JPS5954264A - 複合電子回路およびその製造方法 - Google Patents
複合電子回路およびその製造方法Info
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- JPS5954264A JPS5954264A JP58150892A JP15089283A JPS5954264A JP S5954264 A JPS5954264 A JP S5954264A JP 58150892 A JP58150892 A JP 58150892A JP 15089283 A JP15089283 A JP 15089283A JP S5954264 A JPS5954264 A JP S5954264A
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- Japan
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- circuit
- board
- electronic circuit
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W44/00—Electrical arrangements for controlling or matching impedance
- H10W44/401—Resistive arrangements
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
- H10W70/67—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers characterised by their insulating layers or insulating parts
- H10W70/69—Insulating materials thereof
- H10W70/692—Ceramics or glasses
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/16—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistors, capacitors or inductors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/541—Dispositions of bond wires
- H10W72/5449—Dispositions of bond wires not being orthogonal to a side surface of the chip, e.g. fan-out arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W74/00—Encapsulations, e.g. protective coatings
Landscapes
- Thermistors And Varistors (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は多数の電子素rを含み、少くとも一つの素子
が基板入面に設けられ、基板の部分区域に作らλtだ少
くとも一つの素子と4屯結合さノ1ている複合電子回路
とその製法(CI銅するものである。
が基板入面に設けられ、基板の部分区域に作らλtだ少
くとも一つの素子と4屯結合さノ1ている複合電子回路
とその製法(CI銅するものである。
ζ、のイ重の電子回路の一例&i辺j独国局ij’l’
l−i 1領公開第2120787号明、;ll]□
旬1ノで011威されてい乙3.この公知回路は能′!
jIJ素でと受動泰6から成る集積回路てあつ能動農工
と導電接触を作るだめの1・−ベント層と半導体基板表
向の?、縁層となる絶、障′吻の層が設(・)ら′11
ている。この絶・1砿層の士には存体路、抵抗又はコン
テノザとして使用される別の層か設けられる。更にこの
種の電子回路を製必す2)際半導体基板をt市!iσl
素子と受動素子の5タ力Q′ζ川曲の7−(不しと見て
/ルタスクリーン法によって各′X11分を171゜る
ことの外4流又は屯IF−ζ)lスに土9てノ4屯I+
、[、jl・にHl、シ又)し01入1申(・で戻J−
ことが「す1iliであるツノ′ノスをフルクスクリー
ニングによつCとすっけることもこの文献に1,1:載
