JPS5948636A - 高速復帰型微粒子付着検知センサ - Google Patents
高速復帰型微粒子付着検知センサInfo
- Publication number
- JPS5948636A JPS5948636A JP16040682A JP16040682A JPS5948636A JP S5948636 A JPS5948636 A JP S5948636A JP 16040682 A JP16040682 A JP 16040682A JP 16040682 A JP16040682 A JP 16040682A JP S5948636 A JPS5948636 A JP S5948636A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- detection sensor
- piezoelectric vibrator
- piezoelectric
- return type
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/02—Analysing fluids
- G01N29/036—Analysing fluids by measuring frequency or resonance of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/025—Change of phase or condition
- G01N2291/0256—Adsorption, desorption, surface mass change, e.g. on biosensors
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は環境管理或は各種計装に於いて要求される結霧
、粉塵付着の有無、露点又は霜点等全検知、測定するセ
ンサに関する。
、粉塵付着の有無、露点又は霜点等全検知、測定するセ
ンサに関する。
従来から結露或は微粉塵の付着を検知する手法の−とし
て圧電振動子主表面への水滴等の付着による共振周波数
或は等制定数の変化を測定するものがあるが、これらは
いずれも一度前記微粒子が付着するとこれを除去しセン
サたる圧電振動子を原状に復帰させるのが困難であった
。
て圧電振動子主表面への水滴等の付着による共振周波数
或は等制定数の変化を測定するものがあるが、これらは
いずれも一度前記微粒子が付着するとこれを除去しセン
サたる圧電振動子を原状に復帰させるのが困難であった
。
例えば水滴の場合にあっては前記圧電振動子衣＃ｉｔ加
熱し、粉塵の場合はエア・ジェットに頼る等センサ本体
より周辺装置が大型となる等の欠点があった。
熱し、粉塵の場合はエア・ジェットに頼る等センサ本体
より周辺装置が大型となる等の欠点があった。
本発明は圧電振動子を利用する結露、粉塵付着等の検知
センサに於ける上述の欠点を除去する為になされたもの
であって、圧電振動子主表面に微粒子が付着したことを
検知した後前記圧電振動子をオーバー・ドライブするこ
とによって前記付着した微粒子を急速に飛散せしめ次の
計測に備えるようにした高速復帰型微粒子付着検知上ン
サ會提供することを目的とする。
センサに於ける上述の欠点を除去する為になされたもの
であって、圧電振動子主表面に微粒子が付着したことを
検知した後前記圧電振動子をオーバー・ドライブするこ
とによって前記付着した微粒子を急速に飛散せしめ次の
計測に備えるようにした高速復帰型微粒子付着検知上ン
サ會提供することを目的とする。
以下、不発明を図面に示す実施例によって詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明に係る高速復帰型微粒子付着検知センサ
の基本的構成を示す図である。
の基本的構成を示す図である。
即ち、１はセンサ本体たる圧電振動子であってこれをド
ライブレベル可変型発振器２によって所定のドライブレ
ベルにて励振する。
ライブレベル可変型発振器２によって所定のドライブレ
ベルにて励振する。
而して前記発振器２を例えば振動子の等価抵抗算定回路
３によって算定しその値を比較器４によって基準値と比
較し一定のスレッシホールドを越えた時点で前記発振回
路２のドライブレベルを上げ前記振動子１主表面に付着
した水滴、微細粉塵等を飛散させるものである。
３によって算定しその値を比較器４によって基準値と比
較し一定のスレッシホールドを越えた時点で前記発振回
路２のドライブレベルを上げ前記振動子１主表面に付着
した水滴、微細粉塵等を飛散させるものである。
前記発振回路２及び等価抵抗算定回路３は例えば通常の
ＣＩメータの振幅レベル可変上限を大きくした回路を用
いればよいので更に詳細な回路構成の説明は省略する。
ＣＩメータの振幅レベル可変上限を大きくした回路を用
いればよいので更に詳細な回路構成の説明は省略する。
同、本発明に係るセンサたる振動子１はどのような振動
モードをとる圧電板も一応可能であるが、圧電板表面に
付着した微粒子を急速に飛散させる為には振幅レベルを
大幅に高くする必モードの振動子を用いるのがよい。
モードをとる圧電板も一応可能であるが、圧電板表面に
付着した微粒子を急速に飛散させる為には振幅レベルを
大幅に高くする必モードの振動子を用いるのがよい。
本発明は以上説明した如く構成するので通常の圧電振動
子発振回路にわずかな付加回路を付すのみで微粒子付着
検知センサたる圧電振動子全速かに原状に復帰せしめる
