JPH0213815B2 - - Google Patents
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- JPH0213815B2 JPH0213815B2 JP57155885A JP15588582A JPH0213815B2 JP H0213815 B2 JPH0213815 B2 JP H0213815B2 JP 57155885 A JP57155885 A JP 57155885A JP 15588582 A JP15588582 A JP 15588582A JP H0213815 B2 JPH0213815 B2 JP H0213815B2
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- bonding wire
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- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
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- Wire Bonding (AREA)
Description
本発明は、ICペレツトとリードとの間などに
ボンデイングワイヤ（以下ワイヤと称す）を懸け
渡すボンデイング装置のボンデイングツールにワ
イヤを供給する方法に関するものである。 ICチツプのパツドとリードとの間のボンデイ
ングを行なうには、ボンデイング装置のボンデイ
ングアームの先端に設けられたボンデイングツー
ル（例えば金線用のボールボンデイング用のキヤ
ピラリー、或いはアルミニウム線用のステツチボ
ンデイング用のウエツジ）にてワイヤを保持して
対象物であるパツド又はリードの表面に接触せし
めかつボンデイングツールにてワイヤの一部を押
しつぶして、熱圧縮により圧着するか超音波の作
用で溶着せしめる。 例えば第１図に示す如くキヤピラリー１を用
い、ワイヤ２の先端に形成したボール３をICペ
レツト４のパツド５にボンデイングする場合につ
き説明する。６はパツド５と接続すべきリードで
ある。 先ず、同図ａの如くパツド５の直上の或る高さ
にキヤピラリー１を位置せしめる。このときワイ
ヤ２の先端にはボール３が形成されている。 次にキヤピラリー１を下降せしめて同図ｂの如
くボール３をパツド５に接触せしめ、さらにキヤ
ピラリー１を押し上げてボール３をつぶし、同図
ｃの如く扁平部８を形成する。この押しつぶし動
作によりワイヤ２をパツド５に固着せしめるに必
要な押付力を与え、また、扁平部８が形成されて
電気的接触に十分な接触面積が確保される。その
後キヤピラリー１を上昇及び水平方向にも移動せ
しめ、同図ｄの如く、ボンドすべきリード６の上
方に位置せしめ、二点鎖線の如くキヤピラリー１
を下降せしめて下端７によりワイヤ２の一部を押
しつぶし、扁平部９を形成してリード６に固定せ
しめ、ワイヤ２を引いて扁平部９の端から切断
し、その後キヤピラリー１を上昇せしめて一回の
ボンデイングを終了する。その後ワイヤ２の先端
にトーチによりボール３を形成し、第１図の状態
に戻り、次のボンデイングを行なう。 この場合同図ｄの如く、扁平部９を形成した後
に切断のためにワイヤ２を引込めるストロークを
Δx2とする。切断後のワイヤ２の先端はキヤピラ
リー１の下端７よりほぼΔx2だけ引込んでいる。
ワイヤ２の先端に、ボール３を形成するに必要な
ワイヤ２の突出長さをΔx1とすると、ボール形成
のため、ワイヤ２をほぼΔx1＋Δx2だけ繰出す必
要がある。 以上のことは、アルミニウム線などに用いられ
るウエツジボンデイングの場合においてもステツ
チ部を形成する必要があるので同様である。 このキヤピラリー１やウエツジに対するワイヤ
２の引込め及び繰出しの操作は、キヤピラリー１
又はウエツジに供給されるワイヤ２を把持したり
開放したりし、かつワイヤ２の方向に沿つて往復
可能に保持されたワイヤクランプの操作により行
なうが、このワイヤクランプの往復移動は従来
は、一定速度で回転しボンデイング作業の１サイ
クルに対し１回転するようなカムにて駆動されて
いた。従つてワイヤクランプの動きはカムの形状
によつて決められ、ワイヤ２の直径、材質、硬
