JPS5954618A - 四フツ化ケイ素からシランを製造する方法 - Google Patents

四フツ化ケイ素からシランを製造する方法

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JPS5954618A
JPS5954618A JP58149520A JP14952083A JPS5954618A JP S5954618 A JPS5954618 A JP S5954618A JP 58149520 A JP58149520 A JP 58149520A JP 14952083 A JP14952083 A JP 14952083A JP S5954618 A JPS5954618 A JP S5954618A
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JP
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gas
cyclic ether
product
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JP58149520A
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English (en)
Inventor
ハリ−・エドワ−ド・ウルマ−
ドナルド・ピツケンズ
フオレスト・ジヨン・ラ−ル
フイリツプ・アンドリユ−・レフランソワ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honeywell International Inc
Original Assignee
Allied Chemical Corp
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/04Hydrides of silicon
    • C01B33/043Monosilane

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Lubricants (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、四フッ化ケイ素とアルカリ金属水素化物との
反応による7ランの製造に関する。
p+−1IA、j化ケイ素からの7ランの梨j告につい
ては多/・1′にわたり知ら才1ているが、四フッ化り
イ緊の対1、ii:、反応K 14!−q ’−1’る
寥献はyHz少r、1゛y−、リAt!ニド、”、Si
F+との−r−−チル浴媒中での化学険論量での反応は
、74.1、” (Padmt□)船、j7;・t 1
7i、。ri、、、、e Cham、 1.41 131827−29(1979)に報告さねている。
英圃特に′[第909.950号(’1962年)は、
エーテル溶媒中でのl1ii鉛塩触媒によるアルカリ金
属水素化物と・・ロゲン化ケイ累との反応につき報告(
−ており、四フッ化ケイぶは適当な反応物であると述べ
゛(いる。
1」冒預中の米国特許出願セリアル番号第208゜97
8号(レフランンワ(Le franco i s’)
、1980=1■+ 1 ]月21日出)ail、本願
と同一の譲受人に譲渡)及ヒ−Z’J 応ずル” PO
(ヨ” ” ” ” 特i′F ri’ ) ’I’l
l 出11i1’+aN 52,808弓−< ” 1
98’2 !′IF6月21−1 ) (:t−、/フ
ェニルエーテル等特定の芳香族エーテル溶剤中、高温で
の四フッ1ヒケイ累と水素化すトリウノ・の反応につき
報告している。同反応に関し、還流テトラヒドロフラン
中では低収率1.fることが指摘されている。ジフェニ
ルエーテルの沸点では、 N’a、Iiが□水素ガスに
なるため若干の収率損失が報告されて、パで:。
水素化ナトリウムアルミニウムが水素化ナトリ1 、ラムと四フグ化ケイ素との反応の触媒となることは既
に発見されている。従つ−C1本発明は、沸点約60℃
乃全約110℃の環状エーテル又はジグ]・キシエタン
から7zる溶剤中、「記水準の水素化す□トリウl、ア
ルミ−ラムの存在下Cζ、水素化すトリウムを四フッ化
ケイ素と反応させるこ七からハ:るフランの製造方法を
包含する。但し水素化すトリウムアルミニウムの水準G
よ、 が約0.04乃至約0.25である。水素化リチウムア
ルミニウムは、同様な条件−Fで、該反応の触媒とはな
らぬよ・うである。
本発明方法の反応物は、四フッ化りイ素、水素化すトす
?±及び水素化すトリウムアルミニウムである。通常の
副生物は、以−トの正味反応Vこて示されるよ・うにノ
ソ化ケイ素酸ナトリウムである。
35ilr’、−1−4Mail −+ S、ill、
j 2Na、Sii’eしかし、NaA、ellsとし
て導入したアルミニウムの最終形72;jl lして、
クリオライトCNa、sA(!P’6)ち若干!1ミ成
する。茶汁によつ°〔はNo、Fが1illll生ずる
こともあり得る。           。
全水素イ、し物とV′1′″!′イヒケイ末とのTlヒ
(よ1艮界的でl、已・が、最終未反応水素化物が最小
となるよう(・こ、回分又は連1統条f’l”−Fで反
応を遂行することが好fい+。しかし41音ら、四フィ
Iヒケイ素(ガス)が生成カス流中(・ζ存在ずりでそ
れを急速に又は艮期しこ供給せぬ方が良い。これを達成
するための綜括比は、A’a2 S Z、、F6、A7
 a、qAe Fo及びN(LP’がどの程度形成され
るかに信任するであろう。
反応は、環状エーテル溶剤又idンメトキ7エタンそ′
Jイ」する乾燥外応媒体内、で行、υ〕れる。好適ji
 、lWI状エーテルはテトラヒドロフランであるが、
その他のエーテル、例えば2−メチルテトラヒドロフラ
ン(沸点78℃)、3−メチルテトラヒト1コフラン(
沸点66℃)、l、4−7オキサン(沸点101.5℃
)、2−メチルフラン(nIY点63℃)及び8−メチ
ルフラン(?Ili点66℃)も使用される。反応媒体
には炭化水素勢の不活性物質が含有されていてもよい。
311状エーテル以外では、ンメトキンエタ7(しばし
ば「グリム」(g i ym、e )又は「モノグリム
」とも称される)だけが有効であった。(下記実施例8
を参照のこと)その沸点(85,2℃)ば60−11.
