JPS5965741A - シリコン感圧装置 - Google Patents
シリコン感圧装置Info
- Publication number
- JPS5965741A JPS5965741A JP17658882A JP17658882A JPS5965741A JP S5965741 A JPS5965741 A JP S5965741A JP 17658882 A JP17658882 A JP 17658882A JP 17658882 A JP17658882 A JP 17658882A JP S5965741 A JPS5965741 A JP S5965741A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- silicon
- pipe
- tire
- zirconium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/003—Fluidic connecting means using a detachable interface or adapter between the process medium and the pressure gauge
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はシリコン感圧タイヤフラムの一面には基準圧力
が加わり、他面には前記ダイヤスラムの支持台と導圧管
を通して測定気体圧が加わるシリコン感圧装置に関する
。
が加わり、他面には前記ダイヤスラムの支持台と導圧管
を通して測定気体圧が加わるシリコン感圧装置に関する
。
この揮のシリフン感圧装置は、例えば自動車の排気ガス
等のような腐蝕性の強い測定気体に対して使用されるこ
とが多いので、耐蝕性について充分に配慮されたものを
作ることが肝要である。
等のような腐蝕性の強い測定気体に対して使用されるこ
とが多いので、耐蝕性について充分に配慮されたものを
作ることが肝要である。
従来のシリコン感圧装置を第１図に示す。シリコンタイ
ヤフラム１には、これと同じシリコン素材からなる支持
台２が、接合部５にてあらかじめ酸化膜等で絶縁化され
た上、さらに金属化処理をされ、半田接合されている。
ヤフラム１には、これと同じシリコン素材からなる支持
台２が、接合部５にてあらかじめ酸化膜等で絶縁化され
た上、さらに金属化処理をされ、半田接合されている。
さらにこの支持台２には測定気体が通るように貫通した
中心孔が設けられている。そしてこの支持台２の、前記
接合部５と反対の側には、鉄−二、ヶルーフバルトから
なる１バ一ル合金で作られた感圧管３が接合部６にて半
田接合されている。そしてこの導圧管３にも貫通した中
心孔が設けられ、その上、孔の内側には腐蝕防止のため
の金メッキが被覆される。さらに導圧管３の中心孔と支
持台２の中心孔とは中心軸が一致するように接合される
。このような中心孔を通して、シリコンタイヤフラムｌ
の一面ニは測定気体圧が加わり、他面には以下に述べる
基准圧力室１３内の基準圧力が加わるように、一般のシ
リコン感圧装置は構成されるものである０通常、基単圧
力室１３内を臭突にしたときの圧力を基準圧力としてい
る。この基単圧力室は、導圧管３の接合部７で結合しか
つ容器底板１１に固定する環状支持体４と、この容器底
板１１に溶接され、シリコンダイヤフラム】をｆ〉うよ
うな容器蓋体１２と、前記容器底板１１、シリコンタイ
ヤフラム１およびこれに連結した支持台２．導圧管３と
から構成された９間であり、真仝忙保持されるよ５Ｖｃ
なっている。
中心孔が設けられている。そしてこの支持台２の、前記
接合部５と反対の側には、鉄−二、ヶルーフバルトから
なる１バ一ル合金で作られた感圧管３が接合部６にて半
田接合されている。そしてこの導圧管３にも貫通した中
心孔が設けられ、その上、孔の内側には腐蝕防止のため
の金メッキが被覆される。さらに導圧管３の中心孔と支
持台２の中心孔とは中心軸が一致するように接合される
。このような中心孔を通して、シリコンタイヤフラムｌ
の一面ニは測定気体圧が加わり、他面には以下に述べる
基准圧力室１３内の基準圧力が加わるように、一般のシ
リコン感圧装置は構成されるものである０通常、基単圧
力室１３内を臭突にしたときの圧力を基準圧力としてい
る。この基単圧力室は、導圧管３の接合部７で結合しか
つ容器底板１１に固定する環状支持体４と、この容器底
板１１に溶接され、シリコンダイヤフラム】をｆ〉うよ
