JPS5946037A - ボンデイングワイヤ供給方法 - Google Patents
ボンデイングワイヤ供給方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明ｄ１１Ｃペレットとリードとの間などにボンデイ
ンクワイヤ（以下ワ・イヤとイヂトす）をＩｌ′−ｊけ
渡すボンディング装置のボンディングツールにワイヤを
供給する方法ＶＣ関するものである。
ンクワイヤ（以下ワ・イヤとイヂトす）をＩｌ′−ｊけ
渡すボンディング装置のボンディングツールにワイヤを
供給する方法ＶＣ関するものである。
ＩＣデツプのバンドとリードとの間のポンティングを行
なうＫは、ボンディング装置６のポンティングアームの
先端に設けらり、たポンティックノール（例えは金線用
のボールボンデインク用σ）ギヤピラリ−１或いはアル
εニウム線用のステノｆ−ホンディンク用のウェッジ）
にでワイヤを保持して対象物であるバット又はリードの
表面に接触せしめかつホンナインフラールに又ソイ−′
の一部なヂ１叱つぶして、熱圧縮により圧着するが超昔
−波の作用で溶着せしめる。
なうＫは、ボンディング装置６のポンティングアームの
先端に設けらり、たポンティックノール（例えは金線用
のボールボンデインク用σ）ギヤピラリ−１或いはアル
εニウム線用のステノｆ−ホンディンク用のウェッジ）
にでワイヤを保持して対象物であるバット又はリードの
表面に接触せしめかつホンナインフラールに又ソイ−′
の一部なヂ１叱つぶして、熱圧縮により圧着するが超昔
−波の作用で溶着せしめる。
例えば第１図に示１如くキャピラリ−１を用い、１ツイ
ヤ２の先端に形成したボール３をＩＣペレッｉ・４のパ
ッド５にポンティングする場合に］つき説、明する。６
はパッド５と接続すべきリードである。
ヤ２の先端に形成したボール３をＩＣペレッｉ・４のパ
ッド５にポンティングする場合に］つき説、明する。６
はパッド５と接続すべきリードである。
先ず、同図（ａ）の如くパッド５の直上の成る高さにキ
ャピラリーｌを位置せしめる。このときワイヤ２の先端
にはボール３が形成されている。
ャピラリーｌを位置せしめる。このときワイヤ２の先端
にはボール３が形成されている。
次にキャピラリー１を下降せしめで同図（１））の如く
ボール３をパッド５に接触せしめ、さらにギヤビラ’Ｊ
−１を押し上げてボール３をつぶし、同図（ｃ）の如
く扁平部８を形成する。この押しつぶし動作によりワイ
ヤ２をパッド５に固着せしめイ）に必要な押付力を与え
、また、扁平部８が形成室れて電気的接触に部分な接触
面積が確保される。その後キャピラリー１を上昇及び水
平方向にも移動せしめ、同図（ｄ）の如く、ボンドすべ
きリート６の上方に位置せしめ、二点鎖線の如くギヤビ
ラＩＪ−１を１降せしめて下端７によりワイヤ２の一部
を押し２つぶし５、扁平部９を形成してリード６に固定
せ［７め、ワイヤ２を引いて扁平部９の端から切断し、
その後キャピラリ−１を上昇せしめて一回のボンディン
グを終了する。その彷ワイヤ２の先端にトーチによりホ
ール３を形成し、第１図の８態に戻り、次のボンディン
グを行なう。
ボール３をパッド５に接触せしめ、さらにギヤビラ’Ｊ
−１を押し上げてボール３をつぶし、同図（ｃ）の如
く扁平部８を形成する。この押しつぶし動作によりワイ
ヤ２をパッド５に固着せしめイ）に必要な押付力を与え
、また、扁平部８が形成室れて電気的接触に部分な接触
面積が確保される。その後キャピラリー１を上昇及び水
平方向にも移動せしめ、同図（ｄ）の如く、ボンドすべ
きリート６の上方に位置せしめ、二点鎖線の如くギヤビ
ラＩＪ−１を１降せしめて下端７によりワイヤ２の一部
を押し２つぶし５、扁平部９を形成してリード６に固定
せ［７め、ワイヤ２を引いて扁平部９の端から切断し、
その後キャピラリ−１を上昇せしめて一回のボンディン
グを終了する。その彷ワイヤ２の先端にトーチによりホ
