JPS5945172B2 - 電歪駆動型試料移動装置 - Google Patents
電歪駆動型試料移動装置Info
- Publication number
- JPS5945172B2 JPS5945172B2 JP2797477A JP2797477A JPS5945172B2 JP S5945172 B2 JPS5945172 B2 JP S5945172B2 JP 2797477 A JP2797477 A JP 2797477A JP 2797477 A JP2797477 A JP 2797477A JP S5945172 B2 JPS5945172 B2 JP S5945172B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating disk
- body member
- moving device
- drive type
- sample moving
- Prior art date
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- Expired
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、物体の位置を精度よく移動する試料移動装置
に関するものである。
に関するものである。
先に特公昭５１−１２４９７、および特願昭５ｌ−６０
０１７（特開昭ｓ ２−１４３７５０ ）において、高
精度で物体の位置を移動させることができる新規の試料
移動装置を提供した。
０１７（特開昭ｓ ２−１４３７５０ ）において、高
精度で物体の位置を移動させることができる新規の試料
移動装置を提供した。
第１図および第２図においてその基本構造を動作原理に
ついて述べるが、この装置の特徴とするところは、逆圧
電効果を有する部材に電圧を印加した場合に生じる伸縮
効果と、該部材の両端に固定した静電クラッチあるいは
電磁クラッチの吸着効果を利用し、電圧印加を交互に繰
り返すことによって得られるステップ移動を利用したも
のである。
ついて述べるが、この装置の特徴とするところは、逆圧
電効果を有する部材に電圧を印加した場合に生じる伸縮
効果と、該部材の両端に固定した静電クラッチあるいは
電磁クラッチの吸着効果を利用し、電圧印加を交互に繰
り返すことによって得られるステップ移動を利用したも
のである。
第１図すにおいて、１は逆圧電効果を呈する材料からな
る胴部材（逆圧電効果を最大にするために円筒状が望ま
しい）、２は胴部材の端面に固定された脚部材である。
る胴部材（逆圧電効果を最大にするために円筒状が望ま
しい）、２は胴部材の端面に固定された脚部材である。
３，４は半導電性誘電体よりなる摺動子部材であり試料
台７との間に電圧を印加することにより両者の間に吸引
力が働き、試料台７を保持することができる。
台７との間に電圧を印加することにより両者の間に吸引
力が働き、試料台７を保持することができる。
胴部材１と脚部材２とは絶縁されており、脚部材２と摺
動子部材３とは導電性接着剤（図示せず）で接着固定さ
れている。
動子部材３とは導電性接着剤（図示せず）で接着固定さ
れている。
５は支持台で胴部材１をベース６に支持するためのもの
である。
である。
本例においては、静電クラッチ式を示すが、磁気的効果
を問題にしてない場合には、磁性体よりなる摺動子部材
に導線を巻いて、電流を流して摺動子部材を磁化させる
ことにより得られる電磁力を利用した電磁クラッチ式を
用いてもよい。
を問題にしてない場合には、磁性体よりなる摺動子部材
に導線を巻いて、電流を流して摺動子部材を磁化させる
ことにより得られる電磁力を利用した電磁クラッチ式を
用いてもよい。
本発明における実施例においても同様である。
胴部材１の内外面には電圧印加用の電極が被着してあり
、この電極間にスイッチＳ３を介して、電源Ｅ３が接続
され電圧を印加することができる。
、この電極間にスイッチＳ３を介して、電源Ｅ３が接続
され電圧を印加することができる。
また、摺動子部材３，４と試料台７との間にもスイッチ
Ｓ１を介して電源Ｅ１の電圧が、スイッチＳ２を介して
電源Ｅ２の電圧をそれぞれ印加することが可能なように
なっている。
Ｓ１を介して電源Ｅ１の電圧が、スイッチＳ２を介して
電源Ｅ２の電圧をそれぞれ印加することが可能なように
なっている。
いま、胴部材および各摺動子部材に対して電圧印加状態
を１、電圧を印加してない状態をＯとすると、試料台７
を左方に移動させる場合、第２図のような順序で各部に
電圧を印加させればよい。
を１、電圧を印加してない状態をＯとすると、試料台７
