
アフラム（３）とによって形成された第１圧力室す（１
）内には圧力伝達媒体（１２Ａ）が、中間ダイアフラム
（９）と低圧側受圧ダイアフラム（４）とによって形成
きれた第２圧力室（１１）内にＣま圧力伝達媒体（１２
Ｂ）がそれぞれ充填されている。また、前記ケーシング
（７）内には半導体感圧素子１：１３）が設けられ、こ
の半導体感圧素子（＋３１は、連通孔（１，４）、４１
．５１を介して圧力伝達媒体（１２Ａ）。
アフラム（３）とによって形成された第１圧力室す（１
）内には圧力伝達媒体（１２Ａ）が、中間ダイアフラム
（９）と低圧側受圧ダイアフラム（４）とによって形成
きれた第２圧力室（１１）内にＣま圧力伝達媒体（１２
Ｂ）がそれぞれ充填されている。また、前記ケーシング
（７）内には半導体感圧素子１：１３）が設けられ、こ
の半導体感圧素子（＋３１は、連通孔（１，４）、４１
．５１を介して圧力伝達媒体（１２Ａ）。
（１２Ｂ）で二つの受圧面に伝達される圧力の差圧を検
出し、この差圧に対応しだ市気悄号に変換し、リード線
ＬＩｉ３）を介Ｉ〜で外部へ出力する。
出し、この差圧に対応しだ市気悄号に変換し、リード線
ＬＩｉ３）を介Ｉ〜で外部へ出力する。
この構造では、一般的には中間ダイアフラム（９）のＭ
ｌｌ性が受圧ダイアフラム（３）、（４）の剛性にくら
べて充分大きい設計になつ１いるので、半導体感圧素子
０３）に伝達される差圧への影響は極めで小さい。
ｌｌ性が受圧ダイアフラム（３）、（４）の剛性にくら
べて充分大きい設計になつ１いるので、半導体感圧素子
０３）に伝達される差圧への影響は極めで小さい。
また、中間ダイアフラム＋９） ｉ”ｌ：過大差圧から
感圧素子を保護する目的で設けらｔｔでおり、例えば高
圧側から低圧側にくらべて大きい圧力が加わると、中間
ダイアフラム（９）は図示右方向に移動Ｌ 、その撓ん
だ容積外たり高圧側受圧ダイアフラム（３）が図示右方
向へ移動する。さらに大きな圧力が高圧側に加わると、
中間ダイアフラム（９）はさらに図示右方向へ移動し、
高圧側受圧タイアノラム（３）がダイアフラム部面（３
Ａ）に着座する。着座後は、さらに大きい圧力が高圧側
受圧ダイアフラム（３）に加わっても、圧力伝達媒体（
ｉｎ）に加わっている圧力は着座時の圧力の１まに保持
されるため、半導体感圧素子ｔｌ：３）が過大差圧で破
損する恐れはない。低圧側から高圧１１１１にくらべて
過大な圧力が加わった場合も同様に感化素子が保護され
る。
感圧素子を保護する目的で設けらｔｔでおり、例えば高
圧側から低圧側にくらべて大きい圧力が加わると、中間
ダイアフラム（９）は図示右方向に移動Ｌ 、その撓ん
だ容積外たり高圧側受圧ダイアフラム（３）が図示右方
向へ移動する。さらに大きな圧力が高圧側に加わると、
中間ダイアフラム（９）はさらに図示右方向へ移動し、
高圧側受圧タイアノラム（３）がダイアフラム部面（３
Ａ）に着座する。着座後は、さらに大きい圧力が高圧側
受圧ダイアフラム（３）に加わっても、圧力伝達媒体（
ｉｎ）に加わっている圧力は着座時の圧力の１まに保持
されるため、半導体感圧素子ｔｌ：３）が過大差圧で破
損する恐れはない。低圧側から高圧１１１１にくらべて
過大な圧力が加わった場合も同様に感化素子が保護され
る。
しかしながら、この構造の差圧伝送器には次のような欠
点がある。
点がある。
１．１１ 感圧素子０３）が受圧ダイアフラム（３＋
、＜４１から離れで配（召されでいるため、接液流体の
温１焦、すなわち受圧ダイアフラム内側の圧力伝達媒体
の温度と感圧素子（１ニヤの近傍の温度とが異なる場合
が生じ、この方式で一般的に行なわれている感Ｌ［−素
