JPS5960202A - ボンデイングパツド位置検出方法 - Google Patents
ボンデイングパツド位置検出方法Info
- Publication number
- JPS5960202A JPS5960202A JP57172357A JP17235782A JPS5960202A JP S5960202 A JPS5960202 A JP S5960202A JP 57172357 A JP57172357 A JP 57172357A JP 17235782 A JP17235782 A JP 17235782A JP S5960202 A JPS5960202 A JP S5960202A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pad
- center
- bonding pad
- scanning
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/024—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of diode-array scanning
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明はプリント板ポンディングパッドの位置検出方法
に係り、特に−辺に対し平行する辺と垂直な２辺とを治
する入角形等の点対称多角形ポンディングパッドの位置
検出方法に関するものである。
に係り、特に−辺に対し平行する辺と垂直な２辺とを治
する入角形等の点対称多角形ポンディングパッドの位置
検出方法に関するものである。
従来技術と問題点
従来、この種の多角形ポンプイングツくラドの位置を検
出する場合、多角形の外形、例えば辺等から検出を行っ
ているが、この方法では正確な位置検出が困難であった
。
出する場合、多角形の外形、例えば辺等から検出を行っ
ているが、この方法では正確な位置検出が困難であった
。
発明の目的
本発明は上述の欠点を解決するためのものでボンディン
グパッドの位１ｂ′、検出を正確に行うことのできる位
ＩＩ□−１検出方法を提供することを目的としている。
グパッドの位１ｂ′、検出を正確に行うことのできる位
ＩＩ□−１検出方法を提供することを目的としている。
発明の実施例
以１、しｌ ｒｆｉｌに関連して本発明の詳細な説明す
る。
る。
不発１．！ＪＪでの１、カメラがし取シ込１れるポンデ
ィングパッドを含むプリント板表面の画像を電話８機等
によシ基板部とパッド部に２値化処理し、該画像を所定
の二方向に走査することによってポンディングパッドの
中心を求める。次にその走査手順を図「「１１によシｂ
−門する。
ィングパッドを含むプリント板表面の画像を電話８機等
によシ基板部とパッド部に２値化処理し、該画像を所定
の二方向に走査することによってポンディングパッドの
中心を求める。次にその走査手順を図「「１１によシｂ
−門する。
図は２値化処理された画像を示し、１は基板部、２ ｆ
ｌ′、ｌ：パッド部である。パッド部２の形状はポンデ
ィングパッドそのものの形状を示シテいる。
ｌ′、ｌ：パッド部である。パッド部２の形状はポンデ
ィングパッドそのものの形状を示シテいる。
走査は、バッドＢ１３２の任意の第１の辺６に沿っｆｃ
Ｘ方向（行方向）に対して行った後、Ｘ方向と垂面な
ｙ方向（列方向）に対して行う。本図ｔｊ二二角角形ポ
ンディングパッド場合を示しておシ、対向する第２．第
６の辺４，５はｙ方向に泪い、第１の辺６に対向する第
４の辺６はＸ方向に沿っている。
Ｘ方向（行方向）に対して行った後、Ｘ方向と垂面な
ｙ方向（列方向）に対して行う。本図ｔｊ二二角角形ポ
ンディングパッド場合を示しておシ、対向する第２．第
６の辺４，５はｙ方向に泪い、第１の辺６に対向する第
４の辺６はＸ方向に沿っている。
Ｘ方向の走査に際しては、１ず第１の辺３からパッド部
２の中心Ｏに向ってＸ方向の走査を進めることによシ、
辺４，５の文」辺距離の設計値右の長さに等しい画素数
に変るｍ１行を求め、次に第４の辺から中心Ｏに向って
Ｘ方向の走査を進めることによシｐ１の長官に等しいＩ
７１′＋７素数に変る一行を求めて、（７７１，、→”
ｈ）／２より中心ＯＣ１ｙ座標を求める。
２の中心Ｏに向ってＸ方向の走査を進めることによシ、
辺４，５の文」辺距離の設計値右の長さに等しい画素数
に変るｍ１行を求め、次に第４の辺から中心Ｏに向って
Ｘ方向の走査を進めることによシｐ１の長官に等しいＩ
７１′＋７素数に変る一行を求めて、（７７１，、→”
ｈ）／２より中心ＯＣ１ｙ座標を求める。
次に行うｙ方向の走査に際して１ｌＳ１、まず第２の辺
４から中心Ｏに内ってｙ方向の走査を進めることにより
、辺６，６の対辺距離の設計値β２の長さにやｊしい画
素数に変るｎ１列を求め、次に第６の辺５から中心Ｏに
向ってＶ方向の走査を進めることにより１．の長さにＱ
（ｊ、 シい画素数に変るｎ２行を求めて、（ｔＬＩ＋
ｔｔ２）／２ より中心Ｏのｘ序標を求める。
４から中心Ｏに内ってｙ方向の走査を進めることにより
、辺６，６の対辺距離の設計値β２の長さにやｊしい画
素数に変るｎ１列を求め、次に第６の辺５から中心Ｏに
向ってＶ方向の走査を進めることにより１．の長さにＱ