うな容器蓋体１２と、前記容器底板１１、シリコンタイ
ヤフラム１およびこれに連結した支持台２．導圧管３と
から構成された９間であり、真仝忙保持されるよ５Ｖｃ
なっている。
またその気体圧測定については、前述のように導圧管３
の中心孔を通して、測定気体圧をシリコンタイヤフラム
１に受け、これにより生じたシリコンの歪をピエゾ抵抗
効果による抵抗値の変化によって重線信号に変換し、シ
リコンタイヤフラム１の表面に設けられた増幅回路と温
度補償回路（いずれも図示せず）Ｋて増幅、および温度
補正して、容器底板１１上のセラミック基板１４に形成
された外部出力回路（図示せず）および外部出力端子１
７に各々導線１５．、１６にて伝え、測定圧を外部へ出
力するようになっている。
の中心孔を通して、測定気体圧をシリコンタイヤフラム
１に受け、これにより生じたシリコンの歪をピエゾ抵抗
効果による抵抗値の変化によって重線信号に変換し、シ
リコンタイヤフラム１の表面に設けられた増幅回路と温
度補償回路（いずれも図示せず）Ｋて増幅、および温度
補正して、容器底板１１上のセラミック基板１４に形成
された外部出力回路（図示せず）および外部出力端子１
７に各々導線１５．、１６にて伝え、測定圧を外部へ出
力するようになっている。
このように、シリコン感圧装置は測定気体圧によるシリ
コンタイヤフラム１の歪を、［気信号に変換して、□検
出するものであり、測定線体圧以外に起因するタイヤフ
ラム１の歪は極力除去きれねばならない。従って、従来
、シリコンタイヤフラム１の支持台２は前述のようにシ
リコンかあるい（′ｌ−必彫張併数の近似した力゛シス
でｆ乍られることが多いのである。また前述のよ５に、
支持台２と導圧管３か別々の材料で作られると、その組
立構造が復雑になるので、これらを一体化して構造を簡
単にすることが望まねる。しかしシリコンで一体化する
とその価格が置くなりすぎ、また−万ガラスの場合は、
前述のコバール合金導圧管のような腐蝕防止用の会メ、
キが困難であるので、一体化が難０・し℃・。また前記
導圧管３のようなコパール合金だけで一体化した場合も
、価格的には安くできる７Ｊ′−シ１１コンとの熱膨張
係数の差が比較的大きいので、シリコンタイヤフラムｌ
に余計な歪が発生する問題があり、やはり使用が困難で
ある。
コンタイヤフラム１の歪を、［気信号に変換して、□検
出するものであり、測定線体圧以外に起因するタイヤフ
ラム１の歪は極力除去きれねばならない。従って、従来
、シリコンタイヤフラム１の支持台２は前述のようにシ
リコンかあるい（′ｌ−必彫張併数の近似した力゛シス
でｆ乍られることが多いのである。また前述のよ５に、
支持台２と導圧管３か別々の材料で作られると、その組
立構造が復雑になるので、これらを一体化して構造を簡
単にすることが望まねる。しかしシリコンで一体化する
とその価格が置くなりすぎ、また−万ガラスの場合は、
前述のコバール合金導圧管のような腐蝕防止用の会メ、
キが困難であるので、一体化が難０・し℃・。また前記
導圧管３のようなコパール合金だけで一体化した場合も
、価格的には安くできる７Ｊ′−シ１１コンとの熱膨張
係数の差が比較的大きいので、シリコンタイヤフラムｌ
に余計な歪が発生する問題があり、やはり使用が困難で
ある。
本発明の目的はこれらの問題点を除去し、特に自動車の
排気ガスに幻する耐蝕性を有し、かつ構造が簡単で安価
なシリコン感圧装置を提供することである。
排気ガスに幻する耐蝕性を有し、かつ構造が簡単で安価
なシリコン感圧装置を提供することである。
本発明によればこの目的はシリフン感圧装置にオイテ、
シリコンタイヤフラムを固定スル支持台と、この支持台
に連結される導圧管とをジルコン（’１ｒｏ２・Ｓｉｏ
、Ｊｆｌ成物）で一体に成形することにより達成される
。
シリコンタイヤフラムを固定スル支持台と、この支持台
に連結される導圧管とをジルコン（’１ｒｏ２・Ｓｉｏ
、Ｊｆｌ成物）で一体に成形することにより達成される
。
以下、本発明の一実施例を第２図により説明する。
本発明により得られるジルコン導圧管８は、第１図で示
した支持台２と導圧管３を一体化したものに相当し、シ
リコンの熱膨張係数４．□ｘ １０ ／℃（４０〜４
００℃）に近似した３７〜４．２Ｘ １０ ／℃（４
０〜４００℃）の値の熱膨張係数をもつジルコン（Ｚｒ
Ｑ□・５ｉＱ２４ｆｔ成物）により成形されるものであ
る。このジルコン導圧管８は、その一端でシリコンタイ
ヤフラム１が接合される部分９と、環状支持体４が接合
