JPS5961399A - 超音波探触子の製造法 - Google Patents
超音波探触子の製造法Info
- Publication number
- JPS5961399A JPS5961399A JP17156082A JP17156082A JPS5961399A JP S5961399 A JPS5961399 A JP S5961399A JP 17156082 A JP17156082 A JP 17156082A JP 17156082 A JP17156082 A JP 17156082A JP S5961399 A JPS5961399 A JP S5961399A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- electrode
- back side
- ultrasonic wave
- side electrode
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- Pending
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- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、超音波診断装置等のトランスジューサとして
使用される超音波探触子の製造法に関シ2゜特に折返し
電極構造の振゛電子の背面に超音波吸収体を設けた超音
波探触子を改良するだめの製造法に関する。
使用される超音波探触子の製造法に関シ2゜特に折返し
電極構造の振゛電子の背面に超音波吸収体を設けた超音
波探触子を改良するだめの製造法に関する。
従来、超音波診断などの生体泪訓のための超音波を放射
あるいは受信するトランスジューサとしては、第1図に
示すような折返し′117.榛構造の超音波振動子が多
く用いられてきた。この振動子1は。
あるいは受信するトランスジューサとしては、第1図に
示すような折返し′117.榛構造の超音波振動子が多
く用いられてきた。この振動子1は。
通常、1FtJ径4〜20調、厚さ02〜1間の大きさ
をもち9図の裏側に隠れている超音波放射側電極3の一
部を延長して、側面から背面側電極2の一部に入り込む
形で島状に形成した祈返し部4を有している。
をもち9図の裏側に隠れている超音波放射側電極3の一
部を延長して、側面から背面側電極2の一部に入り込む
形で島状に形成した祈返し部4を有している。
また第2図は、第1図に示す折返し1我極構雀の超音波
振動子1を用いた超音波探触子01例を概略的に示した
ものである。図中、5は音響整合用2/4層、6は超音
波吸収体、7および8けリード線、9はケースを表わし
ている。
振動子1を用いた超音波探触子01例を概略的に示した
ものである。図中、5は音響整合用2/4層、6は超音
波吸収体、7および8けリード線、9はケースを表わし
ている。
折返し電極構造の超音波振動子1は、製作が容易であり
、また放射側電極3が第3図で後述されるような突出部
をもたず、均一な面に形成される利点をもつ。そのため
この放射側電極3」二に、良好な特性の 2/4層5を
形成することができる。
、また放射側電極3が第3図で後述されるような突出部
をもたず、均一な面に形成される利点をもつ。そのため
この放射側電極3」二に、良好な特性の 2/4層5を
形成することができる。
この2/4層5H−、振動子1から生体へ放射される超
音波エネルギーが、振11i1ノ子と生体との間の音響
インピーダンス不整合から、生体表面で反射されて放射
効率が低下するのを防ぐ機能をもフものであり、均一で
正確な厚さくたとえば250ミクロン)をもっているこ
とが要求される。
音波エネルギーが、振11i1ノ子と生体との間の音響
インピーダンス不整合から、生体表面で反射されて放射
効率が低下するのを防ぐ機能をもフものであり、均一で
正確な厚さくたとえば250ミクロン)をもっているこ
とが要求される。
他方、振動子1の背面から放射される超音波パルス(7
) T−コーによる雑音信号を除去する/こめ、振動子
1の背面部に、超音波吸収体6が配設さ11ている。通
常、振動子1のドライブflj圧i: 100〜200
■であり、これに対して生体からエコーとして返る超音
波信号が振動子1に生じさせる“?i圧は、数十マイク
ロボルトから数ミリボルト程度の微小なレベルのもので
ある。そのため、振動子1の背面から放射される超音波
パルスのエコーは。
) T−コーによる雑音信号を除去する/こめ、振動子
1の背面部に、超音波吸収体6が配設さ11ている。通
常、振動子1のドライブflj圧i: 100〜200
■であり、これに対して生体からエコーとして返る超音
波信号が振動子1に生じさせる“?i圧は、数十マイク
ロボルトから数ミリボルト程度の微小なレベルのもので
ある。そのため、振動子1の背面から放射される超音波
パルスのエコーは。
生体計測に対する大きな妨害信号となり、計測を困難に
するとともに誤計測の原因となるものである。
するとともに誤計測の原因となるものである。
吸収体6は、その対策として、振動子1の背面から放射
される超音波エネルギーン:吸収するために設けら41
.たものであり、エポキシ4丁脂系材オ゛ト。
される超音波エネルギーン:吸収するために設けら41
.たものであり、エポキシ4丁脂系材オ゛ト。
シ1jコンゴノ・、ビニール1111脂/仁ど全、イr
