JPS59616A - 光電変換装置 - Google Patents

光電変換装置

Info

Publication number
JPS59616A
JPS59616A JP11009282A JP11009282A JPS59616A JP S59616 A JPS59616 A JP S59616A JP 11009282 A JP11009282 A JP 11009282A JP 11009282 A JP11009282 A JP 11009282A JP S59616 A JPS59616 A JP S59616A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
scale
receiving elements
moving
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11009282A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshitomo Koga
古賀 良知
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kawaguchiko Seimitsu KK
Original Assignee
Kawaguchiko Seimitsu KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kawaguchiko Seimitsu KK filed Critical Kawaguchiko Seimitsu KK
Priority to JP11009282A priority Critical patent/JPS59616A/ja
Publication of JPS59616A publication Critical patent/JPS59616A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • G01D5/34715—Scale reading or illumination devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、デジタルダイヤルゲージ、デジタルマイク
ロメータ、デジタルハイドゲージ、デジタル秤などのデ
ジタル式の測定器に使用され、移動体の移動量を光電変
換して電気的に検出するようになした光電変換装置の改
良に関する。
この種装置の従来例について以下説明する。
第1図は従来の光電変換装置の分解斜視図である。
第1図において、1はガラス、プラスチックなどの透明
部材よりなる移動スケールであり、その−力の表面には
一定のピッチPで等間隔に光に対して明・暗となる如き
周知のパターン2が施こされている。尚、図ではパター
ン2のピッチPは誇張して図示しである。ろはガラス、
プラスチックなどの透明部材よりなる固定スケールであ
り、その一方の表面(では、移動スケール1と同様に、
ピッチPで等間隔に光に対して明・暗となる複数のパタ
ーン4(図では四つのパター74a、 4b、4c、 
4dが示さtている)が施こさACいる。尚、図ではパ
ターン4のピッチPは誇張して図示しである。
そして、こ柱ら複数のパターン4a、 4b、 4c、
4dは例えハハターン4aを00としたとき、パターン
41)は90°、バp −ン4cハ180 ’、パター
 ン4d&:! 270 ’となるように相互に位相が
ずれている。5はタングステンランプ、発光ダイオード
などよりなる光源、6はコリメートレンズで、光源5で
発せられた光を平行光線束にして、移動スクール1以後
に伝達する。7は、固定スケール3に施こされた複数の
パターン4のそれぞれン対応して、基板8上に設けられ
に受光素子であり、この例の場合にはパターン4a、4
b、4c、4dに対応して、受光素子7a、71)、7
c、7dの四つが設けら扛ている。このような構成にお
いて、光源5を発光させると、光源5より発せられコリ
メートレンズ乙に照射さn rc光はコリメートレンズ
乙により平行光線束にさ柱て移動スクール1に達する。
移動スケール1に達した後は、移動スケール1と固定ス
ケール2に施こさnた明・暗のパターン2.4にjり両
スケールの光の通る明部分同志が重なるときに、受光素
子7の受ける光量が最大となり、それよりピッチPが1
/2移動したときには光量が最小となるので、両スケー
ル2.4の相対移動量に対し、光量はほぼ三角波状に変
化する。したがって、この例の場合における受光′素子
7a、7b、7c、 7dは90°づつ位相のずlLを
三角波状の四つの電気信号が得られることになる。
受光素子(7a、7b、7c、7d)によって、光信号
を眠気信号に変換された後は、図示はしないが公知の如
くカウンタ内で四つの受光素子(7a、7b、7c。
7d)によって得ら/′Lrt90°位相のずれた四つ
の電気信号を分割する電気処理をし先あと計数パルスに
変換さ扛、移動スクール1の移動量とパルスの数を対応
させることによって移動量をデジタrし的に表示部にて
表示させることが出来る。
ところで、各々の受光素子7a、71)、7c、7dに
よつで、光源5よりの光を移動スケール1、固定スクー
ル20両スケールで、形成された光信号を、電気信号に
光電変換する過程において、光軸りに対スルコリメート
レンズ6、移動スケール1、固定スクール2、受光素子
7の直角、対称性などの取付状態の相互の位置関係によ
り、各々の受光素子7a、7b、7c、7dによって受
ける光量について大小の差が生じてしまうことが多く、
この光量の大小が生じると、各受光素子で得られるほぼ
三角波状の電気信号の振幅にバラツキが発生してしまい
、後の電気処理とくに計数パルスの生成に不都合を起た
してしまうことになる。そこで、従来装置においでは第
1図に示すように、光源5がら受光素子7の光路内のコ
リメートレンズ6と移動スクール1の間に、各受光素子
7a、7b、7c、7dに対応し全光量調整用の調整ネ
ジ9a、91)、9c、9dが設けられていて、こ汎ら
四つの調整ネジ9a、9b、9c、9d、を適宜に出し
入nすることにより、コリメートレンズ6を通過し全光
