JPS5956429A - プラスチツクフイルムの蒸着方法 - Google Patents
プラスチツクフイルムの蒸着方法Info
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- JPS5956429A JPS5956429A JP57166620A JP16662082A JPS5956429A JP S5956429 A JPS5956429 A JP S5956429A JP 57166620 A JP57166620 A JP 57166620A JP 16662082 A JP16662082 A JP 16662082A JP S5956429 A JPS5956429 A JP S5956429A
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Landscapes
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
真空蒸着、イオンブレーティング及びスパッタにより数
μから関μ程度までの薄いグラスチックフィルムに連続
的に金属、合金、金属化合物をコーティングした素材は
、コンデンサーフィルム、磁気テープ及び音響振動板等
の広い用途があり、実際に各種の方法により生産され、
使用されている。
μから関μ程度までの薄いグラスチックフィルムに連続
的に金属、合金、金属化合物をコーティングした素材は
、コンデンサーフィルム、磁気テープ及び音響振動板等
の広い用途があり、実際に各種の方法により生産され、
使用されている。
現在性なわれている方法は、真空室内に薄いフィルムを
走行させるだめのロール系を設け、この一部にて蒸着ま
たはスフ4’ツタ等のコーティングを行なっている。こ
の場合装置のロール系にはきびしい性能が要求される。
走行させるだめのロール系を設け、この一部にて蒸着ま
たはスフ4’ツタ等のコーティングを行なっている。こ
の場合装置のロール系にはきびしい性能が要求される。
すなわち、フィルムの走行に対してはテンションが出来
る限り小さく、均一で、しわの発生がなく、蛇行せず、
蒸着時の伸びを吸収できる様なロール系でなくてはなら
ない。
る限り小さく、均一で、しわの発生がなく、蛇行せず、
蒸着時の伸びを吸収できる様なロール系でなくてはなら
ない。
そのためには装置のロール系において、各ロール間の平
行度を厳密にし、ロール間隔を極力小さくし、蛇行を防
止するための制御装置を取りつけ、蒸着時に熱を受け、
伸びた分を吸収する機構を備えなくてはならない。また
しわの発生を防止する機構も必要である。
行度を厳密にし、ロール間隔を極力小さくし、蛇行を防
止するための制御装置を取りつけ、蒸着時に熱を受け、
伸びた分を吸収する機構を備えなくてはならない。また
しわの発生を防止する機構も必要である。
この様な装置を作製することは可能であり、現実に存在
するが、価格が非常に高くなり、これが製品コストにの
せられるため、この点が種々の新しい機能を有した蒸着
フィルムの工業化の難点になっている。
するが、価格が非常に高くなり、これが製品コストにの
せられるため、この点が種々の新しい機能を有した蒸着
フィルムの工業化の難点になっている。
一般に連続蒸着製品の開発には設備費の要因が大きく影
響し、生産量が非常に多いもの又は価格が非常に高いも
の以外は採算の面で開発がむづかしい。更に薄いフィル
ムを蒸着する装置となると、設備費がさらに上昇し、開
発には大きなリスクを伴なうことになる。したがって何
らかの方法で設備費を安くすることが望まれる。本発明
者らは、これらの点を解決するために種々研究し、本発
明をなすに至った。
響し、生産量が非常に多いもの又は価格が非常に高いも
の以外は採算の面で開発がむづかしい。更に薄いフィル
ムを蒸着する装置となると、設備費がさらに上昇し、開
発には大きなリスクを伴なうことになる。したがって何
らかの方法で設備費を安くすることが望まれる。本発明
者らは、これらの点を解決するために種々研究し、本発
明をなすに至った。
つまり装置を簡略化するためには、まずロール系及びそ
の制御系を簡略化しなくてはならない。
の制御系を簡略化しなくてはならない。
そのためには薄いフィルムを他のフィルムにより補強し
、簡単な装置でも走行可能とし、蒸着後に補強用フィル
ムを剥離するという方法が本発明の目的に合致すること
を見い出した。
、簡単な装置でも走行可能とし、蒸着後に補強用フィル
ムを剥離するという方法が本発明の目的に合致すること
を見い出した。
そこで種々の接着剤を用い、薄いフィルムを比較的厚い
フィルムに接着する方法を試みたが、接着時にしわが発
生したり、蒸着後薄いフィルムを剥離する場合に変形及
びしわが発生し、良い結果は得られなかった。
フィルムに接着する方法を試みたが、接着時にしわが発
生したり、蒸着後薄いフィルムを剥離する場合に変形及
びしわが発生し、良い結果は得られなかった。
そこで、熱可塑性樹脂を間にはさみ、ラミネートするこ
とにより、厚いフィルムと薄いフィルムを接着する方法
をとったところ良好な結果を得ることができた。
とにより、厚いフィルムと薄いフィルムを接着する方法
をとったところ良好な結果を得ることができた。
つまり、接着層となる熱可塑性樹脂を押出しながら両側
にフィルムをラミネートしていく方法である。
にフィルムをラミネートしていく方法である。
この場合、蒸着に用いられる蒸着用の薄いフィルムは、
厚さ関μ以下のものをいい、ポリエステル、ポリプロピ
レン、ポリサルフオン、ポリエーテルサルフオン、ポリ
イミド等の広範囲の樹脂からなるフィルムの使用が可能
であり、補強用に用いられるフィルムは安価なフィルム
が望ましい。
厚さ関μ以下のものをいい、ポリエステル、ポリプロピ
レン、ポリサルフオン、ポリエーテルサルフオン、ポリ
イミド等の広範囲の樹脂からなるフィルムの使用が可能
であり、補強用に用いられるフィルムは安価なフィルム
が望ましい。
補強用フィルムの厚さは、効果的な厚さとして関〜20
0μが好ましい。
0μが好ましい。
次に薄いフィルムと補強フィルムとを張り合せるだめの