ことができる。
子発振回路にわずかな付加回路を付すのみで微粒子付着
検知センサたる圧電振動子全速かに原状に復帰せしめる
ことができる。
しかしながら前記圧電振動子をその破壊限界近傍まで振
動させても飛散し難い微粒物質も存在するので、センサ
たる圧電振動子をオーバー・ドライブするのみならず更
に加熱或は外部から機械的衝撃を加えるようにしてもよ
い。
動させても飛散し難い微粒物質も存在するので、センサ
たる圧電振動子をオーバー・ドライブするのみならず更
に加熱或は外部から機械的衝撃を加えるようにしてもよ
い。
第２図は圧電振動子１の主表面表裏に付着する励振電極
５，６の少なくとも一方６を入出力端８及び９を備えた
渦巻状電極とし、通常は前記他の電極５との間に高周波
電圧全印加して励振せしめると共に前記圧電振動子１の
表面に付着した水滴等の微粒子を除去する場合には前述
のドライブレベル上昇と共に適当なスイッチング回路１
０ｆ：閉じ前記入出力端子８及び９間に直流電圧を印加
するようにすればよい。
５，６の少なくとも一方６を入出力端８及び９を備えた
渦巻状電極とし、通常は前記他の電極５との間に高周波
電圧全印加して励振せしめると共に前記圧電振動子１の
表面に付着した水滴等の微粒子を除去する場合には前述
のドライブレベル上昇と共に適当なスイッチング回路１
０ｆ：閉じ前記入出力端子８及び９間に直流電圧を印加
するようにすればよい。
斯くすることによって水滴、霜等の気化性或は昇華性物
質を一層急速に除去することができは（ｂ）に示す如く
外部から機械的衝撃を与えることも有効である。
質を一層急速に除去することができは（ｂ）に示す如く
外部から機械的衝撃を与えることも有効である。
即ち、同図（ａ）に示す如く圧電セラミックス１１の変
位方向（図上矢印）に沿ってセンサたる圧電振動子１を
適当な脚１２，１２．・・・・・・によって固定する。
位方向（図上矢印）に沿ってセンサたる圧電振動子１を
適当な脚１２，１２．・・・・・・によって固定する。
前記膜１２，１２．・・・・・の一端と前記圧電振動子
１との結合点は該圧電振動子１の励撮ヲ妨げないように
振動エネルギの閉じ込め範囲の外側に設けるべきことは
いうまでもない。
１との結合点は該圧電振動子１の励撮ヲ妨げないように
振動エネルギの閉じ込め範囲の外側に設けるべきことは
いうまでもない。
斯くすることによって必要に応じて前記圧電セラミック
ス１１にスイッチング回路１３を介して直流電圧を印加
すれば前記圧電セラミックス１１は一瞬前記矢印の方向
に衝動しセンサたる前記圧電振動子１表面に付着した微
粒子、特に少々の加熱によっては気化することもなく又
励振レベルの上昇程度では容易に離脱し難い微粉状固体
粒子等を一時的に浮揚せしめ除去を容易にするものであ
る。
ス１１にスイッチング回路１３を介して直流電圧を印加
すれば前記圧電セラミックス１１は一瞬前記矢印の方向
に衝動しセンサたる前記圧電振動子１表面に付着した微
粒子、特に少々の加熱によっては気化することもなく又
励振レベルの上昇程度では容易に離脱し難い微粉状固体
粒子等を一時的に浮揚せしめ除去を容易にするものであ
る。
伺、同図（ｂｌは前記圧電セラミックス１１を電磁プラ
ンジャ１４に置換したものであってその効果は前述と同
等である。
ンジャ１４に置換したものであってその効果は前述と同
等である。
本発明は以上説明した如く構成するので圧電振動子その
ものをセンサとして用いその表面に物質が付着したか否
かを検知し、これによって露点、霜点等全測定したり或
は粉塵の多い環境の監視等を行うセンサに於いて、極め
て簡単な装置を付加するのみで上記微粒子が付着するこ
とによって喪失したセンサ機能を急速に回復せしめる上
で著しい効果を奏するものである。
ものをセンサとして用いその表面に物質が付着したか否
かを検知し、これによって露点、霜点等全測定したり或
は粉塵の多い環境の監視等を行うセンサに於いて、極め
て簡単な装置を付加するのみで上記微粒子が付着するこ
とによって喪失したセンサ機能を急速に回復せしめる上
で著しい効果を奏するものである。
第１図は本発明の高速復帰型微粒子付着検知センサのブ
ロック図、第２図は本発明に於いて使用する加熱兼用励
振電極を付したセンサーの一実施例を示す図、第３図（
ａｌ及び（ｂ）は夫々本発明に於いて使用する衝撃装置
付センサの相異なる二つの実施例を示す図である。 １・・・・・・圧電振動子（センサ）、２・・・・・・
オーバー・ドライブ回路、６・・・・・・加熱兼用励振
電極、１１・・・・・圧電セラミクス、１４・・・・・
・′電磁プランジャ特許出願人 東洋通信機株式会社
ロック図、第２図は本発明に於いて使用する加熱兼用励
振電極を付したセンサーの一実施例を示す図、第３図（
ａｌ及び（ｂ）は夫々本発明に於いて使用する衝撃装置
付センサの相異なる二つの実施例を示す図である。 １・・・・・・圧電振動子（センサ）、２・・・・・・
オーバー・ドライブ回路、６・・・・・・加熱兼用励振
電極、１１・・・・・圧電セラミクス、１４・・・・・
・′電磁プランジャ特許出願人 東洋通信機株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１圧電振動子表面に水滴、微粒粉塵或は霜等を付着
せしめその際の共振周波数又は等測定数の変動により上
記微粒子の付着を検知するセンサに於いて、前記圧電振
動子をオーバー・ドライブすることによりこれに付着し
た前記微粒子を飛散せしめ急速に原状に復帰させること