子近傍の温度を検出して温度誤差を補償する方法では誤
差を生じる。これは、圧力伝達媒体の温度による膨張、
収縮によって生ずる円上の発生に基く誤差が、温度が異
なると異なった値になるためである。
、＜４１から離れで配（召されでいるため、接液流体の
温１焦、すなわち受圧ダイアフラム内側の圧力伝達媒体
の温度と感圧素子（１ニヤの近傍の温度とが異なる場合
が生じ、この方式で一般的に行なわれている感Ｌ［−素
子近傍の温度を検出して温度誤差を補償する方法では誤
差を生じる。これは、圧力伝達媒体の温度による膨張、
収縮によって生ずる円上の発生に基く誤差が、温度が異
なると異なった値になるためである。
シ２〕 圧力伝達媒体は真空中で充分脱気した状態で
封入しなければならないため、高ハ： ｌ＋ｌｌＩ 、
低圧１１１１１に各々刊入口を設りる心安があるか、こ
の：ｌ−１人口を／１−ンンクの両受Ｊ、ｌＥタイアソ
ラム取イづ而や半導体感圧素子取付）Ｍｉ以外の１ｔ１
−口′こ設け・ｔければならず、ケーシングの構造が複
雑にｌす、／、ｌｕ−＋−：が兜（かしぐ手間がかかる
。
封入しなければならないため、高ハ： ｌ＋ｌｌＩ 、
低圧１１１１１に各々刊入口を設りる心安があるか、こ
の：ｌ−１人口を／１−ンンクの両受Ｊ、ｌＥタイアソ
ラム取イづ而や半導体感圧素子取付）Ｍｉ以外の１ｔ１
−口′こ設け・ｔければならず、ケーシングの構造が複
雑にｌす、／、ｌｕ−＋−：が兜（かしぐ手間がかかる
。
本発明は、ケーシング内の圧力伝達媒体の温度と感圧素
子の温１焦とが、接液流体の温度や周囲温度が変っても
常にほぼ同一温度になるような構造で且つ加工の容易な
構造を持った差圧伝送器を提供することを目的とする。
子の温１焦とが、接液流体の温度や周囲温度が変っても
常にほぼ同一温度になるような構造で且つ加工の容易な
構造を持った差圧伝送器を提供することを目的とする。
本発明は、ケーシングの両嬬にそノ９ぞれ周縁部をシー
ルされて設けられた受圧ダイアフラムと、これら受圧ダ
イアフラムにより閉塞されノξ＾１１記ノｒ−シング内
空間を第１圧力室および第２圧力室に隔離するようにケ
ーシング内に配置された弾性部材と、前記第１および第
２の圧力室にそれぞれ封入された圧力伝達媒体と、前記
ケーシング内に設けられ一方の受圧面が前記第１圧力室
に他方の受圧素子とを有し、前記両受圧ダイアフラムに
開力１１された被１１１１定流体間の差圧を検出う゛る
差用伝込２：（において、前６己両受圧タイアフラムと
目ｆｌ ＮＬ弾性部材と前記半導体感圧素子の各々の受
圧面が１ｊいに平行且つそれらの中心が同一軸線上にイ
・）るよう（・ご配置されたことを特徴とする差圧伝送
器４−実現して所期の目的を達成１−１た。
ルされて設けられた受圧ダイアフラムと、これら受圧ダ
イアフラムにより閉塞されノξ＾１１記ノｒ−シング内
空間を第１圧力室および第２圧力室に隔離するようにケ
ーシング内に配置された弾性部材と、前記第１および第
２の圧力室にそれぞれ封入された圧力伝達媒体と、前記
ケーシング内に設けられ一方の受圧面が前記第１圧力室
に他方の受圧素子とを有し、前記両受圧ダイアフラムに
開力１１された被１１１１定流体間の差圧を検出う゛る
差用伝込２：（において、前６己両受圧タイアフラムと
目ｆｌ ＮＬ弾性部材と前記半導体感圧素子の各々の受
圧面が１ｊいに平行且つそれらの中心が同一軸線上にイ
・）るよう（・ご配置されたことを特徴とする差圧伝送
器４−実現して所期の目的を達成１−１た。
〔発明の実施＋４’ｊ＋ ）
以下、不発明の宋屏（１例を同曲４′を照１．＝て説、
明−１−る。
明−１−る。