0℃のR11I囲にあるめで、類似の沸点を翁するその
他の特定非環状エーテルも単独で有効′Cあり得るが、
事実はその他の非環状エーテルに有効なものは見出され
4「かった。有効でないエーテルはエチルジグリム(ジ
エチレングリコールのジエチルエーテル)、テトラグリ
ム(テトラエチレングリコールの/メチルエーテル)、
エチルエーテル及びブチルエーテルである。その他の非
環状エーテルはイf:在(2てもよいが、ジメトキ/エ
クンの場合を除いて、環状エーテルを全面的に非環状エ
ーテルで置き換えることはできない。好適+;Is分置
換の例は、テトラヒドロフラン25%−エチルエーテル
75%である。反)心t]11体の116要:11・目
1、反応混合物の(、:Yf、シい41゛え打合川面と
するに十分子、[計である。
水(・;化ノートリウノ、は反応li;1jに主とし゛
〔固体とし゛(イI在し2、トI4つ、副生ずるフッ化
物も反応り〜1.作中でQ)k汀[イ度が小わする固体
41ので、反応のたy)の賃し、い水(官ヒナトリウム
衣面を確実Gζイ1するためには激[5<1”61けす
ること(高剪断)が重重しい。、(1“l拌i、t、、
i+Ili常、周速1.(が人なる魚床攪拌の形態をと
るが、摩+1?−削を便用゛・jるゝ、今その他各種の
従来形態を採用1 ’C・1)よい。
7フンを製へに1−1.一つ水素化すトリウムを反応中
に沈j殿させるたy)にV−+1、最少[11:の水素
化ナトリウノ、アルミニラA (反応媒体に司浴)が必
要l、fるこ吉が゛開明1した。1” rfe 、l七
φ交1同IIにノJ、ずよ・う(・こ、水素111−、
I l リウノ、アルミニウムか少いCj、と7それ[
1q四フツ1しクイ、(・−と反応し7て7ランを形成
(j″るが、より安11111ハ゛水素1にf l・リ
ウムは反応に[実用されない。
この最小比はA/ a、//プラスNσrA、el14
 に村するN(+、/1f’?//*の屯宿バーセ/1
・として光現されるが、約0,04乃至約0.25であ
る。最小とはNa1lが反応するために必要な址であり
、最大は費用の観点からのみ定められる;好適範囲は約
0.04乃全約0.10である。
回分型反応では、四フッ化ケイ(・=ばN’a、Ae/
/4及びNa1iど環状エーテルのスラリーに、11γ
拌’F B’(IJli給される。連続反応では、若干
部のN’(L A e if 4を伴なった水素化ナト
リウム(一般に環状エーテル中のスラリーとじて)が、
これも連続的にg(給され、副生ずるフッ化物塩は除去
されろ。反応を溶剤還υ1を条1′1下で行なう場合に
は、浴t’i11蒸気除去後(例えば凝縮及び/又は炭
素床吸〕A¥により)の生成ガスは主たるフランと若干
?11Sの副生水葬全含有するであろう。四フッ化ケイ
素と共ぐこ稀釈剤(例えば水素)・2導入する場合Vこ
は、稀釈剤は生成ガス中で7ランと混合されるであろう
。圧力は限界的で4fいが、大気圧が好適である。還流
させなから過圧にすると、反応fl’li’L度が上昇
し、従つ°CNa1lの水素・\の分)9イが増大する
。不反応に関しては、0℃か□らJB状エーテルの還流
【1゛傳W(例えV」テ]・ラヒトロフランでは大気圧
「で66℃)の1品度条件が使用される。好ノ船帽現条
件は20 =、 45℃で、溶剤の還01品JiA度を
包含する。
実施例 本願の実施例1−3及び6−10(及び比較列A乃示E
)で用いた装置は、レフランソワの米国i1V li’
l出願セリアル番号第208,978号で用いたものと
実jm的に同一であつlこ。従って以下の実施例は、米
国性、i′[出j頭セリアル市号第208,978ツ(
L“PO刊第52,808号)の図面に示した実験室装
置で行f、iつだ。四フッ化ケイ素(試薬級)の夕/り
を、モレギコ、ラージ・−ブ乾燥器及び流量調節計を介
して反応器に連結する。一般に円筒状のガラス反応器の
周りを電熱マントルで取囲む。
該反応器Qこは、反応域の底部近く葦で伸ひる四フッ化
りイ素の人[1]管が備え・ト]けられている。反応域
に十字型攪拌装置(臀インチ、ずl、fわち]、9im
(% ) ’a<配fItL、・・\アリング及び2個
の才、オブレ70−リング並び(lこ7’7“p“E−
ガラスガスケットを有するスデンレス鋼製の特殊24/
