JPS5965721A - 境界層流量計 - Google Patents
境界層流量計Info
- Publication number
- JPS5965721A JPS5965721A JP57177197A JP17719782A JPS5965721A JP S5965721 A JPS5965721 A JP S5965721A JP 57177197 A JP57177197 A JP 57177197A JP 17719782 A JP17719782 A JP 17719782A JP S5965721 A JPS5965721 A JP S5965721A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boundary layer
- temperature
- fluid
- heat
- terminals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は境界層の熱伝達を利用した境界層流量計に関す
るもので、その目的とするところは、簡単な構成によっ
て層流から乱流域をカバーする広い範囲での流量を測定
することができる境界層流量計を提供することにある。
るもので、その目的とするところは、簡単な構成によっ
て層流から乱流域をカバーする広い範囲での流量を測定
することができる境界層流量計を提供することにある。
以下図面に基づき本発明の実施例を詳細に説明する。
まず、実施例を説明する前に、本発明の理解を容易にす
るため、境界層流量計の原理について説明する。
るため、境界層流量計の原理について説明する。
この種の境界層流量計は周知の原理的構造および管内の
温度分布を示す説明図である第1図に示すように、断面
が円形のパイプPの外側に巻かれた電気ヒータHTのコ
イルおよびこれを挾んで矢印にて示す流れの方向に上下
に上流側温度計U−TMと下流側温度計D−TMの2個
の抵抗温度計をパイプPの外側に取付けである。そして
、電気ヒータHTから内部に供給される熱は、加熱線の
周囲の電気絶縁材料、パイプおよび境界層BLを通して
内部の流体に伝達される。ここで、この境界層BLと内
部流体との交換が起こらないから、境界層BL内の熱の
伝達は伝導のみで行なわれる。この、パイプ内部の温度
分布は第1図に示すようになる。実線は乱流の場合(レ
イノルズ数2100以上)を示したものであり、点線は
層流(レイノルズ数2100未満)を示しており、その
温度勾配は後者の方が緩やかである。なお、この第1図
において、矢印は流体の方向を示す。
温度分布を示す説明図である第1図に示すように、断面
が円形のパイプPの外側に巻かれた電気ヒータHTのコ
イルおよびこれを挾んで矢印にて示す流れの方向に上下
に上流側温度計U−TMと下流側温度計D−TMの2個
の抵抗温度計をパイプPの外側に取付けである。そして
、電気ヒータHTから内部に供給される熱は、加熱線の
周囲の電気絶縁材料、パイプおよび境界層BLを通して
内部の流体に伝達される。ここで、この境界層BLと内
部流体との交換が起こらないから、境界層BL内の熱の
伝達は伝導のみで行なわれる。この、パイプ内部の温度
分布は第1図に示すようになる。実線は乱流の場合(レ
イノルズ数2100以上)を示したものであり、点線は
層流(レイノルズ数2100未満)を示しており、その
温度勾配は後者の方が緩やかである。なお、この第1図
において、矢印は流体の方向を示す。
そして、パイプPの外部と内部の温度勾配は境界層BL
において生じ、他の部分の温度勾配は無視してさしつか
えない6.ここでは完全を期するために解析を進めるは
いに全部を考慮に入れる。。
において生じ、他の部分の温度勾配は無視してさしつか
えない6.ここでは完全を期するために解析を進めるは
いに全部を考慮に入れる。。
管壁の部分の温度勾配と伝達熱量の関係はQ=にωF・
ΔTω =ll)で示される。ここで
、Qは断面積Fを通って単位時間に流れる熱量、kωは
管の熱伝達率、ΔTωは管の内外の温度差を表わす。
ΔTω =ll)で示される。ここで
、Qは断面積Fを通って単位時間に流れる熱量、kωは
管の熱伝達率、ΔTωは管の内外の温度差を表わす。
同様に境界層BLO熱伝達は
Q=hF・ΔTb ・・・(2)
で表わ芒れる。ここで、hは境界層BLの熱伝導率、Δ
Tbは境界層内外の温度差を表わす。
で表わ芒れる。ここで、hは境界層BLの熱伝導率、Δ
