JPS6023512B2 - 酸化物圧電材料 - Google Patents
酸化物圧電材料Info
- Publication number
- JPS6023512B2 JPS6023512B2 JP55017911A JP1791180A JPS6023512B2 JP S6023512 B2 JPS6023512 B2 JP S6023512B2 JP 55017911 A JP55017911 A JP 55017911A JP 1791180 A JP1791180 A JP 1791180A JP S6023512 B2 JPS6023512 B2 JP S6023512B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coupling coefficient
- piezoelectric material
- materials
- present
- ratio
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は酸化物圧電材料に係る。
さらに詳しくは（Ｐｂ，‐ａＣａａ）〔（Ｃｏ．／２Ｗ
，／２）ｘＴｉ，〜〕０３系基本組成において０．０１
ＳｘＳＯ．１０であり０．２０＜ａ＜０．３５の組成範
囲の酸化物圧電材料にＭｎ○，Ｎｉ○，Ｆｅ２０３の少
なくとも種を０．０５〜２．０重量％添加含有せしめた
、特に超音波探触子に通した酸化物圧電材料に関する。
最近になり酸化物圧電料を用いた各種の超音波探触子が
開発されている。
，／２）ｘＴｉ，〜〕０３系基本組成において０．０１
ＳｘＳＯ．１０であり０．２０＜ａ＜０．３５の組成範
囲の酸化物圧電材料にＭｎ○，Ｎｉ○，Ｆｅ２０３の少
なくとも種を０．０５〜２．０重量％添加含有せしめた
、特に超音波探触子に通した酸化物圧電材料に関する。
最近になり酸化物圧電料を用いた各種の超音波探触子が
開発されている。
このような利用に対してＰｂＴｉ０３‐ＰｂＺの３二元
系やＴｂＴｉ０３一ＰｂＺｒ０３‐Ｐｂ（Ｍ＆／３Ｎｂ
２／３）０３三元系にＣｒ２０３，Ｍｎ０２Ｎｉ○等の
添加物を加えた材料も開発されているが、これらの圧電
材料は譲霞率が３５０〜２００００と大きく、高周波領
域での使用には通さない。又これらの村料を高周波で使
用した場合には厚み方向の結合係数Ｋｔと広がり方向の
結合係数Ｋｐがほぼ同様な値であるため広がり方向の結
合係数Ｋｐのオーバートーンによるスプリアスが発生し
やすい欠点が存在した。このため高周波における応用に
おいててはＫｔ／Ｋｐの比が出来るだけ大きいものが望
ましいとされていた。また厚み方向の結合係数Ｋｔと広
がり方向の結合係数Ｋｐの値が大きく異なる結合係数の
異万性を有するＰｂＴｉ０３系材料も報告されているが
、焼結後に起るヒビ割れのため直径２仇舷以上の大型焼
絹体を得る事が出来ず、また分極条件も２００ｏｏにお
いて印加電圧６０ＫＶ／肌と非常に厳しいために放電破
壊を起しやす大型の振動子を得る事が困難であった。
系やＴｂＴｉ０３一ＰｂＺｒ０３‐Ｐｂ（Ｍ＆／３Ｎｂ
２／３）０３三元系にＣｒ２０３，Ｍｎ０２Ｎｉ○等の
添加物を加えた材料も開発されているが、これらの圧電
材料は譲霞率が３５０〜２００００と大きく、高周波領
域での使用には通さない。又これらの村料を高周波で使
用した場合には厚み方向の結合係数Ｋｔと広がり方向の
結合係数Ｋｐがほぼ同様な値であるため広がり方向の結
合係数Ｋｐのオーバートーンによるスプリアスが発生し
やすい欠点が存在した。このため高周波における応用に