を左方に移動させる場合、第２図のような順序で各部に
電圧を印加させればよい。
詳細な動作説明については省略する。
第１図ａは試料台７をとりはずした状態を装置上部から
みた場合の各部の配置を示したものである。
みた場合の各部の配置を示したものである。
ここで囚、（３）、Ｃはそれぞれの部分に電圧を印加す
るための電源およびスイッチをふくめて記号をつけたも
のであり、一例として囚についてはスイッチＳ１ と電
源Ｅ１ とを含めているものとする。
るための電源およびスイッチをふくめて記号をつけたも
のであり、一例として囚についてはスイッチＳ１ と電
源Ｅ１ とを含めているものとする。
本発明は、上述の如く電歪１駆動によって試料台を任意
の位置に移動することが可能な装置において、試料台に
回転機構を附加することを可能にしたものである。
の位置に移動することが可能な装置において、試料台に
回転機構を附加することを可能にしたものである。
実施例
以下、本発明を実施例を参照して詳細に説明する。
第３図は本発明の一実施例を示すものである。
ａはｂのＡ−Ａ衝面図であるその概略構造は、第１図に
示した如く、試料台を移動可能な構成部とその下部に上
記試料台に対して回転運動を加えることができる駆動部
を附加したことである。
示した如く、試料台を移動可能な構成部とその下部に上
記試料台に対して回転運動を加えることができる駆動部
を附加したことである。
ただ、本実施例においては、第１図に示した構造につい
て、上下を逆にして固定した状態となっている。
て、上下を逆にして固定した状態となっている。
支持台５と試料台７とは固定されている。試料移動機構
部の構成および駆動原理については第１図および第２図
を用いて上述したので、ここでは省略し、試料台回転機
構のみについて詳しく述べる。
部の構成および駆動原理については第１図および第２図
を用いて上述したので、ここでは省略し、試料台回転機
構のみについて詳しく述べる。
−１１は回転板であり、この回転板は二個の
摺動子部材１２，１３より支持されている。
摺動子部材１２，１３より支持されている。
さらに摺動子部材１２，１３は外筒１４で固定されてい
る。
る。
外筒１４の内部には回転駆動用の逆圧電効果を呈する円
筒状の胴部材が２個、絶縁物よりなる支持台９を介して
、外筒１４に固定されている。
筒状の胴部材が２個、絶縁物よりなる支持台９を介して
、外筒１４に固定されている。
胴部材８の先端には接触片１０がとりつけられており、
この間に回転板１１の軸が挿入されており、この軸と接
触片１０とは接触摩擦係数が非常に大きい状態を保って
いる。
この間に回転板１１の軸が挿入されており、この軸と接
触片１０とは接触摩擦係数が非常に大きい状態を保って
いる。
また、回転板１１と半導電性誘電体よりなる摺動子部材
１２，１３とは、それぞれスイッチＳ４ ｔＳ５ を介
して駆動用電源Ｅ４． Ｅ５が接続されており、スイッ
チの操作により、摺動子部材１２゜１３は回転板１１と
の間に引吸力が発生し、回転板を吸着する力が生ずるよ
うになっている。
１２，１３とは、それぞれスイッチＳ４ ｔＳ５ を介
して駆動用電源Ｅ４． Ｅ５が接続されており、スイッ
チの操作により、摺動子部材１２゜１３は回転板１１と
の間に引吸力が発生し、回転板を吸着する力が生ずるよ
うになっている。
胴部材８はＳ５をｏｎｐｏｆｆ することによりＥ６
の電圧が印加され、胴部材８は軸方向に伸縮を生じる。
の電圧が印加され、胴部材８は軸方向に伸縮を生じる。
このように構成された装置において、試料台を回転する
場合の手順について述べる。
場合の手順について述べる。
この場合、まずＳ４．Ｓ５をｏｆｆ の状態にすると回
転板１１と摺動子部材１２，１３との間には何ら力は発
生せずにいる。
転板１１と摺動子部材１２，１３との間には何ら力は発
生せずにいる。
この状態で８６をｏｎにすると胴部材８は軸方向に伸び
るために、これに伴って、接触片１０は移動するために
回転板１１の軸の部分には回転モーメントが作用して回
転板１１をある角度だけ回転させる。
るために、これに伴って、接触片１０は移動するために
回転板１１の軸の部分には回転モーメントが作用して回
転板１１をある角度だけ回転させる。
つぎにスイッチＳ４．Ｓ５をｏｎの状態にすると、回転
板１１は摺動子部材１２，１３に吸着する。
板１１は摺動子部材１２，１３に吸着する。
つぎの操作においてスイッチＳ６をｏｆｆ の状態に
すると胴部材８はもとの長さにもどるが、このとき回転
円板１１は摺動子部材１２，１３に吸着しているために
接触片１０は軸上を滑ってもとの位置になる。