4.0ジヨイトヲ介してモーター駆動した。ベア1ノン
ク゛とジヨイント11↓水冷した。モーター速度全力巨
期1]ヴ(ζ監ネ児(7、電圧調整により所望速度(5
0001mi玩/分)にル1勾節した。反応器は水冷コ
ンデンーリーーを介して手動サンプリングツ(ルブに連
結し、続(・−Cガス3.1J +tt’1定用のケロ
シン充填湿式ガスメーター+C:a続(また。
湿式ガスメータからでる流出ガスは](気’1’ I=
こa; lliされ、自己発火性′Cあることが多数の
実験−C1虐、イ、イされた。バルブそ)くリアン(V
Q、?・i(t?7)製の1(さ7.0メートル、外径
8−2+nmのボーラック゛ツク(1’or−apac
lc ) P S力引ムを内蔵したガスクロマトり“ラ
フに接続し、Q、5meのガスサンプルをギヤ1ツアー
ガスのネオンに随伴させてカラムに通(7た。)(1ノ
アンはバリアンアソシエーツ社(VQ、riσ、IL 
As5o−ciates)の商標で□ある。ボーラフぐ
ツクレまウメ゛−ターズアソシエーツ社(14/σ、 
j、 e ?イAs5ocia、tas )の商標であ
る。カラムは35℃の一定温度でJ’i: (’l:さ
れた。この操作方法では、熱伝導反りこより、0.9−
1.2分(水素及び窒素)、1.3−]。5 Il) 
(I)14ヨツ化ケイ素)及び2.3−2.8分(7フ
ン戸、テシ′こ」ミ安ピークか演出された。実施例中の
いぐつかには。
フラノの後して溶出する小ピークもi視察さ11.だが
、これはSi、tム、であると思われる。
各′火験共、(ζ記データ・e一定期間ごとに採取した
。攪拌速1j、t、圧力及び流速、コンデンサーを出た
あとのLF:、力、記録計に接続した鉄−コンスタンタ
ン:% ’l程x・1による反応器内f1冨度、湿式ガ
スメータによる累2債督績、ビーク1lll iiヶ及
び少くとも0.01而債′、1)でのその積分値及び時
間。表記の+i:’A l痰は2℃以内の精度である。
このデータの一部を以下+fこ報りIA炉る。
実施例・1及び5では、装置を以下に述べるように1j
ト続操作用に変更した。7“HF’中のNa、iiプラ
スNa、A(3H李スラリ一人口1は、反IL、器の底
部近くにし1こ。このスラリーを、−・1インチ(6−
315r17m)のステンレス鋼ピストン、セラミック
シリンダー1” M Iポンプ(モデルII R/’ 
−S )’X)を用いて、撹4′!’ 中のスラリータ
ンクから反応器に供;i@ L/た。
溢流ラインが過剰のスラリーを受器に流入させ、該受器
にはi”′t、41N幾と、スラリーを〉1期的に抜き
取るためのバルクが底部に取り伺けられて(・た。ガス
はコンデンサーから同一ラインに入った。
実施例1゜ 前記の装置を用いて、40(Jrneの反応器にデトラ
ヒドロフラン200 rnl、水素化ナトリウム−鉱油
混合物8.84 g((38,5%ず/3fわちA7 
a II5.296g)及び12.47%の水素化ナト
リウムアルミニウム/テトラヒドロフラノ溶液5me(
4−60g) <NaAlIIq O,574、!/ 
)i−充」真した。
Na A (l H4はNa IiプラスNa A e
 114の9.78重量%であった。
攪拌機により約5000回転/分(実験中、4600乃
至5300間で変化した)で攪イ′1〕シ、反応混合物
の1品度を25.7℃にし、系を実質的に大気圧にして
、四ンツ化ケイ素を約/J Ocut′/分(0℃、1
0 L、3kPa、)で流し’ni b’)、実験中モ
の流速を保持した。
約5分おきに採取したガスザノプルの分析結果は、第1
衣に面積[1分・−+1そ事し7た。J1ン7〃の20
分間は、系内tこもともと存在した窒素ガスがカスリッ
プル中にも存在したが、分析瞳はワ素ガスの無い)ij
、; ?if−て8つ出した。
第  1  衣 4    30.2  65.6  0  84.49
    34.1  64.2  0  85.814
    37.6  37.5  0  62.518
    40.6  14.8  0  、 85.2
23    43.5  22.3  0  77.7
28     II5.9  10.9  0  ’ 
 89.133    48.0   6.6098.