ール３を形成し、第１図の８態に戻り、次のボンディン
グを行なう。
この場合同図（ｄ）の如く、扁平部９を形ＤｙＬ、た後
に切断のためにワイヤ２を引込めろストロークをΔｘ２
とする。切断後のワイヤ２の先端はキーヤピラリ−１の
下端７よりほぼΔｘ２だけ引込んでいる。
に切断のためにワイヤ２を引込めろストロークをΔｘ２
とする。切断後のワイヤ２の先端はキーヤピラリ−１の
下端７よりほぼΔｘ２だけ引込んでいる。
ワイヤ２の先端に、ボール３を形成するに必要なワイヤ
２の突出長さをΔｘ１とすると、ボール形成のため、ワ
イヤ２をはｅτΔＸ、＋Δｘ２だけ繰出す必要がある。
２の突出長さをΔｘ１とすると、ボール形成のため、ワ
イヤ２をはｅτΔＸ、＋Δｘ２だけ繰出す必要がある。
以上のことは、アルミニウム純などに用いられるウェッ
ジボンディングの場合においてもステッチ部を形成する
必要があるので同様である。
ジボンディングの場合においてもステッチ部を形成する
必要があるので同様である。
このキャピラリー】やウニノアに対するワイヤ２の引込
め及び繰出しの操作は、ギヤピラ１１−１又はウェッジ
に供給されるワイヤ２を把持したり開放したりし、かつ
ワイヤ２の方向Ｋ Ｉ’ｆ：）って往４Ｍ可能に保持さ
れたワイヤクランプの掃作により行なうが、このワイヤ
クランプの往復移動ｄ、従来ｔｉ、一定速度で回転しボ
ンディング作業の１ザイクルに対し１回転するようなカ
ムにて駆動されていた。
め及び繰出しの操作は、ギヤピラ１１−１又はウェッジ
に供給されるワイヤ２を把持したり開放したりし、かつ
ワイヤ２の方向Ｋ Ｉ’ｆ：）って往４Ｍ可能に保持さ
れたワイヤクランプの掃作により行なうが、このワイヤ
クランプの往復移動ｄ、従来ｔｉ、一定速度で回転しボ
ンディング作業の１ザイクルに対し１回転するようなカ
ムにて駆動されていた。
従ってワイヤクランプの動きはカムの形状によって決め
られ、ワイヤ２の直径、ＵＪＪＩ、硬度、ボンティング
対象部分の大きさなどが異なる用台などの如く、ホール
やステッチを形成するに必做なΔｘ１を変えたり、切断
するに必要なストロークΔｘ２をり（゛えたりする場合
には、形状の異なるカッ、を用意してこれと交換せねば
ならず、交換の手間を要するばかりでなく、多くの種類
のノノノ・をＦ作し保・［イしておかねばならない欠点
があった。
られ、ワイヤ２の直径、ＵＪＪＩ、硬度、ボンティング
対象部分の大きさなどが異なる用台などの如く、ホール
やステッチを形成するに必做なΔｘ１を変えたり、切断
するに必要なストロークΔｘ２をり（゛えたりする場合
には、形状の異なるカッ、を用意してこれと交換せねば
ならず、交換の手間を要するばかりでなく、多くの種類
のノノノ・をＦ作し保・［イしておかねばならない欠点
があった。
本発明は、従来のものの上記の欠点を除き、ワイヤの引
込み、繰出し量、操作時期などの条件が変っても簡単に
対応でき、微少な１ｌｌｉ、ｌ整も可能となるホンティ
ングワイヤ供船方法を′Ｉ７ｆ供することを目的とする
ものである。
込み、繰出し量、操作時期などの条件が変っても簡単に
対応でき、微少な１ｌｌｉ、ｌ整も可能となるホンティ
ングワイヤ供船方法を′Ｉ７ｆ供することを目的とする
ものである。
本発明は、ホンディングツールに供給さｉするホンディ
ンクワイヤの把持及び開放を行なうワ・ｒヤクフンプを
、前記ポンチインクツールに幻し・前記ホンディンクワ
イヤの供給方向に沿っで札１幻的に接離往復連動可能と
なし、該接Ｐ、１［往後趣動をパルスモータ又はエンコ
ーダ付きモータを駆動源とする駆動機構により駆動し、
ボン１インクワイ−）・の先端にボール又はステッチを
形成するのに心火なボンディングツイヤの繰出し、及び
切断のためのホンディンクワイヤの引込みを９）なうこ
とを特徴としたホンティングワイヤ供船方法である。
ンクワイヤの把持及び開放を行なうワ・ｒヤクフンプを
、前記ポンチインクツールに幻し・前記ホンディンクワ