されている3、このようなガラス層を1・−・ぐント拡
散に1yi L、 −c h−ブ′吻質l(玲(j9、
とすることも発表されてbる。
l−i 1領公開第2120787号明、;ll]□
旬1ノで011威されてい乙3.この公知回路は能′!
jIJ素でと受動泰6から成る集積回路てあつ能動農工
と導電接触を作るだめの1・−ベント層と半導体基板表
向の?、縁層となる絶、障′吻の層が設(・)ら′11
ている。この絶・1砿層の士には存体路、抵抗又はコン
テノザとして使用される別の層か設けられる。更にこの
種の電子回路を製必す2)際半導体基板をt市!iσl
素子と受動素子の5タ力Q′ζ川曲の7−(不しと見て
/ルタスクリーン法によって各′X11分を171゜る
ことの外4流又は屯IF−ζ)lスに土9てノ4屯I+
、[、jl・にHl、シ又)し01入1申(・で戻J−
ことが「す1iliであるツノ′ノスをフルクスクリー
ニングによつCとすっけることもこの文献に1,1:載
されている3、このようなガラス層を1・−・ぐント拡
散に1yi L、 −c h−ブ′吻質l(玲(j9、
とすることも発表されてbる。
庸に11φ6 Jl:保護用心して1N1′6・特に半
、・、q体回1清1・C避雷器を設けることは公知であ
る。こ右1c iJ しては・特(Cバリスタが適し、
こねを回路の接わ”し97線(・て44経ノーる。この
バリスタはトープさtI/こ醒化亜ぐ沿ヒラミックから
成り、−ヒラミンク体の1(1す面父r−J、その表面
(〆こ電極を備え/こ素rとするの2壇イ」刊である(
米国時31第:38F+511・1吋)。印加山、月が
低いとバリスタは高抵抗であり印ノJ旧ti:、jEが
高くなると低4」−’c 4>iン侍性を示すようにな
る1、この7((1の素百の屯流屯圧!時r1泪1=(
−)αで表わされる。、1(帽(A:”1gaてありα
は非線1[ぞ係数である。バリスタの酸化曲鉛セラミ゛
ツク体(はその全体(tこ目−9てバリスタ特性をン」
ミずのか普1川であるか酸化)1[j鉛1ニラSツク(
本の〕偉し)1曽を小′手だけかバリスタ′揚τ1えi
J”(しているバリスタも介在する。CrJuiJ万+
l”l ’41g1′111−旨冑(公j芹」第28
20118号、同、Σ2 U 2 + 1 !+ 7−
号)、このペリスタのヒラミンク体の残りの部分は4+
−1−1LIX¥1係なく常ンて低↑1(1ブEである
。
、・、q体回1清1・C避雷器を設けることは公知であ
る。こ右1c iJ しては・特(Cバリスタが適し、
こねを回路の接わ”し97線(・て44経ノーる。この
バリスタはトープさtI/こ醒化亜ぐ沿ヒラミックから
成り、−ヒラミンク体の1(1す面父r−J、その表面
(〆こ電極を備え/こ素rとするの2壇イ」刊である(
米国時31第:38F+511・1吋)。印加山、月が
低いとバリスタは高抵抗であり印ノJ旧ti:、jEが
高くなると低4」−’c 4>iン侍性を示すようにな
る1、この7((1の素百の屯流屯圧!時r1泪1=(
−)αで表わされる。、1(帽(A:”1gaてありα
は非線1[ぞ係数である。バリスタの酸化曲鉛セラミ゛
ツク体(はその全体(tこ目−9てバリスタ特性をン」
ミずのか普1川であるか酸化)1[j鉛1ニラSツク(
本の〕偉し)1曽を小′手だけかバリスタ′揚τ1えi
J”(しているバリスタも介在する。CrJuiJ万+
l”l ’41g1′111−旨冑(公j芹」第28
20118号、同、Σ2 U 2 + 1 !+ 7−
号)、このペリスタのヒラミンク体の残りの部分は4+
−1−1LIX¥1係なく常ンて低↑1(1ブEである
。
このJ二つなバリスタは+!;11 、えfd次のよう
V(−シてイ乍られる:址ず出発+A+′’lを混渇[
し、泥漿を層・砕し、加圧成形して焼4・11すること
によQ屯11−に無1又1 ’lAiに低砥抗である酸
化j(18鉛セラミ゛ツク体を作7..a この放1杉
体に例えは酸化ビスマス、酸化ホウ素、1亥化コバルl
−、酸化アノチモン、m fllツクjJ−、n& 化
T−タン、酸化プラセオジム、酸11カッ【/・ンj、
hIjの1・−・(/1・の中の一つ又はその−くつ
かをIt/; it+侵入させて薄(八人面層だけがパ
リス”1Wflをijkすようにする。
V(−シてイ乍られる:址ず出発+A+′’lを混渇[
し、泥漿を層・砕し、加圧成形して焼4・11すること
によQ屯11−に無1又1 ’lAiに低砥抗である酸
化j(18鉛セラミ゛ツク体を作7..a この放1杉
体に例えは酸化ビスマス、酸化ホウ素、1亥化コバルl
−、酸化アノチモン、m fllツクjJ−、n& 化