第２図（ａ）、（＋））に本発明一実施例（７）差比伝
送器を示す。第２図ｔａ＋ ｆ＋：；ｌ：断面図、第２
図（１））は第２図（ａ）（”）Ａ矢視要部図である。
送器を示す。第２図ｔａ＋ ｆ＋：；ｌ：断面図、第２
図（１））は第２図（ａ）（”）Ａ矢視要部図である。
図中、ｔ２＋）、ｌ肋はフランジ、（２１ａ）は高Ｆ：
Ｔ、Ｅ側流入１−１、（Ｚ２ａ）は低ＦＥ １１１１流
入口、に：３）、＋、、！４） ハ受圧ダイアフラムで
、子れぞれ対向面にはタイｒ７ ラＡ １１ 而（２３
Ａ） 、 （２４Ａ）がある。ｔ２ｉｉ）は′１−ジン
ク、（）ｔｉ）はダイアフラム座面（２３Ａ）を有する
高圧側フ［フック、（２７）はダイアフラム座面（２４
Ａ）をイ）する低圧側ブ［１ツク、（、）印はフランジ
レＩ）、ｔｇ：４＋とノｒ−ジノグ（２５）との間ケシ
ールするシール部、（、！！１１は弾性ｆ（１（利例え
Ｑ丁タイｊ′フラムからなる中間夕・イアーノラムで、
ｒ−）る。（γ））（・、ｊ、商１Ｌ側に形成された第
１圧力室、ＧＥ ＆；Ｉ、低）１−囮に形成され／Ｃ第
２圧力室で、−そＩｔぞれ圧力伝達媒体（，３２Ａ）。
Ｔ、Ｅ側流入１−１、（Ｚ２ａ）は低ＦＥ １１１１流
入口、に：３）、＋、、！４） ハ受圧ダイアフラムで
、子れぞれ対向面にはタイｒ７ ラＡ １１ 而（２３
Ａ） 、 （２４Ａ）がある。ｔ２ｉｉ）は′１−ジン
ク、（）ｔｉ）はダイアフラム座面（２３Ａ）を有する
高圧側フ［フック、（２７）はダイアフラム座面（２４
Ａ）をイ）する低圧側ブ［１ツク、（、）印はフランジ
レＩ）、ｔｇ：４＋とノｒ−ジノグ（２５）との間ケシ
ールするシール部、（、！！１１は弾性ｆ（１（利例え
Ｑ丁タイｊ′フラムからなる中間夕・イアーノラムで、
ｒ−）る。（γ））（・、ｊ、商１Ｌ側に形成された第
１圧力室、ＧＥ ＆；Ｉ、低）１−囮に形成され／Ｃ第
２圧力室で、−そＩｔぞれ圧力伝達媒体（，３２Ａ）。
（３２Ｂ）が封入されている。けりは半導体感圧素子、
ぐ３イ）、（盾）は晶圧側連［出孔、ｑｌｌｉｊ 〜ｔ
’ｉ！Ｏ＆Ｊ、低圧側連通孔、Ｕ（））は感圧素子い、
；）の出力を外部へＪ■す１１旨１゛ためのり−ド線畷
を通すだめの孔で、低圧側の連通孔を兼ねでいる。
ぐ３イ）、（盾）は晶圧側連［出孔、ｑｌｌｉｊ 〜ｔ
’ｉ！Ｏ＆Ｊ、低圧側連通孔、Ｕ（））は感圧素子い、
；）の出力を外部へＪ■す１１旨１゛ためのり−ド線畷
を通すだめの孔で、低圧側の連通孔を兼ねでいる。
（４ｉ）、（４１’）は圧力伝達媒体の封入用孔に設け
られた封止体、（４２）、（４２’）は詞止体（４１）
、（４白を押えつける役目をする封止体弁えである。
られた封止体、（４２）、（４２’）は詞止体（４１）
、（４白を押えつける役目をする封止体弁えである。
しかして、この構造では、半導体感圧素子Ｃ（３）を、
ケーシング０５）の受圧ダイアフラム（２見Ｃ２４）の
受圧部と中間ダイアフラムＣ！Ｊ）の受圧部のそれぞれ
の中心を結ぶ軸線上にその受圧ｍ１の中心が来るように
配置。
ケーシング０５）の受圧ダイアフラム（２見Ｃ２４）の
受圧部と中間ダイアフラムＣ！Ｊ）の受圧部のそれぞれ
の中心を結ぶ軸線上にその受圧ｍ１の中心が来るように
配置。
しており、且つそれらの受圧部が互いに平行になるよう
にしている。また、圧力伝達媒体封入用孔とリード線取
出し口を同一方向に配置して同一方向からこれらの孔を
加工できるように］〜でいる。
にしている。また、圧力伝達媒体封入用孔とリード線取
出し口を同一方向に配置して同一方向からこれらの孔を
加工できるように］〜でいる。
また、前記各孔の方向と受用ダイアフラムイ、１２ａの