おいててはＫｔ／Ｋｐの比が出来るだけ大きいものが望
ましいとされていた。また厚み方向の結合係数Ｋｔと広
がり方向の結合係数Ｋｐの値が大きく異なる結合係数の
異万性を有するＰｂＴｉ０３系材料も報告されているが
、焼結後に起るヒビ割れのため直径２仇舷以上の大型焼
絹体を得る事が出来ず、また分極条件も２００ｏｏにお
いて印加電圧６０ＫＶ／肌と非常に厳しいために放電破
壊を起しやす大型の振動子を得る事が困難であった。
さらに従来のＰｂＴｉ０３材料では厚み方向の結合係数
Ｋｔは４０〜４８％であり、広がり方向の結合係数Ｋｐ
は８以上であるため、結合係数の比Ｋｔ／Ｋｐは４〜程
度が限界であり広がり方向の結合係数Ｋｐのオーバート
ーンによるスプリアスが無視出来なかった。
Ｋｔは４０〜４８％であり、広がり方向の結合係数Ｋｐ
は８以上であるため、結合係数の比Ｋｔ／Ｋｐは４〜程
度が限界であり広がり方向の結合係数Ｋｐのオーバート
ーンによるスプリアスが無視出来なかった。
本発明の目的は以上の問題点を解決したもので厚み方向
の結合係数であるＫｔが５０％以上と大きく、広がり方
向の結合係数Ｋｐが３〜５％、すなわちＫｔ／Ｋｐが１
０〜１９の値を示す材料であり、さらに誘電率が３００
以下と小さく、焼結が容易なため５００肌以上の大型振
動子が得られ、かつ従来のＰｂＴｉ０３材料に比較して
はるかに分極操作の容易な酸化物圧電材料を提供するも
のである。
の結合係数であるＫｔが５０％以上と大きく、広がり方
向の結合係数Ｋｐが３〜５％、すなわちＫｔ／Ｋｐが１
０〜１９の値を示す材料であり、さらに誘電率が３００
以下と小さく、焼結が容易なため５００肌以上の大型振
動子が得られ、かつ従来のＰｂＴｉ０３材料に比較して
はるかに分極操作の容易な酸化物圧電材料を提供するも
のである。
本発明（ＰｂＭＣａ３）〔（ＣＯ．／２Ｗ，／２）ｘＴ
ｉ，〜〕０３の一般式において、０．０１Ｓｘミ０．１
０，０．２０くａＳＯ．３５の組成から成りこれに副成
分としてＭｎ○，Ｎｉ○，Ｆｅ２０３の少なくとも１つ
を０．０５〜２．の重量％添加含有した酸化物圧電材料
である。
ｉ，〜〕０３の一般式において、０．０１Ｓｘミ０．１
０，０．２０くａＳＯ．３５の組成から成りこれに副成
分としてＭｎ○，Ｎｉ○，Ｆｅ２０３の少なくとも１つ
を０．０５〜２．の重量％添加含有した酸化物圧電材料
である。
このような本発明の酸化物電材料は一般的には粉末冶金
的方法につて容易に製造することができる。
的方法につて容易に製造することができる。
例えば、ＰＯ０，Ｔｉ０２，ＣａＣ０３，Ｍｎ０３，Ｎ
ｉ○，Ｃｏｏ，Ｗ０３，Ｆｅ２０３などの原料酸化物を
所定の割合に正確に秤取し、それらをポールミルなどに
よってよく混合する。なお、この除用いる原料は加熱に
よって酸化物に転化する化合物例えば水酸化物、炭酸塩
、シュウ酸塩等であってもよい。次いで前記混合物を例
えば６００〜９００ｏｏ程度の温度で予備焼成し、さら
にボールミルなどによって粉砕して調製粉とする。
ｉ○，Ｃｏｏ，Ｗ０３，Ｆｅ２０３などの原料酸化物を
所定の割合に正確に秤取し、それらをポールミルなどに
よってよく混合する。なお、この除用いる原料は加熱に
よって酸化物に転化する化合物例えば水酸化物、炭酸塩
、シュウ酸塩等であってもよい。次いで前記混合物を例
えば６００〜９００ｏｏ程度の温度で予備焼成し、さら
にボールミルなどによって粉砕して調製粉とする。
しかる後この製粉末に水あるいはポリビニルアルコール
などの粘縞剤を添加配合して、０．５〜２Ｐｎ／の程度
の圧力で加圧成形した後、１１００〜１２００ｏｏ程度