Tbは境界層内外の温度差を表わす。
したがって、全体の温度差は、管境界層の温度差の和に
なり、上記式(1)と式(2)から次のように表わされ
る。
なり、上記式(1)と式(2)から次のように表わされ
る。
この式(3)から、熱量Qは
で表わづれる。この式(4)は温度差ΔTが一定に保た
れ、管の伝導率にωが同じであれば、伝達きれる熱量Q
はhの関数であることを示している。
れ、管の伝導率にωが同じであれば、伝達きれる熱量Q
はhの関数であることを示している。
ここで、もし管がうずく、しかもその材料が高い熱伝達
率をもっていれば、上記式(4)は次のように簡単にな
る。
率をもっていれば、上記式(4)は次のように簡単にな
る。
Q=F・ΔTh ・・・(5)さて、
本発明は上述の原理に基づくもので、次のようにして実
施烙れる。
本発明は上述の原理に基づくもので、次のようにして実
施烙れる。
まず、本発明の特長の1つは、センサ本体が導電性物質
でもあり、また、電熱体としても役割をする電熱性測温
抵抗材料、例えば、導電性セラミックなどの焼結体、具
体的にはサーミスタ用材料として知られるFe1IQ4
とMgCr20zまだはMgAt20+の固溶体やNi
O,Mn2QaおよびCo2O3を混合焼結したものな
どで形成されていることである。
でもあり、また、電熱体としても役割をする電熱性測温
抵抗材料、例えば、導電性セラミックなどの焼結体、具
体的にはサーミスタ用材料として知られるFe1IQ4
とMgCr20zまだはMgAt20+の固溶体やNi
O,Mn2QaおよびCo2O3を混合焼結したものな
どで形成されていることである。
この場合には本発明の説明図である第2図に示すように
、センサ材料の中にうめこ壕れだ測温電極EDI、ED
2および発熱用端子(ヒート端子)HT・Tを設け、こ
れらの各素子はそれぞれパイプそのものが測温抵抗体で
あり、また、電熱抵抗体であるパイプPに装着されてい
る。すなわち、被測定流体の流路の一部流域壁面を電熱
性測温抵抗材料で形成し、その流域壁の中流域に設けた
発熱用端子HT−Tを挾んでこの上下流域に測温端子で
ある電極gD1.ED2 を設けている。
、センサ材料の中にうめこ壕れだ測温電極EDI、ED
2および発熱用端子(ヒート端子)HT・Tを設け、こ
れらの各素子はそれぞれパイプそのものが測温抵抗体で
あり、また、電熱抵抗体であるパイプPに装着されてい
る。すなわち、被測定流体の流路の一部流域壁面を電熱
性測温抵抗材料で形成し、その流域壁の中流域に設けた
発熱用端子HT−Tを挾んでこの上下流域に測温端子で
ある電極gD1.ED2 を設けている。
なお、第3図に示すように、パイプPの外面に発熱用端
子HT−Tを挾んで電極EDI、ED2をもつように構
成することもできる。
子HT−Tを挾んで電極EDI、ED2をもつように構
成することもできる。
そして、微少流量測定に供する場合には、応答速度およ
び感度を上げるために絞りを用いることが望ましい。そ
の絞り部の構造の概略例を第4図および第5図に示し説
明すると、この第4図および第5図に示す実施例は電熱
性測温抵抗材からなる流域壁面の少なくとも発熱用端子
HT−Tの取付は部分を流路径より絞って構成した特に
微少流量測定用の境界層流量計の例を示すものである。
び感度を上げるために絞りを用いることが望ましい。そ
の絞り部の構造の概略例を第4図および第5図に示し説
明すると、この第4図および第5図に示す実施例は電熱
性測温抵抗材からなる流域壁面の少なくとも発熱用端子
HT−Tの取付は部分を流路径より絞って構成した特に
微少流量測定用の境界層流量計の例を示すものである。
図において、矢印は流体の方向を示す。
前述したところから明らかなように、本発明は被測定流
体の流路の一部流域壁面を電熱性測温抵抗材料で形成し
、その流域壁の中流域に設けた発熱用端子HT−Tを挾
んでこの上下流域に測温端子である電極EDI、ED2
を設けるように構成されている。
体の流路の一部流域壁面を電熱性測温抵抗材料で形成し
、その流域壁の中流域に設けた発熱用端子HT−Tを挾
んでこの上下流域に測温端子である電極EDI、ED2
を設けるように構成されている。
そして、境界層BLQ熱伝達は前述の原理説明より明ら
かなように、 で表わされる。ここで、Qは断面積Fを通って単位時間
に流れる熱量(Kca7./h)、すなわち、うばわれ
る熱である。
かなように、 で表わされる。ここで、Qは断面積Fを通って単位時間