受圧方向とは互いに直角になるように配置ｊ〜でいる。
受圧方向とは互いに直角になるように配置ｊ〜でいる。
次に、本発明一実施例の差圧伝送器の作用を説明する。
高Ｉｆ側流入口（２１ａ）から入った高圧１ｊｌｌｌ
）Ｅ力は、受圧ダイアフラムＵ３）を介して圧力伝達媒
体（３２Ａ）に伝達され、中間ダイアフラノ、いに加わ
るとともに、高圧側ブロック（２６）内および周辺に形
成された高圧側連通孔Ｃ（４１を通り高圧側連通孔（゛
）つに伝達される。高圧側連通（し」９は半導体感圧素
子り（３）の一方の受圧部と４％Ｈ−側圧力伝達媒体封
入１」に通じており、圧力を感圧素子Ｃ■に伝達すると
ともに、圧力伝達媒体を封入する際にはこの連通孔Ｃ３
５）から感圧素子（ハ）およびその他の部分に圧力伝達
媒体が移動する。
）Ｅ力は、受圧ダイアフラムＵ３）を介して圧力伝達媒
体（３２Ａ）に伝達され、中間ダイアフラノ、いに加わ
るとともに、高圧側ブロック（２６）内および周辺に形
成された高圧側連通孔Ｃ（４１を通り高圧側連通孔（゛
）つに伝達される。高圧側連通（し」９は半導体感圧素
子り（３）の一方の受圧部と４％Ｈ−側圧力伝達媒体封
入１」に通じており、圧力を感圧素子Ｃ■に伝達すると
ともに、圧力伝達媒体を封入する際にはこの連通孔Ｃ３
５）から感圧素子（ハ）およびその他の部分に圧力伝達
媒体が移動する。
一方、低圧側流入口（２２ａ）から入った低圧側Ｆ）−
力０１、受圧ダイアフラムＣ２優を介して圧力伝達媒体
（３２Ｂ）に伝達され、低圧側連通孔間および（梵◆全
通つで中間ダイアフラノ−（２１に加わるとともに、低
圧側連通孔（司およびＩＪ ｌ−ド通し孔（４ｔ、Ｉｌ
により感圧素子−の他方の受圧部に圧力を伝達する。ま
〆ζ、低圧側連通孔Ｃ（ｌは低圧側連通孔（３１ｉ）と
ダわり低圧仙ｊ圧力伝達媒体刊入口にｔｌｈ、じている
。
力０１、受圧ダイアフラムＣ２優を介して圧力伝達媒体
（３２Ｂ）に伝達され、低圧側連通孔間および（梵◆全
通つで中間ダイアフラノ−（２１に加わるとともに、低
圧側連通孔（司およびＩＪ ｌ−ド通し孔（４ｔ、Ｉｌ
により感圧素子−の他方の受圧部に圧力を伝達する。ま
〆ζ、低圧側連通孔Ｃ（ｌは低圧側連通孔（３１ｉ）と
ダわり低圧仙ｊ圧力伝達媒体刊入口にｔｌｈ、じている
。
このようにり、て、半導体感圧素子（３、ａには一方の
受１］：、而に高圧側受１１−ダイアフラムＣ１３）に
印加された瓦 圧力が加わるとともに、他方の受圧部には低に＝ １１
１１１受圧ダイアフラムい）に印加された１Ｆカが和わ
り、これら両圧力の差圧を検出してその差）Ｅに対応し
７た電気信号をリード＃Ｍ （４：Ｃによシ外部へ送り
出す。
受１］：、而に高圧側受１１−ダイアフラムＣ１３）に
印加された瓦 圧力が加わるとともに、他方の受圧部には低に＝ １１
１１１受圧ダイアフラムい）に印加された１Ｆカが和わ
り、これら両圧力の差圧を検出してその差）Ｅに対応し
７た電気信号をリード＃Ｍ （４：Ｃによシ外部へ送り
出す。
いま、高圧側に低圧側より高い圧力が加わると、感圧素
子α号）にその差圧が加わるとともに、中間ダイアフラ
ム０９）が図示右方向に移動し、それに伴ない受圧ダイ
アフラムの）が右方向に移動する。さらに過大な圧力が
高圧側から加わると、中間ダイアフラム翰はさらに右方
向へ移動し、受圧ダイアフラムｍ３）がダイアフラム座
面（２３Ａ、）に着座する。着座後は、さらに過大な圧
力が高圧側受圧ダイアフラム（２３）に加わっても圧力
伝達媒体（３２Ａ）に加わっている圧力は着座時の圧力
に保たれ、感圧素子Ｃ＋：＜）の過大圧力による破損を
防止する。
子α号）にその差圧が加わるとともに、中間ダイアフラ