の温度で焼成する。この焼成において一つの組成分たる
ＰＯＯの一部が蒸発陣教する恐れもあるので焼成は閉炉
内で行ない、また最高温度での保持は一般に０５〜３時
間程度で充分である。さらに本発明について詳述する。
などの粘縞剤を添加配合して、０．５〜２Ｐｎ／の程度
の圧力で加圧成形した後、１１００〜１２００ｏｏ程度
の温度で焼成する。この焼成において一つの組成分たる
ＰＯＯの一部が蒸発陣教する恐れもあるので焼成は閉炉
内で行ない、また最高温度での保持は一般に０５〜３時
間程度で充分である。さらに本発明について詳述する。
さらに本発明について詳述する。
まず（Ｐｂ．‐ａＣａａ）〔（Ｃｏ．／２Ｗ，／２）ｘ
Ｔｉ，‐ｘ〕０３基本組成において０．２０＜ａＳＯ．
３５と限定した理由はａＳＯ．２０でもａ＞０．３５で
もＫｐの値が５％以となり、Ｋｔ／Ｋｐの比が１氏未満
となりスプリアスの発生が多くなるためである。
Ｔｉ，‐ｘ〕０３基本組成において０．２０＜ａＳＯ．
３５と限定した理由はａＳＯ．２０でもａ＞０．３５で
もＫｐの値が５％以となり、Ｋｔ／Ｋｐの比が１氏未満
となりスプリアスの発生が多くなるためである。
又ａ＞０．３５では誘電率の値が３００以上となり高周
波での応用に不利となるためである。また、Ｘ＝０．０
１〜０．１０と限定した理由は×＜０．０１では磁器の
焼成温度を低下さて均一な焼結体を得る働きのＰｂ（Ｃ
ｏ．′２Ｗ，′２）０３の効果が現れず、Ｘ＞０．１０
ではＫｐが大きくなりＫｔ／Ｋｐの比が１の未満となる
ためである。
波での応用に不利となるためである。また、Ｘ＝０．０
１〜０．１０と限定した理由は×＜０．０１では磁器の
焼成温度を低下さて均一な焼結体を得る働きのＰｂ（Ｃ
ｏ．′２Ｗ，′２）０３の効果が現れず、Ｘ＞０．１０
ではＫｐが大きくなりＫｔ／Ｋｐの比が１の未満となる
ためである。
又、Ｍｎ０，Ｎｉ○，Ｆｅ２０８のいずれか一種の添加
含有量を０．０５〜２．の重量％と限定したのは０．０
５重量％より少なくてはＰｂＴ０３磁器の暁綾性、およ
び分極特性を改善するというこれらの副成分の効果が得
られず２．０重量％より多くては磁器の焼結性が悪くな
るためである。
含有量を０．０５〜２．の重量％と限定したのは０．０
５重量％より少なくてはＰｂＴ０３磁器の暁綾性、およ
び分極特性を改善するというこれらの副成分の効果が得
られず２．０重量％より多くては磁器の焼結性が悪くな
るためである。
かくして本発明に依り次に掲げるような効果を得る事が
出来る。
出来る。
第１に従来のＰＺｒ材料、三成分系材料では厚み方向の
結合係数Ｋｔと広がり方向の結合係数Ｋｐとの値はほぼ
同等であるため、厚み振動を利用した振動子を作成する
場合に広がり方向の振動のオーバートーンによるスプリ
アスのため実用上問題があったのに対し、本発明の材料
では厚み方向の結合係数は５０％以上の大きな値を示し
がら、広がり方向の結合係数Ｋｐは３〜５％と小さな値
のため、高周波におけるスプリアスが小さく、実用上有
利となる。第２にＰｂの一部をＣａで置換する事に依り
、又焼成温度の低いＰｂ（Ｃｏ．／２Ｗ，′２）０３を
一部固溶せる事により焼成温度を低下させ、ＰｂＴｉ０
３系材料の焼絹性を向上させ繊密な磁器が得られる様に
なる。さらに、従来のＰｂＴｉ０８系材料では２００ｏ
ｏの高温で６０ＫＶ／肌の電界を印加しなければ充分な
結合係数Ｋｔを引き出すことが来ないため分極時に放電
破壊を起しやすく大型の振動子が得にくい点が存在した
。
結合係数Ｋｔと広がり方向の結合係数Ｋｐとの値はほぼ
