JPS5948969A - 超音波探触子用酸化物圧電材料 - Google Patents
超音波探触子用酸化物圧電材料Info
- Publication number
- JPS5948969A JPS5948969A JP57158896A JP15889682A JPS5948969A JP S5948969 A JPS5948969 A JP S5948969A JP 57158896 A JP57158896 A JP 57158896A JP 15889682 A JP15889682 A JP 15889682A JP S5948969 A JPS5948969 A JP S5948969A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- small
- dielectric constant
- coupling coefficient
- present
- piezoelectric material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/46—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
- C04B35/462—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
- C04B35/472—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on lead titanates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は酸化物圧電材料〈関する。
本発明は最近広く用いられている医療用の超音波診断装
置や、金属等の欠陥等を探傷する超音波探傷機の探触子
に用いられる圧電磁器振動子等に用いられる酸化物圧電
材料に関する。これらの装置の超音波変換子は振動モー
ドとして０５〜Ｊ ＯＭＬｈ。
置や、金属等の欠陥等を探傷する超音波探傷機の探触子
に用いられる圧電磁器振動子等に用いられる酸化物圧電
材料に関する。これらの装置の超音波変換子は振動モー
ドとして０５〜Ｊ ＯＭＬｈ。
の縦波モードＣ１（ｓｓ振動）を用いており、電気エネ
ルギーを超音波振動に変え、′まだｆ、Ｉｉ召波振動を
電気エネルギーに変える１ユ気音η′１弓蜆イ匁能率は
和、気徐械結合係数Ｋｓ、の２乗に比例するために３．
の大きな拐料はど感度が良くなる。しかしながら横波モ
ード（Ｋａ＋）の値が大きい場合には横波の効果による
ス・プリアス（不要振動）の発生を抑制することが困難
となるため、Ｋ２Ｓが大きくに、１が小さい材料が望ま
れている。
ルギーを超音波振動に変え、′まだｆ、Ｉｉ召波振動を
電気エネルギーに変える１ユ気音η′１弓蜆イ匁能率は
和、気徐械結合係数Ｋｓ、の２乗に比例するために３．
の大きな拐料はど感度が良くなる。しかしながら横波モ
ード（Ｋａ＋）の値が大きい場合には横波の効果による
ス・プリアス（不要振動）の発生を抑制することが困難
となるため、Ｋ２Ｓが大きくに、１が小さい材料が望ま
れている。
さらに現在最も広く使用されている超音波診断装置等は
パルス反射方式である。このパルス式で々ｌ は分解能を上げるために縄かいパルスを送受信する必要
があり、このためにはパルスの切れを良くするために探
触子材料の機械的品質係数（Ｑｍ）が小さいことが望１
れる。
パルス反射方式である。このパルス式で々ｌ は分解能を上げるために縄かいパルスを送受信する必要
があり、このためにはパルスの切れを良くするために探
触子材料の機械的品質係数（Ｑｍ）が小さいことが望１
れる。
又、最近の超音波診断装置のパルス駆動回路（パルサー
）は広帯域化をはかるため低インピーダンス化が行われ
ており探触子の材料としてもパルサー回路とのインピー
