JPS595694A - 除塵洗浄装置 - Google Patents
除塵洗浄装置Info
- Publication number
- JPS595694A JPS595694A JP11487082A JP11487082A JPS595694A JP S595694 A JPS595694 A JP S595694A JP 11487082 A JP11487082 A JP 11487082A JP 11487082 A JP11487082 A JP 11487082A JP S595694 A JPS595694 A JP S595694A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust removal
- removal chamber
- conveyor
- objects
- air supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims description 57
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 18
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 11
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 2
- 244000144985 peep Species 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 3
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009512 pharmaceutical packaging Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えば、配線プリントに先立って断線やショ
ート防止のためにプリント基板を除塵洗浄処理する等、
各種の被処理物品を対象として除塵洗浄処理を施す装置
に関する。
ート防止のためにプリント基板を除塵洗浄処理する等、
各種の被処理物品を対象として除塵洗浄処理を施す装置
に関する。
従来、物品の除塵洗浄を行うに、手作業で物品表面を拭
ったり、あるいは、第を図に示すように、エアーシャワ
一式の除塵室罎)に入口扉りηを開閉して人為的に物品
囚を入れ、送風機(財)により排気口側及びフィルター
(ト)を経て回収清浄化した空気をノズ/L/@7)か
ら物品囚に吹付けて除塵した後、出口扉納を開閉して人
為的に物品囚を出すように構成した除塵洗浄装置が利用
されていた。 しかし、いずれも、手作業に頼るため処
理能率が悪く、洗浄効果も大きくばらつき、また、除塵
洗浄処理が粗雑であるために高度の除塵洗浄を行えない
欠点があった。
ったり、あるいは、第を図に示すように、エアーシャワ
一式の除塵室罎)に入口扉りηを開閉して人為的に物品
囚を入れ、送風機(財)により排気口側及びフィルター
(ト)を経て回収清浄化した空気をノズ/L/@7)か
ら物品囚に吹付けて除塵した後、出口扉納を開閉して人
為的に物品囚を出すように構成した除塵洗浄装置が利用
されていた。 しかし、いずれも、手作業に頼るため処
理能率が悪く、洗浄効果も大きくばらつき、また、除塵
洗浄処理が粗雑であるために高度の除塵洗浄を行えない
欠点があった。
本発明の目的は、除塵洗浄処理を連続的にかつ能率良く
行えると共に、高度の除塵を確実に行える装置を撞供す
る点にある。
行えると共に、高度の除塵を確実に行える装置を撞供す
る点にある。
本発明による除塵洗浄装置′dのm故構成は、除塵室内
に、その一端1…1人口から他端側出口に被処理物品を
移送する駆動型コンベアを設け、前記除塵室を前記コン
ベアの移送方向に区画する隔壁を設け、除塵室区画部分
のうち、前記入口側の一部に被処理物品の静電気を除く
除電バー、及び、被処理物品に除塵作用する回転部t!
I型ブフシを、かつ、残部に前述同様の除電バー、及び
、被処理物品に除塵用清浄ガスを吹付けるガス循環式給
気装置を夫々設け、前記給気装置漬を、前記除塵室区画
部分の内圧が前記コンベアの移送下手側におけるほど高
くなるように、かつ、大気圧より高くなるように構成し
た事にある。
に、その一端1…1人口から他端側出口に被処理物品を
移送する駆動型コンベアを設け、前記除塵室を前記コン
ベアの移送方向に区画する隔壁を設け、除塵室区画部分
のうち、前記入口側の一部に被処理物品の静電気を除く
除電バー、及び、被処理物品に除塵作用する回転部t!