すると胴部材８はもとの長さにもどるが、このとき回転
円板１１は摺動子部材１２，１３に吸着しているために
接触片１０は軸上を滑ってもとの位置になる。
これが回転板１１を回転させるための１ステツプであり
、この操作を連続して行なうことにより回転円板１１に
回転運動をあたえることができる。
、この操作を連続して行なうことにより回転円板１１に
回転運動をあたえることができる。
上述の如く、電歪素子の伸縮のみにより、試料をＸ、Ｙ
平面上を移動させることが可能であるとともに、所定の
位置において試料を回転させることが可能となりその効
果には著しいものがある。
平面上を移動させることが可能であるとともに、所定の
位置において試料を回転させることが可能となりその効
果には著しいものがある。
回転円板１１に回転運動をあたえる方式の他の一例とし
て第４図の如く、回転円板１１の軸にワイヤー１５をス
プリング１６を介して巻きつけ、ワイヤー１５を引くこ
とにより回転円板を回転させることができることは容易
に類推できる機構である。
て第４図の如く、回転円板１１の軸にワイヤー１５をス
プリング１６を介して巻きつけ、ワイヤー１５を引くこ
とにより回転円板を回転させることができることは容易
に類推できる機構である。
第１図は電歪駆動型試料移動装置の従来例を示す図、第
２図は従来装置の動作状態を示す図、第３図、第４図は
本発明の実施例を示す図である。
２図は従来装置の動作状態を示す図、第３図、第４図は
本発明の実施例を示す図である。
Claims (1)
- １ 軸受に保持された回転円板と、一端が前記回転円板
に二部に接し、他端が固定され、逆電圧効果により長さ
が伸縮せしめられる胴部材と、静電引力もしくは電磁力
により前記回転円板を拘束せしめるクラッチ手段とを有
し、前記胴部材への電圧印加、及び前記クラッチ手段の
電気的制御を交互に行なって前記胴部材の一端と前記回
転円板の接触部分の摩擦力により前記回転円板を回転移
動せしめる電歪駆動型試料移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2797477A JPS5945172B2 (ja) | 1977-03-16 | 1977-03-16 | 電歪駆動型試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2797477A JPS5945172B2 (ja) | 1977-03-16 | 1977-03-16 | 電歪駆動型試料移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS53114445A JPS53114445A (en) | 1978-10-05 |
| JPS5945172B2 true JPS5945172B2 (ja) | 1984-11-05 |
Family
ID=12235836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2797477A Expired JPS5945172B2 (ja) | 1977-03-16 | 1977-03-16 | 電歪駆動型試料移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5945172B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6312490U (ja) * | 1986-03-14 | 1988-01-27 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0071666B1 (en) * | 1981-08-10 | 1985-02-06 | International Business Machines Corporation | Electric travelling support |
-
1977
- 1977-03-16 JP JP2797477A patent/JPS5945172B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6312490U (ja) * | 1986-03-14 | 1988-01-27 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS53114445A (en) | 1978-10-05 |
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