ダンスマツチングを取るため３００〜２０００程度の高
い誘電率を有する圧電材料が望まれている。
）は広帯域化をはかるため低インピーダンス化が行われ
ており探触子の材料としてもパルサー回路とのインピー
ダンスマツチングを取るため３００〜２０００程度の高
い誘電率を有する圧電材料が望まれている。
従来、この棟の探触子材料としては水晶、ＬｉＮｂＯ３
゜チタン酸バリウム系磁器やジルコンチタン酸鉛系磁器
！複合三成分系磁器が使用されてきた。しかしながら、
水晶やＬｉＮｂＯ３では電気機械結合係数に、３が小さ
いしＱｍが大きい＋ Ｋ％ ゛）ｌｉ’、率が小きい等
の理由でこの、神の探触子材料には適さず、チタン敏バ
リウム系磁器やＰ Ｚ Ｔ系磁器複会三成分系磁器では
誘電率や電気機械結合係数に、３は４０〜６５％と太き
く Ｑｍも２００以下と小さいものも得られるものの横
効果の振動モードであるに３１が２０〜４０％であるた
めＫｓｓ ／に３．＋は２〜３にすぎず、１（３，の横
効果による影響をさけるため振動子の加工上の制約が生
じていた。これに対し７てに３３／に９．の比が５〜１
０と大きいＰｂＴｉ０．やＰｂＮｂ２Ｏ，等の月料が知
られているがこれらの材料では誘電率は１５０〜３００
にすぎず超音波診断装置のパルサー回路の低インピーダ
ンス化に対応が困難であった。又、 Ｐｂｉ’ｉ（Ｊ
、系材料。
゜チタン酸バリウム系磁器やジルコンチタン酸鉛系磁器
！複合三成分系磁器が使用されてきた。しかしながら、
水晶やＬｉＮｂＯ３では電気機械結合係数に、３が小さ
いしＱｍが大きい＋ Ｋ％ ゛）ｌｉ’、率が小きい等
の理由でこの、神の探触子材料には適さず、チタン敏バ
リウム系磁器やＰ Ｚ Ｔ系磁器複会三成分系磁器では
誘電率や電気機械結合係数に、３は４０〜６５％と太き
く Ｑｍも２００以下と小さいものも得られるものの横
効果の振動モードであるに３１が２０〜４０％であるた
めＫｓｓ ／に３．＋は２〜３にすぎず、１（３，の横
効果による影響をさけるため振動子の加工上の制約が生
じていた。これに対し７てに３３／に９．の比が５〜１
０と大きいＰｂＴｉ０．やＰｂＮｂ２Ｏ，等の月料が知
られているがこれらの材料では誘電率は１５０〜３００
にすぎず超音波診断装置のパルサー回路の低インピーダ
ンス化に対応が困難であった。又、 Ｐｂｉ’ｉ（Ｊ
、系材料。
ＰｂＮｂ２Ｏ，羽料は分極処理を高温、高電界のもとで
行う必快があり、分極時に起る放電のため大型の振動子
が得にくかった。
行う必快があり、分極時に起る放電のため大型の振動子
が得にくかった。
本発明は上記の欠点を改良したもので、電気機−械結合
係数に３．が５ｏ％以上と大きく横効果の電気機械結合
係数１（３，が１０％以下と小さいため１（ｓｓ鳴１が
５以上であり、なおＱｍが２００以下と小さく誘電率汐
；３００〜ｌ ２０ （ｌと大きい分極処理の容易な超
音波探触子材料として適する圧電磁器相料を提供するこ
とを目的とする。
係数に３．が５ｏ％以上と大きく横効果の電気機械結合
係数１（３，が１０％以下と小さいため１（ｓｓ鳴１が
５以上であり、なおＱｍが２００以下と小さく誘電率汐
；３００〜ｌ ２０ （ｌと大きい分極処理の容易な超
音波探触子材料として適する圧電磁器相料を提供するこ
とを目的とする。
本発明は（Ｐｂ＋−ａ Ｃａａ）［（Ｍｅ’、ｇＮｂ’
□ｘ Ｔｉ、 、 ＪＯｓ （ただしＭｅはＭｇ 、
Ｚｎのいずれか一種）の一般式においてｓ Ｌ）、１
０（ａ≦０．３５ 、０．１０（ｘ≦０．３０の組成か
らなることを特徴とするＩＪ：電磁器材料である。
□ｘ Ｔｉ、 、 ＪＯｓ （ただしＭｅはＭｇ 、
Ｚｎのいずれか一種）の一般式においてｓ Ｌ）、１
０（ａ≦０．３５ 、０．１０（ｘ≦０．３０の組成か
らなることを特徴とするＩＪ：電磁器材料である。
このような本発明の酸化物圧電材料は一般的には粉末冶
金的方法によって容易に製造することができる。例えば