438   49゜9   2.9  0  97.1
45    51.2  16.8  0  83.7
□ 50    52.1  15−8  0  84.2
56    53.1.  1.5−8  0   g
4.261    53.7   7.9  0. 9
2.166    54.3   8.2  0  9
1.872   54.8   ]、’ U、’7 ”
  O’8’9.378    55.2  11.’
2  0  88.888    55.8  111
.0  0  8’3.087    53.9   
8.3  0  91.791    51.4   
9.’0  0  91.09 B     4.7.
8   8.11  q2.91・9.0実施例2゜ 乾燥テトラヒドロフラフ 20 Q 7he、水素化す
1−リウム鉱油ペースト9.4.ゾ(56,2%、Na
II5.27g)及び12.47%Na A e II
< /テトラヒドロフラン溶液2−0m1 (1;84
 ji )を用いて実施例1、H繰返した。Na A 
(l ILはNa1iプラスNa、All IL全全体
4.2重層%であった。
攪拌機により約5000回転/分(実験中、4700乃
至5300の間で変化した)で攪拌し、温度を2761
℃にし、系をおよそ大気圧にして、四フッ化ケイ素を約
40cm”/分(0℃、101.8kPa、 )で流し
始めた。約5分毎の生成ガスの分析結果を第2表に示す
。窒素は系内にもともと存在した。
第  2 表 時間 温度    面積ゴ分率 (分)   (℃)    112Sil”4SilI
<N217 4(1,69,301?、9 72.82
2 44−8  67−2(N2)  0 82.8 
 −27 4.6−2  45−6(7V2)  0 
54.4  −32 4.7.0  6.1   0 
70.5  ’23.43750゜2  6.1   
0 81.8 12.642 53.5  5.3  
 0 89.0  5.74.7 57.4  4.6
   0 92.4  3.052 59.7  8.
9   0 94.0  2.157’  60.8 
 4.0   0’  942  1−862 6]、
、7  4..5   0 98.7  1.−867
 61.4  5.5   0 98.1  1.47
2 6]、5  7.0   0 91.4  1.6
77 62.0  8.7   0 90.8  1.