度、ボンデイング対象部分の大きさなどが異なる
場合などの如く、ボールやステツチを形成するに
必要なΔx1を変えたり、切断するに必要なストロ
ークΔx2を変えたりする場合には、形状の異なる
カムを用意してこれと交換せねばならず、交換の
手間を要するばかりでなく、多くの種類のカムを
製作し保管しておかねばならない欠点があつた。 本発明は、従来ものの上記の欠点を除き、ワイ
ヤの引込み、繰出し量、操作時期などの条件が変
つても簡単に対応でき、微少な調整も可能となる
ボンデイングワイヤ供給方法を提供することを目
的とするものである。 本発明は、ボンデイングツールに供給されるボ
ンデイングワイヤの把持及び開放を行うワイヤク
ランプを、主クランプと補助クランプとの二つで
行い、それぞれ前記ボンデイングツールに対し、
前記ボンデイングワイヤの供給方向に沿つて相対
的に接離往復運動可能にクランプアームで一つの
揺動フレーム上にそれぞれ枢着し、前記主クラン
プ及び補助クランプのそれぞれに接離往復運動を
パルスモータ又はエンコーダ付きモータを駆動源
とする駆動機構によりプログラムからの信号によ
り制御し、ボンデイングワイヤの先端にボール又
はステツチを形成するのに必要なボンデイングワ
イヤの繰出し、及び切断のためのボンデイングワ
イヤの引込みを行うと共に、主クランプ及び補助
クランプとキヤピラリーとの相対距離を変化させ
ることを特徴としたボンデイングワイヤ供給方法
である。 本発明の実施例を図面を用いて説明する。 第２図において、昇降フレーム２４は、フレー
ム１１の昇降ガイド２５に沿つて昇降可能に保持
されており、昇降フレーム２４に一体に形成され
ているメネジ部２６がネジ軸２７に螺合してお
り、パルスモータ２８又はエンコーダを用いたモ
ータにより昇降駆動されるようになつている。昇
降フレーム２４には水平軸であるピン２９により
回動可能に支えられた揺動フレーム３０に超音波
の振動子１０が固定され、ボンデイングアームの
作用をするホーン１３の先端にボンデイングツー
ルであるキヤピラリー１が設けられている。３１
は昇降フレーム２４に固定された板バネであり、
偏心ピン３２を介して、揺動フレーム３０に常に
反時計方向のモーメントを与え、押圧力付加機構
としてキヤピラリー１に下方向きの押圧力を与え
ている。偏心ピン３２の偏心を調節することによ
り板バネ３１の力を調節することができる。３３
は電磁石にて構成されたストツパーであり、昇降
フレーム２４に相対的なキヤピラリー１の最低位
置を定める。 ３４はマグネセンサであり、揺動フレーム３０
に取り付けられたレバー３５に設けられた永久磁
石のチツプ３６との相対距離に、即ち、マグネセ
ンサ３４の中心に対するチツプ３６の中心のズレ
量ｌに応じた出力信号を制御機構３７に送るよう
になつている。即ち、キヤピラリー１の昇降方向
の変位に応じた出力信号が制御機構３７に送ら
れ、昇降フレーム２４に相対的なキヤピラリー１
の上下方向変位を検出する変位検出機構として作
用する。 しかして、揺動フレーム３０がストツパー３３
に当接している位置、即ちキヤピラリー１が昇降
フレーム２４に対して最低位置にあるときにズレ
量ｌはゼロではなく或る正の値l0にしておく。即
ち、その位置にて正の出力信号が出力されている
ようにしてある。 １８はワイヤ２のリールであり、ワイヤガイド
４０を経てワイヤ２をキヤピラリー１に供給す
る。１９は主クランプ、２０は補助クランプであ
り、ソレノイド４１，４２により開閉し、ワイヤ
２を開放したり把持したりするようになつてお
り、ピン４３，４４により揺動フレーム３０に回
動可能に支えられたクランプアーム４５，４６に
取り付けられている。クランプアーム４５，４６
の端部にはカムローラ４７，４８が備えられバネ
など（図示せず）によりカム３８，３９に当接し
駆動されるようになつている。カム３８，３９
は、揺動フレーム３０に取付けられたパルスモー
タ４９，５０又はエンコーダ付きモータによりそ
れぞれ駆動されるようになつている。パルスモー
タ４９，５０の駆動により、主クランプ１９、補
助クランプ２０はキヤピラリー１に対し相対的に
上下し、接離往復運動が行なわれる。 カム３８，３９は適当な形のものが用いられる
が、リニヤーカムとするのが制御上有利になるの
で好ましい。 ２１はワイヤ２の先端にボールを形成せしめる