同等であるため、厚み振動を利用した振動子を作成する
場合に広がり方向の振動のオーバートーンによるスプリ
アスのため実用上問題があったのに対し、本発明の材料
では厚み方向の結合係数は５０％以上の大きな値を示し
がら、広がり方向の結合係数Ｋｐは３〜５％と小さな値
のため、高周波におけるスプリアスが小さく、実用上有
利となる。第２にＰｂの一部をＣａで置換する事に依り
、又焼成温度の低いＰｂ（Ｃｏ．／２Ｗ，′２）０３を
一部固溶せる事により焼成温度を低下させ、ＰｂＴｉ０
３系材料の焼絹性を向上させ繊密な磁器が得られる様に
なる。さらに、従来のＰｂＴｉ０８系材料では２００ｏ
ｏの高温で６０ＫＶ／肌の電界を印加しなければ充分な
結合係数Ｋｔを引き出すことが来ないため分極時に放電
破壊を起しやすく大型の振動子が得にくい点が存在した
。
本発明の材料ではｂの一部をＣａで置換しているため分
極が容易となり、１００ｑｏ，３０〜４０ＫＶ／弧の分
極条件で充分な結合係数Ｋｔを得ことが出来るための分
極時の放電破壊はほとんど起らず安定に大型の振動子を
作成出来る。
極が容易となり、１００ｑｏ，３０〜４０ＫＶ／弧の分
極条件で充分な結合係数Ｋｔを得ことが出来るための分
極時の放電破壊はほとんど起らず安定に大型の振動子を
作成出来る。
第３にＭｎ○，Ｎｉ○，Ｆｅ２０３の少なくとも一種を
添加含有せしめることに依りさらに晩結性、分極特性お
よび共振周波数の経時特性を向上させることが出来る。
添加含有せしめることに依りさらに晩結性、分極特性お
よび共振周波数の経時特性を向上させることが出来る。
次に本発明の実施例について記載する。焼結された試料
を２０Ｊ×０．５柳に研磨し、両面に電極を焼き付け１
００ｏｏ、４０ＫＶ／肌の条件で分極した後、Ｐｒｏｃ
．ＩＲＥ．Ｖｏｌ．１３７（１４９）１３７８〜１３９
５などに示された標準回路方法によって霞特性を各々測
定した。
を２０Ｊ×０．５柳に研磨し、両面に電極を焼き付け１
００ｏｏ、４０ＫＶ／肌の条件で分極した後、Ｐｒｏｃ
．ＩＲＥ．Ｖｏｌ．１３７（１４９）１３７８〜１３９
５などに示された標準回路方法によって霞特性を各々測
定した。
これらの測定結果をそれらの焼結体の組成比とともに第
１表に示す。なお、第１表においてＦ．Ｔ．は焼成温度
（℃）を、Ｄは比重（２３ｑＣで測定）を・は誘電率（
ＩＫＨｚ２３００で測定）をＫｔは厚み方向の結合係数
（％）を、Ｋｐは広がり方向の結合係数（％）をＫｔ／
Ｋｐは結合係数の比を、それぞれ示す。
１表に示す。なお、第１表においてＦ．Ｔ．は焼成温度
（℃）を、Ｄは比重（２３ｑＣで測定）を・は誘電率（
ＩＫＨｚ２３００で測定）をＫｔは厚み方向の結合係数
（％）を、Ｋｐは広がり方向の結合係数（％）をＫｔ／
Ｋｐは結合係数の比を、それぞれ示す。
路舵
これらの試料中実施例１ふ参考例２の試料について分極
温度に依る電気機械結合係数Ｋｔの値を測定したところ
第１図に示す結果を得た。
温度に依る電気機械結合係数Ｋｔの値を測定したところ
第１図に示す結果を得た。
第１図において曲線ａは実施例１５の場合を曲線ｂは参
考例２の場合を示す。本発明の実施例は従来のＰｂＴｉ
０３系セラミックに比較して低温度でも充分な結合係数
Ｋｔを得る事が出来、分極が容易になっている事がわか
る。次にこれらの試料中実施例、９、１０１１、１２、
１３、１４、１５、１度参考例１、３、４の試料の結合
係数Ｋｔ，Ｋｐの変化と結係数比Ｋｔ／Ｋｐを測定した
ところ第２図に示す様な結果を得た。
考例２の場合を示す。本発明の実施例は従来のＰｂＴｉ