08260.89゜5   0 89.4  1.18
7 58.8  11,2  21.8 67.0  
−92 58.7   1..7  95.6 2./
l0131侵終スラリーの一部に水を添加した際のガス
の発生は極ぐ僅カ)であり、残留ノva、liが非常に
少なり・こノニを示した。
実施例:( ナトリウム−鉱油ペースト8.8 gCNai!4.8
22g)及び12.47%水素化すl・リウムアルミニ
ウム/ ’I’lIF 2 jJ CNaA/!H,0
,249j;! ) f用(・て実施例1を繰り返した
。ずなわぢNa A IJ Ii<はAla、11プラ
ス# a A e H4の49.1−雷同%であった。
攪拌(幾により約50釦0回転、/分(実1験中、47
00乃至5200の間で変化した)で攪拌し、温度を2
0.9℃にし、系をおよそ大気圧にして、四フッ化ケイ
素を約40CwL3/分で流し始めた。約6分毎の生成
ガス分析の結果を第8表に示す。
第 3 人 9  22.6  96゜4   2.5   1 *
 (121521,384−69−7’    5.3
  121   II1.]   46.1  17.
8  36.2 027  44.8  24.9  
18.7  52゜9138   II6.9  26
.9   0   78.1  089   /H’l
18  18.2   0   81.8 045  
5(1,516,4083,605151−819,1
08(J、9 057  52−8  24..2  
 0   ’75.8”’  063  58.2  
13.2   0   86.8 069  53.7
  13.0   0   87.0 075  54
、OL2.2   0   87.6 181  52
.5  1.0.7   0   88.1. 187
  5(1,46,071,122,72924,8,
74,587,88,0199II2.1   8,9
98.2   2.9 0105  45.7   3
,1  95..6   1..3 0償 100%の
・\−スとなるその他のビ〜りの数 +jl、Jti’; R’ 、11: (&、反応ニジ
〃内容′吻(J、 88,2.9 ) 7’iJ−’p
過し、ウェットケーキ(33,2g)を1 ]、 0℃
で1時間乾燥すると、18.6gのサンプルが11tら
れた。その一部をX線回折で分析すると、主生成物はN
a 2S、Z Faであった。
比較例A 7’llF 200ynl、水素化すトリウム−飯、2
山ベースl 8−8g(58,1%ず1.f、わちHa
l! 4−.82.!9 )及び]、2.47%NaA
eli+/ TIIIイ’ l jyCNaAel14
0、]、25.!7)を用いて実施例1の手+iaをに
■返しfこ。
ずtofわぢNa、AelムはNa、 HプラスN t
y、 /l、6.774の2.52%であった。24.
3℃で開始(2、生成カスの1llll定を5−7分毎
に行なったが、/ランのビークば5%而面積−センl−
を越えることは!、)゛がった。本実験の終期には温度
は60℃に達した。
比  1ト史  汐り  B 1’ H11” 200 me、58,1%Na、II
 8 、3 jJ及び12.47%NaAel!+ 1
−5 g f用(・て実施例1の手1i11’[f繰返
[7た。/Va、IiプラスNa、A141ムにλ・j
するN a A 13 H4の削舎目、8.74重:辻
%であった。結果・2第4とに示す。その他VC31f
−り1で観察された。
7結果が示すところでは、少量のNaAeH4は反応し
たか、NσJ/反j芯(lζ月する触媒作用は認められ
f、Qかった。
第  4  表      ・ Il、5間(分)  1111’ll及(’C)   
    而(行1イ分率lン、      Sひ’4 
 ”” 5ili4]2   28.2   63,2
  34.1   ’  2.718   29.0 
  8・0.4  48.0  20,624  29
.7  .2..1.5  61−j、  ]、、4−
130   32.4    6.5  85.2  
 7.236   38.5    ’5.5  92
.1  ”  2.042   44.3    4.
9  9.4.a     1.548   49.4
    4.6  94.0   1.255   5
4、.0    8.0  95.8   1゜062
  56.9    2.8  96.4   0.8
69   58−9    8.1  96.3   
0.575   5!17’    2.2  97.
4   0.4比軟例C 乾燥テトラヒドロフラン190 ml!、水素化すトリ
ウム−14人7山ペースト9.1 ig(58,5%ず
なわらNa1i 5.32.9 )及び1モル濃度の水
素化リチウず7’、1’わぢ0.81 g )4用いて
実施例10手順を繰返した。ずなわイ’i LiAel
I4はNa、IIとL i A e Ji、 (D j
#計の13.・2%であった。
攪拌機により約5000回転/分(実験中、約4.70
0乃至5550の間で変化した)で攪Jイ1;シ、温度
%24..8℃にし、系を大気圧にして、約41CrI
L3/分10℃、101 kpaで四フッ化ケイ素を流
入開始し勺。約5分毎の生成ガスの分析結果(無窒素基
準)、を;f、5表に示す。
第  5  表 時間(分) −1’品度(℃)      面積百分率
H2S1ll    、8i11p 7、  .41.6          −   4.