T−タン、酸化プラセオジム、酸11カッ【/・ンj、
hIjの1・−・(/1・の中の一つ又はその−くつ
かをIt/; it+侵入させて薄(八人面層だけがパ
リス”1Wflをijkすようにする。
例えtr、、r l1llI:!1′:4体回路、混成
回路アルl/″1ハソノ他の構成の回路を使用するこ々
((関連してできるだ6す1氏インダクタンスでありで
きるだけ占有′や11;]の少なし)過電Fト保護器の
!jiJ発に努勾ゲ払わノ1てきた。
回路アルl/″1ハソノ他の構成の回路を使用するこ々
((関連してできるだ6す1氏インダクタンスでありで
きるだけ占有′や11;]の少なし)過電Fト保護器の
!jiJ発に努勾ゲ払わノ1てきた。
過電圧保護器がインダクタノλの大きい111’j成で
あるとQ I=す・*度の犬き因過重1日′CX−jし
て保護作用か低1・する。史lここの保護器を柑込んだ
回路はとれ1てに1片1発さJ1工場製ノ梁に届’41
− k 4支1を釘1に製法によって作らi]るもので
なけねにJならない。
あるとQ I=す・*度の犬き因過重1日′CX−jし
て保護作用か低1・する。史lここの保護器を柑込んだ
回路はとれ1てに1片1発さJ1工場製ノ梁に届’41
− k 4支1を釘1に製法によって作らi]るもので
なけねにJならない。
この発明の−っの目的は多数の集積回路と場合によって
別の素肴ならひにバリスタから成るIW舎回路+’c灼
して従来の製造方法K 3逓合すると同時(て占有空酬
]をてさるたけ小さくするととができる1氏イノダクタ
ンス!I′4造を実現することであン)3゜この目的け
4頭(で挙げた複合屯で一回路(〆ζ切して特許請求の
範囲第+ 、ntに竹徴表して挙け/こ1j♂、成を探
J1]することによつ−C1卓成される。丑/ζ+lR
r許請求の範囲第3頃に示しA:方法によつ゛にの発明
ζ′こよる複合電子回路は何)□rlJ UC1□便作
することかできる。
別の素肴ならひにバリスタから成るIW舎回路+’c灼
して従来の製造方法K 3逓合すると同時(て占有空酬
]をてさるたけ小さくするととができる1氏イノダクタ
ンス!I′4造を実現することであン)3゜この目的け
4頭(で挙げた複合屯で一回路(〆ζ切して特許請求の
範囲第+ 、ntに竹徴表して挙け/こ1j♂、成を探
J1]することによつ−C1卓成される。丑/ζ+lR
r許請求の範囲第3頃に示しA:方法によつ゛にの発明
ζ′こよる複合電子回路は何)□rlJ UC1□便作
することかできる。
この発明(・」、曲の(1〜I′tili:素rに関連
して心安となっているバリスタも腹合1i11路に集り
、’(され/ζ(+′4成部品、となっていなげノ1に
[ならないという4マーから出たもの−Cある。この考
えによる上腹γr回路−1、′1にイV数の集積量16
6とその他の末子カリ11介わきLLこいbものに灯し
てjll ’ri曹史月1されている支(−4一体を全
体のイ)11合すにhJする基板として構成しこのノI
IXイ反内に心安、!:するバリスタを実11JJする
ことKな2:)。従来の複合回路Pl−論でバリスタ利
+[として使用され/こ低風1プEの酸化lll!鉛セ
ラミックの代りにこの発111−1による複合回路では
)1気絶は件あるいはできるだけ高J凡抗の酸化側屈か
基板(A料として使itlされる。後で述べるようにこ
のようなセラζツクを実際K I’l;ることかできる
。
して心安となっているバリスタも腹合1i11路に集り
、’(され/ζ(+′4成部品、となっていなげノ1に
[ならないという4マーから出たもの−Cある。この考
えによる上腹γr回路−1、′1にイV数の集積量16
6とその他の末子カリ11介わきLLこいbものに灯し
てjll ’ri曹史月1されている支(−4一体を全
体のイ)11合すにhJする基板として構成しこのノI
IXイ反内に心安、!:するバリスタを実11JJする
ことKな2:)。従来の複合回路Pl−論でバリスタ利
+[として使用され/こ低風1プEの酸化lll!鉛セ
ラミックの代りにこの発111−1による複合回路では
)1気絶は件あるいはできるだけ高J凡抗の酸化側屈か
基板(A料として使itlされる。後で述べるようにこ
のようなセラζツクを実際K I’l;ることかできる
。
この発明(てよれizf電気絶縁性あるいはそ)1に近
い酸化亜鉛基板」−に一つ又は複数の集積回路と心安に
応じてその他の構成素子ならびに配線用の導体路が設け
られる。一つの集積回路と導体路との間の′電気結合は
σn常の機械製導、線結合C′こJ、る。酸化亜鉛基板