I型ブフシを、かつ、残部に前述同様の除電バー、及び
、被処理物品に除塵用清浄ガスを吹付けるガス循環式給
気装置を夫々設け、前記給気装置漬を、前記除塵室区画
部分の内圧が前記コンベアの移送下手側におけるほど高
くなるように、かつ、大気圧より高くなるように構成し
た事にある。
本発明の持徽溝成による作用効果は次の通りである。
つまり、被処理物品を駆+4/l型コンベアによシ入口
から出口に移送できるようにすると共に、給気装置によ
り除塵室の内圧を大気圧よシも高くして、除塵室への大
気流入阻止のための入口及び出口の開閉を不要にする事
によって、除塵洗浄処理を連続的Kかっ人手を不要ある
いけほとんど不要にした状態で行え、大量の物品に対す
る除塵洗浄を極めて能率良くかつ均質に行えるようにな
った。
つまり、被処理物品を駆+4/l型コンベアによシ入口
から出口に移送できるようにすると共に、給気装置によ
り除塵室の内圧を大気圧よシも高くして、除塵室への大
気流入阻止のための入口及び出口の開閉を不要にする事
によって、除塵洗浄処理を連続的Kかっ人手を不要ある
いけほとんど不要にした状態で行え、大量の物品に対す
る除塵洗浄を極めて能率良くかつ均質に行えるようにな
った。
その上、物品を、先ず静゛成気を除いた状態で駆動回転
ブラシで強力に清浄化し、次に、#電気を除いた状ルで
清浄ガス吹付で緻密に清浄化し、さらには、それら両溝
浄化工程が隔壁にょ多区画された別の部分で行われるよ
うに、かつ、給気装置によ)除塵室区画部分の内圧をコ
ンベアの移送下手側はど高くして、一旦除去したゴミが
別の除塵室区画部分に流入して再び物品に付Hする不都
合な現象を無くせるようにする事によって、物品に強く
付着してbるゴミ及び徽細なゴミ等、全てのゴミを確実
に除去でき、全体として、極めて高度な除塵洗浄を確実
にかつ能率良く行えるようになった。
ブラシで強力に清浄化し、次に、#電気を除いた状ルで
清浄ガス吹付で緻密に清浄化し、さらには、それら両溝
浄化工程が隔壁にょ多区画された別の部分で行われるよ
うに、かつ、給気装置によ)除塵室区画部分の内圧をコ
ンベアの移送下手側はど高くして、一旦除去したゴミが
別の除塵室区画部分に流入して再び物品に付Hする不都
合な現象を無くせるようにする事によって、物品に強く
付着してbるゴミ及び徽細なゴミ等、全てのゴミを確実
に除去でき、全体として、極めて高度な除塵洗浄を確実
にかつ能率良く行えるようになった。
次に、第1図ないし第8図により害施例を説明する。
キャスター(1)及びヌトッパー(2)により移動及び
固設自在なケース(3)内に、左右一対の隔壁(4m)
、(4b)を設けて、左右の空気mm室+5+ 、 +
6+、フィルター(9)によシ区画し、そして、ケース
(3)の一端に形成した入1:I(+01からケース(
3)の他端に形成した出口(川に被処理物品(5)を移
送する経路(12a)を、ケース(3)内に設けた駆動
型ローブコンベア(12)により形成し、除塵室(7)
をローブコンベアQ2)の移送方向に3室に区画する隔
壁(18m)。
固設自在なケース(3)内に、左右一対の隔壁(4m)
、(4b)を設けて、左右の空気mm室+5+ 、 +
6+、フィルター(9)によシ区画し、そして、ケース
(3)の一端に形成した入1:I(+01からケース(
3)の他端に形成した出口(川に被処理物品(5)を移
送する経路(12a)を、ケース(3)内に設けた駆動
型ローブコンベア(12)により形成し、除塵室(7)
をローブコンベアQ2)の移送方向に3室に区画する隔
壁(18m)。
(18b)を設け、送風機収納室(8)及び空電循環室
(51、+61夫々をローブコンベア(12の移送方向
に2室に区画する隔壁(14a)、(14b)、(14
6) ヲ、出0側の除塵室区画用隔壁(18b)に連ね
て設けである。 尚、ローブコンベア(1匂の外周部に
、イオン化空気に強い特殊なゴム等を付設しである。
(51、+61夫々をローブコンベア(12の移送方向
に2室に区画する隔壁(14a)、(14b)、(14
6) ヲ、出0側の除塵室区画用隔壁(18b)に連ね
て設けである。 尚、ローブコンベア(1匂の外周部に
、イオン化空気に強い特殊なゴム等を付設しである。
ローラコンベア02)によって移送される被処理物品囚
に対して作用するように、直流放電によるイオン化空気
を帯状ノズルから噴出させて、物品(5)の*tt気を
除くように構成した除電バー(151)、(15b)、
(156) 、並びに、清浄空気を吹付けるノズiv
(16m)、(16b)、(lea)を、除塵室区画部
分(7m)、(7b)、(7+)夫々に設けると共に、
入口(101′に臨む除塵室区画部分(71)にのみ除
塵用の回転駆動型ブラシ(17m)、(17b)を、経
路(12m) (D上下夫々に位1イさせて設け、そし
て、一方の収納室区画部分(8a)を入口側及び中央の
除塵室区画部分(7m)、(7b)並びに左右の空気循
環室区画部分(5m)、(6a) K、カつ、他方の収
納室区画部分(8b)を出口側の除塵室区画部分(76
)並びに左右の空気循環室区画部分(5b)、(6b)
に、夫々連通させ、空気循環室区画部分(5m)、(5
b)、(6m)、(6b)夫’t K 高性a y イ