、ＰｂＵ、 ＴｉＯ２，ＣａＣ０，、ＭｎＣ０，、Ｚｎ
Ｏ。
金的方法によって容易に製造することができる。例えば
、ＰｂＵ、 ＴｉＯ２，ＣａＣ０，、ＭｎＣ０，、Ｚｎ
Ｏ。
Ｎｂ２０３２Ｍｇ０なとの原料酸化物を所定の割合に秤
取し、こり、らをボールミルなどによってよく混合する
。なお、この除用いる原料は加熱によって敵化物に転す
る化合物例えば水酸化物、炭酸塩、シュウ取塩等であっ
てもよい。
取し、こり、らをボールミルなどによってよく混合する
。なお、この除用いる原料は加熱によって敵化物に転す
る化合物例えば水酸化物、炭酸塩、シュウ取塩等であっ
てもよい。
次いでＭｊＪ記混記動合物えば６００〜９００’Ｃ程度
の温度で予備焼成し、さらにボールミルなどによって粉
砕して調整粉末とする。しかる後この調整粉末に水ある
いはポリビニルアルコールなトノ粘結剤を添加配合して
、０，５〜２”ｎ／ｃｍ２程度の圧力で加圧成形した後
、１１００−１２００’Ｃ程度の温度で焼成する。この
焼成において一つの組成分たるＰｂＯの一部が蒸発揮散
する恐れもあるので焼成は閉炉内で行ない、また最高温
度での保持は一般に０．５〜３時間程度で充分である。
の温度で予備焼成し、さらにボールミルなどによって粉
砕して調整粉末とする。しかる後この調整粉末に水ある
いはポリビニルアルコールなトノ粘結剤を添加配合して
、０，５〜２”ｎ／ｃｍ２程度の圧力で加圧成形した後
、１１００−１２００’Ｃ程度の温度で焼成する。この
焼成において一つの組成分たるＰｂＯの一部が蒸発揮散
する恐れもあるので焼成は閉炉内で行ない、また最高温
度での保持は一般に０．５〜３時間程度で充分である。
かくして本発明に依り次に掲げるような効果を得ること
が出来る。第１に従来のＰＺＴｉ料、三成分系材料では
縦方向の結合係数に３８と横方向の結合係数に、１との
比は２〜３であるため、縦方向の撮動（Ｋ２Ｓ ＋ Ｋ
ｔ ）を利用した撮動子を作成する場合に広がり方向の
振動（Ｋｓ＋ 、Ｋｐ ）による不要振動のため実用上
問題があったのに対し、本発明の材料では縦方向の結合
係数に３３は５０％以上と大きな値を示し、横方向の結
合係数に３１は１０％以下と小さな値のため、不要振動
が小さく、実用上有利なものである。第２に本発明の材
料はその誘電率が３００〜１２００と比較的大きいため
、超音波診断装置のパルザー駆動回路とのマツチングが
取りやすい。第３にＱｍが低いためパルスの減衰いわゆ
る切れが良く巾の短いパルスを送受信出来るため装置の
分解能が良くなる。第４に分極処理が１００’Ｃ３０〜
５０ＫＶ％ｍで行なうことが出来るだめ、大型基板の作
成が容易である。
が出来る。第１に従来のＰＺＴｉ料、三成分系材料では
縦方向の結合係数に３８と横方向の結合係数に、１との
比は２〜３であるため、縦方向の撮動（Ｋ２Ｓ ＋ Ｋ
ｔ ）を利用した撮動子を作成する場合に広がり方向の
振動（Ｋｓ＋ 、Ｋｐ ）による不要振動のため実用上
問題があったのに対し、本発明の材料では縦方向の結合
係数に３３は５０％以上と大きな値を示し、横方向の結
合係数に３１は１０％以下と小さな値のため、不要振動
が小さく、実用上有利なものである。第２に本発明の材
料はその誘電率が３００〜１２００と比較的大きいため
、超音波診断装置のパルザー駆動回路とのマツチングが
取りやすい。第３にＱｍが低いためパルスの減衰いわゆ
る切れが良く巾の短いパルスを送受信出来るため装置の
分解能が良くなる。第４に分極処理が１００’Ｃ３０〜
５０ＫＶ％ｍで行なうことが出来るだめ、大型基板の作
成が容易である。
以上述べた様に本発明の材料は従来の圧電制料では得る
ことの出来なかった効果を有し、その優位性は明らかで
ある。
ことの出来なかった効果を有し、その優位性は明らかで
ある。
σらに本発明について詳述する。
捷ず（Ｐｂ、 、 Ｃａ−）（（へ４ｅＪ５ Ｎｂ ’