ム０９）が図示右方向に移動し、それに伴ない受圧ダイ
アフラムの）が右方向に移動する。さらに過大な圧力が
高圧側から加わると、中間ダイアフラム翰はさらに右方
向へ移動し、受圧ダイアフラムｍ３）がダイアフラム座
面（２３Ａ、）に着座する。着座後は、さらに過大な圧
力が高圧側受圧ダイアフラム（２３）に加わっても圧力
伝達媒体（３２Ａ）に加わっている圧力は着座時の圧力
に保たれ、感圧素子Ｃ＋：＜）の過大圧力による破損を
防止する。
なお、中間ダイアフラム四は必ずしもダイアフラムに限
らず、圧力が加ったときに移動可能な弾性部材（例えば
ベローズのようなもの）なら何でもよい。また、第２図
（ａ）、（ｂ）の実施例では、半導体感圧素子臼）の位
置を中間ダイアフラムに１）の図示右側に配置しだが、
左側に配置しても効果（・よ同じである。
らず、圧力が加ったときに移動可能な弾性部材（例えば
ベローズのようなもの）なら何でもよい。また、第２図
（ａ）、（ｂ）の実施例では、半導体感圧素子臼）の位
置を中間ダイアフラムに１）の図示右側に配置しだが、
左側に配置しても効果（・よ同じである。
本発明によ１７１ば次のような効果／バ青らノ′Ｌイ、
。
。
（」［半導体感圧素子（（：ｉ）を′１−−シング中央
部に配置し７だことにより、ゲージング内の感１−■−
素子取伺部を受圧タイアフラ１８受ＬＦ而ノ）向から加
二■ニーすることができ、４二た、受圧クイγフラム向
、中間タイアノラム而の中心と感圧素子近傍而の中心と
を同一１ｔＱｌ＋線１−に配置ｌ−たことにより、口芯
加工が州北になり、さらにと１１．らの各面を全でｑ、
いに平行に置いたことにより、リーシンクの加工が極め
て容易になる。
部に配置し７だことにより、ゲージング内の感１−■−
素子取伺部を受圧タイアフラ１８受ＬＦ而ノ）向から加
二■ニーすることができ、４二た、受圧クイγフラム向
、中間タイアノラム而の中心と感圧素子近傍而の中心と
を同一１ｔＱｌ＋線１−に配置ｌ−たことにより、口芯
加工が州北になり、さらにと１１．らの各面を全でｑ、
いに平行に置いたことにより、リーシンクの加工が極め
て容易になる。
〔２］ 感圧素子と受圧タイアフラト面との距１幣が
近いだめ、ケーシング内の大部分の１ト力伝達媒体の温
度と感圧素子の温度がはＩユ同一になる７”Ｃめ、感圧
素子近傍の温間を検出してｆ７ｉＡ Ｊ片誤差全抽イヘ
する方式でも充分良好な補償ができる。
近いだめ、ケーシング内の大部分の１ト力伝達媒体の温
度と感圧素子の温度がはＩユ同一になる７”Ｃめ、感圧
素子近傍の温間を検出してｆ７ｉＡ Ｊ片誤差全抽イヘ
する方式でも充分良好な補償ができる。
シ３） ＩＪ−ド糾取出口と圧力伝達媒体封入口が同
一方向に形成でき、寸た受圧方向に対して垂直な方向に
設置Ｎできるため加工が容易である。
一方向に形成でき、寸た受圧方向に対して垂直な方向に
設置Ｎできるため加工が容易である。
（４〕 中間ダイアフラムのケーシングへのシール部
の的イ千ｋ １．ＸＳ四十タイアフラムの／７−−シン
クへのシール部の直径より小さくシ、りことにより、ケ
ーシング内に形成する全ての連通孔の加Ｊｌ方向が、受
圧ダイアフラムの受圧方向およびリード線取り出しおよ
び圧力伝達媒体封入口の加工方向と同じ方向にすること
ができ、加二りが容易である。
の的イ千ｋ １．ＸＳ四十タイアフラムの／７−−シン
クへのシール部の直径より小さくシ、りことにより、ケ
ーシング内に形成する全ての連通孔の加Ｊｌ方向が、受
圧ダイアフラムの受圧方向およびリード線取り出しおよ
び圧力伝達媒体封入口の加工方向と同じ方向にすること
ができ、加二りが容易である。