ためのトーチであり垂直軸２２のまわりに回動し
得るようになつている。２３は、ペレツト４の位
置及びパツドの位置を検出する位置検出装置であ
る。 フレーム１１は、XYテーブル（図示せず）上
に載置され、水平面内任意の方向に移動可能に支
えられている。 以上の如く構成された実施例の作用につき説明
する。 なお、パルスモータ２８，４９，５０、ソレノ
イド４１，４２の作動は、プログラムからの信号
又はシーケンス信号或いは両者の混在した信号に
よつて制御される。 主クランプ１９及び補助クランプ２０の作用に
ついては後述する。 位置検出装置２３からの信号又は予め記憶され
たプログラムに応じてフレーム１１がXY方向に
移動し、キヤピラリー１をペレツト４の所定のパ
ツド５の上に位置せしめ第１図ａの如くなす。次
にパルスモータ２８によりネジ軸２７を介して昇
降フレーム２４を下降せしめる。この下降工程の
途中で第１図ｂの如くボール３がパツド５に接触
する。その後も昇降フレーム２４は下降を続ける
が、キヤピラリー１は当初はパツド５に当たつて
停止するので揺動フレーム３０はピン２９のまわ
りを揺動し、偏心ピン３２が板バネ３１を押す。
板バネ３１の力によりキヤピラリー１の下端７は
ボール３を押しつぶす。この押しつぶし期間に加
熱或いは超音波による振動が与えられ、第１図ｃ
の如く状態で、ワイヤ２の先端は扁平部８によつ
てパツド５と溶着し固定される。 次にパルスモータ２８を逆転させ昇降フレーム
２４を上昇せしめ、キヤピラリー１を上昇せし
め、かつ水平移動せしめ、第１図ｄの如く、所定
のリード６の上に位置せしめる。水平移動の終る
前からパルスモータ２８を再び正転せしめてキヤ
ピラリー１を下降せしめ、ワイヤ２の一部を押し
つぶし、同時に加熱又は超音波振動を加えて扁平
部９をリード６に溶着せしめて固定する。 次に、キヤピラリー１を引き上げその途中で主
クランプ１９の作用（後述）でワイヤ２を引き上
げて溶着部のきわから切断する。 キヤピラリー１をさらに上昇せしめ、ワイヤ２
を相対的に繰り出してキヤピラリー１の下端７か
らΔl1だけ突出せしめた状態で、トーチ２１によ
りボール３を形成せしめる。その後ボール３の上
面がキヤピラリー１の下端７と接するようワイヤ
２を少し引き上げる。 しかしてキヤピラリー１を、次のパツド５の直
上に位置せしめて第１図ａの状態となして、一サ
イクルを終了し、次のサイクルが引続き行なわれ
る。 この一サイクルにおける主クランプ１９及び補
助クランプ２０の作用を第３図及び第４図により
説明する。 ５１はパツド５又はリード６など、ボンデイン
グすべき対象部分の表面を示す。
ボンデイングワイヤ（以下ワイヤと称す）を懸け
渡すボンデイング装置のボンデイングツールにワ
イヤを供給する方法に関するものである。 ICチツプのパツドとリードとの間のボンデイ
ングを行なうには、ボンデイング装置のボンデイ
ングアームの先端に設けられたボンデイングツー
ル（例えば金線用のボールボンデイング用のキヤ
ピラリー、或いはアルミニウム線用のステツチボ
ンデイング用のウエツジ）にてワイヤを保持して
対象物であるパツド又はリードの表面に接触せし
めかつボンデイングツールにてワイヤの一部を押
しつぶして、熱圧縮により圧着するか超音波の作
用で溶着せしめる。 例えば第１図に示す如くキヤピラリー１を用
い、ワイヤ２の先端に形成したボール３をICペ
レツト４のパツド５にボンデイングする場合につ
き説明する。６はパツド５と接続すべきリードで
ある。 先ず、同図ａの如くパツド５の直上の或る高さ
にキヤピラリー１を位置せしめる。このときワイ
ヤ２の先端にはボール３が形成されている。 次にキヤピラリー１を下降せしめて同図ｂの如
くボール３をパツド５に接触せしめ、さらにキヤ
ピラリー１を押し上げてボール３をつぶし、同図
ｃの如く扁平部８を形成する。この押しつぶし動
作によりワイヤ２をパツド５に固着せしめるに必
要な押付力を与え、また、扁平部８が形成されて
電気的接触に十分な接触面積が確保される。その
後キヤピラリー１を上昇及び水平方向にも移動せ
しめ、同図ｄの如く、ボンドすべきリード６の上
方に位置せしめ、二点鎖線の如くキヤピラリー１
を下降せしめて下端７によりワイヤ２の一部を押
しつぶし、扁平部９を形成してリード６に固定せ
しめ、ワイヤ２を引いて扁平部９の端から切断