０３系セラミックに比較して低温度でも充分な結合係数
Ｋｔを得る事が出来、分極が容易になっている事がわか
る。次にこれらの試料中実施例、９、１０１１、１２、
１３、１４、１５、１度参考例１、３、４の試料の結合
係数Ｋｔ，Ｋｐの変化と結係数比Ｋｔ／Ｋｐを測定した
ところ第２図に示す様な結果を得た。
第２図において試料ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇ，ｈは
実施例９、１０、１１、１２、１３１４１５ １６を試
料ｉ，ｊ，ｋは参考例１、３、４をそれぞれ示す。
実施例９、１０、１１、１２、１３１４１５ １６を試
料ｉ，ｊ，ｋは参考例１、３、４をそれぞれ示す。
第２図からあきらかの様に０．２び＜ａミ０．３５の範
囲においては結合係数Ｋｔは５０％以上の値を示しなが
ら、結合係数Ｋｐは３〜５％と小さく、結合係数比Ｋｔ
／Ｋｐは１０〜１９に達する。
囲においては結合係数Ｋｔは５０％以上の値を示しなが
ら、結合係数Ｋｐは３〜５％と小さく、結合係数比Ｋｔ
／Ｋｐは１０〜１９に達する。
第３図はＫ＝０．０５の場合にＰｂＴｉ０３の一部をＳ
ｒで置換した材料の結合係数Ｋｔ，Ｋｐおよびその比Ｋ
ｔ／Ｋｐを示す。
ｒで置換した材料の結合係数Ｋｔ，Ｋｐおよびその比Ｋ
ｔ／Ｋｐを示す。
第４図は×＝０．０５の場合にＰｂＴｉ０３の一部をＢ
ａで置換した材料の結合係数Ｋｔ，Ｋｐおよびその比Ｋ
ｔ／Ｋｐを示す。
ａで置換した材料の結合係数Ｋｔ，Ｋｐおよびその比Ｋ
ｔ／Ｋｐを示す。
第３図乃至第４図から明かな様にＰｂＴｉ０３の一部を
Ｂａ，Ｓｒで置換しても５０％以上の結合係数Ｋｔを得
る事は出来ず、又、結合係数Ｋは１０〜２０％であるた
め、Ｋｔ／Ｋｐは５以下にすぎない。
Ｂａ，Ｓｒで置換しても５０％以上の結合係数Ｋｔを得
る事は出来ず、又、結合係数Ｋは１０〜２０％であるた
め、Ｋｔ／Ｋｐは５以下にすぎない。
しかしながら、ＰｂＴｊ０３の一部をＣａで２０〜３５
原子％置換する事に依り結合係数Ｋｐの減少が起りＫｐ
３〜５％となる。この様にＫｐが小さく、Ｋｔが大きい
材料は従釆まで報告されておらず新しい酸化物圧電材料
である。た分極条件が容易なため大型の振動子の作成が
可能となり、従来までは応用が限られていたＰｂＴｊ０
３材料のすぐれた機能を発揮する事が出来る。かくして
本発明に係る酸化物圧電材料は例えば次の様な用途に適
するものと言える。
原子％置換する事に依り結合係数Ｋｐの減少が起りＫｐ
３〜５％となる。この様にＫｐが小さく、Ｋｔが大きい
材料は従釆まで報告されておらず新しい酸化物圧電材料
である。た分極条件が容易なため大型の振動子の作成が
可能となり、従来までは応用が限られていたＰｂＴｊ０
３材料のすぐれた機能を発揮する事が出来る。かくして
本発明に係る酸化物圧電材料は例えば次の様な用途に適
するものと言える。
（１｝ 高周波における応用
従釆の圧電材料は誘電率が１００の壁度と大き過ぎるた
め高周波領域での用途に適さないと言う難点があった。
め高周波領域での用途に適さないと言う難点があった。
一般にインピーダンスＺはＺ＝ｄ／（２ｍｆ・ご・ｓ）
（ここでｄ，ｓは試料の厚さと断面積、ｆ‘ま使用周波
数、ごは誘電率である。）で与られる。従って、ｄはｆ
に反比例して薄する必要がある。結局Ｚの１／（ｆ２・
ご・ｓ）となるが、ｆが高くなれば、Ｚは２乗で効いて
きて、急速に減少する。Ｚ整合にはｓかごを小さくする
必要があるが、ｓには加工上の限界もあるので、ごを小
さくする方が有利である。本発明の圧電材料は誘電率ご
が１８０〜３００程度で従来のものとくらべ１／３〜１