量を制御卸調整し、四つの受光素子7a、7b、7c、
7dへの光量を均一となるようにしCいる。しかしなが
ら、こDように調整ネジ9の出し入nにより光量な制御
調整する従来装置においCは、微調整する場合にはネジ
径を小さくして、ネジのピッチを細がくしてやらなけn
ばならないが、ネジ径、ネジのピッチについ′Cは加工
上、取付上の限度があり、また、ネジ9の取付位置が対
向して位置するため、調整作業が面倒である。
さらに、調整後は、調整ネジ9が移動しないように一般
的に接着剤により強固に固着してしまうため、装置の分
解、修理時には、調整ネジ9を再度調整することが出来
なくなる。また、さらに、装置の小型化および光路を出
来る丈短かくして消費電流を小さくじりいという要望か
ら、調整ネジ9をコリメートレンズ6に近接しで設けを
場合、うつかりして調整ネジ9を回しすぎてコリメート
レンズ6に当接しでしまいレンズ6にキズを付けCしま
5といったことも生じかねなかつそ。
本発明は係る上記の入点1C鑑みなされtもので、受光
素子への光量の調整を、調整ネジにかえで液晶セルより
なる光制御板にで行えるようにすることによって、光量
の微調整制御、調整作業の容易化、再調整操作を可能と
し、さらに信頼性を向上し全光電変換装置の提供を目的
としたものである。
上記の目的を達成するkめの本発明の要旨とするところ
は、前掲の特許請求の範囲に掲記した通りである。
つぎに、本発明の好適な実施例について、第2図星下の
図面を参照して詳細に説明する。
尚、第1図と同一の部分には同一の符号を付して説明を
省略する。
第2図は本発明の光電変換装置の分解斜視図で、1はパ
ターン2を備えた移動スケール、3は複数のパターン4
(図では四つのパターン4a、41)、4c。
71d)を備えを固定スケール、5は光源、6はコリメ
ートレンズ、7は基板8上に設けら;l’L /):受
光素子で、固定スクール3のパターン4a、4b、4C
14dに対応しく四一つの受光素子7a、71)、7C
17dから構成さ7tでいる。符号10は本発明の要部
である光制御板である。この光制御板1Dは第6図に示
し先ように上Fのガラス基板11.120間に液晶物質
1ろをサンドイッチし、さらに上下ガラス基板11.1
2を偏光板14.15によりサンドインチして印加電圧
の大きさにより光の透過量を制御するようにした公知の
液晶セルよりなり、四つの受光素子7a、71)、7c
、7dへの光量をそれぞれ独立しで制御するため、四つ
のセグメント10a 、  10b 、 10c、10
dに分割されている。尚、第2図では、この光制御板1
0をコリメートレンズ6と移動スケール1との間に設け
であるが、光源5から受光素子7までの光路内の任意の
位置に設けてやっても勿論よい。
このような構成において、光制御板10の各セグメント
10a、  10b、  10c、10dへの印加電圧
をそれぞr制御することにより、移動スケール1の/く
ターン2と固定スケール3の各ノくターン4a、4b、
71IC14dの明部分同志が重なっkときの、各受光
素子7a、7b、7C17dの受ける光量を容易に等し
くすることが出来る。
つぎに本発明よりなる光電変換装置を、−例としC長さ
測定装置の検出ユニットで応用した場合について第4図
を参照して説明する。尚、第4図において、第2図と同
一の部分については同一の符号を付して説明を省略する
。
第4図は長さ測定装置の検出ユニットへの側面図で、2
0は検出ユニットAのベースブロック、21はこのベー
スブロック20に強固に結合したステムである。22は
プランジャで、一端側はステム21によって支持され、
他端側はこのプランジャ22K −し入れにかえて、光
制御板の各セグメントへの印加電圧の調整で行なえるよ
うにしたため、光量の微調整制御かり能となり、また、
印加電圧の調整部材も光制御板と離れた位置でしかも同
一方向に配設出来るため、その調整作業も容易となるk
め作業性が向上する。また、分解組立時における光量の
再調整時においでも、光制御板自体を直接操作すること
なく、光路外に設けそ調整部材を操作することによって
光量調整が可能となるなど、その実用上の効果は極めて
大なるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の光電変換装置の分解斜視図、第2図は本
発明の光電変換装置の分解斜視図、第6図は光制御板の
断面図、第4図は本発明の光電変換装置を長さ測定装置
の検出ユニットに応用しt要部説明図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 等間隔に施こされた明・暗のパターンを有する移動スク
    ールと、この移動スケールに対向し、前記パターンと同
    一で、相互に位相のすnた複数のハターンヲ有スる固定
    スケールと、この一対のスケールを挾りで、前記移動ス
    ケール側に自装置された光源と、前記固定スクール側(
    c(置き扛、しかも前記固定スクールに施こさnrt複
    数のパターンの各々(C対応した複数の受光素子とを備
    えた光電変換装置(でおいて、前記光源から発せらnる
    光を、前記移動スクールおよび固定スクールを介しC前
    記各々の受光素子により受光さ在る光路内に、前記各々
    の受光素子への光量を制御可能な液晶セルよりなる光制
    御板を設けたことを特徴とする光電変換装置。
JP11009282A 1982-06-26 1982-06-26 光電変換装置 Pending JPS59616A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11009282A JPS59616A (ja) 1982-06-26 1982-06-26 光電変換装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11009282A JPS59616A (ja) 1982-06-26 1982-06-26 光電変換装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59616A true JPS59616A (ja) 1984-01-05