し、その後キヤピラリー１を上昇せしめて一回の
ボンデイングを終了する。その後ワイヤ２の先端
にトーチによりボール３を形成し、第１図の状態
に戻り、次のボンデイングを行なう。 この場合同図ｄの如く、扁平部９を形成した後
に切断のためにワイヤ２を引込めるストロークを
Δx2とする。切断後のワイヤ２の先端はキヤピラ
リー１の下端７よりほぼΔx2だけ引込んでいる。
ワイヤ２の先端に、ボール３を形成するに必要な
ワイヤ２の突出長さをΔx1とすると、ボール形成
のため、ワイヤ２をほぼΔx1＋Δx2だけ繰出す必
要がある。 以上のことは、アルミニウム線などに用いられ
るウエツジボンデイングの場合においてもステツ
チ部を形成する必要があるので同様である。 このキヤピラリー１やウエツジに対するワイヤ
２の引込め及び繰出しの操作は、キヤピラリー１
又はウエツジに供給されるワイヤ２を把持したり
開放したりし、かつワイヤ２の方向に沿つて往復
可能に保持されたワイヤクランプの操作により行
なうが、このワイヤクランプの往復移動は従来
は、一定速度で回転しボンデイング作業の１サイ
クルに対し１回転するようなカムにて駆動されて
いた。従つてワイヤクランプの動きはカムの形状
によつて決められ、ワイヤ２の直径、材質、硬
度、ボンデイング対象部分の大きさなどが異なる
場合などの如く、ボールやステツチを形成するに
必要なΔx1を変えたり、切断するに必要なストロ
ークΔx2を変えたりする場合には、形状の異なる
カムを用意してこれと交換せねばならず、交換の
手間を要するばかりでなく、多くの種類のカムを
製作し保管しておかねばならない欠点があつた。 本発明は、従来ものの上記の欠点を除き、ワイ
ヤの引込み、繰出し量、操作時期などの条件が変
つても簡単に対応でき、微少な調整も可能となる
ボンデイングワイヤ供給方法を提供することを目
的とするものである。 本発明は、ボンデイングツールに供給されるボ
ンデイングワイヤの把持及び開放を行うワイヤク
ランプを、主クランプと補助クランプとの二つで
行い、それぞれ前記ボンデイングツールに対し、
前記ボンデイングワイヤの供給方向に沿つて相対
的に接離往復運動可能にクランプアームで一つの
揺動フレーム上にそれぞれ枢着し、前記主クラン
プ及び補助クランプのそれぞれに接離往復運動を
パルスモータ又はエンコーダ付きモータを駆動源
とする駆動機構によりプログラムからの信号によ
り制御し、ボンデイングワイヤの先端にボール又
はステツチを形成するのに必要なボンデイングワ
イヤの繰出し、及び切断のためのボンデイングワ
イヤの引込みを行うと共に、主クランプ及び補助
クランプとキヤピラリーとの相対距離を変化させ
ることを特徴としたボンデイングワイヤ供給方法
である。 本発明の実施例を図面を用いて説明する。 第２図において、昇降フレーム２４は、フレー
ム１１の昇降ガイド２５に沿つて昇降可能に保持
されており、昇降フレーム２４に一体に形成され
ているメネジ部２６がネジ軸２７に螺合してお
り、パルスモータ２８又はエンコーダを用いたモ
ータにより昇降駆動されるようになつている。昇
降フレーム２４には水平軸であるピン２９により
回動可能に支えられた揺動フレーム３０に超音波
の振動子１０が固定され、ボンデイングアームの
作用をするホーン１３の先端にボンデイングツー
ルであるキヤピラリー１が設けられている。３１
は昇降フレーム２４に固定された板バネであり、
偏心ピン３２を介して、揺動フレーム３０に常に
反時計方向のモーメントを与え、押圧力付加機構
としてキヤピラリー１に下方向きの押圧力を与え
ている。偏心ピン３２の偏心を調節することによ
り板バネ３１の力を調節することができる。３３
は電磁石にて構成されたストツパーであり、昇降
フレーム２４に相対的なキヤピラリー１の最低位
置を定める。 ３４はマグネセンサであり、揺動フレーム３０
に取り付けられたレバー３５に設けられた永久磁
石のチツプ３６との相対距離に、即ち、マグネセ
ンサ３４の中心に対するチツプ３６の中心のズレ
量ｌに応じた出力信号を制御機構３７に送るよう
になつている。即ち、キヤピラリー１の昇降方向
の変位に応じた出力信号が制御機構３７に送ら
れ、昇降フレーム２４に相対的なキヤピラリー１
の上下方向変位を検出する変位検出機構として作
用する。 しかして、揺動フレーム３０がストツパー３３
に当接している位置、即ちキヤピラリー１が昇降