に流れる熱量(Kca7./h)、すなわち、うばわれ
る熱である。
第6図は本発明による境界層流量計の実施態様を示す構
造図で、説明に必要な部分のみを示す1゜この第6図に
おいて、HT−Tは電熱端子(発熱用端子)、BLは境
界層を示し、tlは流体温度、t2は絞りの表面温度、
t8は境界層BLの表面温度を示す。
造図で、説明に必要な部分のみを示す1゜この第6図に
おいて、HT−Tは電熱端子(発熱用端子)、BLは境
界層を示し、tlは流体温度、t2は絞りの表面温度、
t8は境界層BLの表面温度を示す。
そして、この第6図に示す実施例においては、電熱性測
温抵抗材料からなる流域壁面の少なくとも発熱用端子取
付部分を流路径より絞って構成されている。
温抵抗材料からなる流域壁面の少なくとも発熱用端子取
付部分を流路径より絞って構成されている。
この第6図に示す実施態様例のとき、断面績Fは
F−πd−1・・・(7)
で表わされる。そして、管の内外の温度差ΔTはΔT=
t2−tlで表わされる。
t2−tlで表わされる。
また、流域壁面から境界層BLへの熱量QはQ=にωF
ΔTω=にωF(t2−t8) ・・・(8)で
表わされ、境界層BLから流体への熱量QはQ=hFΔ
Tb=hF(t3−tl ) ・・・(9)で
表わされる。そして、この式(8)および式(9)の両
方から前記式(6)が成立する。
ΔTω=にωF(t2−t8) ・・・(8)で
表わされ、境界層BLから流体への熱量QはQ=hFΔ
Tb=hF(t3−tl ) ・・・(9)で
表わされる。そして、この式(8)および式(9)の両
方から前記式(6)が成立する。
そして、被測定流体が流れる管が金属管のようなもので
は にω)hで Q=FΔTh kω 管の熱伝達率 KCa7!/rrIh℃
h 、境界層の熱伝達率 Kc a/7m” h ’
Cとなるが、この発明のように導電性セラミンクなどの
焼結体のようなものでは必ずしも成立しないものと考察
する。
は にω)hで Q=FΔTh kω 管の熱伝達率 KCa7!/rrIh℃
h 、境界層の熱伝達率 Kc a/7m” h ’
Cとなるが、この発明のように導電性セラミンクなどの
焼結体のようなものでは必ずしも成立しないものと考察
する。
しかし、境界層の熱伝達率りは流速に関連するが管の熱
伝達率にωは余り関連しないと考えられ、境界層流量計
の場合には上記管の熱伝達率にωは一定とみてよい。
伝達率にωは余り関連しないと考えられ、境界層流量計
の場合には上記管の熱伝達率にωは一定とみてよい。
そして、境界層の熱伝達率りは通常の乱流では量流量(
ρv’dジ) に比例する。
ρv’dジ) に比例する。
これらの比例係数は流体の物理的性質、粘度。
比熱、熱伝導度および構造寸法により変るのみであり、
流量計として成立する。
流量計として成立する。
そして・、熱量と流体とは比例しないが、これはマイク
ロコンピュータを用いて直線化することもできるし、層
流から乱流域をカバーする広い範囲での直線化もできる
。
ロコンピュータを用いて直線化することもできるし、層
流から乱流域をカバーする広い範囲での直線化もできる
。
つぎに、以上説明した境界層流量計の測定原理を第7図
に示す回路構成を参照して説明する。ただし、この第7
図は絞りと絞りの無い部分の温度差を一定に保ち、加熱
に要した電力から微少流量を測定するようにしたもので
あって、本発明はこれに限定されるものではない。
に示す回路構成を参照して説明する。ただし、この第7
図は絞りと絞りの無い部分の温度差を一定に保ち、加熱
に要した電力から微少流量を測定するようにしたもので
あって、本発明はこれに限定されるものではない。
第7図において、1,2,3.4は測温電極EDI。
ED2の端子(測温端子)、5,6は発熱用端子HT−
Tに相当する端子(ヒート端子)、R1は測温端子1,
2間の電気抵抗、R2は測温端子3゜4間の電気抵抗で
ある。
Tに相当する端子(ヒート端子)、R1は測温端子1,
2間の電気抵抗、R2は測温端子3゜4間の電気抵抗で
ある。
そして、El、R2は電源で、この電源El には並列
に電気抵抗R1と可変抵抗器VRおよび電気抵抗R8の
直列回路が接続されると共に、電気抵抗R2と電気抵抗
R4の直列回路が接続されている。
に電気抵抗R1と可変抵抗器VRおよび電気抵抗R8の
直列回路が接続されると共に、電気抵抗R2と電気抵抗
R4の直列回路が接続されている。