Family

ID=14526817

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11009282A Pending JPS59616A (ja) 1982-06-26 1982-06-26 光電変換装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59616A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6130715A (ja) * 1984-07-24 1986-02-13 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd 透過型オプテイカルエンコ−ダ
JPS6238029A (ja) * 1985-08-13 1987-02-19 Seiko Epson Corp エンコ−ダ
JPH02143113A (ja) * 1988-11-25 1990-06-01 Canon Electron Inc 光学式エンコーダ
CN108895970A (zh) * 2018-07-13 2018-11-27 重庆理工大学 一种基于交变光场的直线位移测量系统
CN108895988A (zh) * 2018-07-13 2018-11-27 重庆理工大学 一种基于交变光场整周封闭的角位移测量系统
CN115854884A (zh) * 2022-11-10 2023-03-28 郑州轻工业大学 孪生结构光场动态调制的纳米位移传感器及其测量方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6130715A (ja) * 1984-07-24 1986-02-13 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd 透過型オプテイカルエンコ−ダ
JPS6238029A (ja) * 1985-08-13 1987-02-19 Seiko Epson Corp エンコ−ダ
JPH02143113A (ja) * 1988-11-25 1990-06-01 Canon Electron Inc 光学式エンコーダ
CN108895970A (zh) * 2018-07-13 2018-11-27 重庆理工大学 一种基于交变光场的直线位移测量系统
CN108895988A (zh) * 2018-07-13 2018-11-27 重庆理工大学 一种基于交变光场整周封闭的角位移测量系统
CN108895970B (zh) * 2018-07-13 2020-07-24 重庆理工大学 一种基于交变光场的直线位移测量系统
CN108895988B (zh) * 2018-07-13 2020-07-24 重庆理工大学 一种基于交变光场整周封闭的角位移测量系统
CN115854884A (zh) * 2022-11-10 2023-03-28 郑州轻工业大学 孪生结构光场动态调制的纳米位移传感器及其测量方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4776701A (en) Displacement measuring apparatus and method
US7684024B2 (en) Swept-angle SPR measurement system
US4800270A (en) Galvanometric optical scanning system having a pair of closely located synchronization
US4806777A (en) Device for scanning the contour of a surface of a workpiece
GB1193297A (en) Device for the Fine Adjustment of Photomasks with respect to Semiconductor Elements
US4297033A (en) Incremental photoelectric measuring device
CN101201546A (zh) 一种自动调焦调平装置
JPH0246087B2 (ja)
JPS63501316A (ja) 位相制御した増分式距離測定システム
JP2780409B2 (ja) 角度検出装置
US20080059099A1 (en) Apparatus and method for calibrating displacement of reflective parts in diffractive optical modulator
CN108895988A (zh) 一种基于交变光场整周封闭的角位移测量系统
US3218913A (en) Method and apparatus for electro-optically aligning a remote object
US6183918B1 (en) Alignment method and system for use in manufacturing an optical filter
GB2238880A (en) Optical correction apparatus
EP0310231B1 (en) Optical measuring apparatus
US3553470A (en) Apparatus for generating an approximation to a sine wave including a reading head with two spaced areas for scanning an optical grating
US4044248A (en) Method and apparatus for linearizing a mirror galvanometer
US4808807A (en) Optical focus sensor system
US4151418A (en) Multiple crystal holder assembly for wavelength dispersive X-ray spectrometers
EP0151015A2 (en) Apparatus for sensing strain in a transparent fibre
JP2002244072A (ja) レーザ加工装置
KR100246583B1 (ko) 스테이지의 수직방향 변위 및 수평 조절 장치
SU838323A1 (ru) Устройство дл бесконтактного измерени гЕОМЕТРичЕСКиХ пАРАМЕТРОВ пОВЕРХНОСТЕй
RU1052095C (ru) Устройство для синтеза длинных голографических дифракционных решеток