の集積回路にも導体路(でも必νてな一表面部分が一つ
又は複数の・・リスクに使用される。
い酸化亜鉛基板」−に一つ又は複数の集積回路と心安に
応じてその他の構成素子ならびに配線用の導体路が設け
られる。一つの集積回路と導体路との間の′電気結合は
σn常の機械製導、線結合C′こJ、る。酸化亜鉛基板
の集積回路にも導体路(でも必νてな一表面部分が一つ
又は複数の・・リスクに使用される。
これらのバリスタVCX=J’ しては−・つ又はそれ
以1の集イアf回Il!r−i々その他のイt/jlr
M素rの少く吉も一部分が設けられている基鈑表血部分
又d、体積部発呼でも使用1.lJ iji’!、であ
る。これ1dこれらの回路の一つがバリスタの接地7f
i極の表面又に1その−1,力(fこあり、この接地上
極が同11!iにその−ににある回路にχ・14−る1
.1ム1辰休として作〕11シているとき′1?iにイ
)利である。。
以1の集イアf回Il!r−i々その他のイt/jlr
M素rの少く吉も一部分が設けられている基鈑表血部分
又d、体積部発呼でも使用1.lJ iji’!、であ
る。これ1dこれらの回路の一つがバリスタの接地7f
i極の表面又に1その−1,力(fこあり、この接地上
極が同11!iにその−ににある回路にχ・14−る1
.1ム1辰休として作〕11シているとき′1?iにイ
)利である。。
このような表面子・115分の下のr・1β化:P、
tA材わ1は+ii+に1ホベだ1−ベントの拡散によ
って屯気絶□1承仄i、iトからバリスタ特性を示す状
惟に移されている。エネルギー1直の高い過電圧に灼し
て保護するためには基板のノン1定に開部分のl’ f
illl c’) I’ノさ全体で7パリスク時t1″
に変換しておくのが有刊てあろ1.このJ、44合・・
リスクは基板の1iJ面のフッ1定表面j小鋒1の屯4
徹とその片面の対向電極との間に置かノする。
tA材わ1は+ii+に1ホベだ1−ベントの拡散によ
って屯気絶□1承仄i、iトからバリスタ特性を示す状
惟に移されている。エネルギー1直の高い過電圧に灼し
て保護するためには基板のノン1定に開部分のl’ f
illl c’) I’ノさ全体で7パリスク時t1″
に変換しておくのが有刊てあろ1.このJ、44合・・
リスクは基板の1iJ面のフッ1定表面j小鋒1の屯4
徹とその片面の対向電極との間に置かノする。
1ン[面+ic示した実lI也1・>lj ;(ついて
この・爪閉を史にオr細に説明する。
この・爪閉を史にオr細に説明する。
第1図(d、二つのバリスタ2お」:ひl 、l: −
・つの集積口1’i−i +から構成される実施1り1
1をlJζず。この集積11角路・1は例えL/J歳子
回路かj!βらtl、−cし)る半纏fイ・小板てあっ
て^2気、絶1隊件の酸比iル鉛セツミックの基板5の
表面にきりつけら九ている。3C;は基板5の縁I瑞ま
で沖び/こ導体路であり縁−イ111部’??4妾&R
+ン71:を1[そ成する。これらの導体路の他”?M
f &;j、1お積回路・1の1rBく寸で達しaid
積回路の司応する接イン1.端と接h′し導1腺7に」
二って結d−ねている。
・つの集積口1’i−i +から構成される実施1り1
1をlJζず。この集積11角路・1は例えL/J歳子
回路かj!βらtl、−cし)る半纏fイ・小板てあっ
て^2気、絶1隊件の酸比iル鉛セツミックの基板5の
表面にきりつけら九ている。3C;は基板5の縁I瑞ま
で沖び/こ導体路であり縁−イ111部’??4妾&R
+ン71:を1[そ成する。これらの導体路の他”?M
f &;j、1お積回路・1の1rBく寸で達しaid
積回路の司応する接イン1.端と接h′し導1腺7に」
二って結d−ねている。
*’l a!を引1/−Iで示したバリスタ2.:3か
、11のる衣開部分ては基板L5の酸化lj鉛かバリス
タ14什を示す。この発明による製造方法によ(9この
)Xl(分の絶縁性乃至高抵抗性の酸化1111鉛イn
’ +1が1・−ビ/グに、lJつてバ1ルスタ月料+
’′c変えられている。
、11のる衣開部分ては基板L5の酸化lj鉛かバリス
タ14什を示す。この発明による製造方法によ(9この
)Xl(分の絶縁性乃至高抵抗性の酸化1111鉛イn
’ +1が1・−ビ/グに、lJつてバ1ルスタ月料+
’′c変えられている。
第1図の破線8は基板5の背面に設けり、 h /こ1
ツ属層の境界を、i、ず。この囮;売層はjず・(リス
ク2゜:)の対電椿として使用きれるもσ)であるが、
同n、ニアに集積回路4の′電気遮蔽とな一すてlJ)
る。基板5σ)I)+1間の導体路がとりつけら、!]