を特徴とする高速復帰型微粒子付着検知センサ。 （２）前記圧電振動子の振動モードがはソ純粋な厚み斡
卓振動であることを特徴とする特許請求の範囲１記載の
高速復帰型微粒子付着検知センサ。 一層であること全特徴とする特許請求の範囲１記載の高
速復帰型微粒子付着検知センサ。 （４）前記振動子の主面に付着する電極の少なくとも一
方を励振電極兼発熱電極とすることにより前記振動子に
付着した水滴又は霜等’ｒ 一層急速に除去するように
したことを特徴とする特許請求の範囲１，２又は３記載
の高速復帰型微粒子付着検知センサ。 （５）前記圧電振動子をその振動を阻害することなく圧
電セラミックス或は電磁プランジャの如１！撮動台に固
定し、前記圧電振動子全オーバー・ドライブ或は／及び
加熱すると同時に機械的振動金与えることによって前記
圧電振動子表面に付着した微粒子を更に一層急速に飛散
せしめるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲１
乃至４記載の高速復帰型微粒子付着検知センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16040682A JPS5948636A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 高速復帰型微粒子付着検知センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16040682A JPS5948636A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 高速復帰型微粒子付着検知センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5948636A true JPS5948636A (ja) | 1984-03-19 |
| JPH0237975B2 JPH0237975B2 (ja) | 1990-08-28 |
Family
ID=15714243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16040682A Granted JPS5948636A (ja) | 1982-09-13 | 1982-09-13 | 高速復帰型微粒子付着検知センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5948636A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03188350A (ja) * | 1989-11-27 | 1991-08-16 | Hughes Aircraft Co | 多層セラミックテープ構造中のセンサ素子 |
| JPH04222382A (ja) * | 1990-03-21 | 1992-08-12 | Carbonell Co Anonima | 押圧乾燥機械 |
| JP2012249063A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Showa Shinku:Kk | 圧電素子の強励振回路及び強励振方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5291485A (en) * | 1976-01-28 | 1977-08-01 | Tdk Corp | Dew point meter |
| JPS5611340A (en) * | 1979-07-04 | 1981-02-04 | Graviner Ltd | Detector for particles in gaseous medium |
-
1982
- 1982-09-13 JP JP16040682A patent/JPS5948636A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5291485A (en) * | 1976-01-28 | 1977-08-01 | Tdk Corp | Dew point meter |
| JPS5611340A (en) * | 1979-07-04 | 1981-02-04 | Graviner Ltd | Detector for particles in gaseous medium |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03188350A (ja) * | 1989-11-27 | 1991-08-16 | Hughes Aircraft Co | 多層セラミックテープ構造中のセンサ素子 |
| JPH04222382A (ja) * | 1990-03-21 | 1992-08-12 | Carbonell Co Anonima | 押圧乾燥機械 |
| JP2012249063A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Showa Shinku:Kk | 圧電素子の強励振回路及び強励振方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0237975B2 (ja) | 1990-08-28 |
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