イヤの供給方向に沿っで札１幻的に接離往復連動可能と
なし、該接Ｐ、１［往後趣動をパルスモータ又はエンコ
ーダ付きモータを駆動源とする駆動機構により駆動し、
ボン１インクワイ−）・の先端にボール又はステッチを
形成するのに心火なボンディングツイヤの繰出し、及び
切断のためのホンディンクワイヤの引込みを９）なうこ
とを特徴としたホンティングワイヤ供船方法である。
本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第２１辺において、昇降フレーム２４＆ま、フレーム】
］の昇降カイト２５に沿って昇降可能に保持さｉｔてお
り、昇降フレー ム２４１チ一体に形成されているメネ
ジ部２６がネジ刊１２７に螺合しており、パルス−Ｅ
−タ２８又はエンコーダを用いたモータによりＨ降駆動
されるようになっている。昇降フレーム２４には水平ｉ
１１＋であるピン２９に上り回動可能に支えられた揺動
フレーム３０に超音波の振動子１０が固定され、ホンデ
ィングアームの作用をするホーン１３の先ψ；ＩＡにホ
ンディングア−ムであるキャピラリーｌが設けらｉｌて
いる。３１け荷降フレーム２４に固定さノ１．た板バネ
であり、偏心ピン３２を介して、揺動フレーム３０に常
に反時言１方向のモーメントを力え、押圧力付加機格と
してギヤビラＩＪ −１に下方向きの押圧力を与えてい
る。偏心ピン３２の偏心を調節することにより板バネ３
１の力を調節することができる。
］の昇降カイト２５に沿って昇降可能に保持さｉｔてお
り、昇降フレー ム２４１チ一体に形成されているメネ
ジ部２６がネジ刊１２７に螺合しており、パルス−Ｅ
−タ２８又はエンコーダを用いたモータによりＨ降駆動
されるようになっている。昇降フレーム２４には水平ｉ
１１＋であるピン２９に上り回動可能に支えられた揺動
フレーム３０に超音波の振動子１０が固定され、ホンデ
ィングアームの作用をするホーン１３の先ψ；ＩＡにホ
ンディングア−ムであるキャピラリーｌが設けらｉｌて
いる。３１け荷降フレーム２４に固定さノ１．た板バネ
であり、偏心ピン３２を介して、揺動フレーム３０に常
に反時言１方向のモーメントを力え、押圧力付加機格と
してギヤビラＩＪ −１に下方向きの押圧力を与えてい
る。偏心ピン３２の偏心を調節することにより板バネ３
１の力を調節することができる。
３３ｉｉ電磁石（（て４ｉ！成へり、たストッパーであ
り、荷降フレーム２４ Ｋ ｔｌ、１対的なギヤビラｊ
ｌ −］の最低位置をボめる。
り、荷降フレーム２４ Ｋ ｔｌ、１対的なギヤビラｊ
ｌ −］の最低位置をボめる。
３４はマグネセンサであり、揺動フレーム３０に取り付
けられたレバー３５に設けられた永久磁石のチップ３６
との相対距離に、即ち、マグネセンサ３４の中心に対す
るデツプ３６の中心のズレｈｔｔに応じた出力信号を制
御機構３７に送るようになっている。
けられたレバー３５に設けられた永久磁石のチップ３６
との相対距離に、即ち、マグネセンサ３４の中心に対す
るデツプ３６の中心のズレｈｔｔに応じた出力信号を制
御機構３７に送るようになっている。
即ち、キャビンＩＪ −１の昇降方向の変位に応じた出
力信号が制御機構３７に送られ、昇降フレート２４に相
対的なキャピラリー１の上下方向変位を検出する変位検
出機構として作用する。
力信号が制御機構３７に送られ、昇降フレート２４に相
対的なキャピラリー１の上下方向変位を検出する変位検
出機構として作用する。
しかして、揺動フ１／−ム３０がストッパー３３Ｖこ当
接している位置、即ちキャピラリー１が昇降ル−ツ・２
４に対して最低位置にあるときにズレ量ｔはゼロではな
く成る正の値ｔ。にしておく。即ち、その位置にて正の
出力信号が出力されているようにしである。
接している位置、即ちキャピラリー１が昇降ル−ツ・２
４に対して最低位置にあるときにズレ量ｔはゼロではな
く成る正の値ｔ。にしておく。即ち、その位置にて正の