てI/)る;X11分にχ;1向する背面部分にけj>
属層を設けず余、11なA′l・・り/′タンスが生じ
ないようにするのかイJiすであるかこ(Dキ)・バ/
タノスが邪雌にならないも+7) ”’(”あ)l−t
(11/11え(I:l’屯気遮蔽l旧としてこの+で
1;9にイ+:il:i層を設7Jても良い。この部分
の両(11i1 (7)破線18の間110シ25(板
背・nlの1チ屑層1d接地されるので接続端1〕か設
けられる。10と11は基板に給ia: 7(i、 I
’Eを頬じ(る/こめの端子である1、こtlも(小端
−7−’l (1,l 1は基板5の1111而に設け
らf1/こitL極12.ド)と電気結合される。これ
らのr4極12.ドうは夫部号・ぐリスク2.;)と車
なり合つ−てい乙1゜ I4は・・リスクと90青回路11の1川のη(1’:
Fr ’4 M泉であるが極1隻VC短くして自已イ
ノタクタンスか最小になるようにする。
ツ属層の境界を、i、ず。この囮;売層はjず・(リス
ク2゜:)の対電椿として使用きれるもσ)であるが、
同n、ニアに集積回路4の′電気遮蔽とな一すてlJ)
る。基板5σ)I)+1間の導体路がとりつけら、!]
てI/)る;X11分にχ;1向する背面部分にけj>
属層を設けず余、11なA′l・・り/′タンスが生じ
ないようにするのかイJiすであるかこ(Dキ)・バ/
タノスが邪雌にならないも+7) ”’(”あ)l−t
(11/11え(I:l’屯気遮蔽l旧としてこの+で
1;9にイ+:il:i層を設7Jても良い。この部分
の両(11i1 (7)破線18の間110シ25(板
背・nlの1チ屑層1d接地されるので接続端1〕か設
けられる。10と11は基板に給ia: 7(i、 I
’Eを頬じ(る/こめの端子である1、こtlも(小端
−7−’l (1,l 1は基板5の1111而に設け
らf1/こitL極12.ド)と電気結合される。これ
らのr4極12.ドうは夫部号・ぐリスク2.;)と車
なり合つ−てい乙1゜ I4は・・リスクと90青回路11の1川のη(1’:
Fr ’4 M泉であるが極1隻VC短くして自已イ
ノタクタンスか最小になるようにする。
第2図(rま第1図の回路の接続図でありて各部す(・
しは第1図と同じ番づがつ(すであるLl 、JT 2
図から回路・1が逼屯圧保;iψ用の・(リスク2,3
の111j″′C残りの全回路に接+i1.さJ′1て
いるこ七が分る。この発明による装置の一つの利点(は
1羊米の・装置の・・リスク接、涜導、線の高1f+
i′l弓インダクタンスか実際士完全に消1威し、バリ
スタか急」ニガする過電圧・す【スにr=j しても#
’: R<回1’lVi*−保5)φ+/14ることで
ある。
しは第1図と同じ番づがつ(すであるLl 、JT 2
図から回路・1が逼屯圧保;iψ用の・(リスク2,3
の111j″′C残りの全回路に接+i1.さJ′1て
いるこ七が分る。この発明による装置の一つの利点(は
1羊米の・装置の・・リスク接、涜導、線の高1f+
i′l弓インダクタンスか実際士完全に消1威し、バリ
スタか急」ニガする過電圧・す【スにr=j しても#
’: R<回1’lVi*−保5)φ+/14ることで
ある。
多数のシノロjIで回路1. 4’、 4“とfli’
il別本r′:)・1から成る混成回路を含む実施例の
概゛沈を第;)図に小ず。
il別本r′:)・1から成る混成回路を含む実施例の
概゛沈を第;)図に小ず。
基板5′」−に集積された部品である・・リスクに1.