〔５〕 ケーシング本体を小形、軽縦化できる。
第１図は差圧伝送器の従来例を示す断面図、第２図（ａ
）ｌ（１））は本発明一実施例の差圧伝送器を示すもの
で、第２図（ａ）は断面図、第２図（１））は第２図（
ａ）のＡ矢視要部図である。 ２１ 、２２・・・フランジ ２１ａ・・・高圧側流入「」 ２２ａ・・・低圧１１１１１流入口 ２３ 、２４・・・受圧ダイアフラム ２３Ａ 、 ２４Ａ・・・ダイアフラム座面２５・・・
ケーシング ２６・・・高圧側ブロック ２７・・・低圧側ブロック ２８・・・シール部 ２９・・・中間ダイアフラム ３０・・・第１Ｉ丁力室 ３１・・・第２圧力宰 ３２Ａ、３２Ｂ・・・圧力伝達媒体 ３３・・・半導体感圧素子 ：３４，３５・・・高）Ｅ側連通孔 ３６．３７，３８．３９・・・低圧側連通孔４０・・・
リード通し孔兼低圧側連通孔４１．４１’・・・封止体 ４２．４２’・・・封止体弁え ４３ ・・・ リ −−ド 昂蜜 代岬人 弁理士 井 −七 −実 弟１図 ７ム
）ｌ（１））は本発明一実施例の差圧伝送器を示すもの
で、第２図（ａ）は断面図、第２図（１））は第２図（
ａ）のＡ矢視要部図である。 ２１ 、２２・・・フランジ ２１ａ・・・高圧側流入「」 ２２ａ・・・低圧１１１１１流入口 ２３ 、２４・・・受圧ダイアフラム ２３Ａ 、 ２４Ａ・・・ダイアフラム座面２５・・・
ケーシング ２６・・・高圧側ブロック ２７・・・低圧側ブロック ２８・・・シール部 ２９・・・中間ダイアフラム ３０・・・第１Ｉ丁力室 ３１・・・第２圧力宰 ３２Ａ、３２Ｂ・・・圧力伝達媒体 ３３・・・半導体感圧素子 ：３４，３５・・・高）Ｅ側連通孔 ３６．３７，３８．３９・・・低圧側連通孔４０・・・
リード通し孔兼低圧側連通孔４１．４１’・・・封止体 ４２．４２’・・・封止体弁え ４３ ・・・ リ −−ド 昂蜜 代岬人 弁理士 井 −七 −実 弟１図 ７ム
Claims (3)
- （１）ケーシングの両端にそれぞれ周縁部をシールされ
て設けられだ受圧ダイアフラムと、これらの受圧ダイア
フラムにより閉塞された前記ケーシング内？Ｐ間を第ｉ
ｃ力室および第２ Ｉｆ力室に隔離するようにケーシン
グ内に配置された弾性部材と、前記第１および第２の圧
力室にそれぞれ封入された圧力伝達媒体と、前記ケーシ
ング内に設けられ一方の受圧面が前記第１圧力室に他方
の受圧面が前記第２圧力室にそれぞれ連通し画室の差圧
を検出し電気信号に変換して出力する半導体感）１ミ素
子とを有し、前記両受圧ダイアフラムに印加された被測
定流体間の差圧を検出する差圧伝送器において、１１１
記両受圧ダイアフラムと前記弾性部材とｊａｉｌＵ半導
体感上素子の各々の受圧＋ｆ＋ｉが互いに平行且つそれ
らの中心が同一軸線上にあるように配置されたことを％
徴とする差圧伝送器。 - （２）圧力伝達媒体の封入口と半導体感圧素子の出力信
号リード取出し口とが同一方向にあυ且っ受圧ダイアフ
ラムの受圧方向と直角な方向に配置されたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の差圧伝送器。 - （３）弾性部材がダイアフラムであり、このダイアフラ
ムのケーシングへのシール部の直径が受）（三ダイアフ
ラムのケーシングへのシール部の直径より小さいことを
特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項のいずれ
