JPS5954930U - 半導体ウエ−ハ移し替え機 - Google Patents

半導体ウエ−ハ移し替え機

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JPS5954930U
JPS5954930U JP15061082U JP15061082U JPS5954930U JP S5954930 U JPS5954930 U JP S5954930U JP 15061082 U JP15061082 U JP 15061082U JP 15061082 U JP15061082 U JP 15061082U JP S5954930 U JPS5954930 U JP S5954930U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier
semiconductor wafers
transfer machine
wafer transfer
wafer
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Pending
Application number
JP15061082U
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English (en)
Inventor
健 若原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS5954930U publication Critical patent/JPS5954930U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａは従来の移し替え機の平面図、第１図すは正面
図、第２図ａは本考案による移し替え機の平面図、第２
図すは正面図、第３図はウェーハキャリアの背面図であ
る。 ５ａ、　　８ｂ・・・ブツシュバー、９ａ、　　９ｂ・
・・キャリアステージ、１１ａ・・・供給キャリア、１
１ｂ・・・収納キャリア、１２ａ、１２ｂ・・・ウェー
ハ収納部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. それぞれ上下に複数段のウェーハ収納部を形成した供給
    キャリアと収納キャリアとの間で、供給キャリ−アの各
    段のウェーハ収納部に水平に保持された半導体ウェーハ
    を収納キャリアの各段のウェーハ収納部に移し替える半
    導体ウェーハ移し替え機において、両キャリアを同一水
    平面上で支持し各段のウェーハ収納部をそれぞれ同一水
    平面上に位置させる２つのキャリアステージ部を接近さ
    せて設け、供給キャリアの各段のウェーハ収納部に保持
    された全半導体ウェーハの後端に当接したまま供給キャ
    リア内の横方向に形成された間隙部を通過して半導体ウ
    ェーハをその前端から収納キャリアのウェーハ収納部に
    向けて押し出すブツシュバ一部を備えたことを特徴とす
    る半導体ウェーハ、移し替え機。
JP15061082U 1982-10-04 1982-10-04 半導体ウエ−ハ移し替え機 Pending JPS5954930U (ja)

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JP15061082U JPS5954930U (ja) 1982-10-04 1982-10-04 半導体ウエ−ハ移し替え機

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15061082U JPS5954930U (ja) 1982-10-04 1982-10-04 半導体ウエ−ハ移し替え機

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5954930U true JPS5954930U (ja) 1984-04-10

Family

ID=30333990

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15061082U Pending JPS5954930U (ja) 1982-10-04 1982-10-04 半導体ウエ−ハ移し替え機

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