2′。
2′。
’i″、 :(′、:l“として小さ11ている11個
別素1′;)・1は1り)]え+ct債層コ/テンザ、
抵抗前て゛ある1゜第・1図にこの発明(でよる・刈1
゜上イ“、゛の糸、6「図を示す。粉状の酸化亜;イ)
を規定最の酸化−/ガ/と共に4くに混合して泥i1と
し、磨砕した抜水を除き、0]塑i”ill IFII
えはボリヒメルを加える(jl)、この4g、1−1を
成1杉プレス又は引き抜きにに7ア(’ ++、 21
シー1〕1朋のI¥さを持つI9T定″、]宍の板にt
、づ(1゛2う、この才取゛イ板を乾燥[また後空気1
1川(15fJ ’Cか1−712 o o cO間の
温度で焼、拮する(1;ll)。これによ−って屯気+
i’17!縁性の酸化曲鉛−レラεツクが作1らノする
。
別素1′;)・1は1り)]え+ct債層コ/テンザ、
抵抗前て゛ある1゜第・1図にこの発明(でよる・刈1
゜上イ“、゛の糸、6「図を示す。粉状の酸化亜;イ)
を規定最の酸化−/ガ/と共に4くに混合して泥i1と
し、磨砕した抜水を除き、0]塑i”ill IFII
えはボリヒメルを加える(jl)、この4g、1−1を
成1杉プレス又は引き抜きにに7ア(’ ++、 21
シー1〕1朋のI¥さを持つI9T定″、]宍の板にt
、づ(1゛2う、この才取゛イ板を乾燥[また後空気1
1川(15fJ ’Cか1−712 o o cO間の
温度で焼、拮する(1;ll)。これによ−って屯気+
i’17!縁性の酸化曲鉛−レラεツクが作1らノする
。
このよう(′cして作らtlに焼結仮のバリズタr定区
域にいくつかのドーピング酸化物と一種類の有機結合1
1すから成るパスタ状混合物を例えULノルクスクリー
ン法によってバリスタr一定区域に印刷I−る( 1・
1)。ドーヒ°ング1峻イIS′4勿とし、てt2L・
・リスクセラシックにおいて公知のビZ−7ス :I
ハ/l、 l・、アンチモノ、クロム、チタン、ホウ素
及びプラセオジムの酸化物が使用される。印刷したパス
タ状混合物の乾燥後基*h、5rに集積されるバリスタ
し 3的の製作のために酸化雰囲気内で70乃至125
0℃の温度において0.1乃至2時間のデンバー熱処l
′jljが行なわれる(45)。その際基板5のセラ(
ツク祠科内に拡牧侵入した酸化物が絶縁性の%l子とそ
の表面層に導屯性余りえる。この過!!、? fti公
知の酸化11f鉛・・リスクの・型費1・(際[)C原
叩的(で知られ−Cいるものである。
域にいくつかのドーピング酸化物と一種類の有機結合1
1すから成るパスタ状混合物を例えULノルクスクリー
ン法によってバリスタr一定区域に印刷I−る( 1・
1)。ドーヒ°ング1峻イIS′4勿とし、てt2L・
・リスクセラシックにおいて公知のビZ−7ス :I
ハ/l、 l・、アンチモノ、クロム、チタン、ホウ素
及びプラセオジムの酸化物が使用される。印刷したパス
タ状混合物の乾燥後基*h、5rに集積されるバリスタ
し 3的の製作のために酸化雰囲気内で70乃至125
0℃の温度において0.1乃至2時間のデンバー熱処l
′jljが行なわれる(45)。その際基板5のセラ(
ツク祠科内に拡牧侵入した酸化物が絶縁性の%l子とそ
の表面層に導屯性余りえる。この過!!、? fti公
知の酸化11f鉛・・リスクの・型費1・(際[)C原
叩的(で知られ−Cいるものである。
第1図について訂、■(ICrf5)、明し/こバリス
タ2.;:の1荘極ヤ属層+2.+:+は適当な余属の
・冬着、スパツタリング又はシルクスクリーーー−/り
とそれに続く焼き角けによつ−6作られる(・11;)
。その際接続導体路にとその他の接触部および導体路1
)。
タ2.;:の1荘極ヤ属層+2.+:+は適当な余属の
・冬着、スパツタリング又はシルクスクリーーー−/り
とそれに続く焼き角けによつ−6作られる(・11;)
。その際接続導体路にとその他の接触部および導体路1
)。
10、、+ 1も同時に作らiする。これに」:って基
板5(はl)I定の集積回路とFJ属1区了部品を備え
/こ完成品となる。
板5(はl)I定の集積回路とFJ属1区了部品を備え
/こ完成品となる。
第5図はこの発明に」:り基板内に設け1.−)八るバ
リスタの別のJ[う態を)1くず。電極「):3と7.
