JPS5965321A - 湿度制御装置 - Google Patents
湿度制御装置Info
- Publication number
- JPS5965321A JPS5965321A JP17548782A JP17548782A JPS5965321A JP S5965321 A JPS5965321 A JP S5965321A JP 17548782 A JP17548782 A JP 17548782A JP 17548782 A JP17548782 A JP 17548782A JP S5965321 A JPS5965321 A JP S5965321A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- dew point
- set value
- controller
- humidity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D22/00—Control of humidity
- G05D22/02—Control of humidity characterised by the use of electric means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Control Of Non-Electrical Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、超緩慢温度制御装置内に設けられる湿度制御
装置に関し更に詳しくは超緩慢温度制御系に外乱を与え
ない湿度制御装置に関する。
装置に関し更に詳しくは超緩慢温度制御系に外乱を与え
ない湿度制御装置に関する。
相対湿度は、ドライ温度における飽和蒸気圧と露点温度
における飽和蒸気圧との比の百分率で4見られる。第1
図は、従来の湿度制御装置の一例を、示す電気的構成図
である。図において、1はドライ温度検出器、2は露点
温度検出器である。3はドライ温度検出器の出力を受け
てドライ飽和蒸気圧pを算出する第1の演算器、4は露
点温度検り 出gr2の出力を受けて露点飽和蒸気圧Pを算出する第
2の演算器、5はこれら第1及び第2の演算器の出力を
受けて相対湿度RIIを算出する第3の演算器である。
における飽和蒸気圧との比の百分率で4見られる。第1
図は、従来の湿度制御装置の一例を、示す電気的構成図
である。図において、1はドライ温度検出器、2は露点
温度検出器である。3はドライ温度検出器の出力を受け
てドライ飽和蒸気圧pを算出する第1の演算器、4は露
点温度検り 出gr2の出力を受けて露点飽和蒸気圧Pを算出する第
2の演算器、5はこれら第1及び第2の演算器の出力を
受けて相対湿度RIIを算出する第3の演算器である。
相対湿度RHは、次式で与えられる。
6は該第3の演算器によシ算出された相対湿度を測定値
、RSヲ目標設定値としてPID制御を行う相対湿度調
節計である。7は該調節計によシその出力が調節される
加湿器である。
、RSヲ目標設定値としてPID制御を行う相対湿度調
節計である。7は該調節計によシその出力が調節される
加湿器である。
このような従来の装置では、ドライ温度が変化が、これ
を単位時間あたシになおすと0.005”C/ I(O
UR御も超緩温度制御系に外乱を与えない範囲で行う必
要があシ、またドライ温度の変化による外乱を防止する
相対湿度制御が必要である。しかしながら、このような
条件を満足する湿度制御装置は実現されていなかった。
を単位時間あたシになおすと0.005”C/ I(O
UR御も超緩温度制御系に外乱を与えない範囲で行う必
要があシ、またドライ温度の変化による外乱を防止する
相対湿度制御が必要である。しかしながら、このような
条件を満足する湿度制御装置は実現されていなかった。
本発明は、このような点に鑑みてなされたもので、超緩
慢温度制御系中の温度調節計に与えられる目標設定値を
ドライ温度として利用しこれから露点設定値を算出する
ようにして露点調節計によシ相対湿度制御を行わしめ、
温度制御系に外乱を与えない湿度制御装置全実現したも
のである。以下、図面を参照して本発明の詳細な説明す
る。
慢温度制御系中の温度調節計に与えられる目標設定値を
ドライ温度として利用しこれから露点設定値を算出する
ようにして露点調節計によシ相対湿度制御を行わしめ、
温度制御系に外乱を与えない湿度制御装置全実現したも
のである。以下、図面を参照して本発明の詳細な説明す