85”12     61.5     4     
  0   9817     63.6     5
       0   9522     68.8 
    4       0   9527     
.62.7     7      70    88
5     62.0     2      94 
    ]簀 全ガスに対するパーセント−水素及び望
素の分離は困難。
この結果は、LiA#1+は反応しテS i F4 f
 S 1Ii4 K転化するが、N’allの反応に対
する触媒作用は無し・ことを示している。LiA、e、
II<、 O−4’ 1 gとN a、Il5.33 
g’X::用イタ同様す実験(L i A e 14−
+ハL i A eI14とNO,IIの合5−1の7
.1%)でも、シラン崇度が高かったのは1回(12分
11斤)だけであり、同様にf、i Ae H1*は反
応はするが触媒作用は無℃・ことを示している。
実施例4.′ 前記の連続操作用装置を用い(実施例1・e繰返し7た
。初期の反応混合物と連続供給用に用いたスラリーは以
下の通りであった。
原 」さ1       初 期  供給スラリーテト
ラヒドロフラノ   550)ne   i 200m
e58.05%Nσ、11(鉱油中)   27.5g
   120.!9g) NaAe、Iis、 (、g )       0−7
98   8,15Nαu(g)’  1’5.966
’9.66%NaA、e、ii<−4,76’ 4−3
’ 3初期スラリーを充填し、加熱器のスイッチを入れ
たあと、47.3℃でスジ1ノーへの四フッ化ケイ素の
流入を開始した。実験開始より90分時に、約5.4g
/分の速度でスラリー供給を開始した。但し、実験中の
263乃至268分時の期間を除く。
(ポンプを修理していた)四フッ化ケイ素の供給を以下
のように徐々に高めた。
時間      流量計   cm ”/分初期  6
90  ” 75−5 91分    79.0   86 222分    850   92.5262分   
 900   98 307分    980   106 821分時にスラリー供給ポンプのスイッチを切り、3
67分時に四フッ化ケイ素の供給を停+hした。10分
毎に生成カスをガスクロマトダラフイーで分析しく第6
表に示す)、溢流を受器Vζ約70−1.3 O?蓄積
した時点で捕集した。第6表には捕集量も示す。最終読
みを除いて、 +S’z#”4は生成ガス中に検出され
なかった。
第 6 表     □ ]、0   61,4    88.5    020
   63.0     9.8  90.2   −
80   63.2    10.3  89.7  
 −40  63゜3    17,7  82.8 
  −5.0   68.3    10.5  89
.5   −60  68.3   10.5  89
.5   −70   63.4     9.0  
91.0   −80   68.5     9.4
  8(J、6   −90   63.6     
9.1  90.997   6.9.4    −−
    −−   76.0100   62.9  
  17.0  83.0   −IH)    62
.7    15,7  84.8   〜Ill  
  62.7     −    −   93.41
20   62.7     9.8   !J0.2
   −127  62.7    −    −− 
  82.21.30   62.7    19.7
  80.3   −140   62.9    1
.1.4.  88.6   −141   〜   
     〜 −87.0 150   68.0    17.8  82.21
57   −         − −    88.2 嬶 6 表(続き) 160    62.5    10.5   89.
5   −170    62−5    1.9.5
   80.5   −172    −      
 −−      −      92.7180  
  62.7    12.4   87.6   −
1.86   −                8
3Jl″190    62.9    10.1  
 89.9   −200    62.6    1
0.4   89.6   −206    −   
    −     −      96.4210 
   68.0     9.8   90.2   
−220    62.8    11.0   89
.0   〜222    −       −   
   −      87.4280    62.7
    10.5   89.5   −2’l15 
  −                     7
5.6240    62.7    18.6   
81.1   −250    62.7    19
.1   80.9   −251−90.1 260    62.7    12.0   88゜
〇   −2,70−−−−88,7 27568,410,090,07 28568,517,682,4− 29553,59,790゜3  − 2!J6−74.7 15    68.5     0.2   90.8
   〜815    68.6    13.8  
 86.7   −822  −    〜   − 
   70.9″825    63.3      
7.4   92.6   −335    68゜6
     6.8   93.7   −345   
 63.6      ’5.9   93.6   
−−355    63.6      6.0   
94.0   −365   59.6    1.1
    2.8° −餐 186分時の88.0.9は
2,24%のN(LHを官有しており、322分時の7
0・Iは1.60%のN a、IIをき有していた。(
水素発生による) −J蒼 365分時のSi F、は94.6面積パーセ
ントであり、スラリー供給ポンプば321分時に停止(
7た。
実施例5゜ 次の1其給原料を用いて実施例)1の手順を繰返した。
原  旧         W 期   供給スラリー
テトラヒドロフラン   550+r+e   600
η所58.0.5%NσJl (鉱油中)    27
.5g     60.?Na1.i        
  l 5.96,9   84.−881NaAIl
ム              0.798.9   
’   1.51%Na、1LeH+        
4.76    4.88彷Mスラリーを20.7℃で
充填したあと加熱器のスイッチを入れ、スラリ一温度4
10.9℃でSiF4供給を開始した。実験開始より9
7分時に2.75g/分の速度でスラリーの供給を開始
した。241分時にスラリーの供給を停止した。実験開
始より98分時にSiF+供給速度を7 ’ 5 cm
、”7分から108儂3/分に高めた。結果を第7表、
に示す。
第7表 時間(分) 温度(℃)   面積パーセント  液体
溢流ll2SilI4 6    40.9    −     −     
〜11    51.0     −4.9   .0
    −17   54.4   28.0  82
.2  −25   56.4   21.8  ’ 
 78゜2 −.91   57.8   16.8’
83.2  −40    59.9      9,
1   90.9   −50   62.7    
9.9  .90゜1 −60   68.4   1
0.5  89.2  −70  63゜6   ’1
]、、5  88.5  −90    68.7  
  12.1   1:17.5   −100   
6B、7   10.6  89.0  −105  
 −’−−78.7 110    68.4    12゜7   86.