するその（ｌｌｌ１面部分１０とにおいて、あらかじめ
クロム、モリブテン、タングステン等のいずれかの金属
化処理がされ、さらにその上に重ねてニッケル、金等の
半田に濡れやすい金属がメッキ処理にて被覆されてから
、各々半田にて接合される。
した支持台２と導圧管３を一体化したものに相当し、シ
リコンの熱膨張係数４．□ｘ １０ ／℃（４０〜４
００℃）に近似した３７〜４．２Ｘ １０ ／℃（４
０〜４００℃）の値の熱膨張係数をもつジルコン（Ｚｒ
Ｑ□・５ｉＱ２４ｆｔ成物）により成形されるものであ
る。このジルコン導圧管８は、その一端でシリコンタイ
ヤフラム１が接合される部分９と、環状支持体４が接合
するその（ｌｌｌ１面部分１０とにおいて、あらかじめ
クロム、モリブテン、タングステン等のいずれかの金属
化処理がされ、さらにその上に重ねてニッケル、金等の
半田に濡れやすい金属がメッキ処理にて被覆されてから
、各々半田にて接合される。
そしてざらに第１図に示すものと同様にして、環状支持
体４により、このジルコン導圧管８は容器底板１１に固
定される。そしてやはり第１図と同様にして構成１され
る基進圧力室■３附の圧力を基準圧力として、ジルコン
導圧管８を通してへ入されるｆＩ１１定気圧体を検知し
、邦゛気信号に変換し、外部出力端子１７より測定圧を
出力する〇 このようにして％１気絶縁性νＣ優れたジルコンに−Ｃ
１支持台と導圧管を一体化したので、従来のように支持
台２のシリコンに絶縁部を形成したり、あるいは他の絶
縁体を介在させる必要がない。さらに、ジルコン自利、
耐蝕性が良好であるので、 ・従来のよ５に、あえて金
メツ千をしなくても、特に自＠直のυトラガスによる腐
蝕に対して充分な信頼性が得られる。
体４により、このジルコン導圧管８は容器底板１１に固
定される。そしてやはり第１図と同様にして構成１され
る基進圧力室■３附の圧力を基準圧力として、ジルコン
導圧管８を通してへ入されるｆＩ１１定気圧体を検知し
、邦゛気信号に変換し、外部出力端子１７より測定圧を
出力する〇 このようにして％１気絶縁性νＣ優れたジルコンに−Ｃ
１支持台と導圧管を一体化したので、従来のように支持
台２のシリコンに絶縁部を形成したり、あるいは他の絶
縁体を介在させる必要がない。さらに、ジルコン自利、
耐蝕性が良好であるので、 ・従来のよ５に、あえて金
メツ千をしなくても、特に自＠直のυトラガスによる腐
蝕に対して充分な信頼性が得られる。
す上の説明では、基準圧力室を有し、その内の圧力を基
進圧力とするシリコン感圧装置について述べてきたが、
この基準圧力は、このような場合に限られることなく、
前記基準圧力室に大気開放口を設け、大気そのものを基
準圧力とするものも含む。さらに２種力１の気体の圧力
２：を検知する相対圧感圧装置にも同罎の構造であるの
で適用できる。
進圧力とするシリコン感圧装置について述べてきたが、
この基準圧力は、このような場合に限られることなく、
前記基準圧力室に大気開放口を設け、大気そのものを基
準圧力とするものも含む。さらに２種力１の気体の圧力
２：を検知する相対圧感圧装置にも同罎の構造であるの
で適用できる。
本発明の一実施１９１１を示すシリコン感圧装置Ｆｔの
じ［面図である。
じ［面図である。
１・・・シリコン！；多圧タイヤフラム、８・・・ンル
フン導圧管。
フン導圧管。
Claims (1)
- シリフン感圧タイヤフラムの一面には基準圧力が加わり
、他面には前記タイヤフラムの支持台と導圧管を通して
測定気体の圧力が加わるシリコン感圧装置において、前
記支持台と導圧管をジルコン（ＺｒＯ２・Ｓ ｉＱ２組
成物）で一体に成形したことを特徴とするシリフン感圧
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17658882A JPS5965741A (ja) | 1982-10-07 | 1982-10-07 | シリコン感圧装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17658882A JPS5965741A (ja) | 1982-10-07 | 1982-10-07 | シリコン感圧装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5965741A true JPS5965741A (ja) | 1984-04-14 |
Family