３ ）ｘ Ｔ１１− ｘ ：） ０３基本組成（ただし
ＭｅはＭｇ、Ｚｎのいずれか１種）において０．１０（
ａ≦０．３５と限定した理由はａ≦０．１０では結合係
数に３３が５０％以下となり、さらに誘電率の値が３０
０以下となり、ａ）（１，３５ではキューリ温度が１５
０６Ｃ以下となり、分極後の探触子加工時における切断
、リード線のハンダ付けの工程において分極が消滅する
ａＪ能性が高くなるためである。
３ ）ｘ Ｔ１１− ｘ ：） ０３基本組成（ただし
ＭｅはＭｇ、Ｚｎのいずれか１種）において０．１０（
ａ≦０．３５と限定した理由はａ≦０．１０では結合係
数に３３が５０％以下となり、さらに誘電率の値が３０
０以下となり、ａ）（１，３５ではキューリ温度が１５
０６Ｃ以下となり、分極後の探触子加工時における切断
、リード線のハンダ付けの工程において分極が消滅する
ａＪ能性が高くなるためである。
寸だ、０．１０ （ｘ ≦０．３ｏと限定Ｌ ＊ 理Ｉ
ｔｌは＞（≦Ｑ、１０では磁器の結合係数Ｋｓｓが５０
係以下となるばかりでなく誘電率も３００以下となり探
触子を構成した場合ニハルサー駆動回路とのインピーダ
ンスマツチングが困難となるためであり、ｘ）０．３０
ではキュリ一温度が１５０℃以下となり、瞥た■（３１
が増加するためにに３３４ｉ＋が５以下となりＰ Ｚ
’１’磁器と大差なくなるためである。
ｔｌは＞（≦Ｑ、１０では磁器の結合係数Ｋｓｓが５０
係以下となるばかりでなく誘電率も３００以下となり探
触子を構成した場合ニハルサー駆動回路とのインピーダ
ンスマツチングが困難となるためであり、ｘ）０．３０
ではキュリ一温度が１５０℃以下となり、瞥た■（３１
が増加するためにに３３４ｉ＋が５以下となりＰ Ｚ
’１’磁器と大差なくなるためである。
次に本発明の実施例について記載する。
焼結を終えた試料から２０φＸ０．５ｍｍの円板と２×
２ ｘ ６ ｍｍの角棒を切り出し、両面に銀ペースト
を７００℃で焼き付けた。その後に５０〜１００ ’Ｃ
のシリコンオイル中で２０〜４０Ｉ（Ｖ４の直流電）γ
を印加 応して分極処理を行ないＩＩＬＴ標準回路方法
によって圧電特性を各々測定した。
２ ｘ ６ ｍｍの角棒を切り出し、両面に銀ペースト
を７００℃で焼き付けた。その後に５０〜１００ ’Ｃ
のシリコンオイル中で２０〜４０Ｉ（Ｖ４の直流電）γ
を印加 応して分極処理を行ないＩＩＬＴ標準回路方法
によって圧電特性を各々測定した。
これらの測定結果をそれらの組成比とともに第 褪１表
に示す。以下ｆＩ″色 これらの試料中実施例８と参考例６の試料を用いた直径
２０ ｉｔｒｍ共振周共振周波数２全Ｈ２る円板振動子
を使用【７同一のバッキング拐とコーテイング材により
同一条件で構成し、た超音波探触子の探傷波形特性につ
いて述べる。第１図及び第２図は、太きく Ｑｌηが１
０１０と大きいため第１図に示すように入力パルス１に
リンキング２が生じ不感帯が太きくなる。父、欠陥の反
射波形３は波数が多く分解能がイＣ（下する。一方、車
施例８の拐料（／１Ｋ３Ｉが７．９％と小さく Ｑｍが
９２と低いため第２図に示すように探傷波形は人力パル
ス１′にリンギンか殆んど生じないので不感帯か小さい
。又、欠陥の反射波形３′は、波数が少なく高分解能特
性を示す。
に示す。以下ｆＩ″色 これらの試料中実施例８と参考例６の試料を用いた直径
２０ ｉｔｒｍ共振周共振周波数２全Ｈ２る円板振動子
を使用【７同一のバッキング拐とコーテイング材により
同一条件で構成し、た超音波探触子の探傷波形特性につ
いて述べる。第１図及び第２図は、太きく Ｑｌηが１
０１０と大きいため第１図に示すように入力パルス１に
リンキング２が生じ不感帯が太きくなる。父、欠陥の反
射波形３は波数が多く分解能がイＣ（下する。一方、車
施例８の拐料（／１Ｋ３Ｉが７．９％と小さく Ｑｍが
９２と低いため第２図に示すように探傷波形は人力パル
ス１′にリンギンか殆んど生じないので不感帯か小さい
