JPS5963786A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS5963786A JPS5963786A JP57173792A JP17379282A JPS5963786A JP S5963786 A JPS5963786 A JP S5963786A JP 57173792 A JP57173792 A JP 57173792A JP 17379282 A JP17379282 A JP 17379282A JP S5963786 A JPS5963786 A JP S5963786A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- gas
- tube
- laser tube
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は医療機器、演１１定機器、加工機器等に用い
られるガスレーザ装置に関するものである。
られるガスレーザ装置に関するものである。
従来例の梠成とその問題点
ＣＯ２レーザ装置にはい（りかのタイプがあるが、一般
に光軸、ガス流、放電方向が同一である同軸タイプが艮
く知られている。再１図は、そのような同軸タイプＣＯ
２ガスレーザ装置の概略図を示す。
に光軸、ガス流、放電方向が同一である同軸タイプが艮
く知られている。再１図は、そのような同軸タイプＣＯ
２ガスレーザ装置の概略図を示す。
同図において、１はレーザ管で、その両端近傍にガス流
入口２とガス排出口３を有する。４はレーザ管１の両端
に配した放電用電極で、電源Ｅから給電される。５は全
反射鏡、６け部分反射鏡で、それぞれレーザ管１の管端
に密封連結されて、それらのミラー而をレーザ管軸に対
し直交配置して２す、レーザ管１内で発生したグロー放
電を共振させて、光の一部を部分反射鏡６から外部へ取
り出す機能をもつ。
入口２とガス排出口３を有する。４はレーザ管１の両端
に配した放電用電極で、電源Ｅから給電される。５は全
反射鏡、６け部分反射鏡で、それぞれレーザ管１の管端
に密封連結されて、それらのミラー而をレーザ管軸に対
し直交配置して２す、レーザ管１内で発生したグロー放
電を共振させて、光の一部を部分反射鏡６から外部へ取
り出す機能をもつ。
このようなＣＯ２レーザ装置においては、出力を増大さ
せる方法としてレーザ媒質の冷却効果を大きくすること
が必要とされてかり、その冷却方法としては、レーザ媒
質ガス自体の衝突を増大させるためにグロー放電の動作
圧力を高（するか、あるいはレーザ媒質ガスを超速で流
す方法がある。
せる方法としてレーザ媒質の冷却効果を大きくすること
が必要とされてかり、その冷却方法としては、レーザ媒
質ガス自体の衝突を増大させるためにグロー放電の動作
圧力を高（するか、あるいはレーザ媒質ガスを超速で流
す方法がある。
ところが、グロー放電の動作圧力を高（する方法を採用
すると、グロー放電を安定に維持することが困難となり
、また、レーザ媒質ガスを毘速で流す方法を採用すると
、装置が犬がかりとなるとともにレーザ媒質ガスの消費
量が多くなるといつ欠点を有していた。
すると、グロー放電を安定に維持することが困難となり
、また、レーザ媒質ガスを毘速で流す方法を採用すると
、装置が犬がかりとなるとともにレーザ媒質ガスの消費
量が多くなるといつ欠点を有していた。
発明の目的
この発明の目的は、グロー放電を安定に維持しながら、
しかも、レーザ媒質ガスの消費ｎを増大させることな（
、簡単な構成で高出力化が達成できるガスレーザ装置を
提供することである。
しかも、レーザ媒質ガスの消費ｎを増大させることな（
、簡単な構成で高出力化が達成できるガスレーザ装置を
提供することである。
発明の構成
この発明のガスレーザ装置は、レーザ管の略中央位置の
内周壁にリング状電極を同心状に＠着して、そのリング
１に電極へ交流電圧をＩ−ＪＪ加可能としたもので、レ
ーザ管内周壁に沼って流れる高温のレーザ媒質ガスを上
記リング状電極により一時塞止め、そのリング状電極で
ガスの熱を奪って外部へ放熱することによｒ）ｖ−ザ媒
質ガスの冷却効果を増大するとともに、リング状電極へ
交流電圧を印加することによりル−ザ媒質ガスを部分的
に電離させてレーザ管内のガス密度を増大させる。
内周壁にリング状電極を同心状に＠着して、そのリング