出力信号が出力されているようにしである。
Ｊ８はワイヤ２のリールであり、ワイヤガイド４０を経
てワイヤ２をキャピラリー１に供給する。１９は主クラ
ンプ、２０は補助クランプであり、ソレノイド４］、４
２により開閉し、ワイヤ２を開放したり杷持したりする
ようになつでおり、ビン４’Ａ、４４により揺動フレー
ム３０に回動可能に支えられたクンンブアーｌ、４５
、４６に取り付けられている。クランブーｊ′−ム４５
，４Ｇの磨ｉ１ｉ Ｅ（にはカムロークラ４フ、４＋ｔ
カ・イ眉ｔえられバ才など（図ｔせず）Ｋよりカー１！
−：’ｌ）ｉ、３９に当４妾し恩ＩＩＪｌされるように
なっている。カッ・１８ 、３９ｔｒｏｔ、揺動フＬ、
−−ム３０にＪＴｙ付はリノしたパルス・し−タ４９．
５０又に１エンコーダ１で１き・モー４によりそＪｌ、
ぞれ態動される」、うになっている。パル７、−１−−
−り・１９゜５０の駆動Ｃ・こより、主クランプ１９、
神助クシ７ノ°２０は・Ａ−ヤビラＩＪ−１に則し相対
的に土１−シ、接１都往復運動が行なわれる。
てワイヤ２をキャピラリー１に供給する。１９は主クラ
ンプ、２０は補助クランプであり、ソレノイド４］、４
２により開閉し、ワイヤ２を開放したり杷持したりする
ようになつでおり、ビン４’Ａ、４４により揺動フレー
ム３０に回動可能に支えられたクンンブアーｌ、４５
、４６に取り付けられている。クランブーｊ′−ム４５
，４Ｇの磨ｉ１ｉ Ｅ（にはカムロークラ４フ、４＋ｔ
カ・イ眉ｔえられバ才など（図ｔせず）Ｋよりカー１！
−：’ｌ）ｉ、３９に当４妾し恩ＩＩＪｌされるように
なっている。カッ・１８ 、３９ｔｒｏｔ、揺動フＬ、
−−ム３０にＪＴｙ付はリノしたパルス・し−タ４９．
５０又に１エンコーダ１で１き・モー４によりそＪｌ、
ぞれ態動される」、うになっている。パル７、−１−−
−り・１９゜５０の駆動Ｃ・こより、主クランプ１９、
神助クシ７ノ°２０は・Ａ−ヤビラＩＪ−１に則し相対
的に土１−シ、接１都往復運動が行なわれる。
カム３８．３９は適当な形のものが用いられるが”、リ
ニヤ−カムとするのが割出１士有利に、するので好まし
い。
ニヤ−カムとするのが割出１士有利に、するので好まし
い。
２１はツイヤ２の先端にボールを形成せしめるだめの１
・−チであり垂直軸２２の１わりに回動し１４Ｊるよ゛
）になっ又いる。２３は、ベレット４の位１宣、及びパ
ッドの位置を検出する位ｉｔ検出装置−Ｃある、フレー
ム１ｌｌｊ’、ＸＹテーブル（図示ぜす）」二に載置さ
Ｉｔ、水平面内任意の方向（Ｃ移動ｏＪ ＊Ｉｇに支え
られている。
・−チであり垂直軸２２の１わりに回動し１４Ｊるよ゛
）になっ又いる。２３は、ベレット４の位１宣、及びパ
ッドの位置を検出する位ｉｔ検出装置−Ｃある、フレー
ム１ｌｌｊ’、ＸＹテーブル（図示ぜす）」二に載置さ
Ｉｔ、水平面内任意の方向（Ｃ移動ｏＪ ＊Ｉｇに支え
られている。
以上の如く構成された実施例の作用につき説明する。
なお、パルスモータ２８ 、４９ 、５０、ソレノイド
４１゜４２の作動は、プログラムからの信号又はシーケ
ンス信号或いｔｉｔ両者の混在した信号によって制御さ
れる。
４１゜４２の作動は、プログラムからの信号又はシーケ
ンス信号或いｔｉｔ両者の混在した信号によって制御さ
れる。
主クランプ１９及び補助クランプ２０の作用については
後述する。
後述する。
位置検出装Ｒ２３からの信号又は予め記憶されたブ「１
グラムに応じてフレーム１１かＸＹ方向に移動し、キャ
ビン＋７− Ｊをペレット４の所定のパッド５の上に位
置せしめ第１図（ａ）の如くなす。次にノくルスモータ
２８によりネジ軸２７を介して昇Ｖ６７Ｖ−ム２４を下
降ぜしめる。この下降工程の途中で第１図（ｂ）の如く
ボール３がパッド５に接触する。その後も昇降フレーム
２４は下降を続けるが、キャビンＩノー１は当初はパッ
ド５に当たって停止するので揺動フレート、３０はピン