−ス9内に注入硬化させつくられる。これらの拐f’)
には。
−ス9内に注入硬化させつくられる。これらの拐f’)
には。
招音波吸収率すなわち減衰率な高めるため(/i=、タ
ングステン等の金r4粉が混入される。
ングステン等の金r4粉が混入される。
減衰率を76めるために(、:1.金属粉の混入量を増
やすととが密捷しいが、その反面、導4に性を帯びてく
ることがある。そのため、電極2および3間に吸収体を
通L7て電流が流れ、損失と外って 4¥−性に〜劣化
寺せ/ヒり安全性−ヒの問題とも斥った。
やすととが密捷しいが、その反面、導4に性を帯びてく
ることがある。そのため、電極2および3間に吸収体を
通L7て電流が流れ、損失と外って 4¥−性に〜劣化
寺せ/ヒり安全性−ヒの問題とも斥った。
このような問題を避けるために従来とられていた方法に
、金属粉の混入率を下げるか、あるいは振動子1につい
ては折返し電極構造をとらずに。
、金属粉の混入率を下げるか、あるいは振動子1につい
ては折返し電極構造をとらずに。
第31シ1に示すように、放射側電極3の引出し部を。
金屈箔10を用いてケース9の外側に形成し、これにリ
ード線8を接続して、リード線7との間を電気的に隔離
する構造をとるというものであった。
ード線8を接続して、リード線7との間を電気的に隔離
する構造をとるというものであった。
しかし、前者は超音波減衰性能を弱めることになり、−
iだ後者は放射側電極面に金居箔が接合されることから
、放射面の均一性を損い、放射特性悪影響を与えるとと
もに、前述した音響整合層5の性能を低下させるという
問題があった。
iだ後者は放射側電極面に金居箔が接合されることから
、放射面の均一性を損い、放射特性悪影響を与えるとと
もに、前述した音響整合層5の性能を低下させるという
問題があった。
本発明の目的は、上述した従来の超音波探触子における
問題を解決することにあり、構造的に優れている折返し
電極構造の振動子と、金屑粉混入仄を多くし導電性を帯
びているが超音波吸収率の高い吸収体とを組み合わせた
超音波探触子において、電極間の導通を防市する製造法
を提供することにある。
問題を解決することにあり、構造的に優れている折返し
電極構造の振動子と、金屑粉混入仄を多くし導電性を帯
びているが超音波吸収率の高い吸収体とを組み合わせた
超音波探触子において、電極間の導通を防市する製造法
を提供することにある。
本発明は、そのだめの構成と17で、超音波放射側の電
極が側面より背面の一部に1ゎりこんだ折返し電極を有
する振動子を用い/こ超音波探触子において、折返し電
極および背面側電極にリード線を接続する段階と、上記
折返し電極およびリード線の接続部を絶縁性接着剤で被
覆しクラッド層を形成する段階と、金属粉を混入し導電
性を有する超音波パルスを超音波振1fb子の背面に充
填(〜、硬化させる段階とからなることヲ!1ヶ徴とす
るものである。
極が側面より背面の一部に1ゎりこんだ折返し電極を有
する振動子を用い/こ超音波探触子において、折返し電
極および背面側電極にリード線を接続する段階と、上記
折返し電極およびリード線の接続部を絶縁性接着剤で被
覆しクラッド層を形成する段階と、金属粉を混入し導電
性を有する超音波パルスを超音波振1fb子の背面に充
填(〜、硬化させる段階とからなることヲ!1ヶ徴とす
るものである。
第4図乃至W2O図は9本発明による超音波探触子製造
法の実施例説明図である。
法の実施例説明図である。
第4図は、第1図に示す折返し電極構造の超音波探触子
の製造過程の一つの段階を示し、放射側電極折返し部4
および背面側電極2に、それぞれリード線7および8を
接続した状態を表わしている。各電極の表面と、リード
線および8の先端のム 被覆を除去して露出させた芯線部7aおよび8aと、半
田付は部11および12とは、導電面全形成し吸収体充
填の際に、導通を引起す原因となるものである。
の製造過程の一つの段階を示し、放射側電極折返し部4
および背面側電極2に、それぞれリード線7および8を
接続した状態を表わしている。各電極の表面と、リード
線および8の先端のム 被覆を除去して露出させた芯線部7aおよび8aと、半
田付は部11および12とは、導電面全形成し吸収体充
填の際に、導通を引起す原因となるものである。
第5図は1次の段階を示し、折返し部4.芯線8a、半
田付は部12を電気的に絶縁するように。
田付は部12を電気的に絶縁するように。
絶縁材料のクラッド13で取囲んだ状態を表わす。
これらの絶縁材料は、エポキシ系接着剤あるいは後に充
填される吸収体から金属粉の混入をなく Lたイ、のと
同じでもよく1滴下あるいは注入して硬化?Nゼーるこ
、l:によシ形成される。
填される吸収体から金属粉の混入をなく Lたイ、のと
同じでもよく1滴下あるいは注入して硬化?Nゼーるこ
、l:によシ形成される。
2116図&;I: 、1侍終■グ15:Nを示し、吸
収体6を充填硬化さ什/こ完成状態を表わしている。吸
収体6に+−1。
収体6を充填硬化さ什/こ完成状態を表わしている。吸
収体6に+−1。
エポキシ系Q、l脂、シリコンゴノ8.ビニール等’7
) Jk利にタングステン等の金属粉を高率K if♂
7人させ/とものを使用−3−ることかでき、吸収体6
は、クラッド1;3および背面側百L(・5< 2に嬢
合あるいt−」−密着されているが、クラッド]3によ
り二つの電31層間の絶縁状7.ilを(:、+、証−
4〜ることかできる。捷だ、動作時に、折近し部4.