る。
第2図は本発明の一実施例を示す電気的接続図である。
第1図と同一のものは同一の番号を付して示す。10は
ドライ温度検出器1の出力と目標設定値とを受けて貯蔵
室(図示せず)内の温度を制御する温度調節計である。
ドライ温度検出器1の出力と目標設定値とを受けて貯蔵
室(図示せず)内の温度を制御する温度調節計である。
11は、該温度調節計出力によりその弁開度が調節され
る調節弁、12は同じく温度調節計10によシ制御され
る温度制御器である。温度制御器12は、冷却用の空気
冷却器及び加熱用の加熱器とから構成される。調節弁1
1は、前記した空気冷却器の冷媒配管中に設置される。
る調節弁、12は同じく温度調節計10によシ制御され
る温度制御器である。温度制御器12は、冷却用の空気
冷却器及び加熱用の加熱器とから構成される。調節弁1
1は、前記した空気冷却器の冷媒配管中に設置される。
13は制御モードに応じた設定値を出力する設定値抽出
回路、14は該設定値抽出回路の出力を受けて設定温度
をドライ温度とするドライ飽和蒸気圧PDsを算出する
第1の演算器、16は該第1の演算器出力と相対湿度設
定器15の出力RHsを受けて露点飽和蒸気圧PWsを
算出する第2の演算器、17は該第2の演算器出力を受
けて露点設定値DPsを算出する第3の演算器で占る。
回路、14は該設定値抽出回路の出力を受けて設定温度
をドライ温度とするドライ飽和蒸気圧PDsを算出する
第1の演算器、16は該第1の演算器出力と相対湿度設
定器15の出力RHsを受けて露点飽和蒸気圧PWsを
算出する第2の演算器、17は該第2の演算器出力を受
けて露点設定値DPsを算出する第3の演算器で占る。
18は、該第3の演算器出力を目標値、露点検出器2の
出力を測定値とする露点調節計、7は該露点調節計によ
シその出力が調節される加湿器である。即ち、図に示す
回路は露点調節計18によシ貯蔵室の露点を調節して湿
度を調節するものである。このように構成された装置の
動作を以下に説明する。
出力を測定値とする露点調節計、7は該露点調節計によ
シその出力が調節される加湿器である。即ち、図に示す
回路は露点調節計18によシ貯蔵室の露点を調節して湿
度を調節するものである。このように構成された装置の
動作を以下に説明する。
牟
設定値抽出回路13.温度調節計Lot温度検出器。
調節弁11及び温度制御器12とで超緩慢温度制御系を
構成する。第3図は制御モードを示す図である。
構成する。第3図は制御モードを示す図である。
制御モードとしては、図に示すように定値動作モき;尤
一ドA、冷却動作B及び加熱動作モードCがあシこれら
制御モードはモード切換スイッチ(図示せず)Kよシ任
意に設定することができるようになっている。超緩慢冷
却の場合を例にとって説明すると、設定値抽出回路13
から第3図に示すような補正設定値ΔTがt時間ごとに
出力され、温度調節1110の目標値はt時間ごとにΔ
Tずつ減少する。そ及び温度制御器12に制御信号を送
る。この結果、1@C/WEEK程度の超緩慢冷却を行
わせることができる。
制御モードはモード切換スイッチ(図示せず)Kよシ任
意に設定することができるようになっている。超緩慢冷
却の場合を例にとって説明すると、設定値抽出回路13
から第3図に示すような補正設定値ΔTがt時間ごとに
出力され、温度調節1110の目標値はt時間ごとにΔ
Tずつ減少する。そ及び温度制御器12に制御信号を送
る。この結果、1@C/WEEK程度の超緩慢冷却を行
わせることができる。
このような超緩慢温度制御を行っているときには、これ
と併行して行われる湿度制御系の変動は超緩慢温度制御
系には外乱となシりる。従って、温度制御系に外乱を与
えない湿度制御を行う必要がある。そこで、第1図に示
すような従来装置と異なりドライ飽和蒸気圧算出のため
のドライ温度を温度検出器1の出力を用いないで、変動
の少い目標設定値をあたかも測定値の如く用いて露点設
定値DPsを算出するようにした。このような方法をと
ることにより、ドライ温度の影響を受けず従って温度制
御系に外乱を与えない湿度制御を行うことができる。
と併行して行われる湿度制御系の変動は超緩慢温度制御
系には外乱となシりる。従って、温度制御系に外乱を与
えない湿度制御を行う必要がある。そこで、第1図に示
すような従来装置と異なりドライ飽和蒸気圧算出のため
のドライ温度を温度検出器1の出力を用いないで、変動
の少い目標設定値をあたかも測定値の如く用いて露点設
定値DPsを算出するようにした。このような方法をと