tvターから成る第コ次フイyvp −+18)ヲ設け
、第1送風機(19m)によって、入口側及び中央の除
塵室区画部分(7a)、(7b)からの空気を、第1次
及び第2次フィルター+91 、 +18)で清浄化し
念後、ノズA/ (16m)、(16b)から再びそれ
ら除塵室区画部分(7m)、(7b)内の被処理物品−
に吹付けるように、かつ、第2送風機(19b)によっ
て、出口側の除塵室区画部分(7e)からの空気を、第
1次及び第2次フィルター19) 、 +18)で清浄
化した後、ノズA/(166)から再びその除塵室区画
部分(76)内の被処理物品−に吹付けるように構成し
である。 尚、ブラシ(17m)、(17b) tri
上下位置調節自在でかつ無段変速自在である。
に対して作用するように、直流放電によるイオン化空気
を帯状ノズルから噴出させて、物品(5)の*tt気を
除くように構成した除電バー(151)、(15b)、
(156) 、並びに、清浄空気を吹付けるノズiv
(16m)、(16b)、(lea)を、除塵室区画部
分(7m)、(7b)、(7+)夫々に設けると共に、
入口(101′に臨む除塵室区画部分(71)にのみ除
塵用の回転駆動型ブラシ(17m)、(17b)を、経
路(12m) (D上下夫々に位1イさせて設け、そし
て、一方の収納室区画部分(8a)を入口側及び中央の
除塵室区画部分(7m)、(7b)並びに左右の空気循
環室区画部分(5m)、(6a) K、カつ、他方の収
納室区画部分(8b)を出口側の除塵室区画部分(76
)並びに左右の空気循環室区画部分(5b)、(6b)
に、夫々連通させ、空気循環室区画部分(5m)、(5
b)、(6m)、(6b)夫’t K 高性a y イ
tvターから成る第コ次フイyvp −+18)ヲ設け
、第1送風機(19m)によって、入口側及び中央の除
塵室区画部分(7a)、(7b)からの空気を、第1次
及び第2次フィルター+91 、 +18)で清浄化し
念後、ノズA/ (16m)、(16b)から再びそれ
ら除塵室区画部分(7m)、(7b)内の被処理物品−
に吹付けるように、かつ、第2送風機(19b)によっ
て、出口側の除塵室区画部分(7e)からの空気を、第
1次及び第2次フィルター19) 、 +18)で清浄
化した後、ノズA/(166)から再びその除塵室区画
部分(76)内の被処理物品−に吹付けるように構成し
である。 尚、ブラシ(17m)、(17b) tri
上下位置調節自在でかつ無段変速自在である。
ノズiv (16m)、(16b)、(16o)夫々を
向き変更操作自在に取付けると共に、ノズル(16a)
、(16b)。
向き変更操作自在に取付けると共に、ノズル(16a)
、(16b)。
(1ee )夫々に流量調節弁を付設して、除塵室区画
部分(7m)、(7b)、(76)夫々において、空気
を物品除塵に適した状態で吹付け、吹付けた空気を円滑
にかつ偏シ少く第1次フィルター(9)に向かつ↓ て流動させるように構成すると共に、除塵室区画部分(
7m)、(7b)、(76)の内圧を、ローラコンベア
02の移送方向下手におけるほど高くなるように、かつ
、大気圧より高くなるように構成しである。
部分(7m)、(7b)、(76)夫々において、空気
を物品除塵に適した状態で吹付け、吹付けた空気を円滑
にかつ偏シ少く第1次フィルター(9)に向かつ↓ て流動させるように構成すると共に、除塵室区画部分(
7m)、(7b)、(76)の内圧を、ローラコンベア
02の移送方向下手におけるほど高くなるように、かつ
、大気圧より高くなるように構成しである。
隔壁(4鳳)、(4b)のうちローブコンベア(+2及
びブラシ(1γ@)、(17b)を取付けた部分を、そ
れに連設し九ローラ駆動用及びプツシ駆動用電動モータ
、並びに、伝動カバー−と一体的にケース(3)に対し
て着脱できるように取付けると共に、ケース(3)上面
に、アース入シ透明蓋(21)を有する点検口を形成し
、もって、被処理物品−が詰った時等の処理が簡単に行
えるように構成しである。
びブラシ(1γ@)、(17b)を取付けた部分を、そ
れに連設し九ローラ駆動用及びプツシ駆動用電動モータ
、並びに、伝動カバー−と一体的にケース(3)に対し
て着脱できるように取付けると共に、ケース(3)上面
に、アース入シ透明蓋(21)を有する点検口を形成し
、もって、被処理物品−が詰った時等の処理が簡単に行
えるように構成しである。
ローブ駆動用、ブラシ駆動用及び送風機駆動用等の電動
モータ夫々に、サーマルリレーや漏電防止器を付設して
、被処理物品−の詰夛等がと 生じ時に、装置全体を自動停止させると共に、異常報知
灯のを点滅させて、トラブル発生及び発生箇所を色表示
等で報知すべく構成しである。
モータ夫々に、サーマルリレーや漏電防止器を付設して
、被処理物品−の詰夛等がと 生じ時に、装置全体を自動停止させると共に、異常報知
灯のを点滅させて、トラブル発生及び発生箇所を色表示
等で報知すべく構成しである。
光電管式等の物品存否検出センサーを入口(lO)近く
に設けて、センサーのが物品内の存在を検出すると、直
ちにローブコンベア0′4、ブフV(17m)、(17
b) 、送風機(19a)、(19b)、除電ノ(−(
