JPS5960305A - ボンデイングパツド位置検出方法 - Google Patents
ボンデイングパツド位置検出方法Info
- Publication number
- JPS5960305A JPS5960305A JP57172019A JP17201982A JPS5960305A JP S5960305 A JPS5960305 A JP S5960305A JP 57172019 A JP57172019 A JP 57172019A JP 17201982 A JP17201982 A JP 17201982A JP S5960305 A JPS5960305 A JP S5960305A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pixel
- pad
- boundary line
- point
- bonding pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/024—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of diode-array scanning
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明はプリント板ポンディングパッドの位置検出方法
に１糸り、特に対向する辺が平行な点対称八角形のボン
デｆングパッドの位置を求めるボンデイングパノド位１
ｉｆｉ検出方法に関するものである。
に１糸り、特に対向する辺が平行な点対称八角形のボン
デｆングパッドの位置を求めるボンデイングパノド位１
ｉｆｉ検出方法に関するものである。
従来技術と問題点
従来、このｉ・＋ｒの多角形ポンディングパッドの位置
を検出する局音、多角形の外形、例えば辺等から検出を
ｉ了っでいるが、この方法では正確な位置検出が困輔゛
であった。
を検出する局音、多角形の外形、例えば辺等から検出を
ｉ了っでいるが、この方法では正確な位置検出が困輔゛
であった。
発明の目的
本発明はｌ二連の欠点を解決するだめのもので、ポンデ
ィングパッドの位置検出を正確に行うことのできる位置
検出方法を提供することを目的としている。
ィングパッドの位置検出を正確に行うことのできる位置
検出方法を提供することを目的としている。
実施例
以丁、図面に関連して本発明の詳細な説明する。
本発明では、まずカメラから収り込んだポンディングパ
ッドを含む基板表面の画像を′電算機により基板部とパ
ッド部に２値化処理した後、微分操作を行って該基板部
とパッド部の境界線情報のみカ゛′１”で他の情報がす
べて′０”となるよ）（二処理する。第１図はこの処理
完了状態を示し、１はパッド部、２は情報１″１”であ
るＪと板部とパッド部の境界線である。
ッドを含む基板表面の画像を′電算機により基板部とパ
ッド部に２値化処理した後、微分操作を行って該基板部
とパッド部の境界線情報のみカ゛′１”で他の情報がす
べて′０”となるよ）（二処理する。第１図はこの処理
完了状態を示し、１はパッド部、２は情報１″１”であ
るＪと板部とパッド部の境界線である。
次に、境界線２上の任意の１点Ｐをさがし、その点を注
目画素としてつながりの、ちるｓ Ｊｉ傍副画素調べる
。第２図は８近傍画素を示し、中央の斜１腺記入部分Ａ
は注目画素で、■、■、■、・・・■は８近傍画素であ
る。そして、注目画素Ａをつながりのあるいずれかの近
傍画素に移し、この操作を、Ｍ２り返すことにより境界
線２をたどる。本例の場合は注目画素Ａを順次近傍画素
■に移してＰ点から矢印方向に境界線をたどって行く。
目画素としてつながりの、ちるｓ Ｊｉ傍副画素調べる
。第２図は８近傍画素を示し、中央の斜１腺記入部分Ａ
は注目画素で、■、■、■、・・・■は８近傍画素であ
る。そして、注目画素Ａをつながりのあるいずれかの近
傍画素に移し、この操作を、Ｍ２り返すことにより境界
線２をたどる。本例の場合は注目画素Ａを順次近傍画素
■に移してＰ点から矢印方向に境界線をたどって行く。
注目画素Ａが点Ｑに達すると、該注目画素Ａにつながり
のあるのは近傍画素■となる。このよう（＝注目画素Ａ
につながりのある近傍画素が■から■に変化するＱ点が
、境界線が形成する多用形の頂点に相当する検出点にな
る。その後、注目画素Ａを順次近傍画素■に移して境界
線をたどる。
のあるのは近傍画素■となる。このよう（＝注目画素Ａ
につながりのある近傍画素が■から■に変化するＱ点が
、境界線が形成する多用形の頂点に相当する検出点にな
る。その後、注目画素Ａを順次近傍画素■に移して境界
線をたどる。
上述の１＝順に」、す、例えば頂点Ｑと対称の頂点Ｒの
２点を検出ずれば、この２点の中心がパッド部１の中心
、すなわちボンデ・イングパツドの中心０となる。
２点を検出ずれば、この２点の中心がパッド部１の中心
、すなわちボンデ・イングパツドの中心０となる。
発明の効果
以上述べたように、本発明によれば、ポンディングパッ
ドのへｆθ形の１１１点を検出し、この検出点からポン
ディングパッドの中心を算出するようになっているため
、ポンディングパッドの位置を正確に検出することが”
Ｊ能である。
ドのへｆθ形の１１１点を検出し、この検出点からポン
ディングパッドの中心を算出するようになっているため
、ポンディングパッドの位置を正確に検出することが”
Ｊ能である。
図面は木范明に係るポンディングパッド位置検出方法の
実施例を示すもので、第１図は８近傍画素による基板部
とパッド部の境界線順点検出要領図、第２図は８近傍画
素説明図である。 図中、１はパッド部、２は清報゛１”である基板部とパ
ッド部の境界線、Ａは注目画素、Ｑは検出された境界線
の頂点である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人 弁理士 玉蟲久五部（外６名）第 １ ２３
実施例を示すもので、第１図は８近傍画素による基板部
とパッド部の境界線順点検出要領図、第２図は８近傍画
素説明図である。 図中、１はパッド部、２は清報゛１”である基板部とパ
ッド部の境界線、Ａは注目画素、Ｑは検出された境界線
の頂点である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人 弁理士 玉蟲久五部（外６名）第 １ ２３
Claims (1)
- 基板上に形成され対向する辺が平行な点対称八角形のポ
ンディングパッドの位置を求める検出方法において、カ
メラから取り込んだ前記基板表面の画像を基板部とパッ
ド部に２値化処理した後微分操作を行って該基板部の境
界線情報のみが′１″で他の情報がすべて０″となるよ
うに処理し、次に前記境界線上の１点の画素をさがし、
その点を注目画素としてつながりのある８近傍画素を調
べてつながりのある近傍画素に注目画素を移し、ここの
操作を繰り返すことにより前記境界線をたどって８近傍
画素のつながりのある方向が友化する点を求め、この点
からポンディングパッドの中心を算出することを特徴と
するポンディングパッド位置検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172019A JPS5960305A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | ボンデイングパツド位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172019A JPS5960305A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | ボンデイングパツド位置検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5960305A true JPS5960305A (ja) | 1984-04-06 |
Family
ID=15934010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57172019A Pending JPS5960305A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | ボンデイングパツド位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5960305A (ja) |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP57172019A patent/JPS5960305A/ja active Pending
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