AMPは測温端子1,2側の電圧と測温端子3,4側の
電圧とを比較する増幅器で、その非反転入力端←)は可
変抵抗器VRと電気抵抗R8の接続点に接続され、反転
入力端(→は測温端子4と電気抵抗R4の接続点に接続
されている1、なお、この電気抵抗R8と電気抵抗R4
の抵抗値R8=R4となるように設定されている、。
電圧とを比較する増幅器で、その非反転入力端←)は可
変抵抗器VRと電気抵抗R8の接続点に接続され、反転
入力端(→は測温端子4と電気抵抗R4の接続点に接続
されている1、なお、この電気抵抗R8と電気抵抗R4
の抵抗値R8=R4となるように設定されている、。
Trはトランジスタで、そのコレクタはヒート端子6,
5を介して電源E2の正極側に接続きれ、エミフタは電
気抵抗rを介して電源E2の負極側に接続きれると共に
、接地芒れ、ベースは増幅器AMPの出力端に接続され
ている。−1そして、OUTはトランジスタTrのエミ
フタ側に接続きれた出力端子である。
5を介して電源E2の正極側に接続きれ、エミフタは電
気抵抗rを介して電源E2の負極側に接続きれると共に
、接地芒れ、ベースは増幅器AMPの出力端に接続され
ている。−1そして、OUTはトランジスタTrのエミ
フタ側に接続きれた出力端子である。
つぎにこの第7図に示す実施例の動作を第6図を参照し
て説明する。
て説明する。
まず、第6図に示す絞りのない部分を流体が流である。
そして、第6図に示ず絞9のある部分は第7図に示すヒ
ート端子5.6間に加熱電流が流れ、第6図に示す表面
温度t2に加熱され、しかも流体温度t1 と表面温度
t2の温度差は一定に保たれる。
ート端子5.6間に加熱電流が流れ、第6図に示す表面
温度t2に加熱され、しかも流体温度t1 と表面温度
t2の温度差は一定に保たれる。
R2−tl−コンスタント ・・・(10)こ
のとき、第7図に示す測温端子3,4の電気抵抗はR2
である。
のとき、第7図に示す測温端子3,4の電気抵抗はR2
である。
つぎに、絞りをつくって流体の流速i v+がらv2に
速めると、絞り表面から奪われる熱量は増加し、応答速
度を高め、微少流量測定の精度を高めることができる。
速めると、絞り表面から奪われる熱量は増加し、応答速
度を高め、微少流量測定の精度を高めることができる。
そして、絞りの表面から奪われる熱量(放熱量)EAi
、1 aλγV2(、R2−tl)=gA ・−
Ql)で表わきれる。。
、1 aλγV2(、R2−tl)=gA ・−
Ql)で表わきれる。。
ここで、a、絞り表面積
λ:伝達係数
γ、原流体比重量
γv2−J(Eh ・・・
(12)λ K”a/12−tl で表わきれる1、ここで、Kは定数であるから放熱量E
Aが判れば、γv2がら重量流量が求まる。そして、こ
の放熱量EAは加熱に要した消費電力を測定すれば知る
ことができる1゜ そして、第7図に示す電気抵抗R8,R4の抵抗値をR
8=R4とすれば、 R2=rtl+R5・・・(13) R5:設定抵抗 のときには、増幅器AMPに電流が流れない。そして、
流体の流れが停止のときはR2=R1となるので、この
設定抵抗R5をR5>○にセントしておくと、上記式(
13)は %式%(14) となり、増幅器AMPに電流が流れ、ヒート端子5゜6
間はヒータとなり、電気抵抗R2の抵抗値を高め、上記
式(13)になると止まる1、このときの時間当りの消
費′成力をEo とする。
(12)λ K”a/12−tl で表わきれる1、ここで、Kは定数であるから放熱量E
Aが判れば、γv2がら重量流量が求まる。そして、こ
の放熱量EAは加熱に要した消費電力を測定すれば知る
ことができる1゜ そして、第7図に示す電気抵抗R8,R4の抵抗値をR
8=R4とすれば、 R2=rtl+R5・・・(13) R5:設定抵抗 のときには、増幅器AMPに電流が流れない。そして、
流体の流れが停止のときはR2=R1となるので、この
設定抵抗R5をR5>○にセントしておくと、上記式(
13)は %式%(14) となり、増幅器AMPに電流が流れ、ヒート端子5゜6
間はヒータとなり、電気抵抗R2の抵抗値を高め、上記
式(13)になると止まる1、このときの時間当りの消
費′成力をEo とする。
つぎに、流体が配管の中を流れると、流体に基、 く
放熱により、 t2=tl 、ずなわち、R2=R1 となるから、上記式(14)の状態となり、再び加熱が
始する1、そして、流体が停止しないと、放熱・加熱の