。又、欠陥の反射波形３′は、波数が少なく高分解能特
性を示す。
以」二のような本発明の材料は、不感帯が小さく鋼材の
表面下の探傷に有効で高分解能特性を有する超音波探触
子に適している。
表面下の探傷に有効で高分解能特性を有する超音波探触
子に適している。
づらにす施例１２（図中ａ）、参考例７（図中ｂ）試料
についてｌ０ＦＧにおける結合係数に、３０分極亀界依
存性をか３図に示す。図から明らかな様に本発明の材料
である実施例１２の試料においては■（３３は３０ＫＶ
／６ｎＬ、Ｊ、上で飽和するのに対し、参考例７の従来
）Ｐｂ’ｌ’ｉ０３系材料Ｔ （ｄ １００ ＫＶ／ｃ
ｍ以上を回加しないと飽和せず、そのに３．も４５係以
下である。
についてｌ０ＦＧにおける結合係数に、３０分極亀界依
存性をか３図に示す。図から明らかな様に本発明の材料
である実施例１２の試料においては■（３３は３０ＫＶ
／６ｎＬ、Ｊ、上で飽和するのに対し、参考例７の従来
）Ｐｂ’ｌ’ｉ０３系材料Ｔ （ｄ １００ ＫＶ／ｃ
ｍ以上を回加しないと飽和せず、そのに３．も４５係以
下である。
ごのようにし、て本発明の材料は分極が従来のＰｂＴｉ
Ｏ３材料と比較して大幅に容易となっており、実用的で
ある。
Ｏ３材料と比較して大幅に容易となっており、実用的で
ある。
かくして本発明による圧電磁器材料は例えば次の様な片
途に適するものと肖λる。
途に適するものと肖λる。
■）医用超音波診断装置
従来のＰＺＴ系材料や複合三成分糸材料では横効果の結
合係数に３１がメきいため、横波による不要振動のため
振動子の構成が制限されていた。本発明の材料は従来の
Ｐ Ｚ ’１’系材料に比べてに、１が小さいため横波
による不要撮動が起りにくい。
合係数に３１がメきいため、横波による不要振動のため
振動子の構成が制限されていた。本発明の材料は従来の
Ｐ Ｚ ’１’系材料に比べてに、１が小さいため横波
による不要撮動が起りにくい。
又Ｉ ＱＩｎが小さいためパルスの減貨が早く、いわゆ
るパルスの切れが良くなり短いパルスが送受出来る。父
、訪電１率が３００〜１２００と比較的大きいだめパル
サー、駆動回路と探触子とのインピーダンスマツチング
が取りやすい。
るパルスの切れが良くなり短いパルスが送受出来る。父
、訪電１率が３００〜１２００と比較的大きいだめパル
サー、駆動回路と探触子とのインピーダンスマツチング
が取りやすい。
２）金属探傷用超音阪探傷機
最近、超音・波ケ用いで金属１中の浴接欠陥やボイド等
を非破壊で検査する超音波探偏機が（〃来のＸ線を用い
たタイプとおき換って使用され、る様になって来１’ｃ
。？：す］、らの探触子材料としてはＰＺＴ系拐料林料
いられて来たが、横波の効果であるに３１が太きいため
超音波の反射により正確なモード波形をイ替ることが出
来なかった。
を非破壊で検査する超音波探偏機が（〃来のＸ線を用い
たタイプとおき換って使用され、る様になって来１’ｃ
。？：す］、らの探触子材料としてはＰＺＴ系拐料林料
いられて来たが、横波の効果であるに３１が太きいため
超音波の反射により正確なモード波形をイ替ることが出
来なかった。
木登り」の林料けり、３．が小さいためこれらの用達に
も有利で矛、る。
も有利で矛、る。
以上述ベフコように本発明の圧電磁器材料を使用すれば
、従来聾で問題となっていた用達にも有用であることが
わかる。
、従来聾で問題となっていた用達にも有用であることが
わかる。
４ 図ｊＡ＋の簡単な詣５甲４
１２１面は本発明に係る圧電磁器材料の特性例を示すも
ので、第１図は参考例の探傷波形特性を示す曲線図、第
２図は本発明に係る圧電磁器材料の探傷波形特性を示す
曲線図、第３図は市、気機械結合係数の分極電圧依存性
をそれぞれ示す曲線図。
ので、第１図は参考例の探傷波形特性を示す曲線図、第
２図は本発明に係る圧電磁器材料の探傷波形特性を示す
曲線図、第３図は市、気機械結合係数の分極電圧依存性
