JPS5961698U - 電気音響変換器 - Google Patents

電気音響変換器

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Publication number
JPS5961698U
JPS5961698U JP15733182U JP15733182U JPS5961698U JP S5961698 U JPS5961698 U JP S5961698U JP 15733182 U JP15733182 U JP 15733182U JP 15733182 U JP15733182 U JP 15733182U JP S5961698 U JPS5961698 U JP S5961698U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
film layer
electrode thin
electroacoustic transducer
insulating
Prior art date
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Pending
Application number
JP15733182U
Other languages
English (en)
Inventor
勅使川原　正樹
加藤　充孝
木下　勝裕
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp filed Critical Omron Corp
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Publication of JPS5961698U publication Critical patent/JPS5961698U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の電気音響変換器を示す概略断面図９．第
２図はこの考案の一実施例を示す概略断面図である。 １・・・掘込部、２・・・半導体基板（Ｓｉ）、４・・
・絶縁薄膜層（Ｓｉｎ２）、５・・・ｐｔ膜（第１電極
薄膜層）、６・・・圧電体薄膜層、７・・・上部電極薄
膜層、２１・・・振動片、２２・・・下部電極薄膜層、
２３・・・インジウム−錫酸化物（第２の電極薄膜層）
。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）絶縁薄膜層上に、下部電極薄膜、圧電体薄膜、上
    部電極薄膜を二の順に積層してなる振動片が一部を半導
    体基板に一体に支持されてなる電気音響変換器において
    、上記下部電極薄膜層が上記圧電体薄膜層に密着する第
    １の電極薄膜層と、上記絶縁薄膜層に密着する第２の電
    極薄膜層とを含む多層構造をなし、かつ」二記第２の電
    極薄膜層が上記絶縁薄膜層と上記筒１の電極薄膜層との
    熱膨張係数の略中間値の熱膨張係数を有した部材からな
    ることを特徴とする電気音響変換器。　。
  2. （２）上記絶縁薄膜はシリコン酸化膜からなり、上記第
    １の電極薄膜は白金膜からなり、また上記第２の電極薄
    膜はインジウム−錫酸化物膜からなることを特徴とする
    実用新案登録請求の範囲第１項記載の電気音響変換器。 ′
JP15733182U 1982-10-18 1982-10-18 電気音響変換器 Pending JPS5961698U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2022118575A1 (ja) * 2020-12-01 2022-06-09

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2022118575A1 (ja) * 2020-12-01 2022-06-09
WO2022118575A1 (ja) * 2020-12-01 2022-06-09 ローム株式会社 トランスデューサ
CN116547231A (zh) * 2020-12-01 2023-08-04 罗姆股份有限公司 换能器
US12501221B2 (en) 2020-12-01 2025-12-16 Rohm Co., Ltd. Transducer

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