15m)、(15b)、(15e)等を自動的に作動さ
せると共に、センサー(膠が物品(5)不在を設定時間
続けて検出すると、装置内に物品内が残らないようす適
当なタイミングでローラコンベアH、ブラシ(11)、
(17b) 、送風機(19m)、(19b) 、除電
ノ(−(15a)、(15b)、(156)等を自動的
に停止させるべく構成しである。
に設けて、センサーのが物品内の存在を検出すると、直
ちにローブコンベア0′4、ブフV(17m)、(17
b) 、送風機(19a)、(19b)、除電ノ(−(
15m)、(15b)、(15e)等を自動的に作動さ
せると共に、センサー(膠が物品(5)不在を設定時間
続けて検出すると、装置内に物品内が残らないようす適
当なタイミングでローラコンベアH、ブラシ(11)、
(17b) 、送風機(19m)、(19b) 、除電
ノ(−(15a)、(15b)、(156)等を自動的
に停止させるべく構成しである。
各種の操作具及び上述の安全や顛tiのための自助制御
器等を着脱自在な操作ボックス124)に集中配置し、
操作及び補修点検等を簡単に行える ・ように8成しで
ある。
器等を着脱自在な操作ボックス124)に集中配置し、
操作及び補修点検等を簡単に行える ・ように8成しで
ある。
次に、別の実施例を示す。
ローブコンベアに代えて各種形式のコンベアθ匂を利用
でき、また、物品内の大きさや形状に応じてコンベアガ
イドを適宜付設してもよい。
でき、また、物品内の大きさや形状に応じてコンベアガ
イドを適宜付設してもよい。
除塵室(7)の区画数は複数であればよく、そして、3
室以上に区画する場合、ブラシ(X7m) 。
室以上に区画する場合、ブラシ(X7m) 。
(17b)を備えるものと備えないものの数の関係は必
要に応じて適当に決めればよい。
要に応じて適当に決めればよい。
被処理物品−に吹付ける清浄ガスの種4頂は必要に応じ
て適宜選定でき、また、除塵室(7)にガスを循環供給
する給気装置(9、19、18、16)の具体的構成は
自由に変更できる。
て適宜選定でき、また、除塵室(7)にガスを循環供給
する給気装置(9、19、18、16)の具体的構成は
自由に変更できる。
ケース(3)を吸音材張りにして防酢型にする等の構成
付加、あるいは、一部構成の省略等も自由に行える。
付加、あるいは、一部構成の省略等も自由に行える。
被処理物品−の種類、形状、寸法、その他は不問であυ
、例えば、製薬包装ラインのフィルムシートの生物学的
清浄化等にも適用できる。
、例えば、製薬包装ラインのフィルムシートの生物学的
清浄化等にも適用できる。
第1図ないし第8図は本発明の実施例を示し、第1図t
i概略縦断面図、第2図は第1図の1−1線1@面図、
第3図は第1図のト」線断面図である。 第4図は従来
例の概略縦断面図である。 (7)・・・・・・除塵室、(7m)、(7b)、(7
a)・・・・・・除塵室区画部分、(9、19、18、
16) 、 (9、19b 、 18b 、 16b
’)−・・・・給気装置、 1lo)・・・・・・入口
、(u)・・・・・・出口、θ乃・・・−−0:I y
ベア、(18m、18b) ・−・−隔壁、(15m)
。
i概略縦断面図、第2図は第1図の1−1線1@面図、
第3図は第1図のト」線断面図である。 第4図は従来
例の概略縦断面図である。 (7)・・・・・・除塵室、(7m)、(7b)、(7
a)・・・・・・除塵室区画部分、(9、19、18、
16) 、 (9、19b 、 18b 、 16b
’)−・・・・給気装置、 1lo)・・・・・・入口
、(u)・・・・・・出口、θ乃・・・−−0:I y
ベア、(18m、18b) ・−・−隔壁、(15m)
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■ 除塵室内(7)に、その一端側入口[10)から他
端側出口(11)に被処理物品囚を移送する駆動型コン
ベア02)を設け、前記除塵室(7)を前記コンベアO
→の移送方向に区画する隔壁(18a)、(18b)を
設け、除塵室区画部分(7m)、(7b)、(7e)の
うち、前記入口+101側の一部(7鳳)に被処理物品
囚の静電気を除く除tバー(15a) 、及び、被処理
物品囚に除塵作用する回転駆動型ブラシ(17K)。 (17b)を、かつ、残部(7b)、(7e)に前述同
様の除覗パー(15b)、(156) 、及び、被処理
物品囚に除塵用清浄ガスを吹付けるガス循環式給気装置
ff (9、19、18、16)を夫々設け、@気給気
装置fi (9、19、18、16)を、前記除塵室区
画部分(7m)、(7b)、(7Il+)の内圧が前記
コンベア(12)の移送下手側におけるほど高くなるよ
うに、かつ、大気圧より高くなるように構成しである事
を特徴とする除塵洗浄装置。 ■ 前記給気装置(9、19、18、16)を複数個設
けると共に、前記除塵室区画部分のうち前記出口(11
)に臨むもの(1e)に専用の前記給気装置(9、19
b 、 18b 、 166 )を付設しである事を特