中材用樹脂としては、押出しラミネートが可能で、薄い
蒸着用フィルムと補強フィルムとを接着することが可能
な樹脂がよく、ポリエチレン、酢酸ビニル、プリエチレ
ン酢酸ビニル共重合体、末端に官能基を有するポリオレ
フィン等が用いられる。
中材用樹脂としては、押出しラミネートが可能で、薄い
蒸着用フィルムと補強フィルムとを接着することが可能
な樹脂がよく、ポリエチレン、酢酸ビニル、プリエチレ
ン酢酸ビニル共重合体、末端に官能基を有するポリオレ
フィン等が用いられる。
この場合、補強フィルム、中材及び蒸着フィルムの種々
の素材から生ずる組合せにおいては、接着性がそれぞれ
異なるため、実用上は中材−蒸着フィルム間よりも補強
フィルム−中材間の接着力が強くなる様な組合せを選ば
なくてはならない。
の素材から生ずる組合せにおいては、接着性がそれぞれ
異なるため、実用上は中材−蒸着フィルム間よりも補強
フィルム−中材間の接着力が強くなる様な組合せを選ば
なくてはならない。
つまり、補強フィルム−中材間の接着性が中材−蒸着フ
ィルム間の接着力より弱い場合は、剥離暗中材が蒸着フ
ィルム側に付着するため不都合である。これを素材の組
合せにより改良できない場合には、補強フィルム側に有
機チタンなどのアンカー剤をコーティングしておき接着
性を高めることも可能である。中材の厚さは数μから数
百ミクロンが適当であるが、目的とする性能が保証され
る限り薄い方がよく、数μから(9)μが好ましい。
ィルム間の接着力より弱い場合は、剥離暗中材が蒸着フ
ィルム側に付着するため不都合である。これを素材の組
合せにより改良できない場合には、補強フィルム側に有
機チタンなどのアンカー剤をコーティングしておき接着
性を高めることも可能である。中材の厚さは数μから数
百ミクロンが適当であるが、目的とする性能が保証され
る限り薄い方がよく、数μから(9)μが好ましい。
ここで目的とする性能とは、蒸着フィルムと補強フィル
ムを、気泡やしわがなく接着することができ、蒸着時に
変形を生ずることなく、蒸着後は蒸着フィルムだけを容
易に剥離することができること等をさす。
ムを、気泡やしわがなく接着することができ、蒸着時に
変形を生ずることなく、蒸着後は蒸着フィルムだけを容
易に剥離することができること等をさす。
以上説明したごとく、本願の方法によれば簡略された安
価な連続蒸着装置にて、薄いフィルムに蒸着することが
でき、その結果薄いプラスチックフィルムをペースにし
た新しい機能性蒸着膜の工業的な展開が容易になった。
価な連続蒸着装置にて、薄いフィルムに蒸着することが
でき、その結果薄いプラスチックフィルムをペースにし
た新しい機能性蒸着膜の工業的な展開が容易になった。
以下実施例にて更に詳しく説明する。
実施例1
関μ厚のポリプロピレンフィルムを補強フィルムとし、
lOμ厚のポリエステルフィルムを蒸着フィルムとし、
中層をポリエチレンとし、押出しラミネートすることに
より3層フィルムを作製した。
lOμ厚のポリエステルフィルムを蒸着フィルムとし、
中層をポリエチレンとし、押出しラミネートすることに
より3層フィルムを作製した。
蒸着装置は最長ロール間隔が1mあり、ロールの平行度
もかなり悪く、10μ厚のフィルムは全く通すことので
きない状態であったが、作製した3層フィルムは支障な
く通すことができ、Ouを100 m連続蒸着した。そ
の結果3層フィルムはシワを発生することなく、約1o
oo 1の厚さに均一に蒸着することができた。次に、
このフィルムを巻取り機にかけ10μ厚のfリエステル
フイルムと犯μ厚のIリプロピレンフィルムを別々に巻
取りながら補強フィルムと中層を剥離したところ、剥離
時のビ−ル強度は約10097cmであり、剥離時あま
り力を必要とせず、したがってフィルムをいためること
なく蒸着されたポリエステルフィルムのみをきれいに巻
取ることができた。
もかなり悪く、10μ厚のフィルムは全く通すことので
きない状態であったが、作製した3層フィルムは支障な
く通すことができ、Ouを100 m連続蒸着した。そ
の結果3層フィルムはシワを発生することなく、約1o
oo 1の厚さに均一に蒸着することができた。次に、
このフィルムを巻取り機にかけ10μ厚のfリエステル
フイルムと犯μ厚のIリプロピレンフィルムを別々に巻
取りながら補強フィルムと中層を剥離したところ、剥離
時のビ−ル強度は約10097cmであり、剥離時あま
り力を必要とせず、したがってフィルムをいためること
なく蒸着されたポリエステルフィルムのみをきれいに巻
取ることができた。
実施例2
50μ厚のポリプロピレンフィルムを補強フィルムとし
、12.5μ厚のポリイミドフィルムを蒸着フィルムト
シ、ポリエチレン酢酸ビニル共重合体を中層とし、押出
しラミネート法により3層フィルムを作製した。この場
合中層の厚さは約10μであった。この様にして得られ
た複合フィルムのポリイミド側にアルミニウムを0.3
μ蒸着した。蒸着に用いた装置は実施例1の装置と同じ
であり、ロールの平行度も悪く、最長ロール間隔が1m
もあり、12.5μのポリイミドフィルムは走行不可能
であったが、ポリプロピレンフィルムで補強した複合フ
ィルムでは蛇行、しわ等を発生せず、正常に走行し、良
好なる蒸着複合フィルムを得ることができた。
、12.5μ厚のポリイミドフィルムを蒸着フィルムト
シ、ポリエチレン酢酸ビニル共重合体を中層とし、押出
しラミネート法により3層フィルムを作製した。この場
合中層の厚さは約10μであった。この様にして得られ
た複合フィルムのポリイミド側にアルミニウムを0.3
μ蒸着した。蒸着に用いた装置は実施例1の装置と同じ
であり、ロールの平行度も悪く、最長ロール間隔が1m
もあり、12.5μのポリイミドフィルムは走行不可能
であったが、ポリプロピレンフィルムで補強した複合フ
ィルムでは蛇行、しわ等を発生せず、正常に走行し、良
好なる蒸着複合フィルムを得ることができた。
次に、実施例1と同様にして、蒸着されたポリイミドフ
ィルムと補強フィルムであるチリプロピレンフィルムを
剥離したところ、支障なく剥離でき、良好なるアルミ蒸
着ポリイミドフィルムを得ることができた。