／１０である。従って従来の材料で１０ＭＨｚまで使用
可能ならば、本発明の材料を使えば５■ＭＨｂぐらいま
で可能となる。又、結合係数比Ｋｔ／Ｋｐが１０〜１９
と大きいため、Ｋｐのオーバートーンによるスプリアス
の影響小さく、振動子を作成した場合に実用上有利とな
る。
（ここでｄ，ｓは試料の厚さと断面積、ｆ‘ま使用周波
数、ごは誘電率である。）で与られる。従って、ｄはｆ
に反比例して薄する必要がある。結局Ｚの１／（ｆ２・
ご・ｓ）となるが、ｆが高くなれば、Ｚは２乗で効いて
きて、急速に減少する。Ｚ整合にはｓかごを小さくする
必要があるが、ｓには加工上の限界もあるので、ごを小
さくする方が有利である。本発明の圧電材料は誘電率ご
が１８０〜３００程度で従来のものとくらべ１／３〜１
／１０である。従って従来の材料で１０ＭＨｚまで使用
可能ならば、本発明の材料を使えば５■ＭＨｂぐらいま
で可能となる。又、結合係数比Ｋｔ／Ｋｐが１０〜１９
と大きいため、Ｋｐのオーバートーンによるスプリアス
の影響小さく、振動子を作成した場合に実用上有利とな
る。
細 りニャスキャン型超音波診断装置用ののプローブ。
超音波診断装置用プローブにおける音波変換素子は、高
周波化に伴って型形状化、薄板化が要求される。素子の
大型形状化、薄板化は従来のＰｂＴｉ０３系圧電材料で
は困難であったが、本発明の材料によれば暁絹性が良好
なために機械的強度に優れた大型薄板化（例えば、長さ
５０〜１０仇柵、幅１５〜２仇帆、厚さ２００仏肌）が
容易に実現される。以上述べたよう本発明の圧電材料を
使用すれば従来不可能であった用途にも有用である事が
わかる。
周波化に伴って型形状化、薄板化が要求される。素子の
大型形状化、薄板化は従来のＰｂＴｉ０３系圧電材料で
は困難であったが、本発明の材料によれば暁絹性が良好
なために機械的強度に優れた大型薄板化（例えば、長さ
５０〜１０仇柵、幅１５〜２仇帆、厚さ２００仏肌）が
容易に実現される。以上述べたよう本発明の圧電材料を
使用すれば従来不可能であった用途にも有用である事が
わかる。
図面は本発明に係る酸化物圧電材料の特性例を示すもの
で、第１図は分極温度と電気機械結合係数Ｋｔの関係曲
線図、第２図はＣａＴｉ０３のモル％と結合係数Ｋｔ（
％），Ｋｐ（％）およびその比の関係曲線図、第３図は
ＳｒＴｊ０３のモル％と電気機械結合係数Ｋｔ（％），
Ｋｐ（％）およびその比の関係曲線図、第４図は舷Ｔｉ
０３のモル％と電気機械結合係数Ｋｔ（％），Ｋｐ（％
）およびその比の関係線図をそれぞれ示す。 第１図 第２図 第３図 第４図
で、第１図は分極温度と電気機械結合係数Ｋｔの関係曲
線図、第２図はＣａＴｉ０３のモル％と結合係数Ｋｔ（
％），Ｋｐ（％）およびその比の関係曲線図、第３図は
ＳｒＴｊ０３のモル％と電気機械結合係数Ｋｔ（％），
Ｋｐ（％）およびその比の関係曲線図、第４図は舷Ｔｉ
０３のモル％と電気機械結合係数Ｋｔ（％），Ｋｐ（％
）およびその比の関係線図をそれぞれ示す。 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ （Ｐｂ＿１＿−＿ａＣａａ）〔（Ｃｏ＿１／＿２Ｗ
＿１／＿２）＿ｘＴｉ＿１＿−＿ｘ〕Ｏ＿３系基本組成
において０．０１≦ｘ≦０．１０であり０．２０＜ａ≦
０．３５の組成範囲にさらに副成分としてＭｎＯ，Ｎｉ
Ｏ，Ｆｅ＿２Ｏ＿３の少なくとも一種を０．０５〜２．