フレーム２４に対して最低位置にあるときにズレ
量ｌはゼロではなく或る正の値l0にしておく。即
ち、その位置にて正の出力信号が出力されている
ようにしてある。 １８はワイヤ２のリールであり、ワイヤガイド
４０を経てワイヤ２をキヤピラリー１に供給す
る。１９は主クランプ、２０は補助クランプであ
り、ソレノイド４１，４２により開閉し、ワイヤ
２を開放したり把持したりするようになつてお
り、ピン４３，４４により揺動フレーム３０に回
動可能に支えられたクランプアーム４５，４６に
取り付けられている。クランプアーム４５，４６
の端部にはカムローラ４７，４８が備えられバネ
など（図示せず）によりカム３８，３９に当接し
駆動されるようになつている。カム３８，３９
は、揺動フレーム３０に取付けられたパルスモー
タ４９，５０又はエンコーダ付きモータによりそ
れぞれ駆動されるようになつている。パルスモー
タ４９，５０の駆動により、主クランプ１９、補
助クランプ２０はキヤピラリー１に対し相対的に
上下し、接離往復運動が行なわれる。 カム３８，３９は適当な形のものが用いられる
が、リニヤーカムとするのが制御上有利になるの
で好ましい。 ２１はワイヤ２の先端にボールを形成せしめる
ためのトーチであり垂直軸２２のまわりに回動し
得るようになつている。２３は、ペレツト４の位
置及びパツドの位置を検出する位置検出装置であ
る。 フレーム１１は、XYテーブル（図示せず）上
に載置され、水平面内任意の方向に移動可能に支
えられている。 以上の如く構成された実施例の作用につき説明
する。 なお、パルスモータ２８，４９，５０、ソレノ
イド４１，４２の作動は、プログラムからの信号
又はシーケンス信号或いは両者の混在した信号に
よつて制御される。 主クランプ１９及び補助クランプ２０の作用に
ついては後述する。 位置検出装置２３からの信号又は予め記憶され
たプログラムに応じてフレーム１１がXY方向に
移動し、キヤピラリー１をペレツト４の所定のパ
ツド５の上に位置せしめ第１図ａの如くなす。次
にパルスモータ２８によりネジ軸２７を介して昇
降フレーム２４を下降せしめる。この下降工程の
途中で第１図ｂの如くボール３がパツド５に接触
する。その後も昇降フレーム２４は下降を続ける
が、キヤピラリー１は当初はパツド５に当たつて
停止するので揺動フレーム３０はピン２９のまわ
りを揺動し、偏心ピン３２が板バネ３１を押す。
板バネ３１の力によりキヤピラリー１の下端７は
ボール３を押しつぶす。この押しつぶし期間に加
熱或いは超音波による振動が与えられ、第１図ｃ
の如く状態で、ワイヤ２の先端は扁平部８によつ
てパツド５と溶着し固定される。 次にパルスモータ２８を逆転させ昇降フレーム
２４を上昇せしめ、キヤピラリー１を上昇せし
め、かつ水平移動せしめ、第１図ｄの如く、所定
のリード６の上に位置せしめる。水平移動の終る
前からパルスモータ２８を再び正転せしめてキヤ
ピラリー１を下降せしめ、ワイヤ２の一部を押し
つぶし、同時に加熱又は超音波振動を加えて扁平
部９をリード６に溶着せしめて固定する。 次に、キヤピラリー１を引き上げその途中で主
クランプ１９の作用（後述）でワイヤ２を引き上
げて溶着部のきわから切断する。 キヤピラリー１をさらに上昇せしめ、ワイヤ２
を相対的に繰り出してキヤピラリー１の下端７か
らΔl1だけ突出せしめた状態で、トーチ２１によ
りボール３を形成せしめる。その後ボール３の上
面がキヤピラリー１の下端７と接するようワイヤ
２を少し引き上げる。 しかしてキヤピラリー１を、次のパツド５の直
上に位置せしめて第１図ａの状態となして、一サ
イクルを終了し、次のサイクルが引続き行なわれ
る。 この一サイクルにおける主クランプ１９及び補
助クランプ２０の作用を第３図及び第４図により
説明する。 ５１はパツド５又はリード６など、ボンデイン
グすべき対象部分の表面を示す。
【表】
主クランプ１９又は補助クランプ２０とキヤピ
ラリー１との相対距離は第４図に示す如く変化す
る。 (e)→(f)の工程にて補助クランプ２０をハーフク
ランプにしながらキヤピラリー１との距離を広げ
ることによりワイヤ２のたるみを防止する。 (k)→(l)の工程にて補助クランプ２０をハーフク
ランプにしながら上昇せしめることにより、ボー
ル３を引き上げボール３とキヤピラリー１との隙