7   −120    68.7’     10.
8   88.2   −130   68.6   
 8.4.  91.1  −第  7  衣、(昼〕
き) ”’Nl:il(づj)   、l’ll’llノ!(
℃)   面イ?1バーセン1−  紗体イfI斜列C
//2      Sマ:11゜ ]、’3]     −−一      −7り、51
4(168,4V3−0   86−5   −15 
(163,83,2、: 96−]、    f16(
l     B 8.8    1  (1−988,
4483,61,7(163,71(L2  ’ 、 
 89−3   −18fl     6’A、8  
 1 1.3   87.り−’=1.87−−−−−
7/1.5 1、!J(lli3−71fノ、788J−−2[10
6、’(,71(1−]    89−1210   
  fi 8.5  、     ”4.8 .89−
5   −2+2      −         −
−        二        8  (+、8
22 fl     63.5    1 (1,] 
 ・  89.2   −28 (1’    68.
5     8.8  90.5  5 U、fi24
0  68.5 .8.1’  !月32−246  
 68.4      8,1   9’1.1   
−254     (i 2.3     6−2  
 91−12(i2    59.’+       
3.2    2.5   −F’ il、、r 4”
J”’Jぜの’(k iAれ物のNo、//分析の結果
は、1315すIf;’J0.256%、187分11
、“jo、418りお、230分II!+(1,660
%であった。262分11;’jの最終反1心分時の生
成ガス中S i It’6は91.9%であった。
−Ncl、H=Nσ:Ae11八スラ リ −(123
0の時θ′こflli給を停止E 17ブこ。
実施例0 実〃山例1の千l1il’j tic 従イ、反1心器
’/C1,r 4−7オキザン201) ml!、56
.2%/V a、 ///鉱油9.4、り及び12.4
7%N a、 A e 1ム/テトラヒドロフラン4、
ゾを光1アIした。すなわちNQ、AelムはAT t
r、 //プラスNσ2ルUムの8.63%であった。
結果を第8ノ≧に/Iζす。
第  8 表 時間(分) 席t+rt(’c)     面積パーセ
ント7/2    SiF4   S、Z 1140 
   27.4.       、 −−     −
−、   −6    42.2        −−
−      −12    68.5       
 −     −18    91.5       
8−9724    95、.2    ・    2
         9830    95.0    
    7          9236   95.
1     11”        8872    
95.1        8−91/1,8  94.
9.   7■    9254    94、.8 
   、    7.、、   ’      926
(194,87−92 6694,9簀     −93 72’     94.9   、      7. 
 1  −  19278    95.0     
   91  ・   −918/I     94.
8’     10’           889(
194,8’      21    ’17    
 6093          四フッ化ケイ末停止f
−。
96  85゜5    12..777]02  7
2.9     9  72   12] (+ 8 
  63.2      ポ   10   212.
66及び108分時の水素ピークは窒素・ピークとの区
別が十分ですく、信頼できる分子llf評価を得ること
ができなかった。第8衣に示す結果は、N a A 1
If4とN(LIIの実質的に全部が反応してシランを
形成したことを示している。吸収S1:I”4の量から
みて、副生物は多分Nα2SiF6だったと思われる。
実施例7 56゜2%NaHを9.4gと12.t7%N a A
 l! II 4を2g用いて実施例6を、繰返した。
実験開始から35分時から66分時寸での流出ガスに3
0=60%のS ?、 F’<が存在したことは、活性
は低いがNa1iのシランへの転換(充填量の約45%
)に対し若干の触媒作用を果しムニことを示し′Cいた
。すなわち、ジオキサン中の4.51%N’ a A、
、e F’4(N o、Hプラス1VaAlF<基準)
の使用は、′−1!施例6で使用のジオキサン中の8.