ることにより、ドライ温度の影響を受けず従って温度制
御系に外乱を与えない湿度制御を行うことができる。
設定値抽出回路13から出力される補正設定値4丁を受
け、第1の演算器14ではそれまでの目標設定値にΔT
が加算され新たな目標設定値が算出される。
け、第1の演算器14ではそれまでの目標設定値にΔT
が加算され新たな目標設定値が算出される。
演算器14は、このようにして算出したドライ温度設定
値を入力として飽和蒸気圧衣よシトライ飽和蒸気圧PD
sを求める。PDsは第2の演算器16に入力する。一
方、該演算器には相対湿度設定器15から目標とする湿
度RHsが与えられる。相対湿度とドライ飽和蒸気圧及
び露点飽和蒸気圧と°の間には(1)式に示されるよう
な関係があることから、露点飽和蒸気圧PWsは次式で
求めることができる。
値を入力として飽和蒸気圧衣よシトライ飽和蒸気圧PD
sを求める。PDsは第2の演算器16に入力する。一
方、該演算器には相対湿度設定器15から目標とする湿
度RHsが与えられる。相対湿度とドライ飽和蒸気圧及
び露点飽和蒸気圧と°の間には(1)式に示されるよう
な関係があることから、露点飽和蒸気圧PWsは次式で
求めることができる。
PWs =冊X RH8(2)
このようにして求められた露点飽和蒸気圧PWs h続
く第3の演算器17に入力する。
く第3の演算器17に入力する。
演算器17は、露点飽和蒸気圧PWsを入力して飽和蒸
気圧衣より露点設定値DPsを求める。露点調節計18
は、このようにして求めた露点設定値DPsを設定値、
露点検出器2の出力を測定値とするPID演算を実行し
その制御出力で加湿器7を動作させる。これによシ、貯
蔵室内の湿度は一定に保たれることになる。本発明によ
れば、温度設定値から露点設定値を求めるようにしてい
るので、温度制御系に外乱を与えないで湿度制御を行う
ことができる。なお、上述した飽和蒸気圧衣はそれぞれ
の演算器内部のメモリにディジタルデータとして格納さ
れているもので、必要に応じてメモリから呼出されて処
理される。
気圧衣より露点設定値DPsを求める。露点調節計18
は、このようにして求めた露点設定値DPsを設定値、
露点検出器2の出力を測定値とするPID演算を実行し
その制御出力で加湿器7を動作させる。これによシ、貯
蔵室内の湿度は一定に保たれることになる。本発明によ
れば、温度設定値から露点設定値を求めるようにしてい
るので、温度制御系に外乱を与えないで湿度制御を行う
ことができる。なお、上述した飽和蒸気圧衣はそれぞれ
の演算器内部のメモリにディジタルデータとして格納さ
れているもので、必要に応じてメモリから呼出されて処
理される。
第4図は、第2図に示す装置の具体的構成を示す図であ
る。図において、第1図、第2図と同一のものは同一の
番号を付して示す。2oは、温度調節計10の出力を受
ける演算器、21は同じく温度調節計10の出力を受け
る加熱器制御用演算器である。
る。図において、第1図、第2図と同一のものは同一の
番号を付して示す。2oは、温度調節計10の出力を受
ける演算器、21は同じく温度調節計10の出力を受け
る加熱器制御用演算器である。
換する電空変換器、11は該変換器の出力を受け゛る調
節弁で第2図に示すそれと同じものである。24は加熱
器制御用演算器21の出方をアナログ電圧に変換する第
2のD/A変換器である。25は貯蔵室4゜内に置かれ
た空気冷却器、26は加熱器である。空気冷却器25と
加熱器26とで第2図に示す温度制御器12を構成する
。
節弁で第2図に示すそれと同じものである。24は加熱
器制御用演算器21の出方をアナログ電圧に変換する第
2のD/A変換器である。25は貯蔵室4゜内に置かれ
た空気冷却器、26は加熱器である。空気冷却器25と
加熱器26とで第2図に示す温度制御器12を構成する
。
27は、空気冷却器25の吹出口に配置された温度検出
器1の出力を受けて温度に対応した信号に変換する変換
器、28は該変換器の出力をディジタル量に変換するア
ナログディジタル変換器(以下A/D変換器と略す)で
ある。該変換器の出力が温グ装置、lは冷媒配管である
。30は温度式膨張弁、31は感温筒である。以上の部
分が超緩慢温度制御系である。第1の演算器14.相対
湿度設定器15゜第2の演算器16.第3の演算器17
.露点調節1t18゜露点検出器2及び加湿器7鉱前述
した湿度制御装置を構成する。
器1の出力を受けて温度に対応した信号に変換する変換
器、28は該変換器の出力をディジタル量に変換するア