間Δl3をなくす。この場合Δl4＞Δl3とする。 (f)→(h)の工程の途中で、主クランプ１９を、(h)
における高さよりもΔl2低い位置でクランプする
ことにより、ワイヤ２を切断してさらにΔl2上昇
するので(f)→(h)の間のキヤピラリー１の上昇スト
ロークをΔl0としたとき、 Δl1＝Δl0−Δl2 なるΔl1だけ、ワイヤ２の先端をキヤピラリー１
の下端より突出せしめることができる。このΔl1
が、ボール３を作るのに十分な長さとなるよう
Δl2を選ぶ。 以上はボンデイングツールがキヤピラリーの場
合につき説明したが、ボンデイングウエツジを用
いるものでも同様である。 本発明は、ボンデイングツールに供給されるボ
ンデイングワイヤの把持及び開放を行うワイヤク
ランプを、主クランプと補助クランプとの二つで
行い、それぞれ前記ボンデイングツールに対し、
前記ボンデイングワイヤの供給方向に沿つて相対
的に接離往復運動可能にクランプアームで一つの
揺動フレーム上にそれぞれ枢着し、前記主クラン
プ及び補助クランプのそれぞれに接離往復運動を
パルスモータ又はエンコーダ付きモータを駆動源
とする駆動機構によりプログラムからの信号によ
り制御して各操作上ワイヤたるみがなくワイヤの
引込み、繰出し量、操作時期や操作時間を変更す
る場合でも、プログラム又はシーケンスを変更す
るのみで簡単に行なえ、しかもごく僅かの微調整
も容易に正確に行なうことができ、性能の優れた
ボンデイングワイヤ供給方法を提供することがで
き、実用上極めて大なる効果を奏する。
ラリー１との相対距離は第４図に示す如く変化す
る。 (e)→(f)の工程にて補助クランプ２０をハーフク
ランプにしながらキヤピラリー１との距離を広げ
ることによりワイヤ２のたるみを防止する。 (k)→(l)の工程にて補助クランプ２０をハーフク
ランプにしながら上昇せしめることにより、ボー
ル３を引き上げボール３とキヤピラリー１との隙
間Δl3をなくす。この場合Δl4＞Δl3とする。 (f)→(h)の工程の途中で、主クランプ１９を、(h)
における高さよりもΔl2低い位置でクランプする
ことにより、ワイヤ２を切断してさらにΔl2上昇
するので(f)→(h)の間のキヤピラリー１の上昇スト
ロークをΔl0としたとき、 Δl1＝Δl0−Δl2 なるΔl1だけ、ワイヤ２の先端をキヤピラリー１
の下端より突出せしめることができる。このΔl1
が、ボール３を作るのに十分な長さとなるよう
Δl2を選ぶ。 以上はボンデイングツールがキヤピラリーの場
合につき説明したが、ボンデイングウエツジを用
いるものでも同様である。 本発明は、ボンデイングツールに供給されるボ
ンデイングワイヤの把持及び開放を行うワイヤク
ランプを、主クランプと補助クランプとの二つで
行い、それぞれ前記ボンデイングツールに対し、
前記ボンデイングワイヤの供給方向に沿つて相対
的に接離往復運動可能にクランプアームで一つの
揺動フレーム上にそれぞれ枢着し、前記主クラン
プ及び補助クランプのそれぞれに接離往復運動を
パルスモータ又はエンコーダ付きモータを駆動源
とする駆動機構によりプログラムからの信号によ
り制御して各操作上ワイヤたるみがなくワイヤの
引込み、繰出し量、操作時期や操作時間を変更す
る場合でも、プログラム又はシーケンスを変更す
るのみで簡単に行なえ、しかもごく僅かの微調整
も容易に正確に行なうことができ、性能の優れた
ボンデイングワイヤ供給方法を提供することがで
き、実用上極めて大なる効果を奏する。
第１図ａ，ｂ，ｃ，ｄはボンデイングの工程説
明図、第２図は本発明の実施例の装置の正面図、
第３図ａ〜ｎはその主クランプ及び補助クランプ
の動作工程図、第４図はその主クランプ、補助ク
ランプとキヤピラリーとの相対距離の変化を示す
グラフである。 １…キヤピラリー、２…ワイヤ、３…ボール、
４…ペレツト、５…パツド、６…リード、７…下
端、８…扁平部、９…扁平部、１０…振動子、１
１…フレーム、１３…ホーン、１８…リール、１
９…主クランプ、２０…補助クランプ、２１…ト
ーチ、２２…垂直軸、２３…位置検出装置、２４
…昇降フレーム、２５…昇降ガイド、２６…メネ
ジ部、２７…ネジ軸、２８…パルスモータ、２９
…ピン、３０…揺動フレーム、３１…板バネ、３
２…偏心ピン、３３…ストツパー、３４…マグネ
センサ、３５…レバー、３６…チツプ、３７…制