２９のまわりを揺動し、偏心ビン３２が板バネ３１を押
す。板バネ３１の力によりキヤビン１７ １の下端７は
ボール３を押しっぷず。
グラムに応じてフレーム１１かＸＹ方向に移動し、キャ
ビン＋７− Ｊをペレット４の所定のパッド５の上に位
置せしめ第１図（ａ）の如くなす。次にノくルスモータ
２８によりネジ軸２７を介して昇Ｖ６７Ｖ−ム２４を下
降ぜしめる。この下降工程の途中で第１図（ｂ）の如く
ボール３がパッド５に接触する。その後も昇降フレーム
２４は下降を続けるが、キャビンＩノー１は当初はパッ
ド５に当たって停止するので揺動フレート、３０はピン
２９のまわりを揺動し、偏心ビン３２が板バネ３１を押
す。板バネ３１の力によりキヤビン１７ １の下端７は
ボール３を押しっぷず。
この押しつぶし期間に加熱或し２は超音波による振動が
与えられ、第１図（ｃ）の如き状態で、ワイヤ２の先端
は扁平部８によってパッド５と溶着し１ν・ＩＱされる
。
与えられ、第１図（ｃ）の如き状態で、ワイヤ２の先端
は扁平部８によってパッド５と溶着し１ν・ＩＱされる
。
次にパルスモータ２８を逆転させ昇降フレーム２４を上
昇せしめ、キャビンＩＪ−１を上昇せしめ、かつ水平移
動せしめ、第１図（ｄ）の如く、所定のり一部６の上に
位置せしめる。水平移動の終る前からハ／ｌ／ ス％
−夕２８を再び正転せしめてキーヤピラリ−１を下降せ
しめ、ワイヤ２の一部を押しつぶし、同時に加熱又は超
音波振動を加えて扁平部９をリード６に溶着せしめて固
定する。
昇せしめ、キャビンＩＪ−１を上昇せしめ、かつ水平移
動せしめ、第１図（ｄ）の如く、所定のり一部６の上に
位置せしめる。水平移動の終る前からハ／ｌ／ ス％
−夕２８を再び正転せしめてキーヤピラリ−１を下降せ
しめ、ワイヤ２の一部を押しつぶし、同時に加熱又は超
音波振動を加えて扁平部９をリード６に溶着せしめて固
定する。
次に、キャビンＩＪ −１を引き上げその途中で主クラ
ンプ１９の作用（後述）でワイヤ２を引き土けて溶着部
のきわから切断する。
ンプ１９の作用（後述）でワイヤ２を引き土けて溶着部
のきわから切断する。
キャピラリ−１をさらに上昇せしめ、ワイヤ２を相対的
に繰り出してキャピラリー１の下端７からＩｔ１だけ突
出せしめた状態で、トーチ２１によりボール３を形成せ
しめる。その後ボール３の土而がキャピラリ−１の下端
７と接するようツイヤ２を少し引き士げる。
に繰り出してキャピラリー１の下端７からＩｔ１だけ突
出せしめた状態で、トーチ２１によりボール３を形成せ
しめる。その後ボール３の土而がキャピラリ−１の下端
７と接するようツイヤ２を少し引き士げる。
しかしてキャピラリー１を、次のパッド５の庭土に位置
せしめて第１図（ａ）の状態となして、−一−リイクル
を終了し、次のザイクルが引続き行なわれる。
せしめて第１図（ａ）の状態となして、−一−リイクル
を終了し、次のザイクルが引続き行なわれる。
この−ザーイクルにおける主クランプ１９及び補助クラ
ンプ２０の作用を第３図及び第４図１／Ｃｊり説明する
。
ンプ２０の作用を第３図及び第４図１／Ｃｊり説明する
。
５】けバッド５又はリード６など、ボンティングすべき
対象部分の表面を示す。
対象部分の表面を示す。
以下余白
主クランプ】９又は補助クランプ２０とキャピラリー１
との相対距離は第４図に示す如く変化する。
との相対距離は第４図に示す如く変化する。
（ｅ）→（ｆ）の工程にて補助クランプ２０ヲハーフク
ランプにしながらキャピラリー１との距離を広げること
によりワイヤ２のたるみを防上する。
ランプにしながらキャピラリー１との距離を広げること
によりワイヤ２のたるみを防上する。
（１０→（１）の工’ＰＩ、にで補助クランプ２０をハ
ーフクランプにしながら上昇せしめることにより、ボー
ル３を引き上げボール３とギヤピラリ−１との隙間Δｔ
６をなくす。この場合Δｔ４〉ΔｔＳとする。
ーフクランプにしながら上昇せしめることにより、ボー