ナログディジタル変換器(以下A/D変換器と略す)で
ある。該変換器の出力が温グ装置、lは冷媒配管である
。30は温度式膨張弁、31は感温筒である。以上の部
分が超緩慢温度制御系である。第1の演算器14.相対
湿度設定器15゜第2の演算器16.第3の演算器17
.露点調節1t18゜露点検出器2及び加湿器7鉱前述
した湿度制御装置を構成する。
以上、詳細に説明したように、本発明によれば超緩慢温
度制御系中の温度調節計に与えられる目標設定値をドラ
イ温度として利用しこれから露点設定値を算出するよう
にして露点調節計によル相対湿度制御を行わしめ、温度
制御系に外乱を与えない湿度制御装置を実現することが
できる。
度制御系中の温度調節計に与えられる目標設定値をドラ
イ温度として利用しこれから露点設定値を算出するよう
にして露点調節計によル相対湿度制御を行わしめ、温度
制御系に外乱を与えない湿度制御装置を実現することが
できる。
第1図は従来装置の一例を示す図、fn2図は本発明の
一実施例を示す電気的構成図、第5図は動作シーケンス
を示す図、第4図は本発明の具体的構成を示す図である
。 1・・・ドライ温度検出器、2・・・露点温度検出器、
3、4.5 ・・・演算器、6・・・相対湿度調節計、
7・・・加湿器、10・・・温度調節計、11・・・調
節弁、12・・・温度制御器、13・・・設定値抽出回
路、 14.16.17・・・演算器、15・・・相対
湿度調節計、18・・・露点調節計。
一実施例を示す電気的構成図、第5図は動作シーケンス
を示す図、第4図は本発明の具体的構成を示す図である
。 1・・・ドライ温度検出器、2・・・露点温度検出器、
3、4.5 ・・・演算器、6・・・相対湿度調節計、
7・・・加湿器、10・・・温度調節計、11・・・調
節弁、12・・・温度制御器、13・・・設定値抽出回
路、 14.16.17・・・演算器、15・・・相対
湿度調節計、18・・・露点調節計。
Claims (1)
- 貯蔵室内に加熱器と冷却器とを設けた温度制御装置の温
度調節計の温度設定値から露点温度を算出し、この算出
した露点温度を設定値として湿度制御を行うようにした
ことを特徴とする湿度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17548782A JPS5965321A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 湿度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17548782A JPS5965321A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 湿度制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5965321A true JPS5965321A (ja) | 1984-04-13 |
Family
ID=15996899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17548782A Pending JPS5965321A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 湿度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5965321A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7389813B2 (en) * | 1999-02-12 | 2008-06-24 | Asml Holding N.V. | Systems and methods for controlling local environment |
-
1982
- 1982-10-06 JP JP17548782A patent/JPS5965321A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7389813B2 (en) * | 1999-02-12 | 2008-06-24 | Asml Holding N.V. | Systems and methods for controlling local environment |
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