１に電極へ交流電圧をＩ−ＪＪ加可能としたもので、レ
ーザ管内周壁に沼って流れる高温のレーザ媒質ガスを上
記リング状電極により一時塞止め、そのリング状電極で
ガスの熱を奪って外部へ放熱することによｒ）ｖ−ザ媒
質ガスの冷却効果を増大するとともに、リング状電極へ
交流電圧を印加することによりル−ザ媒質ガスを部分的
に電離させてレーザ管内のガス密度を増大させる。
実施例の説明
この発明の一実施例を第２図ないし第４図を用いて説明
する。すなわち、このガスレーザ装置は、第２図に示す
ように、レーナ管１の略中央位置の内周壁に、第３図に
示すリング状電極７を同１ｂ状に嵌着したもので、その
池の構成は第１図に示す従来例と同様である。この場合
のリング状電極７０寸法は、外径が１６ ｖａｎ 、内
径が１４ ｍｍ 、厚さが０、５ ｒｒｔｍで、材質は
リン青銅である。
する。すなわち、このガスレーザ装置は、第２図に示す
ように、レーナ管１の略中央位置の内周壁に、第３図に
示すリング状電極７を同１ｂ状に嵌着したもので、その
池の構成は第１図に示す従来例と同様である。この場合
のリング状電極７０寸法は、外径が１６ ｖａｎ 、内
径が１４ ｍｍ 、厚さが０、５ ｒｒｔｍで、材質は
リン青銅である。
このように、レーザ管１内にリング状電極７を配したた
め、レーザ管１の内周壁に沼って流れる高温のレーザ媒
質ガスは、上記リング状電極７により一時塞止められ、
そのリング状電極７でガスの熱を奪われて外部へ放熱さ
れるので、レーザ媒質ガスの冷却効果を高めることがで
きる。また、リング状電極７へ交流電圧を印加すれば、
レーザ媒質ガスの一部が電離されて、レーザ管１内のガ
ス圧が高められる。実際に、第１図に示す従来方式のガ
スレーザ装置倚において、その電極４へ直流２５ＫＶを
加えた場合は、動作圧力が第４図の点Ａに小ず工うに３
０Ｔｏｒｒであったのに対し、上記実施例の場合におい
ては、リング状電極７へ交流電圧（Ｉ ＫＨｚ 、１５
ＫＶ ）を印加するだけで動作圧力を５０Ｔｏｒｒに増
大することができ、ガス密度の増大にともなって約１５
％の出力増大を得ることかでき プこ 。
め、レーザ管１の内周壁に沼って流れる高温のレーザ媒
質ガスは、上記リング状電極７により一時塞止められ、
そのリング状電極７でガスの熱を奪われて外部へ放熱さ
れるので、レーザ媒質ガスの冷却効果を高めることがで
きる。また、リング状電極７へ交流電圧を印加すれば、
レーザ媒質ガスの一部が電離されて、レーザ管１内のガ
ス圧が高められる。実際に、第１図に示す従来方式のガ
スレーザ装置倚において、その電極４へ直流２５ＫＶを
加えた場合は、動作圧力が第４図の点Ａに小ず工うに３
０Ｔｏｒｒであったのに対し、上記実施例の場合におい
ては、リング状電極７へ交流電圧（Ｉ ＫＨｚ 、１５
ＫＶ ）を印加するだけで動作圧力を５０Ｔｏｒｒに増
大することができ、ガス密度の増大にともなって約１５
％の出力増大を得ることかでき プこ 。
なお、上記実施例においては、交流電圧の周波数をＩＫ
Ｈｚに設定したが、第４図に示すように、交流電圧の周
波数を変えれば上記効果に差が生じ、すなわぢ同一交流
電圧のもとて周波数を高くしていくと、？、１へ４図の
曲線Ｂで示すように、！ＩＩＪｊ作田力も１１くなるこ
とが判明した。このようにして、レーザ媒質ガスの冷却
効果を向上でき、そのガス密度を増大できる結果、高出
力化を達成することができる。しかも高出力化の達成は
、レーザ管１内のガス流速を連めたりするのではなく、
レーザ管１内にＩ！！看したリング状電極７へ交流電圧
を印加することにエリ行なうため、レーザ管１内のグロ
ー放電も安定に維持でき、レーザ媒質ガスの消費量も低
減でき、構造も簡単となる。
Ｈｚに設定したが、第４図に示すように、交流電圧の周
波数を変えれば上記効果に差が生じ、すなわぢ同一交流
電圧のもとて周波数を高くしていくと、？、１へ４図の
曲線Ｂで示すように、！ＩＩＪｊ作田力も１１くなるこ
とが判明した。このようにして、レーザ媒質ガスの冷却
効果を向上でき、そのガス密度を増大できる結果、高出
力化を達成することができる。しかも高出力化の達成は
、レーザ管１内のガス流速を連めたりするのではなく、
レーザ管１内にＩ！！看したリング状電極７へ交流電圧
を印加することにエリ行なうため、レーザ管１内のグロ
ー放電も安定に維持でき、レーザ媒質ガスの消費量も低
