JPS5956510U - 光学的表面検査装置 - Google Patents
光学的表面検査装置Info
- Publication number
- JPS5956510U JPS5956510U JP15172082U JP15172082U JPS5956510U JP S5956510 U JPS5956510 U JP S5956510U JP 15172082 U JP15172082 U JP 15172082U JP 15172082 U JP15172082 U JP 15172082U JP S5956510 U JPS5956510 U JP S5956510U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflected light
- inspected
- surface inspection
- optical surface
- inspection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はこの考案の実施例である光学的表面検査装置の
構成を示す斜視図であり、第２図はその構成断面図であ
る。第３図は受光素子にフォト・ダイオードを使用する
ときの光電変換器の回路構成を示す図である。 １・・・被検査物、２・・・比較的散乱反射部分、３・
・・比較的鏡面反射部、４・・・光源、５・・・光電変
換器（正反射用）、７・・・充電変換器（散乱反射用）
、６．８・・・集光レンズ、１′１・・・差動増幅器、
１３・・・コンパレータ、１４・・・フォト・ダイオー
ド、１５・・・基準信号。 ４ん７−［ １′ −） １？１５ 第３図 計鵡 １１３ −９ ±
構成を示す斜視図であり、第２図はその構成断面図であ
る。第３図は受光素子にフォト・ダイオードを使用する
ときの光電変換器の回路構成を示す図である。 １・・・被検査物、２・・・比較的散乱反射部分、３・
・・比較的鏡面反射部、４・・・光源、５・・・光電変
換器（正反射用）、７・・・充電変換器（散乱反射用）
、６．８・・・集光レンズ、１′１・・・差動増幅器、
１３・・・コンパレータ、１４・・・フォト・ダイオー
ド、１５・・・基準信号。 ４ん７−［ １′ −） １？１５ 第３図 計鵡 １１３ −９ ±
Claims (1)
- 比較的散乱反射する反射面を有する部材の表面の一部に
比較的鏡面反射する反射面を有する異なる部材を備えた
被検査物を光照射し、前記被検査物表面からの正反射光
を受光し光電変換して鏡面部分の形状の基準形状との一
致性を検査するようにした光学的表面検査装置において
、前記光照射により前記被検査物表面からの散乱反則光
を受光し光電変換する光電変換器を正反射光の光路外に
設けるとともに、前記正反射光と散乱反射光とを光電変
換した電気出力の差値を検出する手段を設け、該検出手
段によって得られる信号を基準信号と対比処理するよう
にしたことを特徴とする光学的表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15172082U JPS5956510U (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | 光学的表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15172082U JPS5956510U (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | 光学的表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5956510U true JPS5956510U (ja) | 1984-04-13 |
Family
ID=30336134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15172082U Pending JPS5956510U (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | 光学的表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5956510U (ja) |
-
1982
- 1982-10-05 JP JP15172082U patent/JPS5956510U/ja active Pending
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