繰り返しが続き、上記式(13)と式(14)の[相]
二〇の状態が繰り返される。このときの時間当りの消費
電力をEとすれば、流体の流れで消費電力EAは EA=E−Eo ・・
・(]、5)と表わきれ、この式(15)および前述の
式(12)から重量流量を知ることができる。
放熱により、 t2=tl 、ずなわち、R2=R1 となるから、上記式(14)の状態となり、再び加熱が
始する1、そして、流体が停止しないと、放熱・加熱の
繰り返しが続き、上記式(13)と式(14)の[相]
二〇の状態が繰り返される。このときの時間当りの消費
電力をEとすれば、流体の流れで消費電力EAは EA=E−Eo ・・
・(]、5)と表わきれ、この式(15)および前述の
式(12)から重量流量を知ることができる。
そして、流量が更に微少のときには、絞りを強め、流速
v2を速めることで放熱量を増し、検出可言しにするこ
とができる。。
v2を速めることで放熱量を増し、検出可言しにするこ
とができる。。
第8図(は本発明に用いる絞り部の構造の他の実施例を
示す概略構造図で、微少流量測定に適用する場合の一例
を示すものである。この第8図に示ずように測温電極E
DI、ED2 によって測温するのと電熱端子(発熱
用端子)HT−Tにスイフチングで切換えるようにする
こともできる。なお、この第8図において、矢印は流体
の方向を示す。
示す概略構造図で、微少流量測定に適用する場合の一例
を示すものである。この第8図に示ずように測温電極E
DI、ED2 によって測温するのと電熱端子(発熱
用端子)HT−Tにスイフチングで切換えるようにする
こともできる。なお、この第8図において、矢印は流体
の方向を示す。
以上説明したように、本発明によれば、複雑な手段を用
いることなく、境界層の熱伝達を利用し、センサ本体が
導電性物質でもあり、また、電熱体としても役割をする
材料でつくられているという簡単な構成によって、層流
から乱流域をカバーする広い範囲での境界層流量計を実
現することができるので、実用上の効果は極めて犬であ
る。
いることなく、境界層の熱伝達を利用し、センサ本体が
導電性物質でもあり、また、電熱体としても役割をする
材料でつくられているという簡単な構成によって、層流
から乱流域をカバーする広い範囲での境界層流量計を実
現することができるので、実用上の効果は極めて犬であ
る。
第1図は境界層流量計の原理説明に供する説明図、第2
図および第3図は本発明に用いる測温電極とヒート端子
の配置を示す説明図、第4図および第5図は本発明にお
ける絞り部の構造の実施例を示す概略構成図、第6図は
本発明による境界層流量計の実施態様例を示す構造図、
第7図は本発明による境界層流量計の測定原理の説明に
供する回路図、第8図は本発明における絞り部の構造の
他の実施例を示す概略構造図である。 HTT・ ・・発熱用端子(ヒート端子)、EDI、
El)2 ・・・−測温電極、BL ・ 境界
層。 特許出願人 山武ノ・ネウエル株式会社代理人 山川
数&1(Qビ・1名) 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図
図および第3図は本発明に用いる測温電極とヒート端子
の配置を示す説明図、第4図および第5図は本発明にお
ける絞り部の構造の実施例を示す概略構成図、第6図は
本発明による境界層流量計の実施態様例を示す構造図、
第7図は本発明による境界層流量計の測定原理の説明に
供する回路図、第8図は本発明における絞り部の構造の
他の実施例を示す概略構造図である。 HTT・ ・・発熱用端子(ヒート端子)、EDI、
El)2 ・・・−測温電極、BL ・ 境界
層。 特許出願人 山武ノ・ネウエル株式会社代理人 山川
数&1(Qビ・1名) 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図 第6図
Claims (2)
- (1)被測定流体の流路の一部流域壁面を電熱性測温抵
抗材料で形成し、前記流域壁の中流域に設けた発熱用端
子を挾んでこの上下流域に測温端子を設け、前記上下流
域間の温度差が常時同じになるように前記発熱用端子間
電圧を制御し、この出力を流量換算して指示ないし記録
するようにしたことを特徴とする境界層流量計。 - (2)電熱性測温抵抗材料からなる流域壁面の少くとも
発熱用端子取付は部分を流路径より絞って構成したこと
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の境界層流量計