減でき、構造も簡単となる。
なお、上記実施例においては、レーザｐｆｔ１のみの一
重ガラス管信造であるが、このレーザ管１の周胴部外方
をレーザ管１と同む状に配置した外管により被覆して、
レーザ管１と外管との開を冷却媒質流通路とし、その流
通路に冷却油、冷却水を流すような二重ガラス管購造と
してもよく、その場合も上記実施例と同様の効果を達成
できる。
重ガラス管信造であるが、このレーザ管１の周胴部外方
をレーザ管１と同む状に配置した外管により被覆して、
レーザ管１と外管との開を冷却媒質流通路とし、その流
通路に冷却油、冷却水を流すような二重ガラス管購造と
してもよく、その場合も上記実施例と同様の効果を達成
できる。
また、上記実施例は、全反射鏡５１部分反射鏡６を一直
線上に配置して、−放電区間の両端に全反射鏡５１部分
反射鏡６を有するレーザ共振構造であるが、放電区間を
数多くし、中間全反射鏡によりレーザ共振を多段折返し
させた終端反射鏡と部分反射鏡とによるレーザ共振構造
の場合および両端とも部分反射鏡を用いたＶ−ザ共振構
造の場合にもこの発明は適用可能である。
線上に配置して、−放電区間の両端に全反射鏡５１部分
反射鏡６を有するレーザ共振構造であるが、放電区間を
数多くし、中間全反射鏡によりレーザ共振を多段折返し
させた終端反射鏡と部分反射鏡とによるレーザ共振構造
の場合および両端とも部分反射鏡を用いたＶ−ザ共振構
造の場合にもこの発明は適用可能である。
発明の効果
この発明のガスレーザ装置によれば、グロー放電を安定
に維持しながら、しかも、レーザ媒質ガスの消費量を増
大させることなく、簡単な構成によりＩ藷出力化が得ら
れるという効果がある。
に維持しながら、しかも、レーザ媒質ガスの消費量を増
大させることなく、簡単な構成によりＩ藷出力化が得ら
れるという効果がある。
第１図は従来例の断面図、第２図はこの発明の一実施例
の留部断面図、第３図はリング状電極の斜視図、第４図
は交流電圧周波数と動作圧力との関係特性図である。 ｌ・・・レーザ管、２・・・ガス流入口、３・・・ガス
排出口、４・・・電極、５・・・全反射鏡、６・・・部
分反射鏡、７・・・リング状電極
の留部断面図、第３図はリング状電極の斜視図、第４図
は交流電圧周波数と動作圧力との関係特性図である。 ｌ・・・レーザ管、２・・・ガス流入口、３・・・ガス
排出口、４・・・電極、５・・・全反射鏡、６・・・部
分反射鏡、７・・・リング状電極
Claims (2)
- （１） 両端近傍にガス流入口とガス排出口を有する
レーザ管と、このレーザ管の両端に密封連結してミラー
而をレーザ管軸に対し直交配置した一対のミラーと、前
記レーザ管の両端に配した一対の放電用電極と、前記レ
ーザ管の略中央位置の内周壁に同心状に嵌着したリング
状電極と、このリング状電極に交流重圧を印加する交流
電圧印加手段とを備えたガスレーザ装面。 - （２） 前記レーザ管は、その局胴部外万をＶ−ザ管ど
同・口状に配置した外管によＶ被覆されて、レーザ管と
外管との間に冷却媒質流通路を形成した特許請求の範囲
用（１１項記載のガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57173792A JPS5963786A (ja) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57173792A JPS5963786A (ja) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5963786A true JPS5963786A (ja) | 1984-04-11 |
Family
ID=15967235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57173792A Pending JPS5963786A (ja) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5963786A (ja) |
-
1982
- 1982-10-01 JP JP57173792A patent/JPS5963786A/ja active Pending
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