1′屯極58は一部分だけを示したXへ55の回し表面
に設けられる。基板55はその厚さの−・Frli分5
(;だけかバリスタ特性を7Jマすものであるのが20
利である。
リスタの別のJ[う態を)1くず。電極「):3と7.
1′屯極58は一部分だけを示したXへ55の回し表面
に設けられる。基板55はその厚さの−・Frli分5
(;だけかバリスタ特性を7Jマすものであるのが20
利である。
、+ 1’J ub (7) lj jl’−な説明
I鍔1図はこの発明の一つの実施例、第2図は第1図の
回路の接続図、第:3図11ユこの発明による混成回路
の概念1図、第4図はこの発明による製績T哩の系緋図
、第5図はこの発明の別の実力布111専の見取図を示
す。第1図において、5:基板、2と:(:バリスタ区
域、・1:集積回路。
I鍔1図はこの発明の一つの実施例、第2図は第1図の
回路の接続図、第:3図11ユこの発明による混成回路
の概念1図、第4図はこの発明による製績T哩の系緋図
、第5図はこの発明の別の実力布111専の見取図を示
す。第1図において、5:基板、2と:(:バリスタ区
域、・1:集積回路。
「IO2
=277
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■)基板(5)が酸化捕鉛−ヒラミックから成ること、 基板の二つの部分区域(2,X()の少く表も一方がバ
リスタ特性を示すセラミックとして構成され、一方又は
双方の’、XII 、’>区域のに囲に設Vづられ/こ
二つの?仇極()t;12.に))をイImえて一つの
構成素Tを1[ニ成すること、基板の残りの区域か少く
とも近イJ)的(C電気絶縁性となっていること を!時機とする複数の構成累計を含み、少くども一つの
in構成素子基板表面VC設けI:コれ、基板の一つの
部分区域に作らjL/こ少くとも一つの構成素子と導′
亀結合されてし)る腹合電子回路。 2)基板表面に少くとも一つの集積半導体回路と少くと
も一つの混成化さf’lた′屯「゛素rとが設けられて
いることを特敵とする]信N′l’ 、ii−+求のI
絶囲+g I jr4記d ノ腹g ?ilイ回1う6
3、;3)最VJIC酸化【111鉛セラミ゛ツクかk
】、1ノン[、?−1フル仄の基板を作り、その際出発
4A’ :l”lの酸化亜鉛にそれで作られるセラミッ
クを電気5ピL2に4 i’:l−とする1・−ベット
を入れておくこと、Arlじ〈]1.稈段におhでバリ
スタに予Aこされた)A板表囲部分乞・1・−ベントの
パスタ、1犬(昆8−′4勿C1麻つこと、h′じいて
75(〕乃至1 :(8(1Cの’!II’(Iltで
0.1約1〕2時間のテンパー処lII+によりこの仮
国層の十の基板セラミック4it R)cバリスタフ1
つ慴をりえることをC時機とする複合?%了回路の・投
造力法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3231118A DE3231118C1 (de) | 1982-08-20 | 1982-08-20 | Kombinierte Schaltungsanordnung mit Varistor und Verfahren zu ihrer Herstellung |
| DE32311184 | 1982-08-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5954264A true JPS5954264A (ja) | 1984-03-29 |
Family
ID=6171378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58150892A Pending JPS5954264A (ja) | 1982-08-20 | 1983-08-18 | 複合電子回路およびその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4506285A (ja) |
| EP (1) | EP0103748B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5954264A (ja) |
| DE (2) | DE3231118C1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03160334A (ja) * | 1989-11-17 | 1991-07-10 | Murata Mfg Co Ltd | 測温抵抗体 |
| JPH03160333A (ja) * | 1989-11-17 | 1991-07-10 | Murata Mfg Co Ltd | 測温抵抗体 |
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| EP0116454B1 (en) * | 1983-02-11 | 1987-04-29 | National Research Development Corporation | Enhanced luminescent or luminometric assay |
| DE3335195A1 (de) * | 1983-09-28 | 1985-04-04 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Kombinierte schaltung mit varistor |
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| DE3729013A1 (de) * | 1987-08-31 | 1989-03-09 | Siemens Ag | Schaltungsanordnung mit einem varistor als ueberspannungsschutz fuer ein eine elektrische schaltung enthaltendes bauelement |
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- 1983-08-16 DE DE8383108085T patent/DE3381764D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1983-08-18 JP JP58150892A patent/JPS5954264A/ja active Pending
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