をそれぞれ示す曲線図。
第１図
第３図
？ρ の ｔρ み ｌ〃
Ｊ＃権曵五 ′Ｖ′１
Claims (1)
- （”ｂ＋−ａ Ｃａｎ ）（Ｍｅ） Ｎｂ２／３）ｘ
Ｔ＋、 ｘ）０３ （ただしＭｅはＭｇ、Ｚｎのいず
れか−８１）でＸは０．１０を越えて０３０以下ａは０
゜１０を越えて０３５以下と（〜九事を特徴とする酸化
物圧電材料。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57158896A JPS5948969A (ja) | 1982-09-14 | 1982-09-14 | 超音波探触子用酸化物圧電材料 |
| AU18796/83A AU546756B2 (en) | 1982-09-14 | 1983-09-07 | Piezoelectric oxide material |
| CA000436259A CA1248748A (en) | 1982-09-14 | 1983-09-08 | Piezoelectric oxide material |
| EP83109069A EP0103304B1 (en) | 1982-09-14 | 1983-09-14 | Piezoelectric oxide material |
| DE8383109069T DE3376418D1 (en) | 1982-09-14 | 1983-09-14 | Piezoelectric oxide material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57158896A JPS5948969A (ja) | 1982-09-14 | 1982-09-14 | 超音波探触子用酸化物圧電材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5948969A true JPS5948969A (ja) | 1984-03-21 |
| JPS6132837B2 JPS6132837B2 (ja) | 1986-07-29 |
Family
ID=15681735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57158896A Granted JPS5948969A (ja) | 1982-09-14 | 1982-09-14 | 超音波探触子用酸化物圧電材料 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0103304B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5948969A (ja) |
| AU (1) | AU546756B2 (ja) |
| CA (1) | CA1248748A (ja) |
| DE (1) | DE3376418D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020064977A (ja) * | 2018-10-17 | 2020-04-23 | キヤノン株式会社 | 圧電トランス、および電子機器 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| ATE24937T1 (de) * | 1982-05-10 | 1987-01-15 | Eltech Systems Corp | Masshaltende drainierfaehige kathode zur aluminiumgewinnung, verfahren und vorrichtung zu ihrer herstellung. |
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