徴とする特許請求の範囲第0項に記載の除塵洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11487082A JPS595694A (ja) | 1982-07-01 | 1982-07-01 | 除塵洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11487082A JPS595694A (ja) | 1982-07-01 | 1982-07-01 | 除塵洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS595694A true JPS595694A (ja) | 1984-01-12 |
| JPH0122756B2 JPH0122756B2 (ja) | 1989-04-27 |
Family
ID=14648744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11487082A Granted JPS595694A (ja) | 1982-07-01 | 1982-07-01 | 除塵洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS595694A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6174688A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-16 | ホソカワミクロン株式会社 | 除塵洗浄装置 |
| CN101829660A (zh) * | 2009-03-09 | 2010-09-15 | 株式会社长冈制作所 | 基板输送装置 |
-
1982
- 1982-07-01 JP JP11487082A patent/JPS595694A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6174688A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-16 | ホソカワミクロン株式会社 | 除塵洗浄装置 |
| CN101829660A (zh) * | 2009-03-09 | 2010-09-15 | 株式会社长冈制作所 | 基板输送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0122756B2 (ja) | 1989-04-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1302447A (ja) | ||
| TW200407201A (en) | Substrate treatment apparatus and substrate washing method | |
| SE515206C2 (sv) | Sätt vid behandling av gipsskivor eller -plattor | |
| DE69411411D1 (de) | Formvorrichtung für gemusterte, geformte Gegenstände und Verfahren zu deren Herstellung | |
| RS60637B1 (sr) | Kabina za farbanje sa sistemom za zamenu filtera | |
| CA2180895A1 (en) | Self-Cleaning Belt Filter and Method | |
| JP2013512770A (ja) | 塗装ブースにおける噴霧飛沫の回収および乾燥処理のための装置および方法 | |
| JPH0811224B2 (ja) | 物品清浄装置 | |
| JP3720421B2 (ja) | 除電方法 | |
| US5902383A (en) | Dust collection apparatus having packed tower | |
| JPS6090068A (ja) | 空気循環式塗装装置 | |
| JPH0122756B2 (ja) | ||
| JPS6173394A (ja) | 除塵洗浄装置 | |
| JP3818434B2 (ja) | 浄化空気通風式の保管設備 | |
| JPH022603B2 (ja) | ||
| JPS6174688A (ja) | 除塵洗浄装置 | |
| CN210311190U (zh) | 一种电子产品包装箱除尘机 | |
| JPH10156302A (ja) | 移送品の除塵装置 | |
| CN221432409U (zh) | 一种除雾器 | |
| SE9203567L (sv) | Sätt att rensa filterslangar i en slangfilteranläggning | |
| CN215428119U (zh) | 新能源材料尾气处理装置 | |
| JP3207106B2 (ja) | 水溶性塗料用塗装装置 | |
| JPS5843979Y2 (ja) | 附着異物吸引除去装置 | |
| JPS641035Y2 (ja) | ||
| JP3131258U (ja) | 基板清掃装置 |