（ｊ、 シい画素数に変るｎ２行を求めて、（ｔＬＩ＋
ｔｔ２）／２ より中心Ｏのｘ序標を求める。
このような”＋ｕ力方向走査により中心０の”＋１１ｉ
１’ミ標が求するので、中心Ｏが検出される。すなわち
、ポンディングパッドの位１直を検出することが口丁能
である。
１’ミ標が求するので、中心Ｏが検出される。すなわち
、ポンディングパッドの位１直を検出することが口丁能
である。
発明の効果
以上述べたように、本発明によれは、２値化処ＪＪｊ
、Ｊれたポンディングパッドの画像（パッド部）を０１
定の２力向・に走査することによってポンディングパッ
ドの中心を求めるようになっているため、ポンディング
パッド位（ｉ’ｊ：を正確に検出することが可能である
。
、Ｊれたポンディングパッドの画像（パッド部）を０１
定の２力向・に走査することによってポンディングパッ
ドの中心を求めるようになっているため、ポンディング
パッド位（ｉ’ｊ：を正確に検出することが可能である
。
図面は不発り」に係るポンディングパッド位置検出方法
の丈施要領図で、図中、１は基板部、２はパッド部、６
は第１の辺、４は第２の辺、５は第３の辺、６υ第４の
辺、０はパッド部の中心である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人 弁理士 玉晶久五部 （外６名）６− ドーーーｔ１−１
の丈施要領図で、図中、１は基板部、２はパッド部、６
は第１の辺、４は第２の辺、５は第３の辺、６υ第４の
辺、０はパッド部の中心である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人 弁理士 玉晶久五部 （外６名）６− ドーーーｔ１−１
Claims (1)
- 基板上上基板上れ一辺に対し平行な辺と垂直な２辺とを
有する点対称多角形のポンディングパッドの位置を求め
る検出方法において、カメラから取り込まれる前記基板
表面の画像を基板部とパッド部に２値化処理した後、該
画像に対するパッド部の任意の第１の辺に宿った行方向
走査を該パッド部の第１の辺から中心に向って進めるこ
とにより、該パッド部の第１の辺と垂直な列方向に潜っ
た第２、第６の辺の対辺距離の設計値右の長さに等しい
画素数に変るｍ８行を求め、次に該画像に対する行方向
走査を第１の辺と対向する第４の辺から中心に向って進
めることによｈ ｔ’ｒの長さに等しい画素数に変るｍ
７行を求めて、（ｍｔ ＋ｍ、 ）／２ よシ該パッド
部中心の列方向の座標を求め、次に該画像に対する列方
向走査を第２、第５の辺からそれぞれパッド部中心に向
って行うこと菱よυ第１、第４の辺の対辺距離の設計値
λ、の長さに等しい画素数に変化するｎ、 、 ｎ２列
を求めて、（Ｗ＋ ＋ｔＺ、 ）／ ２より該パッド部
中心の行方向の座標を求め、これらの行２列方向の座標
よシパツド部中心を求めてポンディングパッドの中心を
検出することを特徴とするポンディングパッド位置検出
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172357A JPS5960202A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | ボンデイングパツド位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172357A JPS5960202A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | ボンデイングパツド位置検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5960202A true JPS5960202A (ja) | 1984-04-06 |
| JPS6352323B2 JPS6352323B2 (ja) | 1988-10-18 |
Family
ID=15940400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57172357A Granted JPS5960202A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | ボンデイングパツド位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5960202A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4919223A (ja) * | 1972-06-15 | 1974-02-20 |
-
1982
- 1982-09-29 JP JP57172357A patent/JPS5960202A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4919223A (ja) * | 1972-06-15 | 1974-02-20 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6352323B2 (ja) | 1988-10-18 |
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