ル３を引き上げボール３とギヤピラリ−１との隙間Δｔ
６をなくす。この場合Δｔ４〉ΔｔＳとする。
（ｆ）→（ｈ）の工程の途中で、主クランプ１９を、（
）１）における高さよりもΔｔ２低い位置でクランプす
ることにより、１ツイヤ２を切断してさらにΔ１２上昇
するので（ｆ）→（１１）の１川のギヤピラリ−１の」
二昇ストロークをΔｔｏとしたとき、 Δ！・１−ΔｔＯ−Δｔ２ なるΔｔ１だけ、１ツイヤ２の先瑞をキャピラリー１の
下端より突出せしめることができイ）。このΔｔ。
）１）における高さよりもΔｔ２低い位置でクランプす
ることにより、１ツイヤ２を切断してさらにΔ１２上昇
するので（ｆ）→（１１）の１川のギヤピラリ−１の」
二昇ストロークをΔｔｏとしたとき、 Δ！・１−ΔｔＯ−Δｔ２ なるΔｔ１だけ、１ツイヤ２の先瑞をキャピラリー１の
下端より突出せしめることができイ）。このΔｔ。
が、ボール３ン作るのに十分な長さと在るようΔ／−２
を選ぶ。
を選ぶ。
以上はホンティングソールがキャピラリーの場合につき
説明したが、ボンデインク゛ウェッジを用いるものでも
同様である。
説明したが、ボンデインク゛ウェッジを用いるものでも
同様である。
本発明により、ワイヤの引込み、繰出しＭ１操作時期や
操作時間を変更する場合でも、プログラム又はシーケン
スを変更するのみで簡単に行なえ、しかもごく僅かの微
調整も容易にｊＥ確に行なうことができ、性能の優れた
ポンディングワイヤ（Ｊｌ、 Ｉｔ方法を提供すること
ができ、実用上イ永めて大なる効果を奏する。
操作時間を変更する場合でも、プログラム又はシーケン
スを変更するのみで簡単に行なえ、しかもごく僅かの微
調整も容易にｊＥ確に行なうことができ、性能の優れた
ポンディングワイヤ（Ｊｌ、 Ｉｔ方法を提供すること
ができ、実用上イ永めて大なる効果を奏する。
第１図（ａ）、←） 、 （ｃ） 、 （（］）はボン
ティングの工程説明図、第２図は本発明の実施例の装置
の正面図、第３図（ａ）〜（１１）はその主クランプ及
び補助クランプの動作工程図、第４図はその主クランプ
、補助クランプとキャピラリー との相対距離の変化を
示すグラフである。 １・・・キャピラリー、２・・・ワイヤ、３・・・ボー
ル、４６．・ペレット、５・・・バット、６・・・リー
ド、７・・・下端、８・・・扁平部、９・・・扁平部、
１（）・・・振動子、１１・・・フレーム、１３・・・
ホーン、】８・・・リール、１つ・・・主クランプ、２
０・・・補助クランプ、２Ｊ・・・トーチ、２２・・・
垂直軸、２３・・・位置検出装置、２４・・・昇降フレ
ーム、２５・・昇降ガイド、２６・・・メネジ部、２７
・・ネジ＋１ｉ１１１，２８・・・パルスモーク、２９
・・・ビン、３０・・・揺り山７ｖ−ム、３１・・・４
ｋｉハネ、３２・・・偏心ピン、；３３・・・ストツバ
−１３／Ｉ・・・マクネセンナ、３５・・・レバー、：
」６・・チップ、３７・・・制御機構、３８．３９・・
・力ｌ・、４０・−・ワイヤガイド、・１１．４２・・
・ルノイド、４３．４／Ｉ・ビン、４５．４６・・・ク
ランプアーム、 ４７．４８・・カッ・ｕ−ラ、４９
．５０・・・パルスモータ、５１・・・表面。 特許出願人 海上電機株式会社 代理人弁即士 端 山 ＪＬ−
ティングの工程説明図、第２図は本発明の実施例の装置
の正面図、第３図（ａ）〜（１１）はその主クランプ及
び補助クランプの動作工程図、第４図はその主クランプ
、補助クランプとキャピラリー との相対距離の変化を
示すグラフである。 １・・・キャピラリー、２・・・ワイヤ、３・・・ボー
ル、４６．・ペレット、５・・・バット、６・・・リー
ド、７・・・下端、８・・・扁平部、９・・・扁平部、
１（）・・・振動子、１１・・・フレーム、１３・・・
ホーン、】８・・・リール、１つ・・・主クランプ、２
０・・・補助クランプ、２Ｊ・・・トーチ、２２・・・
垂直軸、２３・・・位置検出装置、２４・・・昇降フレ