63%よりも有効性に乏しかった。葦だ本結果は、実施
し1]2のアトラヒトロフラン中の4.2%N a A
、13114 (# a、IIプラスNa、4 (l 
II 4基準)よりも着干悪いが、触媒作用は示してい
る。
比較1りIJ l) ジ寸ギリ’:’200m/?及び56−2′3らのNe
tli 9−4..9<NtLルuI、無し)づ止用い
て実/Jiq例6を繰返した。
シラノの生成(21、(生成シ5.た場合でも)1%未
満であった。
比  Φ交   IT、Tlj    /!J“/−L
チル:r−=:rk 2 Q Qme、  56−2 
%Nttlf(鉱油中)9.4!I及び12−47%N
aA14114(テトンヒト0−7ラン中)2.ワを光
頃しC実り内向]・P繰返した。最初の、ζタザノブル
Gては少(1・のシラノ(流出ガスの20%以1:)が
(Jぜイされたが、8o5す以内に7ランは鋒1斤流出
カスの1するり、■−とγXった。従って7エチルし一
デル中では・1.5■%のNn、Al;! /ハ(Na
、/lelハブラスNal〕)・(準)は融媒的で/1
゛ぐ、lI身がiズ1.i: t、て少量の7ランう一
製;告しただけであるノ:、“I″ノ、われる。
実施例 /メトキンーLり72 (l Orrt/!、56.2
%No、lI (1人泊中)9.C’/及び1.2.−
17%N n、A6 /八(テI・ラヒト口7ラノ11
す1.ツを充填して実か11例1を1桑j居した。加熱
により最初の27.3℃から43分後の55.0℃、7
8分後の65.5℃ま乙晶度が」二ケイ、するにつれ、
シランは実験中ずつと生成した。最初Ω20−80分間
は、シラノが流出ガスの主成分として窒素を置き換え、
そのあと97−1.07分の四フッ化ケイ素の急増が起
る丑で分析ガスの50−92%を・占めた。実験開始か
ら58分乃至93分の間の生成ガス分析値C1:、無窒
素ノイし準で水素7−10%及び7ラン88 □−り 
2%であった。
このことは、ジノトキシエタ/中の8863%NrbA
7?11+ CNaHプラスNaA11tl、基準)が
Na1fの7ランー\の転化の有効な触媒とl、fるこ
とを証明している。
」七   中文   イ列   F ジメトギンエクンの代りにデ1ラエチレングリコールの
ジメチルエーテル(テトラグリム)を用いて実施例8を
繰返した。2時間で(7,′λ度を26.5℃から26
0.8℃壕で変化させた0てもかかわらず、7ラン(1
7,22及び27分時に夫々35゜20及Q・10面7
漬パーセント)は流出ガスの主成分とはならず、その代
り四フッ1ヒケイ素が優勢であった。ずなわち、8.6
3%NaAl111+(NaHプラス# a A 11
 If4基準)は触媒として有効でなく、Na、 A、
、e H<の直接反応による少量の7ランが生成したの
みであった。
実施例 デ1ラヒドロフラン25%とジエチルエーテル75%の
混合浴剤を用いて実施例1を繰返した。
実1験の間中、かなりの好収ぢ4でシラノが生成した。
特許出願人  アライド・コーポレーション(外4名) フランソワ アメリカ合衆国ニューシャーシ ー州07016クランフオード・ド ーリング・ウェイ2

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 0.25なる水準での水素化ナトリウムアルミニウムの
    イj二在下に7沸点約60℃乃至約110℃の環状エー
    テル又はジメトキシエタンからなる溶剤中で、水素化す
    トリウムを四フッ化ケイ素と反応させることからなるシ
    ランの製造力/と。 2)環状エーテル溶剤がテトラヒドロンラ/である、!
    1寺d′1゛請求の範囲第】川に記載の方法。 3)環状エーテルが1,4−ンオキザンである、!1ヶ
    +’l’ !ti“i求の範囲第1強に記載の方法。 4)前t:己のNa、A IR、−、’重苓/ (N’
    aff重it +NcLAIJIi 4重ニア1 )が
    約0.04乃至約0.10である、特1汀請求の110
    四6R1、第2、又は第3項に記載の方法。 5)  Ail記反応の副生Nα2Sip、1を回収し
    、それを【¥2性化して更なる四7ツ化グイ素を製造す
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の方法
    。 6)前記反応の副生Na、2ScF6’f回収し、そJ
    lを熱分解して更なる四フッ化ケイ素をM]妃すること
    を特徴とする特許請条の範囲第1項に記載の方法。 7)前記反応の副生Nα2SiF6f回収し、それをl
    JFと反応させて更なる四フッ化グイ素を製造すること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の方法。  
    □ 8)環状エーテルの還流条件下で行なうことを特徴とす
    る特許請求の範囲第1、又は第2、又は第3項に記載の
    方法。 9)約20℃乃至約45℃の温度ヤ行なうことを特徴と
    する特許請求の範囲第1項又は第2項に記載の方法。 10)前記の溶剤がジメトキシエタンである特許請求の
    範囲第1項に記載の方法。
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