０重量％添加含有する事を特徴とする酸化物圧電材料。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55017911A JPS6023512B2 (ja) | 1980-02-18 | 1980-02-18 | 酸化物圧電材料 |
| EP81100999A EP0034342B1 (en) | 1980-02-18 | 1981-02-12 | Piezoelectric oxide material |
| DE8181100999T DE3161068D1 (en) | 1980-02-18 | 1981-02-12 | Piezoelectric oxide material |
| US06/235,639 US4321155A (en) | 1980-02-18 | 1981-02-18 | Piezoelectric oxide material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55017911A JPS6023512B2 (ja) | 1980-02-18 | 1980-02-18 | 酸化物圧電材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56115579A JPS56115579A (en) | 1981-09-10 |
| JPS6023512B2 true JPS6023512B2 (ja) | 1985-06-07 |
Family
ID=11956926
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55017911A Expired JPS6023512B2 (ja) | 1980-02-18 | 1980-02-18 | 酸化物圧電材料 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4321155A (ja) |
| EP (1) | EP0034342B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6023512B2 (ja) |
| DE (1) | DE3161068D1 (ja) |
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| US6447887B1 (en) | 1999-09-14 | 2002-09-10 | Virginia Tech Intellectual Properties, Inc. | Electrostrictive and piezoelectric thin film assemblies and method of fabrication therefor |
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Family Cites Families (6)
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|---|---|---|---|---|
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- 1981-02-18 US US06/235,639 patent/US4321155A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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