か１項に記載の差圧伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15384682A JPS5943328A (ja) | 1982-09-06 | 1982-09-06 | 差圧伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15384682A JPS5943328A (ja) | 1982-09-06 | 1982-09-06 | 差圧伝送器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5943328A true JPS5943328A (ja) | 1984-03-10 |
Family
ID=15571374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15384682A Pending JPS5943328A (ja) | 1982-09-06 | 1982-09-06 | 差圧伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5943328A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017225941A (ja) * | 2016-06-23 | 2017-12-28 | 佐藤 厳一 | 水処理装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5322483A (en) * | 1976-03-24 | 1978-03-01 | Ict Instruments | Transducer assembly for differential pressure measurement |
| JPS5379582A (en) * | 1976-12-21 | 1978-07-14 | Siemens Ag | Convertor for measuring diffenet pressure |
| JPS5485076A (en) * | 1977-12-20 | 1979-07-06 | Fuji Electric Co Ltd | Differential pressure measuring apparatus |
-
1982
- 1982-09-06 JP JP15384682A patent/JPS5943328A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5322483A (en) * | 1976-03-24 | 1978-03-01 | Ict Instruments | Transducer assembly for differential pressure measurement |
| JPS5379582A (en) * | 1976-12-21 | 1978-07-14 | Siemens Ag | Convertor for measuring diffenet pressure |
| JPS5485076A (en) * | 1977-12-20 | 1979-07-06 | Fuji Electric Co Ltd | Differential pressure measuring apparatus |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017225941A (ja) * | 2016-06-23 | 2017-12-28 | 佐藤 厳一 | 水処理装置 |
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