+d: 、両面が同一電極で;l’r Z)r’ζ−め
にもともノーh71 if弓1NノLないので、絶糸子
月1クラッド13により、」1、蕃塵jε−−−ドが変
化すること&:′Lない。
) Jk利にタングステン等の金属粉を高率K if♂
7人させ/とものを使用−3−ることかでき、吸収体6
は、クラッド1;3および背面側百L(・5< 2に嬢
合あるいt−」−密着されているが、クラッド]3によ
り二つの電31層間の絶縁状7.ilを(:、+、証−
4〜ることかできる。捷だ、動作時に、折近し部4.
+d: 、両面が同一電極で;l’r Z)r’ζ−め
にもともノーh71 if弓1NノLないので、絶糸子
月1クラッド13により、」1、蕃塵jε−−−ドが変
化すること&:′Lない。
以上のようf?二、 不発明によilは、負i1 ti
’な手段Vこより、型棒間の絶ぐそ1′4″が確保さi
q、 Z〕ため、祈返し主棒1’l’: ;::iの振
動子に導電性の背nn W’y−IJ!7.体Yc ’
−,r’K f旧I−ルコトができ、更に音〃(″′整
合層も設けること〃・できるので、4′1訃のp−い超
蛭波搾触子j′提供づることカニできる。
’な手段Vこより、型棒間の絶ぐそ1′4″が確保さi
q、 Z〕ため、祈返し主棒1’l’: ;::iの振
動子に導電性の背nn W’y−IJ!7.体Yc ’
−,r’K f旧I−ルコトができ、更に音〃(″′整
合層も設けること〃・できるので、4′1訃のp−い超
蛭波搾触子j′提供づることカニできる。
第1図Q:を折返し電極構造の振動子の外観図、第2図
および第3図は従来の超音波探触子の構造図。 第4図乃至第6図は本発明実施例の説明図である。 図中、1は振動子、2は背面側電極、3は放射側電極、
4は放射側電極3の折9.1・、[−7部、5は音響整
合層、6は背面超音波吸収体、7,8はリード線、7a
、8aは芯線、9はケース、11.12は半田(1け部
、13はクラッドを表わす。 特許出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 長谷用 文 廣 (外1名ン業1m
および第3図は従来の超音波探触子の構造図。 第4図乃至第6図は本発明実施例の説明図である。 図中、1は振動子、2は背面側電極、3は放射側電極、
4は放射側電極3の折9.1・、[−7部、5は音響整
合層、6は背面超音波吸収体、7,8はリード線、7a
、8aは芯線、9はケース、11.12は半田(1け部
、13はクラッドを表わす。 特許出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 長谷用 文 廣 (外1名ン業1m
Claims (1)
- 超音波放射側の電極が側面より背面の一部に1わりこん
だ折返し電極を有する振動子を用いた超音波探触子にお
いて、折返し7電極および背面側電極にリード線を接続
する段階と、−ヒ記折返し電極およびリード線の接続部
を絶縁性接着剤で被覆しクラッド層を形成する段階と、
金属粉を混入し導電性を有する超音波吸収材を超音波振
動子の背面に充填し、硬化させる段階とからなる超音波
探触子の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17156082A JPS5961399A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 超音波探触子の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17156082A JPS5961399A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 超音波探触子の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961399A true JPS5961399A (ja) | 1984-04-07 |
Family
ID=15925395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17156082A Pending JPS5961399A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 超音波探触子の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961399A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0472900A (ja) * | 1990-05-11 | 1992-03-06 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波探触子 |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP17156082A patent/JPS5961399A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0472900A (ja) * | 1990-05-11 | 1992-03-06 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波探触子 |
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