ィルムと補強フィルムであるチリプロピレンフィルムを
剥離したところ、支障なく剥離でき、良好なるアルミ蒸
着ポリイミドフィルムを得ることができた。
Claims (1)
- 数μから関μの厚さのプラスチックフィルムを他の厚い
プラスチックフィルムに熱可塑性樹脂を介してラミネー
トした複合フィルムとし、真空蒸着、イオンブレーティ
ング又はスノクツタ等の乾、 式メッキを施した後、
両プラスチックフィルムを剥離することを特徴とする薄
いグラスチックフィルムの蒸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57166620A JPS5956429A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | プラスチツクフイルムの蒸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57166620A JPS5956429A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | プラスチツクフイルムの蒸着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5956429A true JPS5956429A (ja) | 1984-03-31 |
| JPH0234973B2 JPH0234973B2 (ja) | 1990-08-07 |
Family
ID=15834670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57166620A Granted JPS5956429A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | プラスチツクフイルムの蒸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5956429A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60103178A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-07 | Daicel Chem Ind Ltd | プラスチツクフイルムへの薄膜形成方法 |
| JP2009249298A (ja) * | 2008-04-02 | 2009-10-29 | Toppan Printing Co Ltd | 貼付剤用支持体およびこれを用いた貼付剤および貼付剤用支持体の製造方法 |
| WO2015046311A1 (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-02 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムおよび機能性フィルムの製造方法 |
| WO2015046302A1 (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-02 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムおよび機能性フィルムの製造方法 |
| WO2017014092A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2017-01-26 | 凸版印刷株式会社 | 原子層堆積巻き取り成膜装置、原子層堆積方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4889840A (ja) * | 1972-03-02 | 1973-11-24 |
-
1982
- 1982-09-27 JP JP57166620A patent/JPS5956429A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4889840A (ja) * | 1972-03-02 | 1973-11-24 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS60103178A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-07 | Daicel Chem Ind Ltd | プラスチツクフイルムへの薄膜形成方法 |
| JP2009249298A (ja) * | 2008-04-02 | 2009-10-29 | Toppan Printing Co Ltd | 貼付剤用支持体およびこれを用いた貼付剤および貼付剤用支持体の製造方法 |
| WO2015046311A1 (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-02 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムおよび機能性フィルムの製造方法 |
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| JP2015066810A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムおよび機能性フィルムの製造方法 |
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| WO2017014092A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2017-01-26 | 凸版印刷株式会社 | 原子層堆積巻き取り成膜装置、原子層堆積方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0234973B2 (ja) | 1990-08-07 |
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