ーム、２５・・昇降ガイド、２６・・・メネジ部、２７
・・ネジ＋１ｉ１１１，２８・・・パルスモーク、２９
・・・ビン、３０・・・揺り山７ｖ−ム、３１・・・４
ｋｉハネ、３２・・・偏心ピン、；３３・・・ストツバ
−１３／Ｉ・・・マクネセンナ、３５・・・レバー、：
」６・・チップ、３７・・・制御機構、３８．３９・・
・力ｌ・、４０・−・ワイヤガイド、・１１．４２・・
・ルノイド、４３．４／Ｉ・ビン、４５．４６・・・ク
ランプアーム、 ４７．４８・・カッ・ｕ−ラ、４９
．５０・・・パルスモータ、５１・・・表面。 特許出願人 海上電機株式会社 代理人弁即士 端 山 ＪＬ−
Claims (1)
- １、 ボンディングツールに供給されるボンディングワ
イヤの把持及び開放を行なうワイヤクランプを、前記ポ
ンティングツールに対し、前記ホン゛１インクワイヤの
供給方向に沿って相対的に接＾ＩＣ往復運動可能となし
、該接離性４ｊ’＜ ｉ、りｆ’ｆＴＩ、ｔ ヲパルス
七−夕又はエンコーダ伺キモークをμＫ Ｈｎｊ源とす
るｊ！！に動機構により！ＢＸ動じ、ホンティングソイ
−）・の先９’ｆＡにボール又ｔ」ステップを形成する
のに必敬なボンディングワ・イヤの繰出し、及び切断の
だめのボンディングワイヤの引込みを行なうことを特徴
としたホンアーイングヮ・イヤ供給方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57155885A JPS5946037A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | ボンデイングワイヤ供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57155885A JPS5946037A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | ボンデイングワイヤ供給方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5946037A true JPS5946037A (ja) | 1984-03-15 |
| JPH0213815B2 JPH0213815B2 (ja) | 1990-04-05 |
Family
ID=15615626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57155885A Granted JPS5946037A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | ボンデイングワイヤ供給方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5946037A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5380967A (en) * | 1976-12-27 | 1978-07-17 | Hitachi Ltd | Wire clamper driving mechanism |
-
1982
- 1982-09-09 JP JP57155885A patent/JPS5946037A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5380967A (en) * | 1976-12-27 | 1978-07-17 | Hitachi Ltd | Wire clamper driving mechanism |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0213815B2 (ja) | 1990-04-05 |
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