御機構、３８，３９…カム、４０…ワイヤガイ
ド、４１，４２…ソレノイド、４３，４４…ピ
ン、４５，４６…クランプアーム、４７，４８…
カムローラ、４９，５０…パルスモータ、５１…
表面。
明図、第２図は本発明の実施例の装置の正面図、
第３図ａ〜ｎはその主クランプ及び補助クランプ
の動作工程図、第４図はその主クランプ、補助ク
ランプとキヤピラリーとの相対距離の変化を示す
グラフである。 １…キヤピラリー、２…ワイヤ、３…ボール、
４…ペレツト、５…パツド、６…リード、７…下
端、８…扁平部、９…扁平部、１０…振動子、１
１…フレーム、１３…ホーン、１８…リール、１
９…主クランプ、２０…補助クランプ、２１…ト
ーチ、２２…垂直軸、２３…位置検出装置、２４
…昇降フレーム、２５…昇降ガイド、２６…メネ
ジ部、２７…ネジ軸、２８…パルスモータ、２９
…ピン、３０…揺動フレーム、３１…板バネ、３
２…偏心ピン、３３…ストツパー、３４…マグネ
センサ、３５…レバー、３６…チツプ、３７…制
御機構、３８，３９…カム、４０…ワイヤガイ
ド、４１，４２…ソレノイド、４３，４４…ピ
ン、４５，４６…クランプアーム、４７，４８…
カムローラ、４９，５０…パルスモータ、５１…
表面。
Claims (1)
- １ ボンデイングツールに供給されるボンデイン
グワイヤの把持及び開放を行うワイヤクランプ
を、主クランプと補助クランプとの二つで行い、
それぞれ前記ボンデイングツールに対し、前記ボ
ンデイングワイヤの供給方向に沿つて相対的に接
離往復運動可能にクランプアームで一つの揺動フ
レーム上にそれぞれ枢着し、前記主クランプ及び
補助クランプのそれぞれに接離往復運動をパルス
モータ又はエンコーダ付きモータを駆動源とする
駆動機構によりプログラムからの信号により制御
し、ボンデイングワイヤの先端にボール又はステ
ツチを形成するのに必要なボンデイングワイヤの
繰出し、及び切断のためのボンデイングワイヤの
引込みを行うと共に、主クランプ及び補助クラン
プとキヤピラリーとの相対距離を変化させること
を特徴としたボンデイングワイヤ供給方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57155885A JPS5946037A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | ボンデイングワイヤ供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57155885A JPS5946037A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | ボンデイングワイヤ供給方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5946037A JPS5946037A (ja) | 1984-03-15 |
| JPH0213815B2 true JPH0213815B2 (ja) | 1990-04-05 |
Family
ID=15615626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57155885A Granted JPS5946037A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | ボンデイングワイヤ供給方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5946037A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5380967A (en) * | 1976-12-27 | 1978-07-17 | Hitachi Ltd | Wire clamper driving mechanism |
-
1982
- 1982-09-09 JP JP57155885A patent/JPS5946037A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5946037A (ja) | 1984-03-15 |
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