ID=16016183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17658882A Pending JPS5965741A (ja) | 1982-10-07 | 1982-10-07 | シリコン感圧装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5965741A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61199641U (ja) * | 1985-06-04 | 1986-12-13 | ||
| JPH0319939U (ja) * | 1989-02-22 | 1991-02-27 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5524423A (en) * | 1978-08-10 | 1980-02-21 | Nissan Motor Co Ltd | Semiconductor pressure sensor |
-
1982
- 1982-10-07 JP JP17658882A patent/JPS5965741A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5524423A (en) * | 1978-08-10 | 1980-02-21 | Nissan Motor Co Ltd | Semiconductor pressure sensor |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61199641U (ja) * | 1985-06-04 | 1986-12-13 | ||
| JPH0319939U (ja) * | 1989-02-22 | 1991-02-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4314225A (en) | Pressure sensor having semiconductor diaphragm | |
| US6883380B2 (en) | Pressure sensor capsule | |
| US4563697A (en) | Semiconductor pressure sensor | |
| US5209121A (en) | Pressure sensor | |
| JPH0750007B2 (ja) | 圧力センサ及び圧力センサの製法 | |
| JP2007532909A (ja) | 圧力センサ装置および方法 | |
| JP2014160084A (ja) | 圧力センサ | |
| JP2719448B2 (ja) | 半導体圧力検出装置 | |
| JPH05507358A (ja) | 内燃機関の燃焼室内の圧力を検出するための圧力センサ | |
| JPS5965741A (ja) | シリコン感圧装置 | |
| US6895822B2 (en) | Apparatus and method for interconnecting leads in a high temperature pressure transducer | |
| JP2005114734A (ja) | 圧力センサ | |
| CN210166071U (zh) | 差压传感器 | |
| JPH09178596A (ja) | 圧力センサ | |
| JPH02196938A (ja) | 圧力センサ | |
| JPH0245721A (ja) | 絶対圧型半導体圧力センサ | |
| JPS63195537A (ja) | 絶対圧形半導体圧力センサ | |
| JPS59174728A (ja) | 半導体式圧力センサ | |
| KR970000034B1 (ko) | 고성능 유리대 금속 납땜 이음부 | |
| JPH09178595A (ja) | 圧力センサ | |
| JPH10160604A (ja) | 圧力センサ | |
| CN223710902U (zh) | 一种压力传感器 | |
| JPH02138841A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPS63275926A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPS5936835B2 (ja) | 半導体圧力・差圧伝送器 |