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57177197A JPS5965721A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 境界層流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57177197A JPS5965721A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 境界層流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5965721A true JPS5965721A (ja) | 1984-04-14 |
Family
ID=16026872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57177197A Pending JPS5965721A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 境界層流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5965721A (ja) |
-
1982
- 1982-10-08 JP JP57177197A patent/JPS5965721A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2509889A (en) | Differential altimeter | |
| US4779458A (en) | Flow sensor | |
| CN1991654B (zh) | 不需要温度传感器的精密加热温度控制装置及方法 | |
| US4085613A (en) | Thermal energy flowmeter | |
| US3680377A (en) | Fluid flow meter | |
| US3326040A (en) | Thermal flow meter | |
| US5142907A (en) | Constant temperature gradient fluid mass flow transducer | |
| US4845984A (en) | Temperature compensation for a thermal mass flow meter | |
| US11650088B2 (en) | Thermal flow sensor for determining the temperature and the flow velocity of a flowing measuring medium | |
| JPS5965721A (ja) | 境界層流量計 | |
| JP5292201B2 (ja) | 測温抵抗体 | |
| JPS5965720A (ja) | 微少流量計 | |
| JP2531968B2 (ja) | 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 | |
| JPH0682286A (ja) | 熱式流量計 | |
| KR100244902B1 (ko) | 공기유속 센서소자 및 그 측정회로 | |
| JP2619735B2 (ja) | 熱流量センサ | |
| JP2771949B2 (ja) | 熱式流量センサ | |
| JPS5923369B2 (ja) | 零位法熱流計 | |
| JPH11148945A (ja) | 流速センサ及び流速測定装置 | |
| RU2005300C1 (ru) | Способ измерени скорости газового потока и устройство дл его осуществлени | |
| SU546821A1 (ru) | Термоанемометр | |
| JPS59105520A (ja) | 熱式質量流量計 | |
| JPS6125086B2 (ja) | ||
| JPH0143903B2 (ja) | ||
| SU691760A1 (ru) | Термоанемометрическа система |